【課題】従来の撥水膜に対し、滑り性を向上させ、かつ耐久性、耐摩耗性の特性を向上させた薄膜を有する光学部材の製造方法を提供する。
【解決手段】特定のフッ素置換アルキル基含有有機ケイ素化合物と、特定のシラン化合物との混合物を含有する蒸着材料を光学部材上に蒸着して第１撥水層を形成し、その上に特定のパーフルオロポリエーテル−ポリシロキサン共重合体変性シランと溶媒を含有する浸漬材料に浸漬して第２撥水層を形成することにより、２層からなる撥水膜を形成する光学部材の製造方法。 （もっと読む）

【課題】製造装置を大型化することなく基板に対して表示パネルを合理的に配置しつつも、画素内において蒸着膜の必要膜厚が確保された実効画素領域を広く確保することができ、これにより低コストで表示特性の良好な表示装置を得ることが可能な製造方法を提供する。
【解決手段】開口パターン３ａを備えた蒸着マスク３と長尺状のライン蒸着源１とを用いて基板５の画素ａ上に蒸着パターンを形成する表示装置の製造方法において、基板５上における表示パネル領域Ｐの配置方向に係わりなく、ライン蒸着源１の長手方向に開口パターン３ａおよび画素ａの長辺方向をそれぞれ一致させるように蒸着マスク３と基板５とを配置する。蒸着源５に対して基板５と蒸着マスク３とを相対的に移動させることにより、蒸着パターンを各画素ａに形成する。 （もっと読む）

【課題】有機材料を変質させることなく、少量ずつ蒸発させられる技術を提供する。
【解決手段】タンク室６０内部に配置された粉体の有機材料６３を蒸発室２０ａの内部に移動させ、蒸発室２０ａの内部で有機材料蒸気を発生させる際に、有機材料６３が通過する接続管４０内に加熱したシールドガスを導入し、有機材料をシールドガスと共に蒸発室２０ａ内に移動させる。接続管４０と蒸発室２０ａの間の接続部分を小孔４２に形成しておき、小孔４２からシールドガスを噴出させると蒸発室２０ａ内で発生した有機材料蒸気が接続管４０の内部に侵入することがない。 （もっと読む）

【課題】基板表面に異物があった場合でも陰極と陽極とのショートを防止可能な成膜装置および有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】成膜装置１００は、蒸着装置１１０と蒸着装置１２０とを備えた成膜装置であって、蒸着装置１１０と蒸着装置１２０とのそれぞれは、蒸着槽２０，６０と、蒸着槽２０，６０内に配置され基板３２を保持する保持部３０，７０と、蒸着槽２０，６０内に保持部３０，７０に対向して配置され膜材料を蒸発させる蒸着源４０，４２，９０と、を備え、蒸着装置１１０における保持部３０の基板保持面３０ａと蒸着源４０，４２との距離は、蒸着装置１２０における保持部７０の基板保持面７０ａと蒸着源９０との距離よりも短いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機材料を変質させることなく、少量ずつ蒸発させられる技術を提供する。
【解決手段】接続管４０に挿入された供給軸７１の下端に侵入防止部材７６を設け、接続管４０の下端のコンダクタンスを小さくする。タンク室６０内部に配置された粉体の有機材料６３を蒸発室２０ａの内部に移動させ、蒸発室２０ａの内部で有機材料蒸気を発生させる際に、蒸発室２０ａ内で発生した有機材料蒸気が接続管４０の内部に侵入しないようにしておく。接続管４０内に加熱したシールドガスを導入し、蒸発室２０ａの内部に噴出させると、有機材料蒸気がシールドガスによって流されるので、一層蒸気が侵入しないようになる。 （もっと読む）

【課題】繰り返し真空蒸着を行なっても、酸化物の形成に起因する蒸発量の変動の生じない抵抗加熱フィラメントを提供する。
【解決手段】抵抗加熱フィラメントの表面に、このフィラメントの表面を酸化してなる、１．０μｍ以上で均一な厚さを有する酸化物層を有することにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】圧延膜において、ピンホール部が効果的に封孔された、水素透過効率が高い、ピンホールのない水素分離膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】水素分離膜を製造する製造方法であって、第１金属を圧延して膜１を形成する膜形成工程と、前記膜１に生じたピンホール部２に有機物を主成分とする液状又は顔料を主成分とする粉末状の塗布剤３を塗布する塗布工程と、ピンホール部２に前記塗布剤３を塗布した前記膜１に、第２金属４を蒸着する蒸着工程と、を備えることを特徴とする、水素分離膜製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡便な手法で製造可能であり、かつ、短波長領域の光も透過することが可能な透明電極およびその製造方法を提供する。また、作製された透明電極の光透過率が酸化によって低下することがない透明電極およびその製造方法を提供する。
【解決手段】真空蒸着法により複数種の金属を気化させて基板表面へ蒸着して、上記基板表面に透明電極として上記複数種の金属を含む合金薄膜を形成し、上記複数種の金属には少なくともアルミニウムおよび銀が主成分として含まれるようにしたものであり、上記合金薄膜全体に対する上記アルミニウムの割合が、組成比において上記合金薄膜全体の２割乃至８割であるようにした。 （もっと読む）

【課題】 メンテナンス終了後に再度成膜工程を実施可能とするための時間を短縮することで成膜工程の効率を向上させることが可能な膜厚モニタ装置及びこれを備える成膜装置を提供する。
【解決手段】 基板１１上に成膜材料１０が付着してなる薄膜の膜厚を測定するための膜厚モニタ装置５である。成膜材料１０が付着し、成膜材料１０の付着量によって共振周波数が変化する水晶振動子と、前記水晶振動子を囲むように形成され内部を熱媒が循環する熱媒循環路５ｂと、前記熱媒を循環させ、前記水晶振動子のメンテナンス時に前記水晶振動子に付着した成膜材料１０を除去するべく前記熱媒の温度を調整する熱媒温度調整手段５ｃと、を備えてなる。蒸着装置（成膜装置）Ａは、基板１１上に成膜材料１０を付着させて薄膜を形成するための真空室２を備え、真空室２に膜厚モニタ装置５を配設してなる。 （もっと読む）

【課題】均一な金属薄膜が形成されるようにソース容器内のソース量を常にほぼ一定に維持することができるソース量制御が可能な真空蒸着装置を提供する。
【解決手段】真空蒸着装置は、チャンバー１００と、チャンバー１００内の上部に設けられる基板１３０と、基板１３０の直下に設けられ、内部にソース１１１が満たされるソース容器１１０と、ソース容器１１０の下面に取付けられた質量測定機１２０と、質量測定機１２０に接続されてソース容器１１０の質量の情報を受信する制御部１４０と、制御部１４０に接続され、ソース容器１１０の質量の情報に応じて制御部１４０で生成されたソース供給信号が伝達され、ソース容器１１０内にソース１１１を供給するソース供給機１５０とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】 蒸発させた金属原子の被処理物への供給量が調節でき、簡単な構造を有する真空蒸気処理装置を提供する。
【解決手段】 所定圧力に保持可能な真空チャンバ１２と、この真空チャンバ内に隔絶して設けられた相互に連通する処理容器２及び蒸発容器３と、この処理容器Ｓに被処理物を配置すると共に蒸発容器に金属蒸発材料Ｖを配置した状態で処理容器及び蒸発容器の加熱を可能とする加熱手段６ａ、６ｂとを備える。そして、加熱手段によって処理容器及び蒸発容器をそれぞれ加熱して被処理物を所定温度まで昇温させつつ金属蒸発材料を蒸発させ、この蒸発した金属原子が処理容器内の被処理物表面に供給されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】燐光体又はシンチレータ原材料の支持体への成膜における高歩留まりの蒸着方法を提供する。
【解決手段】るつぼユニットは底部及び周囲側壁を持ち原材料容器としてのるつぼと、穿孔を有する内部蓋５と、煙突と、及び溶融され液化された燐光体原材料が減圧下で蒸発された形でるつぼユニットから逃避して支持体上に燐光体層として蒸着するスリットをさらに含み、煙突２の一つの加熱手段がスリット及びスロット出口３′を有する遮熱材３の下に位置され、遮熱材３はるつぼユニットをカバーし、かつ煙突２の一部を作る。燐光体原材料の蒸気雲がスロット出口３′と支持体の間を通りかつ支持体と平行にとったどのような断面から燐光体プレート又はパネル上に投影されても、蒸気雲の最長半径のそれに垂直な半径に対する比率が少なくとも１．３である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、比較的簡単なプロセスにより例えばＩＩＩ−Ｖ族窒化物半導体のようなエッチングが困難な半導体層でも容易にエッチングが可能な半導体エッチング方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基体（１，２）の表面に、エッチングマスクの少なくとも一部として、金属フッ化物層３等の固体層を形成する工程と、前記固体層をレジスト組成物等で処理する工程と、前記固体層をマスクとして、前記基体をエッチングする工程とを有することを特徴とするエッチング方法。 （もっと読む）

【課題】仕事関数の低い材料を迅速に有機層と陰極との界面近傍に挿入する。
【解決手段】ＰＭ１は、処理容器１００と、有機材料を加熱して気化させる蒸着装置２００と、第１の蒸着源に連通し、第１の蒸着源にて気化された有機材料を不活性ガスにより運搬させる第１のガス供給路１５０と、処理容器外に設けられ、陰極を形成する第１の金属よりも仕事関数が小さい第２の金属を加熱して気化させるディスペンサＤｓと、ディスペンサに連通し、ディスペンサにて気化された第２の金属を不活性ガスにより運搬させる第２のガス供給路３２０と、各ガス供給路１５０、３２０に連通し、気化された第２の金属を気化された有機材料に混入させて処理容器内の被処理体に向けて吹き出させる吹き出し機構１２０ｆと、気化された有機材料に混入させる前記気化された第２の金属の割合を制御する制御器５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】効果的な修飾微粒子の形成方法の提供。
【解決手段】微粒子を単層固定させる基板表面に金を所定の厚さで蒸着する。一方、1-ethyl-3(3-dimethylaminopropyl)carbodiimidehydrochloride（通称ＥＤＣ）、ＮａＣｌ、あるいは、ＫＣｌ等の微粒子間の静電反発力を抑制するための材料を利用した粒子固定液を作製し、これに微粒子を混合した粒子懸濁液として上記基板上に塗布することにより、金を所定の厚さで蒸着された基板表面に微粒子を単層固定させる。また、単層固定された微粒子表面に遷移金属、金属または半導体を蒸着させて修飾微粒子を形成する。基板から修飾微粒子剥離させるには、超音波洗浄装置等を利用して、基板に超音波を作用させて、剥離を促進する。修飾微粒子を生体機能分子によって修飾して生体物質の検査のための標識として利用する場合、修飾微粒子からの反射電子を利用する。 （もっと読む）

【課題】ホスト材料に対するゲスト材料の割合が非常に小さい場合、ワークの表面に蒸着するゲスト材料の割合やゲスト材料の分布状態を精度良く保つことが困難である。
【解決手段】真空チャンバ１１と、この真空チャンバ１１内に配される第１および第２の蒸着源１６，１７と、これら第１および第２の蒸着源１６，１７から供給されるゲスト材料１４およびホスト材料１５が表面に蒸着される基板１３を真空チャンバ１１内にて固定状態で保持するワーク保持手段３３とを具えた本発明による真空蒸着装置１０は、第１の蒸着源１６とワーク保持手段３３に保持される基板１３との間に位置して基板１３の表面に対するゲスト材料１４の蒸着量をホスト材料１５の蒸着量よりも低減させるための遮蔽部材１８と、この遮蔽部材１８を第１の軸線Ｏ₂回りに回転させると共に第２の軸線Ｏ₁に関して運動させる遮蔽部材駆動機構１９と、この遮蔽部材駆動機構１９を介して遮蔽部材１８を駆動する単一の駆動モータ２５とをさらに具える。 （もっと読む）

【課題】 フォトリソグラフィーの技術、金属の延伸工程を用いない新たな大面積のワイヤーグリッド偏光板およびその製造方法の提供。
【解決手段】 樹脂製の表面が平坦な基材の少なくとも片面上に硬質層を設けてあるシートを１軸方向に加熱収縮させることによって特徴的に得られるナノバックリング形状を有するシート上に金属蒸着層を設ける。また、前記金属層が金属蒸着層であることを特徴とする偏光板である。前記ナノバックリング形状を有するシートが、ナノバックリングシートおよび／またはナノバックリングシートのナノバックリング形状を転写したナノバックリング形状レプリカシートであることを特徴とする偏光板である。 （もっと読む）

【課題】ホスト材料とドーパントとからなる膜層のドーパントの混合比率を、コストを抑制しつつ測定する。
【解決手段】第１の基板１１を、周縁部を除いて開放した状態で基準面２５上を第１の方向線５１に沿って搬送する第１の搬送手段３１と、第１の搬送手段３１と隣り合う搬送手段であって、第２の基板１２を周縁部を除いて開放した状態で基準面２５上を第１の方向線５１に沿って搬送する第２の搬送手段３２と、基準面２５上において第１の方向線５１と直行する第２の方向線５２を中心とする所定の幅を有する帯状の領域４０と第１の基板１１とが重なり得る第１の領域４１及び帯状の領域４０と第２の基板１２とが重なり得る第２の領域４２、の双方の領域に第２の蒸着材料を同時に飛翔させることが可能な第２の蒸着源６２と、第１の蒸着材料を第１の領域４１にのみ飛翔させることが可能な第１の蒸着源６１と、を備えることを特徴とする蒸着装置。 （もっと読む）

【課題】蒸発源群の配置によって、材料放出口の温度制御を容易に行えるようにして、安定した成膜ができるようにすること。
【解決手段】蒸着装置１は、蒸発材料の設定温度が異なる３つ以上の材料放出口８ａ，８ｂ，８ｃを一列に配列された蒸発源群７を複数備え、複数の蒸発源群は、各蒸発源群の隣り合う材料放出口８ｃ（８ａ）の設定温度が同じ設定温度であるように配設され、蒸発源群と被蒸着部材との少なくとも一方が他方に対して移動可能になっている。 （もっと読む）

【課題】膜材料の利用効率を向上させることが可能な蒸着装置、蒸着方法、および有機ＥＬ装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】蒸着装置１００は、膜材料を蒸発させて基板表面に成膜する蒸着装置であって、蒸着槽２０と、蒸着槽２０内に配置され、基板３６を保持する保持部３０と、蒸着槽２０内に保持部３０の基板保持面３４ａに対向して配置され、膜材料を蒸発させる蒸着源４０と、保持部３０を冷却する冷却機構５０と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）