【課題】成膜処理時の成膜状況に応じてシート状基材を温度制御して、薄膜部材の品質をより向上させた薄膜部材の製造装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】成膜ロール６の胴部６０の外周表面６０ａにシート状基材２を密着させた状態で回転搬送させながら、シート状基材２の表面に薄膜を形成してシート状の薄膜部材を製造する薄膜部材の製造装置において、成膜ロール６は、シート状基材２の表面に成膜処理を行う成膜処理部４の対向位置に配設され、胴部６０の表面内側の軸心方向に沿って、かつ胴部６０の円周方向に配設された複数の媒体路６４・６４・・・と、成膜処理部４に対して近い回転位相部分と遠い回転位相部分とで、胴部６０の単位回転位相あたりの媒体路６４・６４・・・への温調媒体の供給量を変更して、前記胴部の外周表面の温度を所定の回転位相ごとに温調する温調機構と、を具備してなる。 （もっと読む）

【課題】光電変換素子の構成膜等の成膜に好ましく適用でき、複数のライン状パターンを有するパターン膜を直接パターン成膜することが可能な成膜方法を提供する。
【解決手段】ライン状パターンの幅に合わせた間隔で配列された複数のワイヤを有するマスクＭを用いて、物理気相成長（ＰＶＤ）法によりパターン成膜を行う。若しくは、１本のワイヤが折り曲げられて形成され、ライン状パターンの幅に合わせた間隔で配列された複数のワイヤ部を有するマスクを用いて、ＰＶＤ法によりパターン成膜を行う。 （もっと読む）

【課題】シートの一方に第１の薄膜を形成した後、他方の面にも第２の薄膜を形成する場合に、５０［ｎｍ］以上の比較的厚い金属薄膜や金属酸化物薄膜であっても高速で熱負けなく、製造できる薄膜付シートの製造装置ならびに薄膜付シートの製造方法の提供。
【解決手段】減圧雰囲気下において、一方の表面に第１の薄膜１３が形成されているシート１を円筒状ロールの表面３に接触させ、前記円筒状ロールの回転運動に伴って搬送されている前記シート上に、蒸発源７から前記シートに向けて金属蒸気１０を飛来させ、前記シート上に連続的に第２の薄膜１４を形成する薄膜付シートの製造方法であって、該円筒状ロールの表面に体積抵抗が１０^８〜１０^１１Ωｃｍの範囲内である絶縁体層２０を被覆したものを用い、前記第１の薄膜が形成されている面と前記円筒状ロールとの間に１００〜４００Ｖの範囲内の電圧を印加して、前記シートの他方の表面に第２の薄膜を形成。 （もっと読む）

【課題】基板フィルムの両面及び片面への蒸着を行なうことができ、装置の大型化及び複雑化を回避できる蒸着装置を提供する。
【解決手段】基板フィルムに蒸着膜を成膜する蒸着装置であって、基板フィルムを送り出すように回転駆動する第１の駆動部と、搬送された基板フィルムを巻き取るように回転駆動する第２の駆動部と、第１駆動部と第２駆動部との間で搬送される基板フィルムの搬送経路に設けられ、基板フィルムの一方の面を周面に支持する複数の成膜ローラと、基板フィルムの成膜ローラに支持された面の反対側の面に蒸着膜を成膜する複数の蒸着部と、第１の駆動部及び第２の駆動部の一方と切り換えられて駆動する第３の駆動部とを備え、第３の駆動部への切り換えの有無によって基板フィルムの両面又は片面に蒸着が行われるように搬送経路が変更される。 （もっと読む）

【課題】酸化ケイ素からなる蒸着用材料において、熱衝撃によるスプラッシュを抑え、かつ蒸発速度が速い蒸着用材料を提供する。
【解決手段】ケイ素粉末、一酸化ケイ素粉末、二酸化ケイ素粉末のうち、１又は２以上の粉末からなるＳｉＯｘ成形体のショアー硬さを１０ＨＳ以上１００ＨＳ以下、酸素原子とケイ素原子の元素比（Ｏ／Ｓｉ比）を１．０３以上１．３０以下にする。特に、ＳｉＯｘ成形体を電子ビーム方式による真空蒸着用材料として用いる場合、少なくとも平面を有することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】マグネトロン方式のスパッタリングによるフィルム基板への成膜時や、プラズマ処理手段によるフィルム表面処理時に発生する熱によって、フィルム基板の変形や皺の発生を抑える。
【解決手段】真空処理装置は真空容器内で、ロール状フィルムを保持したフィルム送出手段からフィルムを送り出し、送り出されたフィルムが、フィルム搬送用ガイドロールを経て、真空処理手段領域において真空処理手段により真空処理が行われ、さらにフィルム搬送用ガイドロールを経て、フィルム巻取手段で巻き取るものであり、真空処理手段領域中を搬送中の該フィルムの真空処理を行うフィルム面の裏面側より冷却されたガスをフィルム基板裏面に吹き付けることができるフィルム冷却機構を具備している。 （もっと読む）

【課題】
密着性とガスバリア性とをバランスよく兼ね備える蒸着用フィルムを提供すること。
【解決手段】
上記課題は、熱可塑性樹脂からなるフィルムの少なくとも片面にウレタン樹脂からなるアンカーコート層を形成してなる蒸着用フィルムであって、前記ポリウレタン樹脂が、イソシアネート基末端ウレタンプレポリマーと鎖伸長剤との反応により得られる水性ポリウレタン樹脂が水分散されてなるポリウレタンディスパージョンであって、 前記イソシアネート基末端ウレタンプレポリマーが、密着性を付与するための密着性ウレタンプレポリマーと、ガスバリア性を付与するためのガスバリア性ウレタンプレポリマーとを含むことを特長とする蒸着用フィルムによって達成することができる。 （もっと読む）

【課題】蒸着材料の蒸発量の安定化を図ることにより、蒸着フィルムの収率及び生産性を向上させること。
【解決手段】蒸着材料温度測定手段２２は、蒸着材料移動台１８１の内部に埋設され下部が蒸着材料移動台１８１の下面から露出している複数の金属ビン２２１と、複数の金属ピン２２１の下部に接触するように配置され複数の金属ピン２２１の温度を測定することにより蒸着材料１７の温度を測定する複数の熱電対２２２を具備する。蒸着材料温度測定手段２２は、蒸着材料１７の予備加熱直前における前記蒸着材料の下面の温度を測定し蒸着材料１７への加熱温度分布を測定する。加熱蒸着制御手段２３は、前記加熱温度分布における最大温度と最小温度の差が平均温度から１０％以内で電子ビームによる加熱蒸着を行う。 （もっと読む）

【課題】
フィルムロール状に巻き取った際に、シワやクラックになりにくい金属蒸着ポリエステルフィルムを提供する。
【解決手段】
ポリエステルフィルム層（Ｆ層）の少なくとも片面に金属酸化物を含む層（Ｍ層）を設けた金属蒸着ポリエステルフィルムであって、Ｍ層の光学濃度ＯＤが０．７〜８．０であり、幅方向の蒸着厚みムラが２０％以下である金属蒸着ポリエステルフィルムとする。 （もっと読む）

【課題】真空成膜法によりコーティング膜上に無機膜を形成するときに、無機膜の割れ／抜け等の欠陥が発生するのを抑制でき、さらに生産性の高い機能性フィルム及びその製造方法を提供する。
【解決手段】コーティング膜１２を塗布・乾燥し硬膜した後に、コーティング膜層表面にラミネートフィルム８２を挟みながら巻き取りフィルムロール４２とし、このフィルムロール４２を真空成膜装置２２にセットして、無機膜の製膜前にラミネートフィルム８２を剥離する。 （もっと読む）

【課題】フィルム基材の帯電現象による問題を回避しながら、電子ビーム加熱による蒸発物質の蒸着を可能にし、巻取り走行されるフィルム基材に損傷のないバリア性薄膜を安定に成膜できるようにした巻取り式蒸着装置及び巻取り式蒸着方法並びにバリアフィルムを提供する。
【解決手段】電子ビーム１９により加熱されて蒸発する蒸発物質を、巻取り走行されるフィルム基材１２に蒸着してガスバリア性の薄膜を形成する巻取り蒸着装置において、表面にガスバリア性薄膜を蒸着させたフィルム基材１２を、成膜ロール１５から剥離直前に加熱する加熱手段と、成膜ロール１５に正の電位を印加して、巻出し・巻取り室２０内でフィルム基材１２が成膜ロール１５から剥離された後の、フィルム基材１２と成膜ロール１５との間にプラズマ２７を発生させる電位印加手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】集電箔上にＷ／Ｃ傾斜被膜を形成することにより高耐食性及び高導電性を両立した非水電解液二次電池用集電体の製造方法及びこの製造方法により製造される集電体を提供する。
【解決手段】非水電解液二次電池の集電体となる集電箔２にスパッタリングによって被膜を形成する非水電解液二次電池用集電体の製造方法であって、前記集電箔２に近いほうにタングステンの比率が多く、前記集電箔２から離れるにしたがって徐々に炭素の比率が高くなるＷ／Ｃ傾斜被膜１０を集電箔２上に形成する。 （もっと読む）

【課題】他の部材に接着させて使用される蒸着フィルムをより早くまた生産性の高い製造方法を提供する。
【解決手段】蒸着層２の上に形成された接着層３によって、他の部材と接着させて使用される蒸着フィルム４の製造方法であって、フィルム状の基材１を巻出部１１から巻取部５１まで搬送する基材搬送手段と、巻出部から巻取部の間に設けられた真空蒸着室２１と、真空蒸着室と巻取部の間に設けられたロールコータ３１とを少なくとも有する装置１０を使用し、基材搬送手段によってフィルム状の基材１を真空蒸着室に連続的に導入しつつ、真空蒸着室において、導入されたフィルム状の基材に対し蒸着層２を蒸着し、さらに基材搬送手段によって真空蒸着室から搬出された蒸着層が蒸着された基材の当該蒸着層の上にロールコータによって接着剤を塗布して接着層３を形成する。 （もっと読む）

【課題】 酸素ガスや水蒸気に対するガスバリア性に優れたガスバリア性被膜と無機酸化物の蒸着膜との反応性を向上させることにより、優れたガスバリア性を有する、透明で柔軟なガスバリア性積層フィルム及びその製造方法の提供。
【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、無機酸化物の蒸着膜を形成し、該蒸着膜の表面に、酸素ガスを含む混合ガスによるグロー放電プラズマ処理を行うことにより、表面自由エネルギーが７０ｄｙｎｅ以上のプラズマ処理面を形成し、該プラズマ処理面に、アルコキシドとポリビニルアルコール系水溶性樹脂の混合溶液から得られるガスバリア性組成物を加熱乾燥処理して、ガスバリア性塗膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】 真空成膜装置によりコーティング膜上に無機膜を成膜する際に、無機膜の割れ／抜け等の欠陥を引き起こすコーティング膜の平滑性悪化を防止する機能性フィルムの製造方法、及び製造装置を提供する。
【解決手段】
コーティング膜成膜装置２０内で、フィルムロール４０から連続的に支持体Ｂを送り出し、支持体Ｂ上にコーティング膜を成膜し、支持体Ｂを大気圧より減圧下でフィルムロール４２に巻き取る。次いで、フィルムロール４２を真空成膜装置２２内に装填し、フィルムロール４２から連続的に支持体Ｂを送り出し、コーティング膜上に無機膜を成膜し、支持体Ｂをフィルムロール４８に巻き取る。 （もっと読む）

【課題】シート表面に比較的厚い金属化合物薄膜であっても高速でかつシート幅方向の膜厚を均一に形成できる金属化合物薄膜付シートの製造装置ならびに金属化合物薄膜付きシートの製造方法を提供する。
【解決手段】シート案内面３の運動に伴ってシートを搬送する搬送手段と、シート案内面上のシートに向かって金属蒸気を飛散させる蒸発源７と、金属蒸気と反応させるためにガスを導入する反応ガス導入手段１５と、金属蒸気がシートに到来する領域を制限するマスク１１ａとを備え、搬送されるシートに連続的に金属化合物薄膜を形成する製造装置であって、蒸発源とシート案内面とを結ぶ直線方向に関し、反応ガス導入手段により導入されたガスと蒸発源から飛来した金属蒸気とが混在する位置に、金属蒸気がシート幅方向の外部に拡散することを防止する拡散防止手段２０を設けてなることを特徴とする金属化合物薄膜付シートの製造装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は基材の両面に加工を行う場合に、電子ペーパーや有機ＥＬなどのＦＰＤ向けとして好適に用いることができる透明なガスバリア性積層フィルムの製造方法を提供すること。
【解決手段】透明なプラスチックフィルムからなる基材層１−１の両面上に、一方の面上にアンカーコート層２−１とガスバリア層３−１を順次積層し、もう一方の面上にアンカーコート層２−２とガスバリア層３−２を順次積層してなるガスバリア性積層フィルムにおいて、前記アンカーコート層を、フラッシュ蒸着法を用いて重合可能なアクリル系のモノマーまたはモノマーとオリゴマーとの混合物を前記基材層上に成膜し、紫外線または電子線を照射して硬化させて形成することを特徴とするガスバリア性積層フィルムの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】成膜ローラ自体の表面に膜が付着しても容易に剥がして除去すること。
【解決手段】リチウムイオン電池用集電体を構成する長尺な基材シート８を成膜ローラ４に接触させながら搬送して基材シート８の表面に成膜する。ここで、成膜ローラ４における基材シート８が接触しない部分の表面温度を、成膜ローラ４における基材シート８が接触する部分の表面温度よりも下げる。また、成膜ローラ４の表面温度を下げた部分に付着した膜は、中性粒子を衝突させることで剥がす。 （もっと読む）

【課題】電子ビームの幾何学的制約によって加熱が不均一になる問題を回避し、蒸発安定化及び蒸着膜の均一化を図ることで、蒸着フィルムの収率及び生産性が向上する巻取式電子ビーム蒸着装置を提供する。
【解決手段】蒸発原料移動台１８の上に設置された昇華性蒸発原料１７の電子ビームによる加熱が不十分な部分と成膜ロール１５との間に電極２２を設置する。加熱が不十分な部分と電極２２との間に正電位の直流のバイアス電圧を印加することで、昇華性蒸発原料１７の幅方向の蒸発速度が均一化する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内に連続してシート基材を供給して、真空成膜を行なうことが可能であり、しかも、繰り出しリールと巻き取りリールを大気圧側（外部）に設置可能であり、真空を破壊せずに連続的に作業ができる真空成膜装置を提供する。
【解決手段】連続的に供給される連続帯状のシート基材１に高真空Ｐ₇ の条件下にて真空成膜を行なう真空チャンバ３と、真空チャンバ３の外部の大気圧Ｐ₀ 側に設置されてシート基材１を繰り出す繰り出しリールＲ₁ と、繰り出しリールＲ₁ と真空チャンバ３の入口側との間に介設されると共に複数段階的に大気圧Ｐ₀ から高真空Ｐ₇ へ順次複数段階的に減圧する段階的減圧手段４と、真空チャンバ３の外部の大気圧Ｐ₀ 側に設置されて成膜後のシート基材１を巻き取る巻き取りリールＲ₂ と、真空チャンバ３の出口側と巻き取りリールＲ₂ との間に介設されると共に複数段階的に高真空Ｐ₇ から大気圧Ｐ₀ へ順次複数段階的に復元する段階的圧力復元手段５と、を備えている。 （もっと読む）