【課題】コンパクトに構成でき膨大なエッチング酸の浪費を防止することができるエッチング酸廃液処理システム及びエッチング酸廃液処理方法及びこれに適用するエッチング酸廃液処理装置を提供する。
【解決手段】フィルタ２にて固形物を除去する固形物除去工程と、陽金属イオン交換樹脂塔３によって金属イオンとして陽金属イオンを除去する陽金属イオン除去工程とをエッチング酸廃液処理循環流路５によって連続して行い、陽金属イオン除去工程よりも上流側で固形物除去工程を行い、さらに陽金属イオン除去工程の後に、エッチング酸廃液処理循環流路５の下流側でキレート形成性繊維又はキレート形成性樹脂によって少なくともＢを除去する陰金属イオン除去工程を行うことによってエッチング酸廃液をエッチング酸廃液処理循環流路５によって連続して循環再利用する。 （もっと読む）

【課題】電気伝導性を有さないセラミックスなどの保護層であっても容易に除去できる保護層の除去方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムを含む消耗部材２から、この消耗部材を保護する保護層６を除去する保護層の除去方法であって、前記保護層は、多孔質な構造の溶射皮膜で形成されており、前記保護層と前記消耗部材との間に介在する、希土類元素（Ｓｃ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｍ及びＴｂを除く）の酸化物により形成された溶解層４を、前記消耗部材を腐食させない濃度に濃度調整された酸性の水溶液で溶解させることにより、前記保護層６を除去する。 （もっと読む）

【課題】銅めっき液に使用可能な銅として回収することができる塩化鉄エッチング廃液からの銅の回収方法を提供する。
【解決手段】所定濃度のアンモニア水溶液に、塩化鉄エッチング廃液から取出された銅を浸漬して、銅アンモニア錯体液を生成し、その後、銅アンモニア錯体液に酸素を作用させて、酸化銅を生成させる。塩化鉄エッチング廃液から取出された銅として、塩化鉄エッチング廃液に鉄材を浸漬することにより、鉄材の表面に析出させた銅、あるいは、塩化鉄エッチング廃液に光触媒を投入し、所定の光を照射することにより、光触媒の表面に析出させた銅を用いる。塩化鉄エッチング廃液に光触媒を投入して分散させ、所定の光を照射することにより、前記光触媒の表面に銅を析出させた後、析出された銅を光触媒の表面から分離して取出す。 （もっと読む）

【課題】この発明は、硫酸を精製分離して再利用可能とすると共に廃液の排出をなくすこと、そして処理効率を向上させることを課題とするものである。
【解決手段】この発明の銅エッチング廃液の処理方法は、硫酸銅、過酸化水素及び硫酸を含む銅エッチング廃液中の過酸化水素を過酸化酸素分離装置１において分解除去した後、圧力透析装置２によって水及び硫酸を精製、分離すると共に硫酸銅を濃縮し、次いで前記濃縮した硫酸銅溶液中の銅イオンを電解採取装置３により金属銅として回収することを特徴とするものである。
前記電解採取において、硫酸銅の濃度は３０〜６０ｇ／Ｌ（リットル）程度が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 産業廃棄物として処分されていた塩化銅含有エッチング廃液や電解銅箔メッキ
浴の廃液などの銅を高濃度で含有する強酸性の廃液を、効率的かつ低いスラッジ発生量で
処理して、酸化銅を沈殿物として回収するための方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 銅含有酸性廃液と酸化剤との混合液をアルカリ剤溶液に注加し、生成する
固形物を取得することを特徴とする銅含有酸性廃液からの銅の回収方法およびこの方法に
使用する銅含有酸性廃液からの銅の回収装置。 （もっと読む）

【課題】塩化第一鉄含有鉄塩酸処理廃液から酸化鉄と塩酸を回収する方法を提供する。
【解決手段】塩化第一鉄を含有する鉄塩酸処理廃液を濃縮器に供給し、減圧下に脱水して塩化第一鉄の濃度を４０重量％以上に濃縮する濃縮工程と；該濃縮工程から得られる濃縮液を酸化器に供給し、含有する塩化第一鉄を塩化第二鉄に酸化して塩化第二鉄含有液を得る酸化工程と；該酸化工程から得られる塩化第二鉄含有液を加水分解器に供給し、塩化第二鉄濃度を６５重量％以上に維持し、かつ温度１５５〜３５０℃で加水分解し、塩化水素含有蒸気と酸化第二鉄含有液と生成する加水分解工程と；該加水分解工程で得られた塩化水素含有蒸気を凝縮器により凝縮させて濃度１５重量％以上の塩酸を回収し、かつ上記酸化第二鉄含有液から酸化第二鉄を分離回収する分離回収工程と；を有することを特徴する鉄塩酸処理廃液の処理方法。 （もっと読む）

【課題】この発明は、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３)の析出並びにＮａＣＯ_３及び重金属の蓄積を回避しつつ小型な装置でアルカリを回収すること、更に加水分解防止剤が添加されたアルカリエッチング液においてもアルカリの回収を可能とすることを課題とするものである。
【解決手段】この発明は、アルミニウムのアルカリエッチング液を電解槽１に導き、イオン交換膜電解透析法により遊離アルカリの一部を分離する第一工程と、遊離アルカリの一部が分離されたアルカリエッチング液を分解槽４において加水分解してＮａＯＨとＡｌ（ＯＨ）_３とに分離してアルカリを回収する第二工程とで構成する。
第一工程において、遊離アルカリの一部を分離することにより、遊離アルカリ濃度とアルカリ金属以外の金属濃度との重量比を１以下とすること、加水分解において、種結晶を添加することが好ましい。 （もっと読む）

【課題】複数の金属イオンを含むリン酸水溶液から簡便に金属イオンを除去して精製リン酸を得る方法及び装置の提供、更には、金属エッチング工程で排出される高濃度のリン酸を含む混酸水溶液廃液に応用することにより、回収した精製リン酸を再利用するシステムの提供。
【解決手段】〔１〕複数の金属イオンを含むリン酸水溶液に無機塩水溶液を混合し、次いでリン酸に可溶でかつ無機塩を溶解しない有機溶媒（以下、貧溶媒という）を加えて混合することにより無機塩の結晶を析出させると同時に、前記金属イオンを共沈させた後、該金属イオンを含む無機塩の結晶を濾過して固液分離する工程、〔２〕濾過した濾液中の貧溶媒及び水を蒸発させる工程、を含むことを特徴とする精製リン酸を得る方法。 （もっと読む）

【課題】 銅系の基体の表面上に設けられたスズ表面層を簡易に剥離することができるスズ表面層の剥離に係るスズ表面層の剥離方法、スズ表面層の剥離液、スズ表面層の剥離システムを提供する。
【解決手段】 スズ表面層の剥離方法は、銅を含有する基体にスズを含むスズ表面層が形成されている基材を前処理液に浸漬する工程（Ａ）と、工程（Ａ）の後に、基材を剥離液に浸漬し、スズ表面層を剥離する工程（Ｂ）と、を含む。前処理液は、強塩基溶液である。剥離液は、硫酸または硝酸の少なくとも一方と、銅イオンとが含まれている水溶液である。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成と操作により、高濃度の液状で運搬可能であり、回収物として有用な高純度のリン酸を、リン酸イオン含有水から低コストで、かつ効率よく回収できるリン酸を回収する方法および装置を提案する。
【解決の手段】リン酸イオン含有水をカチオン交換後、アニオン交換樹脂３ａに接触させてリン酸イオンを吸着させ、リン酸イオンを吸着したアニオン交換樹脂３ａをアルカリで再生してリン酸塩を溶離させ、溶離したリン酸塩溶液を電解装置７で電解して、陽極１１側からリン酸を回収するとともに、陰極１２側からアルカリを回収してリン酸塩溶離工程へ循環し、リン酸を回収する。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコンの清浄化のために消費された、ＨＦ、ＨＮＯ₃、Ｈ₂ＳｉＦ₆及びＨＮＯ₂を含有する水性のエッチング混合物から簡単に廉価に酸回収する。
【解決手段】消費されたエッチング混合物を、段階的に蒸留するにあたり、第一の留分において、約２０〜５０質量％の消費されたエッチング混合物を希酸として留去し、その際、該希酸は、ヘキサフルオロケイ酸として溶解されたケイ素９０質量％より多くを含有し、かつ消費されたエッチング混合物中の含水率は、約１０〜３０質量％だけ低下し、そしてこの水が少ない混合物を、消費された水性エッチング混合物の出発量の約１〜５質量％の残留物を残して蒸発させ、そしてここで留去された第二の留分を、１つの容器中に受容し、そして引き続き残留物を廃棄処理する。 （もっと読む）

【課題】アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３)の析出を回避し、ＮａＣＯ_３及び重金属の蓄積を回避しつつ、小型な装置で、アルミニウムのアルカリエッチング液に含まれるアルカリを回収する方法を提供する。
【解決手段】第一工程としてアルミニウムのアルカリエッチング液を第一電解槽に導き、イオン交換膜を通してＮａ^＋を陰極側に分離し、前記Ｎａ^＋を陰極反応で生成されるＯＨ⁻と結合させてＮａＯＨを得る。次いで第二工程として、前記第一工程における陽極側の液を中和槽６に供給し、併せて第二電解槽９の陽極液を前記中和槽に供給して中和槽において第一電解槽の陽極液中のＡｌＯ_２⁻イオンを前記第二電解槽の陽極反応で生成されるＨ^＋イオンで中和してＡｌ_３＋イオンをＡｌ（ＯＨ）_３として分離した後、この液を第二電解槽に導き、イオン交換膜を通してＮａ＋を陰極側に分離し、前記Ｎａ＋を陰極反応で生成されるＯＨ⁻と結合させてＮａＯＨを得る。 （もっと読む）

【課題】エッチング液中の重金属類や水酸化アルミ等を物理的処理をすることなく除去し、エッチング液の組成を変化させずリサイクルを可能としたエッチング液のリサイクル方法及びその装置の提供。
【解決手段】リサイクル装置は、重金属やアルミニウム等をエッチング処理する高アルカリ性溶液Ｗを収容したエッチング液槽１と、エッチング液槽１に配管２を介して接続した少なくとも一槽以上の沈殿槽３と、沈殿槽３の下層部分３ａに排水配管４を介して接続した沈殿物Ｇの中和処理工程５及び沈殿物除去工程６と、沈殿物Ｇの廃棄工程７及び廃液排水処理工程８と、沈殿槽３の上層部３ｂより上澄みエッチング液Ｗｘを循環配管９を介してエッチング液槽１に戻す循環処理工程１０とで構成される。上澄みエッチング液Ｗｘの循環処理工程１０とエッチング液槽１とを結ぶ循環配管１１には、新たなエッチング液を補給するエッチング液供給工程１２が接続される。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工場などにおける金属エッチング工程などから発生する金属イオン含有混酸廃液のような金属イオンを含有する混酸水溶液から、金属イオンを分離するとともにリン酸を高い収率で回収するにあたり、従来技術では膜処理またはイオン交換処理を行なうのが常識であったが、本発明では発想を全く変えて蒸留、抽出手段を用いた回収方法および装置の提供。
【解決手段】 金属イオン、リン酸およびリン酸以外の少なくとも１種の酸を含む金属イオン含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法において、（ｉ）前記混酸水溶液を蒸留することによりリン酸以外の酸と水（金属イオンを含まない）を留出させ、（ii）リン酸および水（金属イオンを含む）を含有する残液から金属イオンが抽出できる条件で金属イオンを抽出させ、リン酸は下層として、金属イオンは上層として、それぞれ分離することを特徴とする金属イオン含有混酸水溶液からリン酸を回収する方法および装置。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工場などにおける金属エッチング工程などから発生する金属含有酸廃液から、金属を分離するとともに酸を高い収率で回収する。
【解決手段】 （Ａ）拡散透析層で仕切られた拡散透析室１ （Ｂ）金属含有酸廃液を拡散透析層により隔てられた一方の側の拡散透析室に送るための供給手段３（Ｃ）拡散透析層により隔てられた他方の側の拡散透析室に水を補充するための水補充手段５（Ｄ）拡散透析室で処理された金属含有酸廃液を透析残液濃縮用蒸留塔に送るための供給手段７（Ｅ）拡散透析室における水を補充する側の底部から再生酸含有溶液を回収する手段１１（Ｆ）透析残液濃縮用蒸留塔８（Ｇ）前記透析残液濃縮用蒸留塔から得られた蒸留水を水補充手段に供給するための供給手段９（Ｈ）前記透析残液濃縮用蒸留塔の底部から濃縮された金属を含む金属含有酸廃液を回収する手段１０よりなることを特徴とする金属含有酸廃液の再生装置。 （もっと読む）