【課題】Ｓｎイオンを含有する廃液から、短時間で効率良くＳｎイオンを酸化物として沈殿させて分離除去する廃液の再生処理方法を提供する。
【解決手段】Ｓｎイオンを含有する廃液を７０℃以上に加熱し、且つ、廃液にエアレーションを行うとともに、機械攪拌を行い、ＳｎイオンをＳｎ酸化物として沈殿させ、Ｓｎ酸化物を分離除去する。薬品を添加することなく、短時間で効率良くＳｎイオンを酸化物として沈殿させて分離除去することができる。 （もっと読む）

【課題】液晶基板等をエッチング又は酸洗した塩化鉄系廃液の処理を行うに際し、これまで着目されていなかった硝酸を含有する塩化鉄系廃液を処理対象とし、当該塩化鉄系廃液からインジウムを金属単体又は合金として効果的に回収することが可能な塩化鉄系廃液の処理方法を提供する。
【解決手段】少なくともインジウム及び塩化第二鉄を含有する塩化鉄系廃液の処理方法であって、塩化鉄系廃液は硝酸を含有するものであり、塩化鉄系廃液に塩酸及び鉄を添加することにより、硝酸を還元除去するとともに、塩化第二鉄を塩化第一鉄に還元する還元工程と、還元された塩化鉄系廃液からインジウムを金属単体又は合金として回収する回収工程と、を包含する。 （もっと読む）

【課題】高価で寿命の短い剥離液を使用せず、剥離後のエッチングもすることなく、連続して効率良く、ニッケルめっきが施された銅又は銅合金屑からニッケルを剥離し、ニッケルめっきが剥離された銅又は銅合金屑を銅又は銅合金の製造用原料として使用する。
【解決手段】電解反応を起すアノードとカソードを含有する硫酸鉄溶液が入った処理槽中に、表面にニッケルめっきが施された銅又は銅合金屑を浸漬し、２Ｆｅ^３＋＋Ｎｉ→２Ｆｅ^２＋＋Ｎｉ^２＋なる化学反応によりニッケルめっきを剥離すると共に、Ｆｅ^２＋→Ｆｅ^３＋＋ｅ⁻なる電解反応にて、消費されたＦｅ^３＋を再生することにより、連続的にニッケルめっきを剥離し、銅又は銅合金の製造用原料として使用する。硫酸濃度５０〜６００ｇ／ｌ、Ｆｅ濃度１〜５０ｇ／ｌの剥離液を用い、電解再生時のカソード電流が５〜１００Ａ／ｄｍ^２、アノード電流が０．０１〜１０Ａ／ｄｍ^２である時に顕著に効果を発揮する。 （もっと読む）

【課題】塩化鉄系廃液を再生するに際し、これまで着目されていなかった当該塩化鉄系廃液に含まれる鉛を効果的に除去することが可能な塩化鉄系廃液の再生方法、及び塩化鉄系廃液の再生装置を提供する。
【解決手段】電解膜１を介して陰極２を配置した陰極室３と陽極４を配置した陽極室５とに仕切られた電解槽１０を用いて行う塩化鉄系廃液の再生方法であって、陰極室３と別に設けた液回収槽２０との間で鉛を含有する塩化鉄系廃液を循環させる循環工程と、陰極室３において、１．１１Ａ／ｄｍ^２以下の電流密度で塩化鉄系廃液を電解処理して鉛を析出させる電解工程と、陰極室３に析出した鉛を除去する鉛除去工程と、鉛を除去して得られた再生塩化鉄液を、液回収槽２０又は陰極室３から回収する回収工程とを包含する塩化鉄系廃液の再生方法を実行する。 （もっと読む）

【課題】処理後のエッチング廃液を電気めっき工程に再投入し、廃液を元から減少して最も環境にやさしい循環再生方式を実現した、製造プロセスにおける銅資源の循環再生方法の提供。
【解決手段】本発明の製造プロセスにおける銅資源の循環再生方法は、エッチング工程で銅を含む酸性エッチング廃液を発生するとき、主にアルカリ性溶液を利用して銅を含む酸性エッチング廃液を処理し、電気めっき用の銅を含むめっき溶液を形成し、且つ銅めっき工程に再度投入する。本発明の方法はエッチング廃液から金属銅を還元しないため、容易に薬品を汚染する抽出溶液や高価なイオン選択膜を使用する必要も、高温溶銅と非常に電力を消費する純化を用いる必要もない。当然、外部に処理を委託する必要もなく、汚染物質の運送過程において問題が発生することもない。 （もっと読む）

【課題】この発明は、硫酸を精製分離して再利用可能とすると共に廃液の排出をなくすこと、そして処理効率を向上させることを課題とするものである。
【解決手段】この発明の銅エッチング廃液の処理方法は、硫酸銅、過酸化水素及び硫酸を含む銅エッチング廃液中の過酸化水素を過酸化酸素分離装置１において分解除去した後、圧力透析装置２によって水及び硫酸を精製、分離すると共に硫酸銅を濃縮し、次いで前記濃縮した硫酸銅溶液中の銅イオンを電解採取装置３により金属銅として回収することを特徴とするものである。
前記電解採取において、硫酸銅の濃度は３０〜６０ｇ／Ｌ（リットル）程度が好ましい。 （もっと読む）

【課題】金属めっきがなされた廃プラスチックを資源としても利用できるほか、更には、エッチング廃液に含まれる金属の回収も可能な廃プラスチック及びエッチング廃液の再資源化方法を提供する。
【解決手段】表面にクロム、銅、及びニッケルのいずれか１又は２以上を有する金属めっきがなされた廃プラスチックを、塩化第二鉄を含むエッチング廃液に浸漬して、廃プラスチックから金属めっきを除去する工程Ａと、金属めっきを除去した廃プラスチックを洗浄して、廃プラスチックを回収する工程Ｂと、金属めっきの成分を含むエッチング廃液を化学反応させて、含まれる鉄以外の金属成分を個別に回収する工程Ｃと、金属成分が除去されたエッチング廃液を酸化して、エッチング新液を製造する工程Ｄとを有する。 （もっと読む）

【課題】シュウ酸エッチング廃液から、インジウムを有利に且つ効率的に回収する方法を提供すること。
【解決手段】インジウムを含有するシュウ酸エッチング廃液を、官能基として１級アミノ基及び／又は２級アミノ基を有する弱塩基性陰イオン交換樹脂に接触処理せしめることにより、かかるシュウ酸エッチング廃液中のインジウムを、かかる陰イオン交換樹脂に物理的に吸着させて、シュウ酸エッチング廃液中から回収するようにした。 （もっと読む）

【課題】シュウ酸エッチング廃液から、インジウムを有利に且つ効率的に回収する方法を提供すること。
【解決手段】インジウムを含有するシュウ酸エッチング廃液を、官能基としてポリアミン基又はアミドオキシム基を有するキレート樹脂に接触処理せしめて、かかるキレート樹脂の官能基に対して、シュウ酸エッチング廃液中のインジウムを、キレート結合させることにより、インジウムをキレート樹脂に吸着させて、シュウ酸エッチング廃液中から回収するようにした。 （もっと読む）

【課題】過酸化水素の分解速度を制御しながら安全に分解し、貴重な銅をきわめて効率よく高純度の金属として有効的に回収することができる設備を提供する。
【解決手段】過酸化水素を含む銅エッチング廃液を、排ガス処理設備を有する過酸化水素電解処理槽４に送液し、銅エッチング廃液中の過酸化水素を制御しながら緩やかに分解させ、所望の過酸化水素濃度にした後、該廃液を銅回収槽９に移送し、電気分解により高純度の銅金属として回収する。 （もっと読む）

【課題】使用時に反応エリア内で鉄粉外層に形成される銅がまた廃液に酸化される現象の発生を減少し、銅の回収率を向上することができる、銅イオンと第一鉄イオンを含む廃液の処理に用いる廃液処理方法の提供。
【解決手段】本発明の銅イオンと第一鉄イオンを含む廃液の処理に用いる廃液処理方法は、保護性陰極を設けた出力端と、相対陽極を設けた投入端を含むメインリアクターに前記廃液を提供する、実質上還元態の鉄粉を前記メインリアクターと前記廃液に提供し、反応させて銅粒子を発生させる、及び前記銅粒子と反応を経た後の前記廃液を分離する、という手順を含む。このほか、本発明は塩化鉄系廃液の処理方法、塩化鉄系廃液処理装置及び塩化鉄系廃液処理システムも提供する。 （もっと読む）

【課題】より低コストで且つより効率的に、リン酸を含むエッチング廃液中のＭｏ成分及びＡｌ成分を除去して再生するエッチング廃液再生装置などを提供する。
【解決手段】エッチング廃液再生装置１は、エッチング廃液を貯留する廃液貯留槽４と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液をそのｐＨが０〜１．０となるように希釈する希釈部５と、リン酸基がＨ型であるアミノリン酸型キレート樹脂が装填された吸着塔１４，１５と、廃液貯留槽４内のエッチング廃液を吸着塔１４，１５に供給する廃液供給部８と、吸着塔１４，１５から流出する希釈エッチング廃液から水分を除去して濃縮する濃縮部２０とを備える。 （もっと読む）

エッチングおよび回収の方法が記載される、ここでは、銅製の物品は、Ｃｕ^０からＣｕ^＋に酸化するためのＣｕ^２＋、塩素イオン、Ｃｕ^＋をＣｕ^２＋に酸化する酸化剤、およびｐＨを調節する塩酸を含有するエッチング化学薬液の酸水溶液でエッチングされる。解決されるべき技術的問題は、プロセス間で閉回路が維持される様式において、使用済みエッチング溶液の回収の間、エッチングプロセスと回収プロセスとの間でエッチング溶液を循環することを可能にすることである。このことは、使用済みエッチング溶液よりも低い量のＣｕ^２＋を含有する再生エッチング溶液が生成されること、および回収プロセスが、回収されたエッチング溶液が、Ｃｕ^２＋が有機抽出溶液中で抽出され得る銅錯体を形成する錯体形成化合物の有機抽出溶液と混合される、抽出工程を有することにおいて達成され、その後２つの混合された液体は、当該銅錯体を含有する有機抽出溶液と、再生エッチング溶液とを得るために再度分離される。方法は、１．５を上回るｐＨおよび高い銅含有量を有するエッチング溶液を用いて行われる。 （もっと読む）

【課題】基板処理用の処理液に含まれる金属成分を低コストで効率的に除去してこの処理液を再生することができる処理液再生方法などを提供する。
【解決手段】基板処理を行う処理エリアにおいて、金属イオンを吸着する吸着材が内部に充填された可搬容器１内に処理液を通液させ、この処理液中の金属成分を吸着材に吸着させて分離，除去する処理液再生工程と、処理液を通液させた可搬容器１を、処理エリアから離隔したエリアであって吸着材を再生する吸着材再生エリアに搬送する第１搬送工程と、吸着材再生エリアにおいて、処理エリアから搬送した可搬容器１内に溶離液を通液させ、吸着材に吸着された金属を溶離させてこの吸着材を再生する吸着材再生工程と、吸着材を再生した可搬容器１を吸着材再生エリアから処理エリアに回送する第２搬送工程とからなり、処理液再生工程では、吸着材再生後の可搬容器１を使用する。 （もっと読む）

【課題】処理液の取り替えサイクルを長くしたり、基板処理効率の低下を防止したり、基板処理コストを抑えることができる基板処理装置などを提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、貯留槽１１と基板処理機構１２と間で処理液を循環させる第１処理液循環機構２０と、基板処理機構１２における基板処理によって処理液中に含まれるようになった金属イオンを吸着する２つの吸着塔３２，３３と、貯留槽１１内の処理液を吸着塔３２，３３のいずれか一方に選択的に供給して循環させる第２処理液循環機構３４と、処理液の供給される吸着塔３２，３３が所定時間間隔で交互に切り換わるように第２処理液循環機構３４の作動を制御する制御装置２８とを備える。 （もっと読む）

【課題】透明液体中の微粒子等によるレーザ光の減衰を防止し、レーザ光の処理能力の低下を防止することのできるレーザ表面改質装置を提供する。
【解決手段】パルスレーザ光１をレーザ光の波長に対して透明な液体６で覆われた被照射材料３の表面に照射してアブレーションによりこの被照射材料３の表面層の改質を行うレーザ表面改質装置において、パルスレーザ光を発生させるレーザ発振器１２と、液体６が貯溜される貯蔵タンク１４と、液体６が液体供給配管９を経由して移送される液体移送ポンプ１５と、液体供給配管９に介在し液体６より粒子７を除去するろ過器１６と、ろ過器１６により粒子７が除去された液体６をレーザ発振器１２より伝達されたパルスレーザ光１と同軸に被照射材料３に噴射するレーザ照射装置１０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】シュウ酸とＩｎを含むシュウ酸エッチング液中に含有されている不溶性のＩｎ化合物を捕捉するフィルターから、その不溶性のＩｎ化合物を除去するとともに、そのＩｎ、Ｉｎ合金、Ｉｎ化合物等を回収する方法と装置に関し、Ｉｎとともにシュウ酸イオンが含まれているシュウ酸エッチング液を循環させる流路内に配置されるフィルターで捕捉される不溶性Ｉｎ化合物を好適に除去することができるとともに、そのフィルターを再生することもでき、しかもＩｎ、Ｉｎ合金、Ｉｎ化合物等を有価物として好適に回収することができる回収方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】シュウ酸とＩｎとを含有するシュウ酸エッチング液中の不溶性Ｉｎ化合物を捕捉したフィルターから、無機酸によって前記不溶性Ｉｎ化合物を溶解させて除去し、無機酸に溶解したＩｎ若しくはＩｎ合金、又はＩｎ化合物を回収することである。 （もっと読む）

【課題】塩化第二鉄エッチング廃液から、有価物であるＩｎを合金或いは金属単体等として回収する方法と装置に関し、水酸化インジウムの状態で回収する必要がなく、或いは他の金属との合金として回収する場合に、合金中のＩｎの濃度が低くなることがなく、高濃度Ｉｎとして回収することができ、しかも、処理後に塩化第二鉄を水処理用凝集剤として再利用する場合にも、不都合を生じさせることのないＩｎの回収方法と装置を提供することを課題とする。
【解決手段】Ｉｎ含有塩化第二鉄エッチング廃液のｐＨが０〜４の範囲内となるように、該Ｉｎ含有塩化第二鉄エッチング廃液に鉄からなるｐＨ調整用金属を溶解させ、且つ水を添加し、次に、アルミニウムからなる析出用金属を添加して、アルミニウムとインジウムとのイオン化傾向の差異により、前記Ｉｎ含有塩化第二鉄エッチング廃液中に含有されるＩｎを前記析出用金属の表面に析出させることによってＩｎを回収することである。 （もっと読む）

銅または銅合金をエッチングまたはピクリングする際に用いられる鉄含有エッチング液を再生するための方法およびその方法を実施するための装置について述べる。
前記方法は、エッチングシステムからエッチング液を、密閉されているかまたはアノードフード（８）を有する電解セルへと移す工程、カソード（１）、不活性アノード（２）からなる電解セル、電解により析出した銅を前記カソードから取り除くための手段（３）および取り除かれた銅を回収し前記取り除かれた銅に電位を印加するための手段（４）とを含んでなり、前記電解セルは、イオン交換膜もしくは隔膜を備えていない。
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