【課題】固体撮像装置の光感度の低下を抑制する。
【解決手段】入射光を電気信号に変換する光電変換部を有する画素２と、画素２に対応して形成されたカラーフィルタ１５と、カラーフィルタ１５を介して入射光を光電変換部ＰＤに集光するマイクロレンズ１６と、を含む複数の画素領域と、マイクロレンズ１６側の第１の端面と該第１の端面と対向する第２の端面とを有し、前記画素領域の辺部に形成された第１遮光部１７と、マイクロレンズ１６側の第１の端面と該第１の端面と対向する第２の端面とを有し、画素２の表面から第１の端面までの距離が、第１遮光部１７より短く、画素領域の角部に形成された第２遮光部１８と、を備える固体撮像装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図ることができる。
【解決手段】シリコンウェハ３１の上面側の内部にメタルパッド３２が形成され、シリコンウェハ３１の上面にガラスシール材３３が積層され、メタルパッド３２がシリコンウェハ３１の上面に露出するようにシリコンウェハ３１およびガラスシール材３３に加工された開口部にストッパ層３４が形成される。そして、シリコンウェハ３１の下面からストッパ層３４まで開口するように縦孔３５が形成され、縦孔３５の先端部においてストッパ層３４を介してメタルパッド３２に電気的に接続され、シリコンウェハ３１の下面まで延在するようにメタルシード層３７が形成される。本発明は、例えば、固体撮像装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】 撮影画質を低下させることなく、高速な焦点調節を行うこと。
【解決手段】 撮像素子の出力に応じた被写体像のコントラストに基づき、撮像光学系のフォーカシングレンズ群を光軸方向に移動させて焦点調節を行うフォーカシング手段を備えた撮像装置において、撮像素子は、各画素に対応する複数のマイクロレンズを有し、これらマイクロレンズの各位置をそれぞれ光軸方向に異ならせて設け、光軸方向の異なる各位置に複数の結像面を形成し、フォーカシング手段は、撮像素子の複数の結像面に対応する各電気信号に基づいてコントラスト値の高くなるフォーカシングレンズ群の移動方向を判定する。 （もっと読む）

【課題】感度の向上および隣接セル間での混色の抑制が可能な固体撮像装置を提供することを目的とする。
【解決手段】固体撮像装置は、半導体基板１と、半導体基板１に形成され光を信号電荷に変換する受光部２と、受光部２の上方に対応する部位に形成された開口６ａを除き、半導体基板１の上側を覆う遮光層６と、遮光層６を覆い且つ開口６ａを閉塞する形で形成された光透過層８ａと、光透過層８ａの上方に設けられ、入射光Ｉｎ１を受光部２に集光するマイクロレンズ９ｃとを備える。そして、光透過層８ａは、空気に対する屈折率差が酸化シリコンの空気に対する屈折率差よりも大きい透光性材料からなり、光透過層８ａには、少なくとも遮光層６の開口６ａの外周部の上方に対応する部位に厚み方向に貫通するエアギャップＧ１が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】複数の層間膜からなる積層構造体中に光導波路を有する固体撮像装置であって、集光効率を改善することができる固体撮像装置を提供する。
【解決手段】基板上に形成された光電変換を行う受光部１と、受光部１上に形成され、配線層（第１Ｃｕ配線９、第２Ｃｕ配線１２）を含む複数の膜からなる積層構造体と、積層構造体における受光部１に対応する位置に形成された導波路孔１４ａの側壁を覆うサイドウォール膜１６と、サイドウォール膜１６で囲まれた空間に光透過性材料が埋め込まれて形成された光導波路１４とを備え、光の入射方向から見た光導波路１４の平面形状の大きさが当該光の入射側の面から受光部１側に向けて小さくなる順テーパー形状となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、固体撮像装置とその製造方法に関する。
【解決手段】第１受光部及び第２受光部が形成された半導体基板と、半導体基板上に積層され、第１受光部上の領域に第１開口部を有し、第２受光部上の領域に第２開口部を有する平坦化膜と、第１開口部に一部が埋め込まれると共に第１開口部から残りの一部が突出し、突出部上面がレンズ状であり、平坦化膜よりも高い屈折率の第１カラーフィルターと、第２開口部に一部が埋め込まれると共に第２開口部から残りの一部が突出し、突出部上面がレンズ状であり、平坦化膜よりも高い屈折率の第２カラーフィルターとを備え、第１カラーフィルターの突出部と第２カラーフィルターの突出部とは離間しており、カラーフィルターの離間領域には、第１カラーフィルターと第２カラーフィルターとのどちらとも異なる屈折率の物質が存在することを特徴とする固体撮像装置。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイの下面から受光部までの厚さを小さくして、クロストーク発生や感度低下を防止した固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】平坦化層上に緑色フィルタ用の感光性材料を塗布し、角部を切り欠いた矩形のパターンを有する緑色フィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像して、非孤立的な矩形の緑色フィルタを形成する工程と、赤色フィルタ用の感光性材料を塗布し、角部にサブパターンをもつ矩形のパターンを有する赤色フィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像して、孤立的な矩形の赤色フィルタを形成する工程と、角部にサブパターンをもつ矩形のパターンを有する青色フィルタ用の感光性材料を塗布し、青色フィルタ用フォトマスクを用いて露光、現像して、孤立的な矩形の青色フィルタを形成する工程と、によりカラーフィルタを形成する。 （もっと読む）

【課題】 導波路を有する固体撮像装置において、反射防止膜の光学特性の低下を抑制する。
【解決手段】 半導体基板に配された光電変換部と、光電変換部の上に配された反射防止として機能する第１の絶縁膜と、光電変換部に対応して第１の絶縁膜の上に配された第２の絶縁膜と、第２の絶縁膜の上に底面が配されたコアと、クラッドとを有する導波路と、を有する固体撮像装置の製造方法において、光電変換部の上部に配された部材の一部を異方性のエッチングにて除去し開口を形成することでクラッドを構成する工程と、開口にコアを形成する工程と、を有し、開口を形成する工程において、部材がエッチングされる速度よりも第２の絶縁膜がエッチングされる速度が低い条件で、部材がエッチングされる。 （もっと読む）

【課題】 光利用効率を向上する。
【解決手段】
光路部材２２０は、中心部分２２２と、中心部分２２２と化学量論的組成が同じであり、かつ、中心部分２２２の屈折率よりも高い屈折率を有する周辺部分２２１と、を含んでおり、光電変換部１１０の受光面１１１に平行な第５平面１００５内、および受光面１１１に平行で第５平面１００５よりも受光面１１１に近い第６平面１００６内において、周辺部分２２１が中心部分２２２に連続するとともに中心部分２２２を囲み、かつ、中心部分２２２の屈折率が絶縁膜２００の屈折率よりも高く、第５平面１００５内における周辺部分２２１の厚みＴＨ２よりも、第６平面１００６内における周辺部分２２１の厚みＴＨ４が小さい。 （もっと読む）

【課題】 光を光電変換部に精度よく入射させる。
【解決手段】 複合部材３００は、絶縁膜３１０と、各々が別々の光電変換部３に対応して設けられ、絶縁層３１０に囲まれた、絶縁膜３１０の屈折率よりも高い屈折率を有する複数の高屈折率部材３２０と、複数の高屈折率部材３２０同士を連結するように絶縁膜３１０上に設けられた、絶縁膜３１０の屈折率よりも高い屈折率を有する高屈折率膜３３０とを、少なくとも有しており、複数のレンズ部１１０のうちの、互いに隣り合うレンズ部同士が接している。 （もっと読む）

【課題】 本発明によれば、高い精度で半導体装置を製造することができる。特に画質の高い固体撮像装置を提供及び製造することが可能となる。
【解決手段】 半導体基板１０１の撮像領域１０３及び周辺領域１０４に第１導波路部材１１８と、第１導波路部材１１８を貫通するビアプラグとを有する。 （もっと読む）

【課題】入射光の利用効率を向上する光電変換装置を提供する。
【解決手段】光路部材２２０は、中心部分２２２と、中心部分２２２の屈折率よりも低い屈折率を有する周辺部分２２１と、を含んでおり、光電変換部１１０の受光面１１１に平行な第５平面１００５内、および受光面１１１に平行で第５平面１００５よりも受光面１１１に近い第６平面１００６内において、周辺部分２２１が中心部分２２２に連続して中心部分２２２を囲み、かつ、周辺部分２２１の屈折率が絶縁膜２００の屈折率よりも高く、第５平面１００５内における周辺部分２２１の厚みＴＨ２よりも、第６平面１００６内における周辺部分２２１の厚みＴＨ４が小さい。 （もっと読む）

【課題】 高い画質の画像を撮像可能な光電変換装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る光電変換装置は、光電変換部１０３が配された半導体基板１０１を有する。半導体基板１０１に絶縁体１０４が積層される。絶縁体１０４には光電変換部１０３に対応した穴１０５が配される。穴１０５には導波路部材１０６が配される。導波路部材１０６の半導体基板１０１とは反対側には層内レンズ１０７が配される。導波路部材１０６と層内レンズ１０７との間に、第１中間部材１１０が配される。第１中間部材１１０の屈折率は、層内レンズの屈折率よりも低い。 （もっと読む）

【課題】「混色」の発生などを防止して、撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】第１トレンチＴＲ１と、半導体基板１０１において第１トレンチよりも浅い部分において、第１トレンチＴＲ１よりも幅が広い第２トレンチＴＲ２とを、トレンチＴＲとして形成する。そして、第１トレンチＴＲ１の内部を埋め込むと共に、第２トレンチＴＲ２の内側の面を被覆するようにピニング層３１１を形成する。そして、少なくともピニング層３１１を介して第２トレンチＴＲ２の内部を埋め込むように、遮光層３１３を形成する。 （もっと読む）

【課題】装置の信頼性や、製品の歩留まりなどを向上させる。
【解決手段】パッド電極ＰＡＤのパッド面の上面に設けるパッド開口ＰＫの側部を囲うように第１パッド周辺ガードリングＰＧ１を設ける。ここでは、パッド開口ＰＫの側部において、パッド開口ＰＫと同じ深さまで設けられたトレンチＴＲＰの全体に、金属材料を一体で埋め込むことで、この第１パッド周辺ガードリングＰＧ１を形成する。これにより、パッド開口ＰＫから吸湿した水分が内部へ侵入することを、第１パッド周辺ガードリングＰＧ１が遮断する。 （もっと読む）

【課題】固体撮像装置の画素領域へ到達する不要な光を低減しつつ、固体撮像装置を小型化するための技術を提供することを目的とする。
【解決手段】画素領域を含む主面を有する半導体チップと、画素領域を囲むように半導体チップの主面に配置された凸部と、画素領域を覆う位置に配置された光透過性を有するカバー部材と、半導体チップとカバー部材との間に内部空間が形成されるように画素領域を囲み、カバー部材と凸部とを接着する接着剤とを備える固体撮像装置が提供される。凸部は上面と空間に面した側面である第１側面とを有し、上面と第１側面とによって第１稜線が形成され、接着剤は凸部の上面とカバー部材とを接着し、接着剤は内部空間に面した第１面を有し、第１面は第１稜線からカバー部材へ向かって延び、主面に平行な面における内部空間の外周は、凸部の上面からカバー部材へ向かうにつれて短くなる。 （もっと読む）

【課題】遮光マスクが設けられた透明板と撮像素子基板とを短時間に高い精度で位置合わせし得る撮像素子等を提供する。
【解決手段】複数の画素１４Ｐが２次元状に配列された撮像素子基板３Ｐと、撮像素子基板３Ｐに対して画素位置を合わせて貼設された透明板３７と、を備えた撮像素子３であって、透明板３７上に、第１の瞳領域の光を通過させるための第１の遮光マスク３８Ａと、第２の瞳領域の光を通過させるための第２の遮光マスク３８Ｂと、全遮光マスク３８Ｘと、を設け、第１の画素１４Ｐおよび第１の遮光マスク３８Ａの組が第１の焦点検出画素１３Ａを、第２の画素１４Ｐおよび第２の遮光マスク３８Ｂの組が第２の焦点検出画素１３Ｂを、第３の画素１４Ｐおよび全遮光マスク３８Ｘの組が位置情報画素１５を、それぞれ構成する。 （もっと読む）

【課題】「混色」の発生などを防止して、撮像画像の画像品質を向上させる。
【解決手段】半導体基板１０１において裏面（上面）側に形成されたトレンチＴＲ内に、画素分離部３０１を設ける。ここでは、受光面ＪＳに入射した光を吸収する絶縁材料によって、画素分離部３０１を形成する。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子において、各色のカラーフィルタの特性をその厚さにより調整し、しかも各色に応じてその厚みを調整したカラーフィルタをその表面が平坦になるよう平坦化膜上に配置することができ、これにより、厚みの異なるカラーフィルタ上に平坦化膜を形成する必要がなくなり、感度低下を回避しつつ、カラー表示特性を所望の特性とすることができる。
【解決手段】基板上に配列された複数のカラーフィルタ１１１及び１１２を備えた固体撮像素子１００において、該複数のカラーフィルタ１１１は、それぞれの色に応じた膜厚を有し、該基板上の、該カラーフィルタの下地部分となる平坦化膜１３０は、該配列された複数のカラーフィルタの表面が全面に渡って平坦な面となるよう、その表面に各カラーフィルタの膜厚に応じた段差を形成した構造としている。 （もっと読む）

【課題】撮像素子における位相差検出画素の特性を向上させる。
【解決手段】マイクロレンズ３５１は、被写体からの光を集光する。受光素子３５３は、マイクロレンズ３５１により集光された被写体光を受光することにより位相差検出による合焦判定を行うための信号を生成する。遮光層３８１および３８２は、被写体光の一部を遮光して瞳分割する瞳分割用遮光層３９１と、マイクロレンズとの間に配置され、瞳分割用遮光層３９１へ入射する前記被写体光の一部を遮光する。また、遮光層３８１および３８２による開口部の開口面積は、画像生成画素の開口面積よりも小さい。 （もっと読む）