【課題】
本発明の目的は、薄い隔膜でもガス雰囲気を保持した状態で試料とガスの反応が高分解能で観察可能な電子線装置および電子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】
上記の課題の一つを解決するため、本発明では、鏡体の電子線照射部と試料室および観察室を別個に排気する機能を備えた電子線装置において、試料保持手段に、試料にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離，試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらに、前記試料室内部に、前記隔膜の外側にガスを噴射する機構を備えた。隔膜の外側に噴射するガスは、電子線散乱能が低いガス、例えば水素，酸素，窒素などを用いた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜，酸化膜，窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバー内の真空を実現する方法および設備を提供する。
【解決手段】本発明は、真空チャンバー（４００）内の真空を実現する方法に関する。真空チャンバーは、複数の真空チャンバーによって共有されるポンプシステム（３００）に接続される。方法は、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引することを有している。本発明はさらに、ポンプシステムに接続された複数の真空チャンバーの設備に関する。この設備では、ポンプシステムは、各真空チャンバーを別々にポンプ吸引するように用意される。
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【課題】 厚みや大きさの異なる複数の試料のそれぞれの形状に合わせて用意した複数の試料ホルダを、一つの試料ホルダベース上に同時に固定し、信頼性の高い試料の表面分析を可能にする試料ホルダベースを提供する。
【解決手段】 試料ホルダ１，２が、試料搭載空間をなす試料収納部１１，１６と、試料収納部１１，１６の底部に設けられたホルダ固定用凸部３５，３６とを有する試料ホルダ本体と、ホルダ固定用凸部３５，３６を収納する凹部を上部に有するスペーサ１３，１８、スペーサ１３，１８の上部においてホルダ固定用凸部３５，３６をスペーサ１３，１８に固定するホルダ固定手段（押しネジ）１５，２１、スペーサ１３，１８の下部においてスペーサ１３，１８をスペーサ取付用凹部ｍ_１４，ｍ_２４のいずれかに挿入して固定するスペーサ固定手段（固定ネジ）１４，１９を有するホルダ高さ調整治具とを備える。 （もっと読む）

複数の荷電粒子リソグラフィ装置を具備する構成体であって、各荷電粒子リソグラフィ装置は、真空チャンバ（４００）を有する。この構成体は、複数のリソグラフィ装置にウェーハを運搬するための共通のロボット（３０５）と、夫々の真空チャンバ（４００）の前面に配置された、各荷電粒子リソグラフィ装置のためのウェーハロードユニット（３０３）とをさらに具備する。複数のリソグラフィ装置は、これらリソグラフィ装置の前面が、各装置にウェーハを運搬するための共通のロボット（３０５）の通路を収容している通路（３１０）を面している状態で、列をなして配置され、各リソグラフィ装置の後面は、アクセス通路（３０６）に面し、各真空チャンバの後壁には、夫々のリソグラフィ装置へのアクセスのためのアクセスドアが設けられている。
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【課題】電気的なコンタクトの取りにくい試料を荷電粒子で安定的に観察する。
【解決手段】被測定試料と電気的なコンタクトをとる試料保持パレットと電気的なコンタクトをとらない試料保持パレットとを設け、被測定試料に応じてパレットを選択する。また、真空内での試料の測定電位と、大気中で測定した試料の測定電位をもとにした予測電位との差を電位オフセットとして記憶し、後段の測定にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダを装着可能な電子顕微鏡の使用者の誤操作を低減するとともに、試料の情報の管理を容易にする。
【解決手段】試料ホルダ内にメモリに試料ホルダの情報もしくは載っている試料の情報を格納する。電子顕微鏡に装着された試料ホルダのメモリにアクセスすることにより試料ホルダの情報を電子顕微鏡へ送ることで、使用者は試料ホルダの特性を間違えることなく使用する事ができ、試料の情報を誤って記録する危険性を低減できる。 （もっと読む）

【課題】
電子線を利用して試料を観察する電子線観察装置において、試料表面への炭化水素系分子の堆積量を評価する。
【解決手段】
試料室内の汚染度合を評価するための評価用基板を試料室に出し入れ可能な機構部を設け、電子線を評価用基板上に一点集中照射させることによって形成させた堆積物の形状から汚染度合を推測する。そして、この形状を表すパラメータ（高さ、底面の幅、体積）が所定の範囲を超えたとき、既存のクリーニング方法を併用して試料室内の清浄化を図ることにより、観察用試料のパターン幅を精度良く、安定的に計測可能にする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハーの大口径化、微細化に対応した、小形で、高性能のステージシステムを備えた安価な荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】回転アーム１２は一方端が回転アーム支持軸により支持され、アーム１２の他方端部の下面部を支持する円弧ガイド１３上を旋回する。回転アーム１２の駆動は回転アーム１２の先端に接触している超音波モータ１４で駆動され、回転角度検出器１６のより回転アーム１２の回転角度を検出する。超音波駆動モータ１４はパルス駆動で回転アーム１２を極めて精度良く、ステップ送りすることが可能である。回転アーム１２は回転支持ベアリング１５により支持され回転し、円弧ガイド１３上を他方端が回動することより、剛性を向上させており、上下方向のガタを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】小型で低価格でありながら、検査対象のパターン微細化に対応した検査精度が向上された荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】被検査試料の検査位置（ウェハー座標系）を検査機構の配置位置（ステージ座標系（極座標系））に変換し、回転アーム１０２を回転させると共に、回転ステージ１０３を回転させて、検査機構の配置位置に、被検査試料の検査位置を移動させる。このとき、回転ステージ１０３の中心のずれ量等を算出して、補正することを可能としたので、２軸回転ステージ機構を有する荷電粒子線装置において、検査対象のパターン微細化に対応して、検査精度を向上することができる。また、回転アーム１０２の回転により描かれる回転ステージ１０３の中心の移動軌跡上に、複数の検査装置を配置する構成としたので、小型でありながら、複数種類の検査が可能な荷電粒子線装置を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】真空引きしても、粘着剤層表面に気泡による凹凸が生じにくい電子顕微鏡用導電性両面粘着シートを提供するを提供する。
【解決手段】カーボン粉、銀粉、銅粉又はニッケル粉などからなる導電性フィラーと、アクリル系樹脂、天然ゴム又はスチレン・ブタジエン系樹脂などからなる粘着性樹脂とで形成され、実質的に有機溶媒を含まず、導電性を有する粘着剤層２の両面に、剥離紙又は剥離ライナーなどからなる剥離層３ａ，３ｂを設けることにより、基材を使用しない電子顕微鏡用導電性両面粘着シート１を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は生物試料を含む含水試料の薄膜試料観察システム及び冷却試料ホルダ並びに薄膜試料観察方法に関し、含水試料の薄膜を精度よく作製し、像観察を行なうことができる含水試料の薄膜試料観察システム及び冷却試料ホルダ並びに薄膜試料観察方法を提供することを目的としている。
【解決手段】生物試料に代表される含水試料を冷却凍結状態で薄膜加工するＦＩＢ装置１と、該ＦＩＢ装置１で薄膜加工された試料薄片２０ａを、冷却凍結状態を保ったまま搬送すると、冷却凍結状態を保ったまま前記試料ホルダ１０を用いて搬送されてきた冷却凍結状態の前記試料薄片２０ａのＴＥＭ像又はＳＴＥＭ像を得る試料観察装置とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数の試料、例えば、観察したい試料と、収差補正の標準調整試料を同時に装着し、それぞれの試料を観察できる試料ホルダーにより、大幅な利便を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明の試料ホルダーは、試料ホルダーを駆動するための試料ホルダー駆動機構を有する試料ホルダーであって、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーの略長手方向において前記試料ホルダーを可変可能であることを特徴とする。また、本発明の試料ホルダーの好ましい実施態様において、前記試料ホルダー駆動機構は、前記試料ホルダーとは別個に設置された試料ホルダーの略長手方向の駆動機構とは無関係に、試料ホルダーの保持筒への試料ホルダーの挿入深さを可変することが可能であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
観察試料の周縁部での電界乱れを補正して分解能の低下を防ぐことができる試料保持装置、及び、荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
本発明の実施態様によれば、試料に荷電粒子線を照射し発生する二次信号から画像を生成する荷電粒子線装置に用いられる試料保持装置において、試料が載置される面に設けられた複数の電界補正電極と、荷電粒子線を減速させるリターディング電圧を試料へ印加するリターディング電圧印加用ケーブルとを備え、試料の画像に基づいて電界補正電極へ印加される電圧が調整されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】観察すべき試料の数が非常に多い場合であっても、観察された試料の種類と得られた電子顕微鏡画像との対応関係を容易に取れるようにする。
【解決手段】所定の色の種類ｃ_jを情報の一単位とし、前記所定の色を有するエレメントｅ_kの集合を識別情報として利用する走査型電子顕微鏡用試料の識別子Ｐであって、前記エレメントｅ_kのそれぞれは前記所定の色の種類に対応した所定の二次電子放出強度ｉ_jまたは反射電子放出強度を有する。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、試料検査装置及び試料検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、外部からアクセス可能なように開放された試料保持面３７ａを有する本体部３７と、第１の面３２ａを試料保持面とする膜３２とを備え、該膜３２の第１の面３２ａに配置された試料３８に、該膜３２を介して試料観察又は検査のための一次線７が照射可能であり、該本体部３７における試料保持面３７ａの反対側の面（下面３０５）に、導電性を有する領域（導電膜３０１により覆われた領域）が存在するとともに、光が透過可能な領域３０２が設けられている。ここで、光が透過可能な当該領域３０２は、導電膜３０１により覆われていない。当該領域３０２を利用すれば、光学顕微鏡による試料３８の観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】培養された細胞等からなる試料に散布される薬品の使用量を低減することのできる試料保持体等を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された試料保持面３７ａの少なくとも一部が膜３２と膜３２の周囲のテーパ部３７ｂで構成され、膜３２の試料保持面３２ａにおいて試料３８を培養可能である。テーパ部３７ｂがあるので、使用する試薬の量を少なくすることができる。試料３８には、膜３２を介して、試料観察又は検査のための一次線が照射可能となっている。これにより、細胞等の試料３８を培養させた状態で生きたままでの観察又は検査を良好に行うことができる。特に、一次線として電子線を用いれば、生きた状態での試料のＳＥＭ観察・検査を良好に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】
静電チャック使用時の試料位置決めの機構を単純化しつつ、残留吸着時の試料の離脱を容易にし、且つ試料外周部全域において観察を可能にする。
【解決手段】
試料を保持する試料保持システムであって、試料をその外周部裏面で保持し昇降させる外周部品と、該外周部品を昇降させる駆動部と、試料をその裏面で吸着する静電チャックと、試料が静電チャックに吸着された状態で試料の周辺部の高さとほぼ同じ高さの電界補正部品とを備える。 （もっと読む）

【課題】ミクロンサイズの試料を確実に、素早く、熟練を要さず簡単にハンドリングでき、製造も容易な微細試料ハンドリング装置を提供する。
【解決手段】基部１１から所定の距離をおいて略平行に延びる一対のアーム１２ａ，１２ｂ、及び一対のアームのそれぞれから互いに接近する方向に延びる一対のアーム先端部１３ａ，１３ｂを有する本体部材、形状記憶合金ワイヤを敷設する溝と固定する導電性膜を半導体プロセスによって作製し、形状記憶合金線に通電することにより収縮させて、アーム先端部１３ａ，１３ｂを閉じる。 （もっと読む）

【課題】
試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース，コストダウン，振動抑止と高速化，検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。
【解決手段】
少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。 （もっと読む）

【課題】電子ビーム検査装置において、観察試料の汚染に起因した、形状観察、寸法精度等の観察分解能の低下を防止する。
【解決手段】試料室に置かれた試料に電子銃室の電子銃から電子線を照射し、試料から発生する二次電子および反射電子を検出する電子ビーム検査装置において、試料交換室に酸素の活性種を生成する手段を設け、試料の特定箇所を選択的に酸素の活性種に暴露し、観察試料に残留しているハイドロカーボン系ガスを低減し、その後、試料室に観察試料を導入することによって、汚染影響による観察分解能の低下が少ない形状観察や寸法測定が可能となる。 （もっと読む）