【課題】透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーを提供すること。
【解決手段】本発明は単一の試片または複雑な内部構造を分析するために３方向以上から高い精度の観察が行えるホルダーに係り、試片を支持するクラドルが回転できるだけではなく、前後および左右に移動できるようにして試片の方向を自由に変更して試片を一層正確に３次元的に分析できるようにした透過電子顕微鏡の３次元分析のための３軸駆動が可能な試片ホルダーに関する。 （もっと読む）

【課題】
試料へのダメージが少なく加工効率に優れたイオンミリング装置、更には平面加工および断面加工にも柔軟に対応できる処理能力の高い装置を提供する。
【解決手段】
個別に制御可能な複数のイオン銃3を一つ試料室5に設け、このイオン銃3に対応して複数の試料1を試料ステージ8に設置する。複数のイオン銃3および試料ステージ8は制御装置９によって個別に制御可能であり、複数のイオン銃3を同時に作動させ、試料ステージ8をスイング又は傾斜・回転するすることで、複数の試料を同時に平面加工もしくは断面加工する。 （もっと読む）

【課題】 熱膨張または熱収縮による被搭載物の位置ずれを抑え得るマウント装置を提供する。
【解決手段】 マウント装置は、被搭載物を搭載するための搭載板、搭載板を載置する基台、搭載板と基台との間に配設されて搭載板を支持する第１支持部材、第２支持部材および第３支持部材であって、搭載板の被搭載物を搭載する面に平行で互いに垂直な２方向をＸ方向およびＹ方向と定義するとき、基台に対する搭載板のＸ方向の動きを規制し、Ｙ方向の動きを許容する第１支持部材、基台に対する搭載板のＸ方向の動きとＹ方向の動きとを許容する第２支持部材、および基台に対する搭載板のＸ方向の動きとＹ方向の動きとを許容する第３支持部材、ならびに、搭載板と基台との間に配設されて、基台に対する搭載板のＸ方向の動きとＹ方向の動きとを規制する規制部材を有する。 （もっと読む）

【課題】近年、半導体製造プロセスにおける微細化や高集積化が進み、観察対象箇所が密集している場合が増えている。このような場合に従来のプリチャージに関する技術を用いて観察を行うと、プリチャージによる電子ビームの走査が重複し、試料表面上の帯電電位が絶縁破壊限界電圧を超えてしまい、電子ビームの走査が重複した領域において絶縁破壊が引き起こされる。本発明は絶縁破壊の危険性を低減する欠陥観察方法、及び荷電粒子線装置を提供することを目的とする。
【解決手段】プリチャージに関する技術を用いて試料を観察する場合において、一度の帯電制御処理で複数の画像を撮像する。またプリチャージ走査領域が重複する観察対象箇所を、一度に帯電制御する観察対象箇所ごとのグループにグルーピングし、前記グループごとに帯電制御処理を実行することにより絶縁破壊の危険性を低減する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透過型電子顕微鏡グリッド及びその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡グリッドは、少なくとも一つのスルーホールを有する格子板と、該格子板のスルーホールを被覆して該格子板の一表面に設置した複合構造体と、を含む。前記複合構造体が、少なくとも一つのカーボンナノチューブ構造体及び一つのグラフェンシートからなり、前記カーボンナノチューブ構造体が複数の微孔を有し、前記グラフェンシートが前記カーボンナノチューブ構造体の一表面に設置して前記複数の微孔を被覆し、前記グラフェンシートの一部が該複数の微孔に懸架されている。また、本発明は、前記透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ラメラを作製するための方法およびシステムを開示する。
【解決手段】方法は、マスクおよび試料のアラインメントをマニピュレータによって実行するステップ、マスクと試料との間の空間的関係を変化させることなく、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、試料の第１露出部分を、ラメラの第１側壁が露出するまでミリングするステップ、マスクが試料の第２マスキング部分を遮蔽するように、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、ラメラの第２側壁が露出するまで試料の第２露出部分をイオンミリング装置によってミリングするステップ、ミリング装置によってラメラの両側から物質を除去するステップ；および試料からラメラを切り離すステップを含む。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡画像の観察中においても、試料台と電子顕微鏡レンズとの位置関係を確認可能とする。
【解決手段】電子線撮像手段１１を用いて試料を観察する前に、電子線撮像手段１１を用いて試料の観察を開始するための所定操作が行われたことを契機として、試料室内観察手段を用いてこの時点における試料を含んだ試料室内画像を試料室内基準画像ＫＧとして取得するための試料室内基準画像取得手段２０２と、少なくとも電子線撮像手段１１で試料を観察する間の、先端部の回動位置に関する位置情報を逐次取得するための位置情報取得手段２０４と、位置情報取得手段２０４から取得した位置情報に基づいて、先端部の回動位置における姿勢を逐次仮想イメージＫＩとして生成し、電子線撮像手段１１で試料を観察する間に、試料室内基準画像取得手段２０２で取得された試料室内基準画像ＫＧ上に重ねて表示させるための仮想イメージ生成手段２０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転による視野の変化を試料台の位置に依らず一定にして変化の把握を容易にする。
【解決手段】内部空間を中空状として減圧可能な試料室を構成する胴部と、胴部の開口端を開閉自在に閉塞し、試料室を気密状態に維持可能な蓋部と、試料室内の電子顕微鏡画像を取得するための電子線撮像手段と、胴部を回転させるための回動手段と、試料室内に設置され、観察対象の試料を載置するための試料載置面を有する試料台３３と、試料台３３をＸＹ方向に線状移動させるためのＸＹ移動機構７５と、試料台３３をＸＹ面と直行するＲ軸を中心として回転移動させるためのＲ軸回転機構７６とを備え、Ｒ軸回転機構７６は、ＸＹ移動機構７５による試料台３３の位置に依らず、回転中心であるＲ軸を電子線撮像手段による観察視野中の所定位置とするＲ軸維持機構７７を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は電子線装置の位置決め方法及び装置に関し、周期的な揺らぎを減少させることができる電子線位置決め方法及びその機能を具備する電子線装置を提供することを目的としている。
【解決手段】電子線を発生させる電子源１と、当該電子線を加速、減速、収束及び偏向させる光学系と、当該電子線を走査し、またはブランキング制御するための制御系と、前記電子線が照射される材料７を保持するためのステージ６と、該ステージ６の位置を計測するためのステージ測長系１６ａと、前記材料７から放出される電子線を検出する電子検出部１８と、該電子検出部１８から得られた検出信号を処理するための信号処理系１９とからなる電子線装置において、前記ステージ測長系１６ａからの補正信号に振幅と位相を調整可能な周期信号を加算するように構成される。 （もっと読む）

【課題】対比観察や画像合成に際して、対応する光学画像と電子顕微鏡画像の対の取得作業を容易にする。
【解決手段】電子線撮像手段１１で取得された電子顕微鏡画像と、光学系撮像手段１２で取得された光学画像を、切り替えて、又は同時に表示するための表示手段と、電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方で取得された画像の倍率を認識し、該画像と略同一の表示サイズの画像を他方の観察手段で取得するための倍率を、他方の観察手段の基準に基づく倍率に換算するための倍率換算手段と、電子線撮像手段１１又は光学系撮像手段１２のいずれか一方で取得され表示手段に表示された画像の倍率を取得し、倍率換算手段で換算した換算倍率に他方の観察手段を設定可能かどうかを判定して表示手段に表示するための換算倍率表示手段を備える。 （もっと読む）

【課題】可動テーブルの重量を増加させることなく、ステージ停止時における十分な制動力を発生するブレーキ機構を有するステージ装置を構成する。
【解決手段】ステージ機構１は、Ｘベース１２０の上に固定されるＸ方向の案内機構としてのＸガイド１２１と、これに拘束されてＸ方向に移動可能なＸテーブル１２２と、これに可動部を固定されたＸアクチュエータ１２３と、Ｘベース１２０の上に固定されたＸテーブル１２２の制動機構であるＸブレーキ１２４などから構成される。制御装置２は、ステージ停止時にＸブレーキ１２４をＸテーブル１２２の下面に押し付けて制動力を発生させ、ステージ停止後にはＸアクチュエータをサーボ制御をオフにする位置決め制御を行う。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの可動範囲を狭めることなく振動の影響を防止し荷電粒子発生部と試料ステージとの相対変位を抑制可能な荷電粒子装置を実現する。
【解決手段】荷電粒子装置１は上部に長筒状のカラム２を備えカラム２の下部には内部が空洞の試料室３がある。試料室３は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部３ａと水平方向の振動が大きい試料室底部３ｂに分かれている。カラム２は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム１と試料ステージ５を支持する試料ステージ支持体４とが共に試料室上部３ａに支持され、カラム１の中心軸と試料ステージ支持体４の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム２や試料室３に加わってもカラム２と試料ステージ５が共に試料室上部３ａに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。 （もっと読む）

【課題】大型試料も観察可能で、しかも小型試料の観察を行う場合にあっては、試料観察開始の待ち時間の短縮をはかることができる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】対物レンズ下部に小型試料観察用の空間制限機構３０を設けて、小型試料又は大型試料の試料観察に対応して、試料室４内で空間制限機構３０の内部空間３６を狭小空間として画成して空間制限機構３０の周囲の試料室４内の空間に対して密閉し、排気シーケンスを切り替えて試料室４内の空間制限機構３０の内部空間３６だけを真空排気する。 （もっと読む）

【課題】配線で可動範囲が制限されたりすることなく試料又はマスクの位置をより柔軟に調整することができる荷電粒子線装置、試料移動装置、マスク位置調整機構、試料位置調整方法及びマスク位置調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子線装置の試料ステージ００８に対する試料の位置を調整する試料移動装置０４０であって、ＳＥＭ制御ユニット０１５からの指令に応じて出力指示信号を生成する赤外線ランプ制御ユニット０１４と、赤外線ランプ制御ユニット０１４からの出力指示信号に応じて赤外線信号を照射する赤外線ランプ０１０と、試料ステージ００８上に固定された試料台ホルダー００７と、試料台ホルダー００７に対し変位可能に取り付けた試料台１０２と、赤外線ランプ０１０からの赤外線信号を受光する赤外線センサー１０８と、赤外線センサー１０８で受光した赤外線信号に応じて試料台１０２を駆動するモーター１１０とを備える。 （もっと読む）

【課題】液体試料の観察又は検査を良好に行うことのできる試料保持体、及びそれを用いた検査装置、および検査方法を提供する。
【解決手段】試料保持体４０は、開放された第１の面３２ａに液体試料２０が保持される膜３２を有し、該膜３２が２層以上で構成される。また、第２の面３２ｂに接する装置内空間を減圧にし、該減圧空間に設置してある一次線（電子線）照射装置からの一次線を、膜３２を介して液体試料２０に照射することにより、試料を大気圧に保持したまま観察又は検査が可能となっている。膜３２が観察又は検査中にダメージを受けても、該膜を構成する２層以上の膜の内、１層が破れたところを検知した時に装置内空間を大気圧復帰させることで、装置内部の汚染を防止することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】 高精度のＥＢＳＤ解析が可能な電子顕微鏡用試料台を提供する。
【解決手段】 電子顕微鏡用試料台３１は、試料ステージ５に装着可能な試料ホルダ９に取付けられる台座３３と、台座３３に対して垂直に固定された軸３５と、本体内部の軸方向に延びる中空部３７ａが形成されるとともに、本体胴部側面に少なくとも１つの貫通孔４１が形成され、中空部３７ａを介して軸３５に対して挿入され、軸３５に挿入された状態で軸３５の円周方向に回転可能な中空部材３７と、貫通孔４１に挿入され、軸３５と中空部材３７とを支持することにより、中空部材３７と軸３５との相対的な位置を固定する固定部材３９とを備える。中空部材３７の上面には、試料３が取付けられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法、及び該透過型電子顕微鏡グリッドに用いられるグラフェンシート−カーボンナノチューブフィルム複合構造体の製造方法。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法は、カーボンナノチューブ構造体及び官能性グラフェンシートの分散溶液を提供する第一ステップと、前記官能性グラフェンシートの分散溶液で前記カーボンナノチューブ構造体の表面を浸漬させる第二ステップと、前記分散溶液で浸漬された前記カーボンナノチューブ構造体を乾燥した後、前記官能性グラフェンシートとを複合させて、グラフェンシート−カーボンナノチューブフィルム複合構造体を形成する第三ステップと、前記グラフェンシート−カーボンナノチューブフィルム複合構造体を支持体の穿孔に被覆する第四ステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 ポインティング・デバイスを用いて、顕微鏡システムにおけるステージなどの操作対象を位置制御する情報処理装置、位置制御方法、プログラムおよび記録媒体を提供すること。
【解決手段】 本発明の情報処理装置１１０は、ポインティング・デバイス１１４により指し示される操作画面上の座標値を取得する手段１７２と、この座標値から操作対象の位置の目標値を算出する手段１７４と、操作対象の位置の目標値と現在値との差分を算出する手段１７６と、座標値の取得時間間隔内に操作対象を差分だけ移動させるために必要な速度から、予め設定された平滑化係数に応じて減速した値として、操作対象を駆動する同期モータのパルススピードの目標値を算出する手段１８０と、差分が有り、かつ、順方向の駆動信号が出力されている場合に、算出されたパルススピードの目標値を設定し、このパルススピードの目標値に向けた加減速制御を指令する手段１８４とを含む。 （もっと読む）