【課題】 ポインティング・デバイスを用いて、顕微鏡システムにおけるステージなどの操作対象を位置制御する情報処理装置、位置制御方法、プログラムおよび記録媒体を提供すること。
【解決手段】 本発明の情報処理装置１１０は、ポインティング・デバイス１１４により指し示される操作画面上の座標値を取得する手段１７２と、この座標値から操作対象の位置の目標値を算出する手段１７４と、操作対象の位置の目標値と現在値との差分を算出する手段１７６と、座標値の取得時間間隔内に操作対象を差分だけ移動させるために必要な速度から、予め設定された平滑化係数に応じて減速した値として、操作対象を駆動する同期モータのパルススピードの目標値を算出する手段１８０と、差分が有り、かつ、順方向の駆動信号が出力されている場合に、算出されたパルススピードの目標値を設定し、このパルススピードの目標値に向けた加減速制御を指令する手段１８４とを含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定点や検査点が多数存在する場合であっても、帯電の影響に基づく、測定，検査精度の低下を抑制し得る光学条件の設定を可能とする荷電粒子線装置の光学条件設定方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子線で試料表面を走査することによって試料から放出される電子の検出に基づいて、前記試料上のパターンを測定する走査電子顕微鏡、或いは光学条件設定方法であって、試料上の複数の測定点の測定値から、測定数に対する測定値の変化を求め、当該変化の傾斜がゼロ、或いはゼロに近くなるように、試料表面電界を制御する走査電子顕微鏡、或いは光学条件設定方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】試料ステージの位置決め時に用いる複数のブレーキ機構においてそれぞれのギャップが異なるため、同じ駆動指令ではブレーキ機構で発生する制動力に差が生じ試料ステージの位置ずれが発生する。
【解決手段】複数のブレーキ機構それぞれのアクチュエータ３０１を、既定の駆動指令により駆動し、その駆動中にブレーキ機構１２５ａそれぞれの検知機構から出力される接触検知出力に基づいて、ブレーキ機構１２５ａそれぞれのブレーキパッド３０７がブレーキ被制動面１２４ｕに接触したときのブレーキ機構間における既定の駆動指令の状態差Ｖｂａを取得し、この取得した既定の駆動指令の状態差Ｖｂａを基に、ブレーキ機構毎に、ブレーキ作動時のアクチュエータ３０１の駆動状態に該当する最終駆動指令Ｖａｔ，…を決定し、ブレーキ機構１２５ａそれぞれのアクチュエータ３０１を、この決定した対応する前記ブレーキ機構の最終駆動指令により駆動する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を、大気に曝す時間を最小限に抑えて、荷電粒子装置へ挿入可能な試料搬送装置を提供することにある。特に、装置周辺の作業領域が制限されている荷電粒子装置や、試料台をサイドエントリ型試料ホルダに設置するための空間が狭小であっても、作業を可能とする装置を提供することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子線を照射して観察及び分析する試料を搬送するための試料搬送装置であって、試料が設置される試料ホルダを内部に収容可能な伸縮部材と、前記試料ホルダを前記伸縮部材の内部で固定する固定部材と、前記伸縮部材内部と接続し試料ホルダが通過する開口部の開閉を行う封止部材を備えたことを特徴とする試料搬送装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】トップテーブルの小型化と、トップテーブル質量の軽量化を実現しつつ、かつ長尺の反射体を必要とせず真空試料室の小型化が可能な真空内処理装置ないし荷電粒子線装置を実現する。
【解決手段】測長に使用する一対の干渉計および反射体の両者が可動となるようステージを構成し、かつステージが持つ複数の移動軸のうち上記一対の干渉計および反射体によって測長が行われる方向とは交差する移動軸と平行な方向に対して、上記一対の干渉計および反射体が互いに対向する状態を保ったまま移動できるようにステージを構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ホトマスクの表裏面に押圧部材を押し当てることなく、ホトマスクの搬送及び測定，検査時に、当該ホトマスクの除電を行う試料保持装置の提案を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、真空試料室と、予備排気室との間で搬送され、ホトマスクを保持する試料保持装置であって、ホトマスクのパターンが形成された面を正面としたときに、ホトマスクの側面よりホトマスクを押圧する押圧機構を備え、押圧機構は、ホトマスクの側面に平行な回転軸を持つ回転部材を有し、回転部材は、回転軸と交差する２つの辺の間に形成される頂角部を有し、頂角部が前記ホトマスクの側部との接触部となるように構成した。 （もっと読む）

【課題】静電チャックに印加する電圧を不必要に大きくすることなしに、試料を吸着することができる技術を提供する。
【解決手段】反りの大きさ及び反りのパターンが既知の検定用試料を用いて静電チャックに対する吸着実験を行い、吸着状態が「不良」から「良好」に変化するときの臨界印加電圧を求める。検査対象の試料を測定する場合には、検査対象の試料の平坦度を測定し、検査対象の試料の反りの大きさ及び反りのパターンを検出する。検査対象の試料の反りの大きさ及び反りのパターンと、既知の臨界印加電圧に基づいて、静電チャックへの印加電圧を設定する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料移動ステ−ジの耐振性、特にｙ，ｚ方向の耐振性を向上して分解能を高めることのできる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】ステージロック機構において、ロック軸を押して変位させる駆動軸とロック軸の接触面を楔のように傾けることによって、駆動軸がロック軸を押したときにロック軸が駆動軸とロック板とロック軸受内壁の３つに同時に接触して固定される。これによってロック軸はｘ，ｙおよびｚの全ての方向で固定され、ロック軸に接触固定された試料ステージも固定され、試料ステージの機械的振動が抑制される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡等による各種観察やイオンビームによる加工に適するように、試料に付着させるイオン液体の形状及び膜厚を調整する機構を有する荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】開口部を有するイオン液体保持部材と、前記開口部にイオン液体を充填するためのイオン液体供給部と、前記イオン液体の付着状態を観察するための観察部と、荷電粒子線を照射するための荷電粒子線発生部とを含み、試料を前記イオン液体の内部又は前記イオン液体の表面に分散させることにより前記試料を前記イオン液体に浮かせた状態で観察するために前記開口部に充填する前記イオン液体の厚さを調整可能とした荷電粒子線装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】特殊な試料と特殊な作業時間を特別に用意することなく、高度に調整された荷電粒子線装置の性能を維持し続けることで、半導体製造プロセスの変動に起因した不良を直ちに発見できる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】装置制御機能を用いて電子光学系を検査対象の正焦点位置に移動させ、画像を取得し、画像処理機能を用いて前記検査対象のパターン検索を行う荷電粒子線装置であって、前記装置制御機能を用いて移動した前記検査対象の座標と、前記画像処理機能を用いて特定した前記検査対象の座標との差分値を求める差分値算出部と、前記検査対象における前記差分値のばらつきから前記荷電粒子線装置の性能状態を読み取る差分値分析部と、前記差分分析部の結果に基づき、所定の場合には使用者に警告を行う警告発生部と、を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 （もっと読む）

【課題】回路パターンの微細化に伴い、露光の際のショットの形状の歪みがある場合には、電子顕微鏡によるウェーハ検査時のスループットの低下や自動化率の低下が認められ、ショット歪みに対する位置補正動作を実行する方式を提供する。
【解決手段】１つのショット内の複数点について位置ずれ情報を検出し、当該複数点の位置ずれ情報に基づいてショット歪みの情報を取得し、取得されたショット歪情報に基づいて、各ショットに固有の座標補正情報を算出する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、顕微鏡用の試料台・試料ホルダ・試料ステージに関し、試料を固定した試料台を簡単な作業で固定して動かないようにして拡大された画像を表示させることを目的とする。
【構成】側面にピンセットで保持するための少なくとも２つの穴を設けた試料台と、試料台を挿入する穴、カット面、スプリング、および側面に２つの穴を設けた試料ホルダと、試料ホルダを挿入する穴、カット面、およびスプリングを設けた試料ステージとから構成される顕微鏡用の試料台・試料ホルダ・試料ステージである。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブフィルム複合構造体及びその製造方法、透過型電子顕微鏡グリッドを提供する。
【解決手段】カーボンナノチューブフィルム複合構造体１２０は、少なくとも一つのカーボンナノチューブ構造体１２２及び複数のグラフェンシート１２４、を含み、前記カーボンナノチューブ構造体１２２は、複数の微孔１２６を有し、少なくとも一つの前記微孔は、一つの前記グラフェンシート１２４で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】ステージの位置決め後にモータのサーボ制御を停止してもステージの位置ずれを発生させないように、ブレーキ機構を最適に制御できるステージ装置及び同装置のステージ位置決め制御方法を提供する。
【解決手段】ピエゾ素子６３２で駆動されるブレーキ機構を備える。それぞれの位置決めすべき点に初めて位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、ブレーキ制御最適化手段６４０によりリニアモータ６２２に対する推力指令を０に近づけるようにブレーキ駆動指令を調整し、リニアモータ６２２のサーボ制御をオフにしてもステージの位置ずれを発生させないような最適なブレーキ駆動指令を求め、これをブレーキ制御パラメータ記憶手段６４１に記憶する。さらに、同じそれぞれの位置決めすべき点に再度ステージを位置決めする際、ステージを移動、停止した後に、記憶した最適なブレーキ駆動指令をブレーキ機構に対して出力し、高精度な位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】複数本の探針を有し、前記探針により電子顕微鏡試料の任意箇所の電気測定と電子顕微鏡観察が同時に可能な装置を提供することにある。特に、試料周辺の領域が制限されている電子顕微鏡内で、真空保持空間が狭小であっても、軽量な機構で複数本の探針が独立に移動可能とする装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料を保持可能な試料ホルダにおいて、試料に接触する複数の探針と、当該複数の探針を移動する微動機構と、前記微動機構と接続された駆動体を備え、前記複数の微動機構は、前記複数の探針を独立して移動し、前記駆動体は前記複数の探針を同時に移動することを特徴とする試料ホルダを提供する。 （もっと読む）

【課題】
コンタミネーションの付着を低減する、微細な基準寸法を有する、電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材を提供する。
【解決手段】
少なくともシリコンを含み、予めピッチ寸法が求められている回折格子の配列よりなる電子顕微鏡装置の寸法校正用標準部材において、寸法校正用標準部材の溝パターンの表面に１ｎｍから５ｎｍのシリコン酸化膜を形成することによって、電子ビーム照射によって付着するコンタミネーション量を低減する。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダの形状や搭載状態を、ステージマップ上に表示できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンを観察できる試料観察方法及び装置を提供する。
【解決手段】試料観察方法は、電子ビームを用いて試料のパターンを観察する。この方法は、試料に電子ビームを照射し、電子ビームの照射によって生じるミラー電子を検出し、検出されたミラー電子から試料の画像を生成する。電子ビームを照射するステップは、両側にエッジを有する凹パターンに電子ビームが照射されたときに照射電子が凹パターンにてＵターンしてミラー電子になるようにランディングエネルギーＬＥが調整された電子ビームを試料に照射する。好適な条件は、ＬＥＡ≦ＬＥ≦ＬＥＢ＋５[ｅＶ]である。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の自動試料傾斜装置に関し、試料傾斜角を自動で調整することができる電子顕微鏡の自動試料傾斜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料移動機構７及び試料傾斜機構８の動作を制御する制御装置と、試料３を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系６と、結像した像を像信号化する像取得手段９と、前記像信号を記憶する記憶手段１１と、該記憶手段１１に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータ１０と、該コンピュータ１０は、試料傾斜軸別に、異なる複数の試料傾斜角で試料の現在の結晶方位で得られる電子回折図形を取得して前記記憶手段１１に記憶し、取得した電子回折図形別に電子回折スポット座標を算出し、電子回折スポット座標を基に、電子回折スポットを円近似することにより、近似円の中心と半径を算出し、円の半径が最小となる試料傾斜角を最適傾斜角とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、薄い隔膜でもガス雰囲気を保持した状態で試料とガスの反応が高分解能で観察可能な電子線装置および電子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】
上記の課題の一つを解決するため、本発明では、鏡体の電子線照射部と試料室および観察室を別個に排気する機能を備えた電子線装置において、試料保持手段に、試料にガスを供給するガス供給手段、および排気する排気手段を備え、ガス雰囲気と試料室の真空を隔離，試料周囲の雰囲気を密閉したセルを構成するために、試料の上下に隔膜を配し、さらに、前記試料室内部に、前記隔膜の外側にガスを噴射する機構を備えた。隔膜の外側に噴射するガスは、電子線散乱能が低いガス、例えば水素，酸素，窒素などを用いた。隔膜の材質は電子線が透過可能なカーボン膜，酸化膜，窒化膜などの軽元素で構成される非晶質膜とした。 （もっと読む）