【課題】低コストのパルス電子ビーム発生装置を提供する。
【解決手段】パルス電圧が印加される一次コイル、及び、この一次コイルとコアを共有する二次コイルを備え、樹脂モールドされ、大気側に設置された高圧パルス電圧発生部と、前記高圧パルス電圧発生部の前記二次コイルに電気的に接続されたエミッターと、前記エミッターから電子ビームを引き出すアノードと、前記エミッターと前記アノードとの間に位置し、前記エミッターに電気的に接続されるとともに前記エミッターから引き出した電子ビームを収束するウエネルトと、前記エミッター、前記ウエネルト、及び、前記アノードを真空状態の内部に収容する真空容器と、を備えたことを特徴とするパルス電子ビーム発生装置。 （もっと読む）

【課題】検査物の急速放電のためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームシステム１００の変調器９００が、インダクタ４００に供給する変調信号を生成するように構成され、インダクタ４００が、この変調信号を受け取って、荷電粒子ビームシステム１００のための供給電圧信号をインダクタンスにより変調する。供給電圧信号の変調により、荷電粒子ビームシステム１００により生成された荷電粒子ビームの焦点距離を変更する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置の高電圧変動を測定する簡単な構造の測定装置を備える高圧電源ユニットを提供する。
【解決手段】高圧電源ユニット１００は、高電圧を供給する少なくとも一つの高電圧ケーブル１０１及び高電圧を測定する測定装置１０５を備え、測定装置１０５はケーブルの長手軸線に沿って延在する内部導体と絶縁体及びシールドより形成されるの少なくとも一つの第１のキャパシタ１０８を有し、第１のキャパシタ１０８のシールド電圧を測定装置１０５により測定する。 （もっと読む）

【目的】本発明は、荷電粒子線装置に関し、電子源から放出される電子の取り込み角を大きくしてコンデンサーレンズでのビームの広がりを小さくして収差を小とし、プローブ電流の増大を図ることを目的とする。
【構成】荷電粒子源Ｅから放出される荷電粒子ビームを引き出す電圧を印加する引出電極Ｔと、引出電極Ｔにより引き出された荷電粒子ビームを減速あるいは加速する電圧を印加する中間電極Ｌと、中間電極Ｌにより減速あるいは加速された荷電粒子ビームを加速する高電圧を印加する加速電極Ａと、加速電極Ａにより加速された高電圧の荷電粒子ビームを細く絞ってあるいは集束した後に細く絞って、試料ＳＰに向けて照射する電子光学系と、電子光学系から試料ＳＰに向けて細く絞って照射される荷電粒子ビームを減速する電圧を印加する減速電極あるいは減速する電圧を印加する試料ＳＰとを備える。 （もっと読む）

【課題】 放電原因解消のための電力遮断回数を最小にする。
【解決手段】 直流高圧発生装置１６、電子銃５、電子銃５のフィラメント６とアノード８間の電圧から放電を検出する手段、放電検出手段からの放電信号が特定時間続いているか否かを検知する検知回路、検知回路からの信号に基づきトリガ信号を発生するトリガ発生回路２４、フィラメント６とアノード８間の電流を遮断する遮断手段１８ａ、両電極間の電流遮断状態を非遮断状態に戻す正常復帰信号発生回路２０を備え、トリガ発生回路２４からのトリガ信号に基づいて前記両電極間の電流を遮断状態にし、トリガ信号に基づいて正常復帰信号発生回路２０により遮断状態を遅延して非遮断状態に戻す様に成しており、非遮断状態に戻した時に検知回路から発生される信号又はトリガ信号をカウントし、カウント値に応じて正常復帰信号発生回路２０により遮断状態を非遮断状態に戻す際の遅延時間を設定する様に成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ビーム条件が変化するごとにエネルギー幅や分解能等を測定することなく、これらのパラメータを容易に把握することが可能な電子顕微鏡の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子銃と、当該電子銃から放出される電子の条件を調整する調整素子と、当該調整素子条件を設定する設定装置を備えた電子顕微鏡において、前記設定装置によって設定される調整素子条件に対する前記電子銃から放出される電子のエネルギー幅、或いは分解能に関する情報、或いは前記調整素子条件と前記エネルギー幅、或いは分解能との関連式を記憶する記憶媒体と、前記設定装置による前記調整素子条件の設定に基づいて、前記記憶された、或いは前記関連式に基づいて演算されるエネルギー幅、或いは分解能に関する情報を表示する表示装置を備えたことを特徴とする電子顕微鏡を提供する。 （もっと読む）

【課題】電子線の放出電流量を安定化するために、第１引出し電極に印加する電圧を制御しても、電子線の軌道の変動を抑えることができる電子線装置を提供する。
【解決手段】電子線装置は冷陰極型電界放出電子銃を有する。冷陰極型電界放出電子銃は、冷陰極と第１引出し電極と第２引出し電極とを有する。冷陰極と第１引出し電極の間の距離を、第１引出し電極と第２引出し電極の間の距離と比較して短く設定する。冷陰極から放出される電子線の電流量が減衰したとき、第１引出し電極に印加する電圧を増加する。 （もっと読む）

【課題】 加速電圧がオーバーシュートしないようにする。
【解決手段】 交流電源１２、交流直流変換手段１５、位相制御素子１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｃの点弧位相角を制御する位相制御信号を発生する位相制御回路１４、電子ビーム発生源３のカソード６アノード７間に印加される直流電圧を検出する検出回路１８、加速電圧設定手段２０、バイアス電圧発生回路２１´、検出回路１８，加速電圧設定手段２０及びバイアス電圧発生手段２１´の各出力に基づいて位相制御手段を制御する信号を発生する誤差増幅器２２、放電検出回路２４を備え、放電検出信号に基づいて位相制御信号の出力発生をコントロールする様に成し、放電検出信号に基づいて誤差増幅器２２に送られるバイアス電圧発生回路２１´の出力をコントロールすることにより誤差増幅器２２の出力の立ち上がり及び立下りを放電発生前より早くする。 （もっと読む）

【課題】電圧印加ユニットの耐電圧性を維持しつつ、軸方向及び径方向ともに小型化することである。
【解決手段】真空容器２と、その真空容器２内に設けられる電極８と、前記真空容器２の外壁２１に設けられ、外部から前記電極８に電圧を印加するための高電圧印加ユニット４と、を備え、前記高電圧印加ユニット４が、一端が大気側に、他端が真空側に設けられて、当該他端が前記電極に電気的に接触して電圧を印加する高電圧印加端子４１と、前記高電圧印加端子４１が貫通して設けられ、一端が大気側に、他端が真空側に設けられる絶縁性を有する絶縁体４２と、前記絶縁体４２が貫通して設けられ、前記真空容器の外壁２１に気密に取り付けられるフランジ部４３と、を備え、前記フランジ部４３から大気側及び真空側に突出した前記絶縁体４２の外側周面４２ａを非接触状態にして、さらに、前記絶縁体４２の外側周面４２ａに凹凸部を設けていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】カソードの交換頻度を低減する。
【解決手段】カソード１１が配置され且つ該カソード１１で発生した光電子１５を取り出す電子取出窓２１が設けられた真空容器１８と、該カソード１１に対して１００ｎｍ〜４００ｎｍの範囲内の波長を含む光を照射して該カソード１１から光電子を放出させるＵＶ光源１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】 インバータ回路の動作周波数を設定温度において高度に安定化させることにより、周囲温度の変化にかかわらず高安定化電源装置の直流出力高電圧の安定化を今まで以上に向上させること。
【構成】 インバータ回路の出力側に１次巻線が接続されたトランスと、そのトランスの２次巻線に接続された整流装置と、前記インバータ回路の駆動信号の周波数を決定する発振器とを備え、高安定度の直流電圧を出力する高安定度電源装置において、前記発振器とその発振器の周囲温度を制御する温度制御回路とが単一の恒温室ユニット内に収納され、前記恒温室ユニット内で前記温度制御回路の調整及び温度制御が行われることにより、前記発振器の発振周波数を安定化し、前記インバータ回路の前記駆動信号の周波数を高度に安定化することを特徴とする高安定度電源装置。 （もっと読む）

【課題】 負荷への直流高電圧のリップルを低減する。
【解決手段】 スイッチング素子Ｓａ，Ｓｂ、発振器２、一次側に交流電流が流れ、その二次側に高周波電圧を誘起するトランス４ａ，４ｂ、各トランスからの高周波電圧を昇圧・整流する二つのカラムを有し、バランス抵抗Ｒａ，Ｒｂの中間点から直流高電圧を得、トランス４ａ，４ｂの中間に抵抗器１４を設け、その抵抗配分を調整することにより、一方のカラム側の電圧と他方のカラム側の電圧を調整できるように成したバランス型コッククロフト・ウォルトン回路、トランス１２とトランス１２からの交流電圧を整流する整流回路１３を有する電力転送回路７を備え、トランス１２の一次側に発振器２からの信号に基づいた交流電圧を発生させる様に成し、発振器２からスイッチング素子Ｓａ，Ｓｂに供給される信号と、発振器２からトランス１２に供給される信号の位相をずらせる様に成している。 （もっと読む）

【課題】煩雑な操作を必要とすることなく電子銃のバイアス電圧が最適に設定されるように制御することができる装置及び方法を提供する。
【解決手段】フィラメントとウェネルト電極との間に配置された複数の抵抗値が異なる抵抗を備えた電子銃においてフィラメントからのエミッション電流を制御する方法であって、加速電圧範囲を前記抵抗の数と同数の領域に分割する設定を受け付け、前記加速電圧領域の大小に応じた抵抗値を有する抵抗が当該加速電圧領域に対して用いられるように抵抗を切り替える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子加速器や成膜装置等の高電圧を必要とする機器に使用することが可能な高電圧発生方法及びその装置を提供する。
【解決手段】高電圧発生装置、高電圧発生部を有する高電圧発生装置を使用して高電圧を発生させる際に、高真空場を絶縁体として利用する。
【効果】高電圧発生装置、及び高電圧発生部を有する機器のコンパクト化、低コスト化を実現できる。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡、Ｘ線装置、オージェ電子分光器等の分析装置および電子線描画装置等において、公知の技術では、輝度が大きい、すなわち電子流密度が高く、精細にフォーカスでき（クロスオーバーが小さい）、且つ、装置が小型であるという特長を同時に有する電子銃は知られていなかった。
【解決手段】本発明は、 カーボンナノチューブ（以下、ＣＮＴと略称する）からなる電子エミッターと、該電子エミッターから電子を放出、加速および収束させるための静電レンズとして、バトラー型レンズとを備えたことを特徴とする電界放出型電子銃であり、該バトラー型レンズにおいて、引出し電極が電気的に独立して２〜１６分割されている。 （もっと読む）

【課題】真空中での溶解、溶接、加工、および蒸着等に用いられる電子源において、電子銃のビームパワーを急速に変化させる。
【解決手段】フィラメントカソード１とブロックカソード２との間に第1の電圧を印加し、ブロックカソード２とアノード３との間に第２の電圧を印加する。第1の閉ループ調整システム８，７を使用してフィラメントカソード１を定電流値に調整することによって、ブロックカソード２の最大ビームパワーに十分なフィラメント温度にする。瞬時ブロック電力値と公称ブロック電力値との間の差に反応するブロック電力調整器１３等を含む第2の閉ループ調整システム１７、１３、１２が、フィラメントカソード１とブロックカソード２との間の電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】 電界放射型電子銃を用いた電子線装置において、エミッション電流の測定を正確に行えるようにする。
【解決手段】
エミッション電流Ｉｅを検出するための抵抗値Ｒｅを持つ検出抵抗５と、検出抵抗５の両端間に電圧降下により生じる電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）を検出する計測回路６と、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）に基づいて補正電圧Ｖｅを決めるための演算回路12と、基準電圧電源の出力電圧Ｖｒ（負極性）と補正電圧Ｖｅ（正極性）を加算して加速電圧電源９に入力するための加算器11を備える。
これにより、電位差（Ｉｅ×Ｒｅ）と加速電圧電源９の出力電圧Ｖａを加算した電圧が実際の電子銃に印加される所望の加速電圧となるので、加速電圧に電圧降下の影響を及ぼすことなくエミッション電流を正しく計測できる。 （もっと読む）

【課題】 多段に積み上げた際に必要とされる機械的強度を確保できる電圧発生ユニット及びこれを多段に積み上げて形成された高電圧発生装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電圧発生ユニット５０は、コッククロフトウォルトン回路（多段式倍電圧整流回路）の各段を形成する回路構成素子群が、複数に分割された絶縁物により被覆されたユニット構造で形成され、その表面部に、隣接する他のユニット体と電気的接続を行う入出力端子群５２Ａ’５２Ｃ’及び５２Ａ〜５２Ｃが設けられている。そして、これら入出力端子群が形成されている表面部は、隣接する他のユニット体の表面部（接合面）と接合する接合面Ｓ１，Ｓ２とされており、これらの入出力端子群は、その端子面が上記接合面Ｓ１，Ｓ２と整列するようにして設けられている。 （もっと読む）

【課題】 電界で壊れやすい陰極を使用し、かつ高電界を加えて電子流を希望する速度まで加速する方法及び装置を開発すること。
【解決手段】 本発明は、電界により壊れやすい陰極を設置した、低電界電子放射部と、高電界を加えて電子流を高速度に加速する高電界電子流加速部とを、９０度から１８０度の位置関係に設置し、いくつかの電磁石を使用して、低電界電子放射部と高電界電子流加速部との間を、曲線的に連結することにより、高電界電子流加速部の電界の影響を、陰極の設置された低電界電子放射部に及ぼさないようにし、壊れやすい陰極を長時間の使用に耐えられる構造にした。 （もっと読む）

【課題】 放電電流制御抵抗にエミッション電流が流れることで電圧降下が生じた場合であっても、電子銃に印加する加速電圧を一定に保持すること。
【解決手段】 電子銃に印加する加速電圧を制御する電子銃制御において、加速電圧源が出力する加速電圧により生成されるエミッション電流を放電電流制限抵抗により電流制限するとともに、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正して、電子銃に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。電子銃制御装置１は、エミッション電流を電流制限するために加速電圧源２に接続される放電電流制限抵抗３と、放電電流制限抵抗による電圧降下分を補正する電圧補正回路１０を備える。電圧補正回路１０は、電子銃（フィラメント７）に印加する加速電圧をエミッション電流の変化に因らず一定に保持する。 （もっと読む）