【課題】本発明は、エネルギーフィルタのエネルギー分解能を向上することを目的とする荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、試料から放出される荷電粒子をエネルギーフィルタに向かって偏向する偏向器を備えた荷電粒子線装置において、当該偏向器の複数の偏向条件ごとに、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させたときに得られる輝度値の変化を求め、当該輝度値の変化が所定の条件を満たす偏向条件を、前記偏向器の偏向条件として設定する荷電粒子線装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】複数のイオン源から所望のイオン種を色収差なく選別する集束イオンビーム装置用の質量フィルタを提供する。
【解決手段】イオン源１１４により生成された複数のイオン１１０は、上部レンズ１０６により略平行なビーム３１０となり質量フィルタ３０４に入射する。質量フィルタ３０４は、互いの中心軸がオフセットされた上部ＥＸＢフィルタ３０６Ｕおよび下部ＥＸＢフィルタ３０６Lより構成され、ビーム３１０を質量毎に分離偏向した後、光軸３８０に平行な軌道として出射する。この際、上部ＥＸＢフィルタ３０６Ｕにより生じる色収差は下部ＥＸＢフィルタ３０６Ｌにより打ち消される。その後、質量分離アパーチャ３４２により所望のイオン３３２のみを通過させ下部レンズ１０８により基板１１２上に集束する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビームシステムで使用するための大開口のウィーンＥ×Ｂ質量フィルタを提供する。
【解決手段】Ｅ×Ｂウィーン質量フィルタが、質量分離するために必要な電気双極子の電場と組み合わされた独立して調整可能な電場を提供する。独立して調整可能な電場は、より大きな光学的アパーチャを提供でき、非点収差を補正し、かつ磁場に平行及び／又は垂直な方向にビームを偏向するように使用可能である。 （もっと読む）

【課題】負及び正に荷電された粒子を同時に検出するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、荷電粒子ビーム装置に使用する検出装置は、正及び負に荷電された二次粒子を分離する分離フィールドを発生する分離フィールド発生部分２２０と、正に荷電された粒子を検出する第１検出器２１２と、負に荷電された粒子を検出する第２検出器２１４とを備え、正に荷電された二次粒子を第１検出器で且つ負に荷電された二次粒子を第２検出器で同時に検出する。更に、負及び正に荷電された粒子を同時に検出する本発明の方法は、分離フィールドを用意し、第１と第２の検出器を用意し、分離フィールドにおいて負に荷電された粒子を正に荷電された粒子から分離し、正に荷電された粒子を第１検出器で且つ負に荷電された粒子を第２検出器で同時に検出することを含む。 （もっと読む）

【課題】低エネルギーの荷電粒子の静電偏向器への流入を減らすことができ、描画精度の向上をはかる。
【解決手段】荷電粒子源から放出された荷電ビームを試料上の所望の位置に照射することでパターン形成を行う荷電ビーム描画装置であって、荷電粒子源１０と試料５０との間に設けられ、偏向を受けない荷電ビームの軌道である光軸方向に沿って２段以上の小偏向器を設置して構成され、荷電ビームを電場によって偏向するための静電偏向器３２と、静電偏向器３２の光軸方向に隣接する小偏向器の間に設けられ、光軸方向の下流側の小偏向器の光軸方向と直交する方向の対向距離よりも開口径が短いアパーチャを有し、静電偏向器３２で偏向すべき荷電ビームよりも低いエネルギーの荷電粒子を取り除くためのアパーチャマスク６０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】
二次粒子を所望のエネルギー領域でバンドパス弁別し，なおかつ高収量で検出できる走査電子顕微鏡を提供することを課題とする。
【解決手段】
対物レンズ１８より電子源側にレンズ２３を設け，このレンズより電子銃側で一次電子線がいかなる光学系を形成していた場合でも，一次電子線を特定の位置である収束点２４に収束させるように動作させる。一次電子線の収束点２４には，試料２から発生する二次粒子の軌道に作用する場を供給する検出部用ExB１６を設け，特定のエネルギー範囲の二次粒子のみを検出部１３に導く。二次粒子の軌道に作用する場が供給される位置が一次電子線１９の収束点であるため，一次電子線１９の収差を拡大させずに所望のエネルギーの二次粒子のみを検出部に導くこと，更にはエネルギーのバンドパス弁別を効果的に行うことが可能になり，観察目的に応じた信号電子を弁別して検出することができる。 （もっと読む）

【課題】イオンビーム装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム装置は第１軸１４２に沿って放射されるイオンビーム１７０を発生させるためのイオンビーム源１１０と、イオンビームを整形するよう適合された開口ユニットと、所定の質量のイオンビームのイオンを偏向角でもって偏向するよう適合された収差補正型偏向ユニット１６２を含む。収差補正型偏向ユニットは電場を発生させるための電場発生コンポーネントと、実質的に電場に直交する磁場を発生させるための磁場発生コンポーネントを含む。装置は所定の質量とは異なる質量のイオンをブロックし、かつ既定の質量を有するイオンがその内部に侵入可能となるよう適合された質量分離開口部１５４と、第１軸に対して傾斜した第２光軸を有する対物レンズ１２４を更に含む。 （もっと読む）

【課題】
全般的な複雑性を低減し、各ビーム吸収素子の寿命を延長する所望の粒子種（「名目種」）を具体的に選択するように粒子フィルタ装置を改良する
【解決手段】
パターンが、主に、名目運動エネルギーを有する名目質量の種の高エネルギー荷電粒子のビームを用いて、投射システムを介して対象に投射される。ビームを生成するため、粒子源（１１）、速度依存偏向器（３２）、および照射光学システムが設けられる。速度依存偏向手段（３２）は、粒子の速度に依存する名目種の経路に対して粒子経路を偏移させるように粒子に作用する横断双極電界および／または横断双極磁界を備える。 （もっと読む）

【課題】
一次電子線の収差を増やさずに二次信号を効率よく検出することにより高分解能でかつ高コントラストな観察像を取得し、観察像により欠陥を検出することにより検査速度を高速・高感度にする荷電粒子ビーム装置を得る。
【解決手段】
試料の所望領域を一次荷電粒子ビームで走査し、一次荷電粒子ビームの照射により領域から二次的に発生する二次荷電粒子を二次電子変換電極33に衝突させた後、二次電子変換電極33の上記試料側の面に絶縁物を介して固定した第１のE×B偏向器31により発生する二次電子を検出器34に取り込む。同時に、第１のE×B偏向器31に固定した第２のE×B偏向器32により第１のE×B偏向器31で一次荷電粒子ビームに発生する偏向色収差を抑制し、高分解能かつ、シェーディングのない高コントラストな観察像を取得する。 （もっと読む）

【課題】 ウィーンフィルタ内で静電偏向場、及び静磁偏向場に付随して発生する六極子場に対して、静電六極子場を積極的に発生させ、３回非点を補正する。
【解決手段】 静電場発生部４は、この１２極型ウィーンフィルタが適用されるモノクロメータにおいてスリット上でビームを絞るために、ユーザが操作部６を使って操作した指示にしたがって、各電源の印加電圧を調整し、静電偏向場、静電四極子場、静電六極子場のような多重極静電場を発生する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造を有するモノクロメータを提案して、このモノクロメータが簡単に調整できかつ濾波された粒子ビームの指向性ビーム値に対する不利な影響を有しないようにすること
【解決手段】荷電粒子用モノクロメータにおいて、粒子の拡散方向に相前後して直列に配置された複数のウィーンフィルタを有しており、このウィーンフィルタの一部は、別のウィーンフィルタに対して光軸の周りに９０°の回動角で回動して配置されていることを特徴とする荷電粒子用モノクロメータを構成する。 （もっと読む）

【課題】複数の電子線の軸上色収差が補正でき、非点収差や偏向収差も低減できる電子線装置及びこれを用いたパターン評価方法を提供すること。
【解決手段】一次電子線を放出する電子銃と、前記一次電子線の一部が通過する複数の開口を有するマルチ開口板と、前記開口を通過する一次電子線を縮小するコンデンサレンズと、縮小された一次電子線を試料の表面に結像させる対物レンズとを備える一次光学系と、前記試料から放出される二次電子線を偏向する偏向器群と、前記偏向器群で偏向された二次電子線を拡大する拡大レンズと、拡大された二次電子線を検出する二次電子線検出器とを備える二次光学系とを備え、前記一次光学系に、前記対物レンズで生じる軸上色収差に対応した軸上色収差を発生させる非分散ウィーンフィルタからなる軸上色収差補正レンズを備えること。 （もっと読む）

【課題】複数の多極子型ウィーン・フィルターを有し、荷電粒子線光学系の収差を補正できる収差補正光学装置を提供する。
【解決手段】本発明による荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置１ａは、二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、その収差補正光学装置の物面−像面間の１／４面位置と３／４面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルター２、２′と、その収差補正光学装置の物面位置、中間結像面位置及び像面位置に配置された二方向集束性を有する光学要素３ａと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 補正用多極子により、球面収差と、必要があれば軸上色収差の両方を補正することのできる収差補正装置を提供する。
【解決手段】 多極子構造の２π型ウィーンフィルタを少なくとも一つ用いたものであって、各ウィーンフィルタの光軸近傍における電場及び磁場の４極子、６極子及び８極子の成分の、双極子の成分に対する比率を別途定式で定められた範囲に規定した、収差補正装置。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡は、電子銃（２）の高圧電界の前方に設けられたエネルギー選択性フィルタ（１０）により構成される。フィルタは高圧電位を伝達し、ＳＦ_６ガスにより充填された銃スペース（１４）内に設けられているので、フィルタに対する電気的及び機械的な通路に関する問題が生じる。特に、フィルタのセンタリングが問題である。
【解決手段】（電流制限及びフィルタによりビームに導入される光収差を回避するため）それにも係わらず、フィルタの適当なアパーチャ調整を行うため、フィルタ部品、特に、フィルタの磁極面又は磁界画成密閉部品（４８ａ）に固定的に連結されたエントランスダイヤフラム（３０）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】電磁界発生素子及び複数のこのような電磁界発生素子を含む多極素子を提供する。
【解決手段】磁極片（１０）と、磁極片（１０）が取り付けられたヨーク（１２）と、少なくとも１つのコイル（２０）と、この少なくとも１つのコイル（２０）を収容する真空気密容器（２１）と、真空気密容器（２１）が磁極片（１０）及びヨーク（１２）から離間するように真空気密容器（２１）を保持するようになったホルダ（４０、２３）とを含む電磁界発生素子（１）。 （もっと読む）

【課題】 ウィーンフィルタの持つ収差補正の特性を十分に生かし、アナライザで損失する電子を低減して感度の低下を抑えることができるウィーンフィルタ型アナライザの提供を目的とする。
【解決手段】 ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、電極１３とヨークレスコイル１４による磁極を１２極にしている。このため、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、２次収差、３次の開口収差までを消去できるような電場Ｅと磁場Ｂを発生することができるようになった。ヨークレスコイル１４は、磁極をコイルのみに置き換えたものであり、コイル受け台１５上に配設されている。磁極をヨークレスコイルに置き換えたことにより、ウィーンフィルタ型エネルギーアナライザ１１は、アナライザの内径を大きくすることができ、感度を向上させることができた。また、磁性体を用いていないため、磁性体のヒステリシスを考慮しなくて良く、再現性の良い磁場を得ることができた。 （もっと読む）

【課題】 モノクロメータのオンオフを、取得データの劣化を押さえ、信頼性の低下を伴うことなく速やかに行う電子顕微鏡を実現する。
【解決手段】 モノクロメータ１２のオンオフ動作を、電源のオンオフ動作を繰り返し行うことなく、駆動電圧源３６の出力電圧調整および３端子スイッチ４１の切り換え動作のみで行うこととしているので、電源のオンオフに伴う出力電圧の安定化までの時間を設けること無く、確実で信頼性の高いモノクロメータ１２のオンオフ動作を行うことを実現させる。 （もっと読む）

【課題】改善された検出方式を有する分析システムおよびこのシステムを備える荷電粒子ビームデバイスの提供。
【解決手段】荷電粒子のビーム（２）を分析する分析システムは、荷電粒子のビーム（２）をその粒子のエネルギーに応じて低エネルギービーム（１８）と高エネルギービーム（１９）に分割するためのディバイダ（１６）と、高エネルギービーム（１９）を検出するための前方検出器（１７）と、低エネルギービーム（１８）を検出するための少なくとも一つの後方検出器（１５）とを有する。ディバイダは、前方検出器と少なくとも一つの後方検出器との間に配置され、そして前方検出器（１７）および／または少なくとも一つの後方検出器（１５）はセグメントに分割されている。 （もっと読む）