【課題】本発明の目的は、電子顕微鏡を用いた厚膜試料のＳＥＭ観察において、原子レベルの像分解能で、かつ高い倍率精度で行うための電子顕微鏡装置、試料作製方法および観察方法にある。
【解決手段】走査透過電子顕微鏡において、前記電子線経路上に前記電子線の収差を補正する収差補正器と、前記試料の電子線回折像及びロンチグラムを観察するカメラを備え、前記カメラにより取得されたロンチグラムを用いて、前記収差補正器を調整し、前記カメラにより取得された電子線回折像を用いて前記電子線の試料に対する照射方向を調整し、当該調整された電子ビームを試料に照射して当該電子線の照射位置から発生する二次電子を検出し、当該二次電子の信号に基づき試料像を形成する走査透過電子顕微鏡。 （もっと読む）

【課題】ＨＲイメージを得られる設定に十分なレベルに、ＳＴＥＭを常に、好ましくは自動的に調節する方法を提供する。
【解決手段】
本発明は、結晶サンプルを用いて、ＳＴＥＭのＣｓ補正器を調節する方法に関する。この方法は、スルーフォーカス法によるシリーズを記録し、求めが画像をフーリエ空間に変換し、回折画像のような一組の画像を形成するステップを有する。フーリエ画像の対称性を決定することにより、補正器をチューニングして対称性を良くできる。中心からのスポットの最大距離を決定することにより、伝達限界を決定できる。これらのステップを繰り返し実行することにより、補正器を最適性能までチューニングできる。 （もっと読む）

【課題】 残留収差を発生させることなく、色収差と球面収差を補正することができる電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８が接続系２９を介して直列に接続されている（タンデム式）。つまり、色収差補正光学系２７と球面収差補正光学系２８は独立して構成されており、色収差と球面収差は別々に補正される。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置において、収差の測定と補正は自動化されていたが、複数の収差を一度に補正することに関して、どのような補正を行うべきかの判断は自動化されていなかった。
【解決手段】荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を荷電粒子線として試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系と前記収差補正器の各構成要素を制御する制御手段とを備えた荷電粒子線装置において、最適な調整手順を学習により獲得する自動収差補正装置を備える。自動収差補正装置は、収差補正を複数同時に実施可能な、最適な調整手順を強化学習により獲得する。 （もっと読む）

【課題】球面収差補正器を備えることにより副次的に生じる２回対称３次スター収差（Ｓ３）と４回対称３次非点収差（Ａ３）とを独立して補正することのできる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】第１と第２の多極子レンズ９、１３と、その間に伝達レンズ１０、１２を含む球面収差補正装置を備えた荷電粒子線装置において、第１の多極子レンズ９へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ１に対し、第２の多極子レンズ１３へ入射する荷電粒子線３１の光軸１に対する傾斜角θ２が連動して変化するように、第１の偏向手段８と第２の偏向手段１１とを制御する。 （もっと読む）

【課題】低コストで高精度かつ高分解能の荷電粒子ビーム用収束光学系を提供する。
【解決手段】ビーム軌道を輪帯状に制限し、電磁界をそのビーム軌道軸の中心方向に集中させる分布を作る。その結果、電子レンズの球面収差に代表される外側で大きな非線形の作用を打ち消す。具体的には、軸上に電極を置き電圧を印加すれば、容易に電界集中が発生する。また、磁界の場合は、回転方向に角度等分割した面に径方向に分布巻きしたコイルを形成すれば、磁束密度の集中を制御することができる。 （もっと読む）

【課題】試料台のドリフトの影響による画像の歪を補正するため、観測用画像より短時間に補正用参照画像を計測し、観測用画像の形状を補正用参照画像の形状を比較することにより補正し、観測用画像の歪を低減する。試料台の移動が停止するまで待たずに、また、より少ない画像より歪を補正することが必要とされる。
【解決手段】観察のために取得する画像と同一の位置と倍率で、歪補正のための参照用画像を計測する。このとき、参照用画像においては、ドリフトの影響を低減するため、本来の観測用画像より短時間で計測を実行する。参照用画像と観測用画像の形状を比較し、観測用画像の形状を、参照用画像の形状に合わせて補正することにより、観測用画像の形状を補正する。 （もっと読む）

【課題】透過電子顕微鏡に適し、電気エネルギー供給における変動に感度を有しない補正器を提供する。
【解決手段】本発明は、６つの多極子（１、２、３，４、５、６）を有する、電子顕微鏡における色収差および開口収差を補正するための補正器（９）に関し、該６つの多極子（１、２、３，４、５、６）は、４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）および８極子場の生成のために、光学経路（７）に順に、対称平面（８）に関して対称に配置されており、全６つの多極子（１、２、３，４、５、６）の４極子場（１’、２’、３’，４’、５’、６’）は順に、互いに対して９０°回転されており、軸上基準軌道（ｘ_α、ｙ_β）の鏡面対象の交換対称性を形成する。 （もっと読む）

【課題】 ＡＢ効果を用いて電子ビームの位相を制御する回折収差補正の動作原理に基づき、ソレノイドコイルリングの多極子により構成される補正器の構造とビーム軸に対するベクトルポテンシャルの直交度と軸ずれを調整する機能により回折収差補正器を構成する。
【解決手段】 位相差を発生させるためにベクトルポテンシャルをビーム軸に直交し、かつビーム軸に対して直交面内で対称な分布で誘起する回折収差補正器を対物絞りと対物レンズの近くに設置し、ビーム軸から傾いて進行する回折波は磁束のリングをくぐることで上記ベクトルポテンシャルによるＡＢ効果によりビーム径内の位相差を増大して試料上の電子ビームの強度を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ロンチグラム法の簡易性を備えながら、反射・二次電子走査像を利用するＳＥＭにおいても適用可能な、また特別に撮影用の検出器を必要としない収差測定法、或いは収差測定に供する収差情報の取得方法を提供する。
【解決手段】走査像を得る為のビーム走査を、通常対物レンズ直上に置かれる走査コイルで行うのではなく、収差被測定レンズである収差補正器ならびに対物レンズ上方置かれた走査コイルによって行うことによって、収差被測定レンズの持つ収差を反映した歪走査を試料面上で行い、これによって発生する散乱電子線、透過電位線、もしくは反射・二次電子線から走査像を形成することで、従来のロンチグラムと等価な収差情報パターンを、走査型で得られる手段を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 共焦点走査透過型電子顕微鏡装置及び３次元断層像観察方法に関し、薄層状試料における異なった深さにおける原子配列を一画像で観察可能にする。
【解決手段】 電子を放出する電子源と、電子源から放出された電子を加速する手段と、加速された電子線を試料上に収束させる収束レンズと、電子線を試料表面上に走査するための走査コイルと、試料表面に焦点を合わせるための対物レンズと、試料により散乱された電子線の取り込み角度を制御するための投影レンズと、走査顕微鏡像を取得するための走査顕微鏡像検出器と、試料の組成および電子状態を分析する分析装置と、試料厚さを計測するための計測部と、対物レンズの焦点深度を調整する焦点深度調整手段とを有し、対物レンズの前段に対物レンズの球面収差を補正する球面収差補正装置と、対物レンズの色収差を補正および調整する色収差補正装置とを設けるとともに、対物レンズの色収差係数を調整するための制御部と、色収差係数を測定する測定部とを設ける。 （もっと読む）

透過型電子顕微鏡は、電子ビームを生成する電子ビーム源(20)を有する。前記電子ビームを収束させるようにビーム光学系が供されている。収差補正装置(90)は、少なくとも球面収差について前記電子ビームを補正する。前記電子ビームのビーム路中に試料(40)を保持する試料ホルダが供される。検出器(80)は、前記試料を透過する前記電子ビームを検出するのに用いられる。当該透過型電子顕微鏡は、前記電子ビームのゼロ次ビームが検出されない暗視野モードで動作する。当該透過型電子顕微鏡はまた、インコヒーレントな照射モードで動作することもできる。
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【課題】 今日市販されている高分解能の透過電子顕微鏡(HR-TEM)及び走査型透過電子顕微鏡(HR-STEM)には、所謂対物レンズの軸球面収差C_sを補正する補正装置が備えられている。他の収差は制限をかける収差となることは避けられない。ローズ補正装置としても知られている六重極型の補正装置では、当該補正装置によって導入される、A5としても知られている6回軸非点収差及びD6としても知られている6回スリーローブ収差も、制限をかける収差になることが知られている。
【解決手段】 本発明は、六重極間のクロスオーバーに弱い六重極を加えることによって、A5又はD6のないローズ様補正装置又はクリュー様補正装置の作製を可能にする。あるいは本発明は、弱い六重極と十二重極の両方を加えることによって、A5とD6のいずれも存在しない補正装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】画像コントラストをさらに改善し、しかもその際に許容できないエラーの原因とならないようにすることである。
【解決手段】少なくとも１つの歪像（６、６’）を形成および補償するために、当該歪像（６、６’）の前方および後方に配置された四重極場（Ｑ_２’、Ｑ_４’、Ｑ_１２’、Ｑ_１４’）を用い、該四重極場の光軸（１０）方向における拡がりがそれらの焦点距離の少なくとも２倍に相当するようにし、前記軸光線（ｘ_α、ｙ_β）の少なくとも１つが、中間画像（５）の倍率Ｍの相応の選択によって四重極場（Ｑ_２’；Ｑ_１２’）に、前記少なくとも１つの歪像（６、６’）の前方で１／Ｍの勾配で入射し、当該歪像（６、６’）の長さ（７）は許容可能なエラー範囲内に留まるようにする。 （もっと読む）

【課題】５次球面収差Ｃ５の補正を簡単かつ高精度に行う機能を備えた走査透過電子顕微鏡、及び収差補正方法を提供する。
【解決手段】電子光学系と、前記電子光学系の収束レンズと対物レンズの間に配置され、該対物レンズの球面収差を補償するための６極子場を発生させる多極子レンズを複数備えた球面収差補正器と、前記球面収差補正器と前記対物レンズの間に配置された少なくとも一枚の調整レンズと、試料のロンチグラムを観察するロンチグラム検出手段と、情報処理装置とを備え、前記情報処理装置は、前記調整レンズの焦点距離を変化させて前記試料のロンチグラムを検出し、該焦点距離の変化に伴い前記ロンチグラムに現れる六角形状パターンの変化を検出し、５次球面収差Ｃ５の補正条件を判定する。 （もっと読む）

【課題】 電磁レンズにおける色収差係数測定方法及び走査透過電子顕微鏡に関し、電子の加速電圧を変化させることなく、一枚の高分解能電子顕微鏡像を取得するだけで簡便に且つ精度良く色収差係数を測定する。
【解決手段】 球面収差補正された電磁レンズを通過した収束電子線を結晶構造及び格子定数が既知の単結晶試料に入射して、分解能が０．３ｎｍ以下の高分解能走査透過電子顕微鏡像を取得する際に連続的に前記電磁レンズの焦点ずれ量を変化させた顕微鏡像を実測により取得し、前記顕微鏡像を走査方向に平均化した強度プロファイルから回帰曲線を求め、前記顕微鏡像と同じ条件で理論計算で求めた理論顕微鏡像の計算結果から得られる色収差係数と前記回帰曲線のパラメータを比較することによって、前記電磁レンズの色収差係数を算出する。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡のプロジェクション・システムの歪曲を特定しこれらの収差を修正する。
【解決手段】収差はサンプルの多数のイメージを集めることによって特定される。そして、各々の取得されたイメージのサンプル同士の位置がわずかにずれている。イメージにおいて、サンプルの同一の部分を示すサブフィールドが比較される。これらのサブフィールドはわずかな違いを示し、これは、収差の差に対応する。多数の場所の収差に係る差が特定される。その後、各々の場所における前記収差は、積分することによって特定することができる。表示されるべきイメージの検出された各々のピクセルの位置を修正することによって、収差は非常に減少したものとなる。効果としては、サンプルの極めて正確なステップも、あらかじめサンプルの形状を知る必要もない。 （もっと読む）

【課題】電子線装置において、基板上に粒子を堆積した標準試料を用いて収差補正を行う際に、高精度な観察及び分析を可能とし、より精度の高い収差補正を容易且つ正確に行う。
【解決手段】ＳＴＥＭ装置の収差補正に際して、Ｓｉからなる単結晶基板１０１上にＡｕパーティクル１０２が堆積されてなる標準基板を用い、電子線回折像及び菊池パターンに基づいて、標準基板の傾斜を調節する。この状態で電子線を合焦し、Ａｕパーティクル１０２の形状を算出して、Ａｕパーティクル１０２の円形近似との差異を解析し、この解析結果を踏まえて収差補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＴＥＭの投影システム（１０６）によりもたらされる歪を補正する方法に関する。
【解決手段】当業者が知っているように、特に、トモグラフィを用いて特徴の３Ｄ再構成を行うときに、歪は、ＴＥＭの分解能を制限する可能性がある。また、ＴＥＭにおいてストレイン解析を用いるとき、歪はストレインの検出を制限する可能性がある。このために、本発明は、多極子（１５２）を備えた検出器であって、多極子が、投影システムによりもたらされた歪が影響を弱められるように、ＴＥＭの画像を撓ませる。検出器は、電子を検出するＣＣＤ又は蛍光スクリーンを更に有することが可能である。 （もっと読む）

【課題】収差補正器の機械的構造が予め決っていたとしてもコマフリー面転写部の設計の自由度を保証し、補正器外部との柔軟な調整マージンを有する収差補正器を提供する。
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明による収差補正器は、試料面（対物レンズ物面）から発する電子線軌道を、多極子レンズ（ＨＥＸ１＿１８）に平行入射させ、対物レンズコマフリー面又は５次収差最小面（対物レンズの中心）から発する電子線軌道を、４ｆシステムの多極子レンズ中心面に結像させるようにしている。これにより、４ｆシステムで球面収補正を行うよう２つの多極子レンズ（ＨＥＸ１＿１８、ＨＥＸ２＿１９）間で反対称な転写を行い、コマ収差又は５次収差の発生を抑制するためのコマフリー又は５次収差最小面の転写を行っている。 （もっと読む）