【課題】任意の放出角度の反射電子を検出することのできる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料からの電子を検出することによって像を得る走査電子顕微鏡において、試料１９からの二次電子と反射電子とを弁別する制御電極１８と、反射電子の衝突によって二次電子を発生させる二次電子変換電極１３とその二次電子を引き上げる電極１２と、引き上げられた二次電子と試料１９からの反射電子を弁別するエネルギーフィルタ１１と、二次電子変換電極１３と引き上げ電極１２とエネルギーフィルタ１１への印加電圧の組み合わせを選択する制御演算手段３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】選択を特に後方散乱電子及び二次電子に従って容易に行なうことができる検出装
置を有する電子ビーム装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム装置（７）は、電子源（８）と、対物レンズ（１２）と第１およ
び第２の検出器（１９，２１）と第２の検出器（２１）に割り当てられ、第２の検出器（
２１）の物体側に配置された逆電界格子（３６）を備えている。物体（１８）により放出
され第１の検出器（１９）の孔を通過した電子の一部は、逆電界格子（３６）により偏向
され、第２の検出器（２１）により検出されないように、逆電界格子（３６）に電圧が印
加される。 （もっと読む）

【課題】低段差試料や帯電試料の観察、測定等において、反射荷電粒子信号に基づく画像を形成する際にも、倍率変動や測長誤差によらずに正確な画像を取得する装置、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】二次荷電粒子信号を検出する第１の検出条件と、反射荷電粒子信号を検出する第２の検出条件との間で、荷電粒子線の走査偏向量を補正するように偏向器を制御する装置、及びコンピュータプログラムを提供する。このような構成によれば、検出する荷電粒子信号の変更による倍率変動や測長誤差を補正することが可能となるため、反射荷電粒子信号に基づく画像を正確に取得することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】簡便にＳＥやＢＳＥの角度とエネルギーを弁別し、観察対象試料の必要な情報を画像化する荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】一次荷電粒子線を放出する荷電粒子源と、当該一次荷電粒子線を試料上に集束する集束レンズと、当該試料上の照射点から放出された二次荷電粒子を検出する検出器とを備える走査型荷電粒子線装置において、前記検出器からの信号を波形処理し、二次荷電粒子のエネルギー分布情報を作成する波形処理部と、前記エネルギー分布情報の任意のエネルギー範囲の情報を選択して表示部に画像表示する制御部を備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。 （もっと読む）

【課題】エネルギーの異なる信号荷電粒子の合成機能を自動化する。
【解決手段】一次荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子源と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第１のエネルギーを有する第１の信号電子を検出する第１の検出器と、試料から発生した信号荷電粒子のうち第２のエネルギーを有する第２の信号電子を検出する第２の検出器と、第１の信号電子の信号強度と第２の信号電子の信号強度の合成比を変化させ、各合成比に対応する検出画像を生成する第１の演算部と、各合成比について生成された検出画像の所定の２つのエリアに対応する信号強度の比を算出する第２の演算部と、信号強度の比の変化に基づいて、検出画像の取得に使用する混合比を決定する第３の演算部とを荷電粒子線装置に搭載する。 （もっと読む）

【課題】一次線の光軸近傍を軌道とする検出対象電子と、その外側を軌道とする検出対象電子とを簡易な構成で分離して検出する。
【解決手段】一次線２が通過するための開口４が形成されているとともに、両面がシンチレーション面を形成しているプレート５と、エネルギーフィルタ３と、試料１０と対向する側のシンチレーション面に一次線２の照射に応じて試料１０から発生する第１の検出対象電子２１が到達して生じるシンチレーション光２３を検出するための第１の光検出器７ａと、一次線２の照射に応じて試料１０から発生し該プレート５の開口４を通過してエネルギーフィルタ３により追い返された第２の検出対象電子２２ａが到達して生じるシンチレーション光２４を検出するための第２の光検出器７ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】回路パターンを有する半導体装置等の検査において、陰影コントラストの強調された像を取得することを可能にし、浅い凹凸の微細な異物等を高感度に検出することを可能にする荷電粒子ビーム検査技術を提供する。
【解決手段】高分解能観察の為に電子光学系の対物レンズに電磁重畳型対物レンズ１０３を用い、その対物レンズを用いて電子ビームを細く絞り、対物レンズ内にアシスト電極１０６と左・右検出器１１０、１１１を設け、その電子ビームを試料１０４に照射することで発生する二次電子の速度成分を選別し、さらに方位角成分を選別して検出する。 （もっと読む）

【課題】軸合わせの作業に訓練と経験を積んだ者でなくとも、容易にかつ精度良くエネルギー分析器の位置合わせを行うことができる技術を提供する。
【解決手段】エネルギー偏向器を備えたエネルギー分析器の軸合わせを行う方法において、試料を３次元的に移動可能な試料ステージに載置し、エネルギー偏向器の直前にスリットを備えた２次電子捕集器を設け、エネルギー偏向器に設けたスリットから特定の信号電子を通過させ、エネルギー偏向器を通してスペクトル強度を検出するとともに、２次電子捕集器により２次電子を捕集し、２次電子強度を検出し、両信号強度の比を算出する手法により、ｘ−ｙ平面で１次ビームを移動させ、ｘ−ｙ平面における位置に対する信号強度比の曲線を得て、ピーク位置を求めるとともに、試料をｚ方向に移動させ、ｚ方向の位置に対する信号強度比の曲線を得て、ピーク位置を求め、ｘ−ｙ平面におけるピーク位置とｚ方向におけるピーク位置で定まる点を最適点とする。 （もっと読む）

【課題】気体電界イオン源を用いて試料表面でスポットサイズ１０ｎｍ以下のイオンビームを有する汎用性、長器信頼性に優れたイオン顕微鏡を実現する。
【解決手段】イオン源の導電性電極先端１８６の材料と形状を最適化して表面に三量体の原子層を形成し、極低温状体で動作させることにより気体ヘリウムとのイオン化効率を向上する。試料からオージェ電子、二次イオン、二次中性粒子、一次中性粒子、散乱イオン及び光子等の追加の粒子を検出することにより試料についての情報を決定するように構成する。 （もっと読む）

【課題】高精度に試料の不純物濃度分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明の試料の不純物濃度分布を測定する方法は、走査工程、フィルタ工程、二次電子の強度を測定する強度測定工程、ハイパスフィルタ１７のカットオフエネルギー値Ｅｃを段階的にＮ−１回上昇させる工程、及び、二次電子の強度のエネルギー分布曲線ＲＬ、ＲＨを評価する工程とを備える。カットオフエネルギー値Ｅｃの各段階において、走査工程、フィルタ工程、及び、強度測定工程が行われる。ｍを１以上Ｎ以下の任意の整数、ｐを１以上Ｎ−１以下の任意の整数、ｍ段階目のカットオフエネルギー値ＥｃをＥ_ｍ、カットオフエネルギー値ＥｃがＥ_ｍである際に測定された二次電子の強度をＩ_ｍとしたとき、Ｉ_ｐ＋１−Ｉ_ｐの値を、Ｅ_ｐ以上Ｅ_ｐ＋１以下のエネルギーを有する二次電子の強度とみなす。 （もっと読む）

【課題】 正イオン及び負イオンの検出効率を向上させることができるイオン検出装置を提供する。
【解決手段】 イオン検出装置１は、正イオン及び負イオンを進入させるイオン進入口３が設けられたチャンバ２と、チャンバ２内に配置され、負電位が印加されるコンバージョンダイノード８と、チャンバ２内に配置され、コンバージョンダイノード８と対向しかつコンバージョンダイノード８から放出された二次電子が入射する電子入射面１１ａを有するシンチレータ１１と、電子入射面１１ａに形成され、正電位が印加される導電層１３と、二次電子の入射に応じてシンチレータ１１で発せられた光を検出する光電子増倍管１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】選択を特に後方散乱電子及び二次電子に従って容易に行なうことができる検出装置を有する電子ビーム装置を提供すること。
【解決手段】電子ビーム装置（７）は、電子源（８）と、対物レンズ（１２）と第１および第２の検出器（１９，２１）と第２の検出器（２１）に割り当てられ、第２の検出器（２１）の物体側に配置された逆電界格子（３６）を備えている。物体（１８）により放出され第１の検出器（１９）の孔を通過した電子の一部は、逆電界格子（３６）により偏向され、第２の検出器（２１）により検出されないように、逆電界格子（３６）に電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】高ＳＮ比を維持しつつ形状コントラストや陰影コントラストを強調した荷電粒子線画像が得られる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】
電子源と試料の間に、二次電子ないし反射電子を衝突させて３次電子を発生させるための金属板を備え、この金属板を各々独立に電圧を印加可能な分割領域により構成する。さらに金属板に設けられる一次ビームの通過孔を電子線光軸から十分離れた場所に設ける。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、サンプルの中を通り抜けた電子を検出する複数の検出器を提供する。
【解決手段】 検出器は、望ましくは、電子のエネルギーに従って電子を分離するプリズムの中をそれらの電子が通り抜けた後に、それらを検出する。異なるエネルギー範囲における電子は、次に、異なる検出器によって検出され、望ましくは、それらの検出器の少なくとも1つは、電子がサンプルの中を通り抜けるときにそれらによって失われるエネルギーを測定する。本発明の一実施形態は、コア・ロス電子においてEELSを提供する一方、ロー・ロス電子からの明視野STEM信号を同時に供給する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定点や検査点が多数存在する場合であっても、帯電の影響に基づく、測定，検査精度の低下を抑制し得る光学条件の設定を可能とする荷電粒子線装置の光学条件設定方法、及び荷電粒子線装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、電子線で試料表面を走査することによって試料から放出される電子の検出に基づいて、前記試料上のパターンを測定する走査電子顕微鏡、或いは光学条件設定方法であって、試料上の複数の測定点の測定値から、測定数に対する測定値の変化を求め、当該変化の傾斜がゼロ、或いはゼロに近くなるように、試料表面電界を制御する走査電子顕微鏡、或いは光学条件設定方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】複数のカラムを備える粒子ビーム装置に於いて、試料との相互作用粒子の高エネルギー分解能と検出効率を実現する。
【解決手段】第１粒子ビームカラム２、第２粒子ビームカラムおよび少なくとも１つの検出器３４を有する粒子ビーム装置に於いて、検出器は第１中空体３６，３７内部の第１吸入口３９，４０を有する第１キャビティ３５，３８内において、第１粒子ビームカラム２および第２粒子ビームカラムが配置される平面とは異なる平面上に配置される。第１粒子ビームカラム２上には少なくとも１つの制御電極４１が配置され、第２粒子ビームカラムは終端電極を有する。第１相互作用粒子および／または第２相互作用粒子が第１吸入口３９，４０経由で第１中空体３６，３７内部の第１キャビティ３５，３８に入射するように、第１中空体電圧、制御電極電圧、および／または終端電極電圧を選択する。 （もっと読む）

【課題】粒子ビームを用いて試料の構造に関する情報を得るための検査方法において、試料から放出された電子およびｘ線から試料に関する情報を得ることができる検出方法および検査装置を提案する。
【解決手段】検査方法は、試料に粒子ビームを集束するステップと、試料に隣接して配置した少なくとも１つの検出器を作動するステップと、少なくとも１つの検出器によって生成した検出信号を異なった強度間隔に割り当てるステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射した電子に関連した少なくとも１つの第１信号成分を決定するステップと、強度間隔に割り当てた検出信号に基づいて、検出器に入射したＸ線に関連した少なくとも１つの第２信号成分を決定するステップとを含む。 （もっと読む）

【解決手段】１つの実施形態は、荷電粒子エネルギー分析器装置に関する。第１のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、第１の電極は、第１のキャビティが第１のメッシュの第２の側部と第１の電極との間に形成される。第２のメッシュは、第２の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第１の側部に受け渡すように配列され、第２の電極は、第２のメッシュの第１の側部と第２の電極との間に第２のキャビティが形成される。最後に、第３のメッシュは、第１の側部上で荷電粒子を受け取り、荷電粒子を第２の側部に受け渡すように配列され、位置検知荷電粒子検出器は、荷電粒子が第３のメッシュを通過した後に、荷電粒子を受け取るように配列される。 （もっと読む）

本発明は、(ａ)支持構造体(１０８)の第１の面上に配置されている第１の材料層(１１０)であって、この第１の材料層はこれに入射荷電粒子(１０４)が当るのに応答して二次電子を発生するように構成されているとともに、開口(１１２)を有しており、この開口は入射荷電粒子の一部がこの開口を通過するように構成されている当該第１の材料層と、(ｂ)支持構造体の第２の面上に前記第１の材料層から例えば、０．５cm以上の距離だけ離間されて配置されている第２の材料層であって、この第２の材料層は、荷電粒子が前記開口を通過してこの第２の材料層に当るのに応答して二次電子を発生するように構成されている当該第２の材料層とを具える装置、システム及び方法を提供するものであり、装置は荷電粒子検出器とする。
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