【課題】検査の高速化を図ることができる電子ビームを用いた検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】電子銃１からの電子ビーム３６は対物レンズ９で収束され、試料１３に与えられるリターディング電圧によって減速され、試料１３は移動しながら電子ビームで走査され、試料１３から発生した２次電子３３はリターディング電圧により加速され、ほぼ平行ビームとなって、対物レンズ９と試料１３との間に配置されたＥ×Ｂ偏向器１８により偏向されて２次電子発生体１９を照射し、２次電子発生体１９から第２の２次電子２０が発生して荷電粒子検出器２１によって検出される。検出されたその出力信号は画像信号として記憶され、記憶された画像は演算部２９及び欠陥判定部３０で比較され、欠陥が判定される。 （もっと読む）

【課題】
反射電子や透過電子の弁別をより精度良く、また観察者の必要に応じた検出が可能な検出器を提供することを目的とする。
【解決手段】
検出器としてシンチレータを近接して固定したＣＣＤ素子からなるＣＣＤ形検出器を用い、次のような手段で反射電子像あるいは走査透過像を得る。反射電子像を得るにはこの検出器を対物レンズ直下に配置する。試料の一点に電子線を照射すると試料から発生した反射電子または透過電子はシンチレータに衝突して発光パターンが形成される。このパターンをＣＣＤ形検出器で検出しメモリに記憶する。この処理を各照射位置ごとに順次繰り返すことにより電子線走査範囲の全パターンを取得する。このパターンに対して、演算処理を行い、パターンを画像に変換する。通常１つのパターンから１画素分の画像データを算出する。これを順次繰り返し電子線走査範囲の反射電子像または透過電子像を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】
低真空試料室内で起こるガス増幅を利用し、正の誘導電流検出方式を用いたVP-SEMにおいて、省スペースで安価でかつTV-Scanレート画像の取得が可能な高速応答のVP-SEM用二次電子検出器を提供する。
【解決手段】
ポリイミドフィルムのような可撓性の薄膜状基板上に電界供給電極１８と検出電極１９をエッチングなどによって二次電子検出器１７を形成する。これにより省スペース化を図り、同時にマスプロダクトによる低コスト化も実現する。また、二次電子検出器１７の面に対して水平に移動するイオン２７を検出し、試料台２３に帰る垂直方向に移動するイオン２４を検出しないようにすることで、高速応答を実現する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置において、試料表面から発生した二次信号粒子と、試料内で散乱して透過した暗視野透過信号粒子と、試料内を散乱しないで透過した明視野透過信号粒子を分離して検出し、目的に応じた最適なコントラストの像を観察する。
【解決手段】上記目的を達成するために、一次荷電粒子線が薄膜試料を透過して得られる透過信号粒子のなかで、試料内で散乱した信号粒子（暗視野透過信号粒子）のみを検出するために、試料下部に試料内で散乱しない透過信号粒子（明視野透過信号粒子）が通過できる開口を有する透過信号変換部材と、当該部材に衝突する信号を検出する検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】高速かつ頻繁なビーム電流測定を提供することが可能である荷電粒子ビーム装置及び方法を提供する。
【解決手段】 荷電粒子ビーム装置が記載されている。荷電粒子ビーム装置は、１次荷電粒子ビームを放射するために適合したエミッタと、２次および／または後方散乱荷電粒子が１次荷電粒子ビームの衝突時に放出される試料を保持するために適合した試料場所と、２次粒子および／または２次粒子を検出するために適合した検出ユニットと、１次荷電粒子ビームを検出ユニットに衝突させるため１次荷電粒子ビームを検出ユニットへガイドするために適合したビームガイドユニットとを含む。 （もっと読む）

【課題】
Ｘ線分析装置を備える走査電子顕微鏡において、試料の形態による観察および分析の煩雑な操作を軽減し、専門的な知識や能力がなくても試料の観察および分析において精度の高い結果を得ることができるようにする。
【解決手段】
本発明による走査電子顕微鏡は、試料の位置情報を把握できる試料微動装置と、三次元形状測定装置を有し、三次元形状測定により得た各画素における高さ情報を用いることで、実際に観察や分析を行う場合、分析距離への試料微動装置の自動調整や、定量分析の可否など、専門的な知識や能力がなくても目的に応じた最適な観察および分析の環境を提供できるようにした。 （もっと読む）

【課題】
従来よりも加工時間を長くすることなくイオンビームによる試料の断面形成の加工精度を向上せしめ、試料を割断することなく微小試料を分離または分離準備する時間を短縮するイオンビーム加工技術を提供する。
【解決手段】
イオン源１からイオンビームを引き出す軸と、前記イオンビームを第１の試料ステージ１３に載置された試料１１に照射するイオンビーム照射軸とが傾斜関係にある構造とし、さらに、前記試料からイオンビーム加工により摘出した試料片３０３を載置する第２の試料ステージ２４が、傾斜軸周りに回転することによりイオンビームの前記試料への照射角度を可変できる傾斜機能を持ち、前記イオンビーム照射軸に垂直な面に前記イオン源からイオンビームを引き出す軸を投影した線分が、前記第２の試料ステージの傾斜軸を前記イオンビーム照射軸に垂直な面に投影した線分と少なくとも略平行関係とすることが可能な構造であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＰＩＮ型検出器に関し、感度を低下させることなく、良好に電磁波又は荷電粒子を検出することができるＰＩＮ型検出器及びＰＩＮ型検出器を備える荷電粒子ビーム装置を提供することを目的としている。
【解決手段】本発明のＰＩＮ型検出器は、試料から発生する電磁波又は荷電粒子を検出する検出器であって、試料に対向する受光面をＰ型又はＮ型半導体とし、受光面と反対側の裏面のＮ型半導体又はＰ型半導体を分割してその裏面から信号を取り出すように構成される。 （もっと読む）

【課題】 電子の入射に応じて蛍光を発する蛍光体を提供する。
【解決手段】 電子線検出器では、ライトガイドにより、化合物半導体基板の蛍光出射表面を光検出器の光入射面に光学的に結合し、且つ、化合物半導体基板と光検出器とを物理的に接続し、もって、化合物半導体基板と光検出器とを一体化している。化合物半導体基板が入射した電子を蛍光に変換すると、ライトガイドが当該蛍光を光検出器に導き、光検出器が蛍光を検出することで、入射した電子線を検出する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム・システムの２次粒子検出器を提供すること。
【解決手段】２次粒子検出器３０２は、真空チャンバ１０７内に配置されたシンチレータ３０４および光電子倍増管などのトランスデューサ３１２を含む。従来の技術のＥｖｅｒｈａｒｔ−Ｔｈｏｍｌｅｙ検出器とは異なり、光電子倍増管は、真空チャンバ内に配置され、これにより、光学結合を排除することによって検出が向上し、検出器の配置について柔軟性が提供される。 （もっと読む）

【課題】
荷電粒子線装置において、試料表面から発生した二次信号粒子と、試料内で散乱して透過した暗視野透過信号粒子と、試料内を散乱しないで透過した明視野透過信号粒子を分離して検出し、目的に応じた最適なコントラストの像を観察する。
【解決手段】
上記目的を達成するために、一次荷電粒子線が薄膜試料を透過して得られる透過信号粒子のなかで、試料内で散乱した信号粒子（暗視野透過信号粒子）のみを検出するために、試料下部に試料内で散乱しない透過信号粒子（明視野透過信号粒子）が通過できる開口を有する透過信号変換部材と、当該部材に衝突する信号を検出する検出手段を設けた。 （もっと読む）

走査荷電粒子ビーム装置が説明される。走査荷電粒子ビーム装置は、一次電子ビームを放出するためのビームエミッタと、試料上にビームを走査させるための第１の走査段と、一次電子ビームから信号電子ビームを分離するように適応されたアクロマチックビームセパレータと、信号電子を検出するための検出ユニットと、を含む。 （もっと読む）

【課題】特定の検出器でしか撮像できない異物、またはパターンが複数存在し、それらが独立に含まれる場合、一つの検出器の画像では正確な自動フォーカス調整を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】電子線を試料に照射して試料から発生する二次信号を検出する複数の検出器と、該検出器で得られた信号を合成する演算手段とを備え、検出器のうちの少なくとも２つは電子線に対して軸対称に配置されており、該検出器それぞれの信号または合成した信号に基づいて電子線の焦点を調整する構成とする。 （もっと読む）

【課題】
対物レンズの間隙からの漏洩磁場が試料から発生した電子に影響が出ないようにして、検出器で検出される電子の検出効率を低下させないようにする。
【解決手段】
電子源で発生した一次電子を加速させる磁極兼電極と、該磁極兼電極を含み磁極兼電極と他の磁極との間が電気的および磁気的に絶縁された間隙とを有し、該間隙と、電子の検出器の検出面との中間位置に、対物レンズと同心となる補助コイルを配置し、補助コイルに対物レンズコイルに流れる電流とは逆向きの電流を流す構成とした。 （もっと読む）

【課題】本発明は走査電子顕微鏡など電子線応用装置において二次電子および反射電子の検出において検出器の小形化、エネルギーフィルタ機構の装備、二次電子/反射電子選別機構の装備などを実現し小形で高効率/高機能の検出器を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記目的は、電子入射面を低密度薄膜で隔離した小形のガス増幅形検出器を高真空に保持された電子線通路または試料室中の適切な位置に配置し、当該検出器をレンズ磁場中に配置することで検出器内を進む電子の移動距離を大きくしガス増幅率を増大させることで実現される。さらに、ガス増幅形検出器の電子入射面にエネルギーフィルタ電極を設けることで二次電子のエネルギー選別を可能とする。 （もっと読む）

【課題】
回路パターンを有する半導体装置等の検査において、陰影コントラストの強調された像を取得することを可能にし、浅い凹凸の微細な異物等を高感度に検出することを可能にする荷電粒子ビーム検査技術を提供する。
【解決手段】
高分解能観察の為に電子光学系の対物レンズに電磁重畳型対物レンズ１０３を用い、その対物レンズを用いて電子ビームを細く絞り、対物レンズ内にアシスト電極１０６と左・右検出器１１０、１１１を設け、その電子ビームを試料１０４に照射することで発生する二次電子の速度成分を選別し、さらに方位角成分を選別して検出する。 （もっと読む）

処理ツールに用いるためのファラデーカップの構造。上記ファラデーカップの構造は、導電性の受板を有しており、上記受板は、受板に衝突する各イオンを測定してイオンビーム電流の表示を得るための回路に接続されている。上記導電性の受板の前面に、イオンビーム横断面を各領域または各区域に分けるためのマスクが設けられている。上記マスクは、センサに到達する各イオンおよびセンサから離脱した粒子が処理チャンバにおける真空領域の中に入るのを防ぐための、受板に向かって延伸する各壁を含む。
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【課題】入射するイオンビーム電流の大きさを提供するイオン打ち込み装置用ビームストップであって、イオンビームの最適化に使用されることが可能なビームストップを提供する。
【解決手段】イオンビーム３４を受ける、セグメント化された表面が提供された電荷収集装置を備える、イオン打ち込み装置１０用ビームストップ１００であって、表面は、少なくとも２つのセグメントに分割され、一方のセグメントが他方のセグメントの周囲に広がり、２つのセグメントの各セグメントは、イオンビームが各セグメントに入射したときに、各セグメントによって収集された電荷を表す１つ以上の信号を提供するように動作する、ビームストップが提供される。そのようなビームストップは、イオンビームをスキャンしなくてもイオンビーム分布の情報を提供する点で有利である。 （もっと読む）

【課題】高速な画像表示を可能とし、操作性に優れた電子ビームによる画像表示装置を提供する。
【解決手段】電子ビーム照射手段３には電子ビームを偏向させて試料面を走査させる第１の偏向器２ａが設けられ、電子検出光学系４には前記第１の偏向器の出力信号に同期させて試料画像ビームを画像表示手段１２において所望の試料画像を表示するように偏向させる第２の偏向器２１ａを備えた構成とした。 （もっと読む）

【課題】一次電子線の光学条件の変化、若しくはウエハ表面に存在する一次電子線の進行方向と直交する電界の発生による二次信号の取りこぼしを最低限に抑え、Ｓ/Ｎの高い尚且つ視野内シェーディングの少ないＳＥＭ画像を得ることができ、被測定物に対して、高精度・高再現性で寸法や形状の計測、欠陥検査等の測定が可能となるパターン検査・測定技術の提供。
【解決手段】二次信号収束用レンズ６９を、前記一次電子線の進行方向上クロスオーバの位置に、若しくはウィーンフィルタ１８により二次信号が前記一次電子線を空間的に分離させ、分離された二次信号の進路上に設置する構成とする。また、前記一次電子線の光学条件（たとえば、前記リターディング電圧や帯電制御電極など）に応じて上記二次信号収束用レンズ６９の設定を変更する手段を備えることで、常に視野内二次信号の取りこぼしに起因するシェーディングが発生しないＳＥＭ像を得ることを可能にする。 （もっと読む）