【課題】低照射エネルギーＳＥＭで高分解能を得ることと側面像を得ることとの矛盾を解決する。
【解決手段】ＳＥＭの側面像と平面像を収集するための電子ビーム装置において、電子ビーム装置は、電子源、必要ならば中間レンズ、対物レンズ、およびレンズ内分割検出器を備える。電子源は電子ビームを供給する。中間レンズは電子ビームの焦点を更に絞る。対物レンズは浸漬磁気レンズと遅延静電気レンズとの組み合わせで、電子ビームの焦点を試料表面に合わせる。レンズ内検出器は、２つ以上の部分に分割されて、異なる方位角度と極角度で試料から放出される二次電子線を集めて、側面ＳＥＭ像を得る。 （もっと読む）

【目的】本発明は、荷電粒子線を検出器で検出・増幅する荷電粒子線検出装置に関し、ＭＣＰなど検出面の前面に複数枚のメッシュを設けてプラズマによるクリーニング時にこれら複数枚のメッシュに正と負の電圧を印加してプラズマ中の正の電荷および負の電荷を持ついずれの粒子もＭＣＰなどの検出器に到達しないようにすると共に、更に、メッシュを重ならないようにしてプラズマ中の中性粒子がＭＣＰなどの検出面に到達しないようにして検出器の劣化を防止することを目的とする。
【構成】 検出器の検出面の前面に複数枚のメッシュを設け、プラズマを発生させて検出器の近傍の空間をクリーニングする時に、複数枚のメッシュに正の電圧および負の電圧を印加する荷電粒子線検出装置である。 （もっと読む）

高圧型ＳＥＭ（例えば、エフ・イー・アイ社のＥＳＥＭ（登録商標）環境型ＳＥＭ）と一緒に用いる検出器が、有効な検出スペースをＰＬＡの上に拡張し、これによって、作動距離または圧力を増大させることなく二次信号増幅を増大させる。したがって、実施形態は改善された分解能を提供することができ、より低いガス圧で動作可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明はＷＤが短く、高分解能化に適した装置であっても、高いイオン検出効率を得ることができる走査電子顕微鏡を提供することを目的とするものである。
【解決手段】上記目的を達成するための構成として、試料室を所定の真空に維持するための第１の差動排気絞りより、電子源側にイオンを検出するためのイオン検出器を配置した走査電子顕微鏡を提案する。このような構成によれば、セミインレンズ式の対物レンズによる高分解能化と、二次電子とガス分子の衝突によって発生するイオン検出の両立が可能となる。 （もっと読む）

【課題】
電磁式対物レンズを用いた走査型電子顕微鏡において、焦点合わせの応答性の優れた走査型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子線を試料上で走査する走査手段と、試料から生じた二次電子および反射電子の少なくともひとつを検出する検出手段と、検出手段により検出された信号に基づいて生成された試料像を表示する表示手段と、電子線に収束作用を与え試料上に焦点を合わせる電磁式対物レンズと、該対物レンズの磁路、もしくは該磁路に配置されて電気的に絶縁された電極と、該電極に電圧を印加する電圧制御手段とを備え、該電圧制御手段により印加される電圧によって対物レンズを通過する電子線のエネルギーが高くなるように、かつ試料から生じた二次電子および反射電子の少なくともひとつを加速させるように電極が配置されるとともに、電圧制御手段により対物レンズを通過する電子線の焦点位置を変化させる構成とする。 （もっと読む）

【課題】同定の時間が早く、コンタミネーションおよび帯電が無いと共に、構造欠陥の物質を同定する精度の高い電子ビーム検査方法および装置を実現する。
【解決手段】後方散乱電子の散乱情報を用いて、ばらつきΔＳを含む放出効率の平均値Ｓを求め（ステップＳ３０４）、この平均値ＳおよびばらつきΔＳを用いて、試料５の構造欠陥をなす物質の候補物質を複数選択し（ステップＳ３０５）、さらに電子ビーム２の電子エネルギーを変化させ（ステップＳ３０７）、この候補物質の選択を繰り返し、取得される複数の候補物質情報の中から構造欠陥をなす物質を同定することとしているので（ステップＳ３０８）、高い精度で構造欠陥をなす物質の同定を行うことができ、ひいてはＥＤＳ等を用いることなく安価で、高速で、しかも高い精度の物質同定を行うことを実現させる。 （もっと読む）

正のスロット構造及び負のスロット構造（１０４，１０６）を用いることによって、イオン注入の軸に沿った測定入射角を得る。正のスロット構造は、入射開口部（１２０）、出射開口部（１２２）、及び、該入射開口部と該出射開口部とを結ぶスロット外形部を備えている。正のスロット構造は、正の方向において選択された角度範囲を有するイオンビームの一部分を得る。負のスロット構造は、入射開口部（１２１）、出射開口部（１２３）、及び、該入射開口部と該出射開口部とを結ぶスロット外形部とを備えている。負のスロット構造は、負の方向において選択された角度範囲を有するイオンビームの一部分を得る。第一の電流測定装置（１２４）は、正の角におけるビーム電流測定値を得るために、正の部分のビーム電流を測定する。第二の電流測定装置（１２６）は、負の角におけるビーム電流測定値を得るために、負の部分のビーム電流を測定する。分析コンポーネントは、上記正の角におけるビーム電流測定値及び上記負の角におけるビーム電流測定値を用いて、測定入射角を算出する。
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【課題】基板の所定の領域内にイオン注入領域を形成するためのイオン注入方法及びデバイスが提供される。
【解決手段】本方法は、以下のステップを有する。先ず、イオンビームが提供され、次に、そのイオンビームの第１の断面形状と第１のイオン密度分布とが検出される。それから、イオンビームの第２の断面形状と第２のイオン密度分布とが、所定のスキャンパスに沿ってイオンビームを移動することによって検出される。その後、所定のスキャンパスが、第１の断面形状、第１のイオン密度分布、第２の断面形状、及び第２のイオン密度分布に従って調節かつ最適化される。次に、イオンビームは、最適化された所定のスキャンパスに沿って最適化されて、基板の所定の領域内にイオン注入領域を形成する。 （もっと読む）

イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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イオン源、システム及び方法を開示するものである。
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【課題】写像する電子顕微鏡の光学コラム内、または電子分光計のビーム出射口後部において、スピン偏極を分析するための方法と、その方法を実施するための適切なシステムを提供する。
【解決手段】散乱電子を検出するため、光電子の光学経路上に偏光感度を有する散乱ターゲット（１）と位置敏感型検出器、または複数の検出器からなる配置を含んでいる。その際、分析される電子線スピン偏極の横の位置分布も同時検出され、それによって、スピン偏極検出器の測定効率は、１〜２段階向上する。 （もっと読む）

【課題】 検出信号への雑音の回り込みを防止すること。
【解決手段】 シールドケース１を遮蔽板３，１３により複数の空間に区画し、各空間に高電圧供給基板と、前置増幅回路基板、及びフィードバック信号のケーブル３４、３５をそれぞれ分離して配置するとともに、低速電子検出器をシールドケースの外面に着脱可能に取り付けて構成されている。 （もっと読む）

【課題】試料の描画中に発生する電子ビームの位置異常、電子ビーム照射量等の特性の異常の発生を即座に検出できる電子ビーム装置及びその電子ビーム装置を用いるデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】偏向制御手段により試料上に照射されるように偏向制御された電子ビーム２を通過させる開口部９、偏向制御手段により試料上に照射されないように偏向制御された電子ビームを遮蔽する遮蔽部、および、遮蔽部の下面に発光物質を有する発光体を有するアパーチャ手段と、電子ビームが開口部を通過し試料に照射され反射された反射電子および２次電子１８の少なくとも一方により発光体から発生する光を検出する検出手段１１と、検出手段の検出結果１４に基づいて、試料上での照射状態を求める手段１５と、を備えるため、試料に照射された電子ビームの特性を導出できる。 （もっと読む）

【課題】ビーム１本あたりの電流量が低いマルチ電子ビーム型露光装置において、ランディング角度を計測すること。また、荷電粒子ビーム応用装置において、ランディング角度の絶対値と高ＳＮ比で相対ランディング角度を計測すること。
【解決手段】２枚の絞り板（第１絞り６ａ、第２絞り６ｂ）と検出器６ｃとの組み合わせの透過型検出器において、第１絞り６ａと第２絞り６ｂとの間隔ｈと第２絞り６ｂの開口径ｄから決まる検出見込み角ａを被計測電子ビーム１０の開き角と略一致させるか検出見込み角ａが開き角より小さい構造とし、検出される電流値が最大となる第１絞りの微小開口１１中心と第２絞り開口１２中心との関係からランディング角度を決定する。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程途中のウエハ検査で、高分解能を維持して浅い凹凸、微小異物のレビュー、分類を高精度に行う目的で、二次電子を検出系の中心軸を合わせると共に、検出系の穴による損失を避けて高収率な検出を実現する。
【解決手段】高分解能化可能な電磁界重畳型対物レンズにおいて、試料２０から発生する二次電子３８を加速して対物レンズ１０による回転作用の二次電子エネルギー依存性を抑制し、電子源８と対物レンズ１０の間に設けた環状検出器で二次電子の発生箇所から見た仰角の低角成分と、高角成分を選別、さらに方位角成分も選別して検出する際、加速によって細く収束された二次電子の中心軸を低仰角信号検出系の中心軸に合わせると共に、高仰角信号検出系の穴を避けるようにＥｘＢで二次電子を調整・偏向する。 （もっと読む）

【課題】検出方式が改善された荷電粒子装置を提供すること。
【解決手段】この装置は、１次荷電粒子ビームを提供する荷電粒子源（１）と、電位を提供する第１のユニット（５）と、電位を提供する第２のユニット（７）と、第１ユニット（５）と第２ユニット（７）の間に位置決めされた中央ユニット（６）とを備える。この中央ユニットは、１次荷電粒子を第１の低エネルギーに減速し、この１次荷電粒子を第２の高エネルギーに加速するために第１および第２のユニットの電位と異なる電位を提供することができる。第１ユニット（５）および／または第２ユニット（７）は、試料（４）のところで放出される２次電子を検出する検出器である。 （もっと読む）

【課題】改善された検出方式を有する分析システムおよびこのシステムを備える荷電粒子ビームデバイスの提供。
【解決手段】荷電粒子のビーム（２）を分析する分析システムは、荷電粒子のビーム（２）をその粒子のエネルギーに応じて低エネルギービーム（１８）と高エネルギービーム（１９）に分割するためのディバイダ（１６）と、高エネルギービーム（１９）を検出するための前方検出器（１７）と、低エネルギービーム（１８）を検出するための少なくとも一つの後方検出器（１５）とを有する。ディバイダは、前方検出器と少なくとも一つの後方検出器との間に配置され、そして前方検出器（１７）および／または少なくとも一つの後方検出器（１５）はセグメントに分割されている。 （もっと読む）

【課題】 複数の二次電子若しくは反射電子検出器を持つ電子顕微鏡において、複数の検出器のコントラスト／明るさの制御をひとつの制御操作で行えるようにする。
【解決手段】 作動距離などの観察条件の変化に伴って変わる各検出器間の信号量比率を用いて、コントラスト／明るさ制御を行うために必要なコントラスト可変量係数を検出器ごとに設定する。例えば作動距離とコントラスト可変量係数との関係を求めておき、観察条件メモリ21から読み出した作動距離に対して、係数算出部23により上方検出器６と下方検出器７に対して個別にコントラスト可変量係数算出し、コントラスト／明るさ操作部によるひとつの制御動作に対して、各々の検出器に対するコントラストの変化量を、検出器制御部14,15を介して個別に与える。 （もっと読む）

【課題】短い作用距離、コンパクトなデザインで、試料の高速かつ高品質な撮像を可能にすると同時に、画像コントラストの増強をもたらす分析システム及び荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビームの荷電粒子を偏向及びエネルギー選択する荷電粒子ユニットに関する。荷電粒子ビームを偏向及び焦点合わせするための二重焦点セクターユニット４２５，４４５及び電位を形成するためのエネルギーフィルタ４６０が設けられ、これにより荷電粒子ビームの荷電粒子は、荷電粒子のエネルギーに応じて電位鞍点において方向を転換される。 （もっと読む）

【課題】 低加速電圧を用いた高精度な三次元解析を行える走査型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 二次電子検出器１２よりも電子源側に、４分割された変換電極２１ａ〜２１ｄが配置されている。変換電極２１ａは対物レンズの下面（試料側）より上方に配置されており、その変換電極２１ａに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、変換電極２１ａの近傍の二次電子検出器１２ａに捕集される。同様にして、変換電極２１ｂに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換されて二次電子検出器１２ｂにより捕獲され、変換電極２１ｃに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換されて二次電子検出器１２ｃにより捕獲され、変換電極２１ｄに衝突した反射電子２３ａは二次電子２３ｂに変換され、二次電子検出器１２ｄに捕集される。 （もっと読む）