【課題】本発明は、メンブレンを効率良く大きく変形させることができ圧電デバイスおよび超音波探触子並びに圧電デバイスの製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子における圧電デバイスとしての超音波送受信部５は、積層された薄板状の圧電部材６２を有する円形状のメンブレン６と、電極とを備えている。電極は、圧電部材６２の第１領域６８と第２領域６９とに夫々電圧の印加に伴い互いに逆向きの応力が発生し得るように、前記圧電部材６２に設けられた複数組の一対の第１電極６３、６５及び第２電極６４を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、超音波の送受信の性能を向上させることができる超音波探触子および超音波診断装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明の超音波探触子５は、薄板状の基板６１と、基板６１に積層された薄板状の圧電部材６２と、前記圧電部材６２に形成されたリング状の１対の第１及び第２電極６３，６４と、前記１対の第１及び第２電極６３，６４に電圧を印加した場合に生じる電界の方向である径方向に延ばされ複数の溝７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】メンブレンの破損を防止できる圧力センサー、センサーアレイ、圧力センサーの製造方法を提供すること。
【解決手段】圧力センサー６は、開口部６１Ａを有する支持体６１と、支持体６１上に設けられて、開口部６１Ａを閉塞するダイアフラム７を有する支持膜６２、及びダイアフラム７上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体６３を備えた圧力検出部９と、圧力検出部９上に、支持膜６２の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部６４Ａを有するとともに、支持膜６２を膜厚み方向から見た平面視において、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１が開口部６１Ａと重なる位置、または開口部６１Ａよりも外側に形成される枠体６４と、枠体６４を閉塞する封止膜６５と、空洞部６４Ａの筒状内周壁６４１、封止膜６５、圧力検出部９により形成される内部空間６６に充填されるシリコーンオイル２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】生産性が高い超音波探触子および超音波探触子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電膜３およびバッキング材５を同じエアロゾルデポジション法によって形成するようにしたので、タングステンやフェライトの粉末などを非可撓性エポキシ樹脂に混入させるなどしてバッキング材を形成する他の方法に比べて短時間で形成でき、生産性が高めることができる。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子の小型化及び高出力化を図る。
【解決手段】本発明の超音波振動子１は、複数の圧電素子８〜１１と複数の負極端子板１４、１６、１８、正極端子板１５、１７とを交互に積層して一体化した圧電素子ユニット２８と、負極端子板１６（又は正極端子板１５）における側面１６ｃ（又は１５ｃ）の一部を覆う絶縁層３１（又は３２）と、負極端子板１６（又は正極端子板１５）における各主面１６ａ、１６ｂ（又は１５ａ、１５ｂ）と圧電素子９、１０（又は８、９）を介してそれぞれ隣り合う正極端子板１５、１７（又は負極端子板１４、１６）どうしの間を絶縁層３１（又は３２）の外側から接続する導電層３３（又は３４）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子間の固有周波数のバラツキが少ない圧電振動子を提供する。
【解決手段】セラミックス板に電極を形成してセラミックス部分に分極処理を行って作製した圧電セラミックスに、複数本の平行な溝を形成する工程を経て、圧電振動子を製造するにあたり、圧電セラミックスに関して予め設定した固有周波数ｆ_０、溝に関して予め設定した溝間の幅ｗ_０、溝の深さｄ_０に対し、実際に圧電セラミックスを作製したときに、その固有周波数ｆを測定し、それらに基づき、下記式（１）により、実際に形成する溝の深さｄを求め、その深さｄに溝を形成する工程を経て圧電振動子を製造する。（ｒ−ｒ_０）／ｒ_０＝α×（ｆ−ｆ_０）／ｆ_０（１）（式中、ｒ_０＝ｗ_０／ｄ_０、ｒ＝ｗ_０／ｄ、αは特定の固有周波数帯において同様の事例にて予め測定した値から算出した実数である） （もっと読む）

【課題】超音波振動子において、安定した構造で効果的に温度変化による圧電素子の与圧力の変化を低減することを目的とする。
【解決手段】軸方向に延びる開口４２が設けられる振動子本体５０と、開口４２内に軸方向に積層して嵌めこまれた圧電素子４４と、振動子本体５０と実質同一の熱膨張係数を備え、圧電素子４４の間に差し込まれて圧電素子４４を振動子本体５０との間で圧縮するテーパ部材４８と、を含む圧電素子内蔵型の超音波振動子１００であって、開口４２内に積層された圧電素子４４とテーパ部材４８との間に設けられて圧電素子４４と共に積層圧縮され、振動子本体５０と圧電素子４４との軸方向の熱膨張の差を吸収することのできる熱膨張係数と厚さとを有し、振動子本体５０と異なる材料で、その内部を伝搬する音速が振動子本体５０の内部を伝搬する音速と略同一である背面体４６を備える。 （もっと読む）

ｃＭＵＴおよびｃＭＵＴの動作方法は、異なる周波数特性を伴う２つの構成要素を有する入力信号を使用する。第１の構成要素は、主として、ｃＭＵＴの周波数応答帯域の範囲内にある音響周波数を有し、一方で、第２の構成要素は、主として、周波数応答帯域の範囲外にある周波数を有する。バイアス信号、および入力信号の第２の構成要素は、ともに動作電圧をｃＭＵＴに印加する。動作電圧は、伝送および受信モード等の動作モード間で可変である。ｃＭＵＴは、ＡＣ構成要素を１つしか必要とせずに、可変動作電圧を可能にする。これは、複数のｃＭＵＴ要素によってバイアス信号を共通に共有できるようにし、かつ製造を簡略化する。ｃＭＵＴおよび動作方法の実装形態は、特に、受信モードがより高い高調波周波数を受信する、超音波高調波撮像に好適である。
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【課題】超音波振動子において、圧電素子にねじり応力が加わることなどを抑制すると共に振動特性のばらつきを抑え、また生産性を向上させつつ小型化や高出力化を実現する。
【解決手段】本発明の超音波振動子１は、圧電素子８、９、１０、１１と、圧電素子８、９、１０、１１を挟持する前面板２及び裏打板３と、前面板２及び裏打板３どうしの間に介在された状態で圧電素子８、９、１０、１１を包囲しつつ、前面板２及び裏打板３の各々にかしめられた側面板１２とを備える。また、この超音波振動子１では、前面板２及び裏打板３を通じて圧電素子８、９、１０、１１が加圧された状態で、側面板１２は、前面板２及び裏打板３にかしめられている。 （もっと読む）

【課題】高温の被検体３８に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施する。
【解決手段】導電性材料の被検体３８に対向する開口２を有する導電性材料で形成された筐体２１の外面に信号端子２４設け、筐体２１内に振動子２８を収納すると共に、一端が信号端子２４の正極３３側に電気的に接続され、他端が振動子２８の上面に当接して振動子２８を被検体３８に付勢する正極側ばね部材３０と、一端が筐体２１に固定され他端が被検体３８に当接する負極側ばね部材３５とを設けることによって、２３０℃〜２４０℃の溶融点温度のはんだの使用を排除し、結果的に、高温の被検体の検査を実施できる。 （もっと読む）

典型的に数平方センチメートルの領域に亘って約１００ワットのパワーで１５ｋＨｚから１ＭＨｚの範囲にある超音波が、流体媒体を処理するため、例えば泡表面層を有する液体を処理して泡立ちを迅速に抑えるために、トランスミッタのホルン形状キャビティを介して付与される。
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半導体ウエハなどの平らな物を音響エネルギを用いて処理するシステム、装置及び方法。本発明によるシステム、装置及び方法は、洗浄処理において、ウエハの両面から微粒子を効率的かつ効果的に除去することが出来る観点を有する。本発明は、平らな物を処理する装置であり、装置は、平らな物を支持する回転可能な支持体、回転可能な支持体上の平らな物の第１の表面に液体を供給する第１のディスペンサ、及び、回転可能な支持体上の平らな物の第２の表面に液体を供給する第２のディスペンサ、を有し、更に、装置は、音響エネルギを生成する第１のトランスデューサ及び該第１のトランスデューサに音響的に接続された第１のトランスミッタを有する第１のトランスデューサ装置を有し、第１のトランスデューサ装置は、前記第１のディスペンサが前記回転支持体上の平らな物の前記第１の表面に液体を供給すると、前記第１のトランスデューサの一部分と前記平らな物の第１の表面の間に液体の第１のメニスカスが形成されるように位置決めされており、更に、装置は、音響エネルギを生成する第２のトランスデューサ及び該第２のトランスデューサに音響的に接続された第２のトランスミッタを有する第２のトランスデューサ装置を有し、該第２のトランスデューサ装置は、第２のディスペンサが回転支持体上の前記平らな物の第２の表面に液体を供給すると、前記第２のトランスデューサの一部分と前記平らな物の第２の表面の間に液体の第２のメニスカスが形成されるように位置決めされている。
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【課題】 基板を移動するローラ及び超音波センサを支持する部材が必要となるために、構成が複雑になり、ローラや部材で反射された超音波によって誤動作を生じる。
【解決手段】 側壁７に第１、第２のコア８、９が固定され、第１の回転部１０は第１のコア８に回転自在に装着され、中心部分にコイル１０ｂを装着し、コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子１０ａに接続し、第１のコイル部１１は第１のコアによって第１の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイル１１ｂを装着し、第２の回転部１３は本体の第２のコア９に回転自在に装着され、中心部分にコイル１３ｂを装着し、コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子１３ａに接続し、第２のコイル部１４は第２のコア９によって第２の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイル１４ａを装着している。 （もっと読む）

結石破砕用の超音波衝撃波ヘッドは、衝撃波源（２）と、この衝撃波源（２）で発生された超音波衝撃波を焦束させるための音響レンズ（６）とを有し、音響レンズ（６）に衝撃波源（２）用の支持ハウジング（８）が一体成形されている。
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超音波エネルギ源に接続されたホーンを具備する振動エネルギを作用するための音響システムに関する。ホーンは、全長および波長を画定し、その少なくとも前縁部はセラミック材料から構成される。前縁部は、ホーン波長の少なくとも１／８の長さを有する。好ましい一実施形態において、ホーンの全体はセラミック材料であり、締り嵌めによって導波路などの個別の構成部品に取付けられる。これに関係なく、ホーンの少なくとも大部分にセラミック材料を用いることによって、本発明の超音波システムは、高温および／または腐食性の流体媒体などの極度な環境で長期間作動することが容易になる。本発明は、金属マトリックス複合ワイヤの作製に有用である。
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本発明は音響誘導の流れを利用して少なくとも１つのミクロキャビティの液体を混合する方法で、少なくとも１つの圧電音響変換器を使って、10MHｚよりも１周波数大きいか、それと同じの、少なくとも１つの周波数の超音波を、超音波の波長の1/4よりも大きい寸法の固体層を通して、そこで音響誘導の流れを作るため、少なくとも１つのミクロキャビティに送る方法、と本発明の方法実施のための装置である。
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加工物中に、または加工物から、直線偏波横波の形の超音波の非結合発生および／または受波を行うための、加工物の内部で超音波の変換を行う少なくとも１つのユニットを有する電磁超音波変換器が開示される。このユニットは、高周波磁界の発生または検出を行うためのコイル配列と、加工物中で高周波磁界に重畳する準静的磁界の発生を行うための事前磁化ユニットとを備える。ここで、前記コイル配列は、Ｕ字状または部分リングの形をした少なくとも１つの磁気コアに配列されたトルスの形であり、磁気コアは、加工物に面するように回すことができる２つの前端部を有する。本発明は、加工物に面するように回すことができる磁気コアの前端部が磁束誘導片に直接または間接的に接続され、この磁束誘導片がそれらの前端部を互い接続し、かつ加工物に面する表面を有することを特徴とする。
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【課題】超音波の送信周波数や配管への入射角を適切に選択し、流体の流速や流量を高精度に測定可能とした超音波流速分布計を提供する。
【解決手段】配管の外側に設置した超音波トランスデューサから配管内部の被測定流体へ超音波を入射し、被測定流体中に存在する反射体により反射した超音波の周波数がドップラー効果により変化することを利用して被測定流体の流速分布を計測するクランプオン型ドップラー式超音波流速分布計であって、超音波トランスデューサと管体との間に音波伝搬性の楔を介在させてなる超音波流速分布計に関する。楔から配管に入射する超音波の入射角と楔における音速と配管における横波及び縦波の音速と配管の板厚とから計算される、ラム波の各モードの配管における屈折角が臨界角となる周波数を避けて、超音波の送信周波数を選択する。 （もっと読む）