高温用超音波探触子
【課題】高温の被検体３８に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施する。
【解決手段】導電性材料の被検体３８に対向する開口２を有する導電性材料で形成された筐体２１の外面に信号端子２４設け、筐体２１内に振動子２８を収納すると共に、一端が信号端子２４の正極３３側に電気的に接続され、他端が振動子２８の上面に当接して振動子２８を被検体３８に付勢する正極側ばね部材３０と、一端が筐体２１に固定され他端が被検体３８に当接する負極側ばね部材３５とを設けることによって、２３０℃〜２４０℃の溶融点温度のはんだの使用を排除し、結果的に、高温の被検体の検査を実施できる。
【解決手段】導電性材料の被検体３８に対向する開口２を有する導電性材料で形成された筐体２１の外面に信号端子２４設け、筐体２１内に振動子２８を収納すると共に、一端が信号端子２４の正極３３側に電気的に接続され、他端が振動子２８の上面に当接して振動子２８を被検体３８に付勢する正極側ばね部材３０と、一端が筐体２１に固定され他端が被検体３８に当接する負極側ばね部材３５とを設けることによって、２３０℃〜２４０℃の溶融点温度のはんだの使用を排除し、結果的に、高温の被検体の検査を実施できる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体に対して超音波を伝搬させて被検体に対する各種検査を行うための超音波探触子に係わり、特に、高温の被検体に対する検査を行う高温用超音波探触子に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼板等の被検体の内部に存在する欠陥の検出や、鋼板等の被検体の厚み測定を簡易に実施する手法として、超音波検査手法が広く実用化されている。この超音波検査手法においては、被検体に対して超音波を送受信する超音波探触子が用いられる。超音波探触子には、被検体の表面に対して斜め方向に超音波を入射させる斜角型の超音波探触子と、被検体の表面に対して垂直方向に超音波を入射させる垂直型の超音波探触子とがある。
【０００３】
図１０（ａ）、（ｂ）は垂直型の超音波探触子の断面図及び外観図である。導電性金属材料で、下端に開口２を有する円筒形に形成された筐体１の上面に信号端子３が取付けられている。筐体１内には例えばアクリル樹脂等で円柱形に形成されたダンパー材４が収納されている。このダンパー材４の下面に、例えば水晶、チタン酸バリウム系磁器、セラミック、ニオブ酸鉛系磁器等の圧電材料で形成された円盤状の振動子５が貼付けられている。
【０００４】
なお、振動子５の上面及び下面は導電性膜６、７がコーティングされている。円柱形のダンパー材４の軸心に穿設された貫通孔９内に、導電性膜６がコーティングされた振動子５の上面と信号端子３の正極９とを接続するリード線８が収納されている。なお、リード線８は振動子５にコーティングされた導電性膜６及び信号端子３の円筒状の正極９に「はんだ」で接続されている。
【０００５】
さらに、振動子５の下面にコーティングされた導電性膜７はリード線１１を介して、筐体１の開口２部の内周面に接続されている。なお、リード線１１は振動子５にコーティングされた導電性膜７及び筐体１の開口２部の内周面に「はんだ」で接続されている。信号端子３の負極１２は筐体１に対して、例えば、一体形成されているので、導電性膜６がコーティングされた振動子５の下面は信号端子の負極１２と電気的に接続される。なお、導電性膜６がコーティングされた振動子５の下面には、この振動子５を保護するための保護膜１３が貼付けられている。
【０００６】
なお、実際の測定時には、信号端子３に図示しない超音波測定装置から信号が入出力されるコネクタ１４が装着される。
【０００７】
このような構成の垂直型の超音波探触子１５を被検体１６の表面に図示しない治具で押し当てた状態で、超音波測定装置から、例えば繰返し周波数５００Hzのパルス信号をコネクタ１４、信号端子３、リード線８を介して振動子５に印加すると、振動子５から、振動子５の厚みで定まる例えば振動周波数５ＭHzを有した繰返し周波数５００Hzの超音波パルス１７が被検体１６の表面に対して垂直方向に入射して、被検体１６内を垂直方向に伝搬する。被検体１６内を伝搬している超音波パルス１７が欠陥又は被検体１６の底面に当接すると、元来た経路を逆進して振動子５へ入力される。
【０００８】
なお、高温用の超音波探触子は、例えば、特許文献１に報告されている。
【特許文献１】特開平１０―３３９７２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら上述した超音波探触子においてもまだ解消すべき次のような課題があった。
【００１０】
すなわち、近年、超音波検査手法を用いて、欠陥検出や厚み測定を精度良く検査できる被検体における測定条件範囲の拡大が求められている。例えば、化学工場の各種プラントにおける配管、タンク等に対する定期的な超音波探傷や定期的な厚み測定等が要求されている。
【００１１】
しかしながら、これらの配管、タンク等に対する探傷や厚み測定は、プラントを稼働状態に維持した状態で実施する必要があるので、配管、タンク等に高温の気体や液体が通流又は貯蔵されている場合には、被検体１６の温度が高温になる。例えば、３００℃を超える場合がある。被検体１６の温度が高温になると、この被検体１６に対して例えば治具等を用いて押当てられている超音波探触子１５の温度も高温になる。
【００１２】
図１０（ａ）、（ｂ）に示す超音波探触子１５を構成する各部材において、温度上昇に対して最も脆弱な部材は、被検体１６に保護膜１３を介して接している振動子５の導電性膜６と信号端子３とを接続し、かつ、リード線１１で振動子５にコーティングされた導電性膜７と開口２部とを接続する「はんだ」である。
【００１３】
一般的に「鉛」と「すず」とをほぼ５０％の割合で混合した「はんだ」の融点温度は約２００℃程度である。「高温はんだ」と称されるものでも、その融点温度はせいぜい２３０℃〜２４０℃である。この融点温度を超える温度の被検体１６を検査すると、リード線８が振動子５から離れてしまう。したがって、この超音波探触子１５において検査可能な被検体の温度範囲は高くても２３０℃〜２４０℃である。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、たとえ、はんだの溶融温度を超える高温の被検体であったとしても、この高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる高温用超音波探触子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明の高温用超音波探触子は、導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が筐体に接し振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、一端が信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が振動子の他方面に当接して振動子を被検体に付勢する正極側ばね部材と、一端が筐体に固定され他端が被検体に当接する負極側ばね部材とを備えている。
【００１６】
このように構成された高温用超音波探触子においては、導電性材料で形成された筐体内に収納された振動子は正極側ばね部材にて被検体に付勢されている。さらに、振動子の他方面（上面、正極側面）は正極側ばね部材を介して、信号端子の正極側に電気的に接続されている。また、振動子の一方面（下面、負極側面）は導電性材料の被検体に接している。筐体と導電性材料の被検体との間には、負極側ばね部材が介挿されている。したがって、振動子の一方面（下面、負極側面）は信号端子の負極側に接続されている。
【００１７】
このように構成された高温用超音波探触子を例えば治具等を用いて被検体に押当てた状態においては、溶融点温度が低いはんだを用いずに、振動子の他方面（上面、正極側面）と一方面（下面、負極側面）は正極側ばね部材及び負極側ばね部材を介して信号端子の正極側及び負極側に電気的に確実に接続されるので、はんだの溶融点温度を超える高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【００１８】
また、別の発明の高温用超音波探触子は、導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が筐体に接し振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、一端が信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して振動子を被検体に付勢する正極側ばね部材と、一端が筐体に固定され他端が被検体に当接する負極側ばね部材と、正極側ばね部材及び負極側ばね部材の付勢力に抗して、筐体を被検体にクランプするクランプ機構とを備えている。
【００１９】
このように構成された高温用超音波探触子においては、筐体を被検体にクランプするクランプ機構が設けられているので、別途、検査時に高温用超音波探触子を被検体に押当てるための治具を準備する必要がない。
【００２０】
また、別の発明の高温用超音波探触子は、非導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が筐体に接し振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、一端が信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が振動子の他方面に当接して振動子を被検体に付勢する正極側ばね部材と、一端が筐体に固定され他端が導電性膜がコーティングされた被検体に当接する負極側ばね部材と、正極側ばね部材及び負極側ばね部材の付勢力に抗して、筐体を被検体にクランプするクランプ機構とを備えている。
【００２１】
このように構成された高温用超音波探触子においては、被検体が非導電性材料の場合においては、この被検体の振動子が当接する部分には導電性膜がコーティングされているので、振動子の一方面（下面、負極側面）はコーティングされた導電性膜、負極側ばね部材及び筐体を介して信号端子の負極側に電気的に確実に接続される。したがって、非導電性材料の高温の被検体であっても、この非導電性材料の高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の高温用超音波探触子においては、ばね部材でもって振動子に対する信号の送受信と振動子の被検体に対する付勢を行っているので、ばね部材が振動子から離れることはない。その結果、従来のはんだを用いる必要はないので、はんだの溶融温度を超える温度の被検体であったとしても、この高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の各実施形態を図面を用いて説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
図１（ａ）、（ｂ）は本発明の第１実施形態に係わる高温用超音波探触子の断面図及び上面図である。
【００２５】
この第１実施形態の高温用超音波探触子２０においては、導電性金属材料で、下端に開口２２を有する円筒形に形成された筐体２１の上端の蓋２３に信号端子２４が取付けられている。筐体２１内にはダンパーケース２５で覆われたダンパー材２６が収納されている。このダンパー材２６の上面にストッパー材２７が収納されている。ダンパー材２６の下面に、例えば水晶、チタン酸バリウム系磁器、セラミック、ニオブ酸鉛系磁器等の圧電材料で形成された円盤状の振動子２８が、落下しない程度に緩やかに貼付けられている。
【００２６】
なお、振動子２８の上面及び下面は導電性膜がコーティングされている。円柱形のダンパー材２６、円柱形のストパー材２７の軸心に穿設された貫通孔２９内に、正極側ばね部材としての導電性材料で形成されたコイルばね３０が収納されている。コイルばね３０の上端はストパー材２７に固定された電極板３１に当接しており、コイルばね３０の上端は電極板３１、リード線３２を介して、信号端子２４の正極３３に接続されている。コイルばね３０の下端は導電性膜がコーティングされている振動子２８の上面に当接している。そして、コイルばね３０の上端位置は電極板３１位置に固定されているので、振動子２８は、コイルばね３０により下方に付勢されており、振動子２８の下面は、筐体２１の下端開口２２から例えば１ｍｍ程度下方へ露出している。
【００２７】
円筒形に形成された筐体２１の外周面の下方位置には、段部３４が形成されており、この環状の段部３４に、負極側ばね部材としての導電性材料で形成されたコイルばね３５が挿入されている。コイルばね３５の下端は、筐体２１の下端開口２２から例えば１０ｍｍ程度下方へ露出している。なお、このコイルばね３５のばね定数（反発力）は非常に小さく、図２に示すように、この高温用超音波探触子２０を平板状の被検体３８の上面に載置すると、高温用超音波探触子２０の重力にて、コイルばね３５が圧縮され、被検体３８の上面が振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面に当接する。
【００２８】
一方、信号端子２４の円筒形状を有した負極３６は蓋２３及び筐体２１を介して、コイルばね３５に電気的に接続されている。上述したように、この高温用超音波探触子２０を平板状の被検体３８の上面に載置すると、コイルばね３５の下端は導電性材料の被検体３８の上面に当接するので、結果的に、実際の検査時においては、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体３８、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続されることになる。また、実際の測定時には、信号端子２４に図示しない超音波測定装置から信号が入出力されるコネクタ３７が装着される。
【００２９】
このように構成された第１実施形態の高温用超音波探触子２０においては、この高温用超音波探触子２０を図示しない治具を用いて、導電性材料の被検体３８に押当てたり、図２に示すように、この高温用超音波探触子２０を平板状の被検体３８の上面に載置すると、コイルばね３０にて、振動子２８が被検体３８の上面に付勢される。また、この状態においては、振動子２８の上面は、コイルばね３０、電極板３１、リード線３２を介して、信号端子２４の正極３３に接続されている。また、この状態においては、上述したように、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体３８、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続される。
【００３０】
したがって、この高温用超音波探触子２０は図示いない超音波測定装置から入力されたパルス信号に応じて超音波パルスを被検体３８に対して送受信できる。この場合、溶融点温度が低いはんだを用いずに、振動子２８の上面（正極側面）と下面（負極側面）はコイルばね３０、３５を介して信号端子２４の正極３３及び負極３６に電気的に確実に接続されるので、２３０℃〜２４０℃のはんだの溶融点温度を超える高温の被検体３８に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【００３１】
なお、測定可能な被検体３８の上限温度は、例えば水晶、チタン酸バリウム系磁器、セラミック、ニオブ酸鉛系磁器等の圧電材料で形成された円盤状の振動子２８における圧電機能が急激に劣化する二次相転移温度（キュリー点温度）である５３０℃（ニオブ酸鉛系磁器）である。
【００３２】
（第２実施形態）
図３は本発明の第２実施形態に係わる高温用超音波探触子の断面図である。図１（ａ）、（ｂ）に示す第１実施形態の高温用超音波探触子２０と同一部分には同一符号を付して重複する部分の詳細説明を省略する。
【００３３】
この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａにおいては、振動子２８、ダンパー材２６、ストパー材２７、コイルばね３０を収納した筐体２１の外周面にネジ溝３９が刻設されており、このネジ溝３９にクランプ機構としての袋ナット４０がねじ込まれている。
【００３４】
袋ナット４０の上壁には前記ネジ溝３９がねじ込まれるネジ溝が刻設されたネジ孔４１が形成され、袋ナット４０の下壁には、図５に示す上端に大径部４３ａが形成された円柱状の被検体４３が貫通する貫通孔４２が形成されている。さらに、この円筒状の袋ナット４０内には、内周面近傍にコイルばね４４が収納されている。このコイルばね４４の上端はネジ孔４１が形成された上壁の内面に固定されている。
【００３５】
この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａで検査される導電性材料で形成された被検体４３は、図５示すように、上端に大径部４３ａが形成された円柱形状を有する。この被検体４３の上面４３ｂに高温用超音波探触子２０ａの振動子２８の下面を当接させる。
【００３６】
このような形状の被検体４３を高温用超音波探触子２０ａに装着する手順を説明する。先ず、袋ナット４０を筐体２１の外周面から取り外して、この状態で、高温用超音波探触子２０ａの下方から被検体４３の上面４３ｂを振動子２８の下面、コイルばね３４、４４の下端に押し当てた状態で、円筒状の袋ナット４０を、貫通孔４２に被検体４３を貫通させた状態で、下方から筐体２１の外周面に刻設されたネジ溝３９に、被検体４３の上面４３ｂが振動子２８の下面に当接する位置までネジ込む。
【００３７】
図６は、被検体４３が袋ナット４０にて、高温用超音波探触子２０ａに装着された状態を示す断面図である。この状態においては、被検体４３の大径部４３ａは袋ナット４０の下壁の上面と振動子２８の下面とに挟まれた状態である。したがって、図１に示した第１実施形態の高温用超音波探触子２０と同様に、コイルばね３０にて、振動子２８が被検体４３の上面４３ｂに付勢される。また、この状態においては、振動子２８の上面は、コイルばね３０、電極板３１、リード線３２を介して、信号端子２４の正極３３に接続されている。また、この状態においては、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体４３の上面４３ｂ、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続されている。
【００３８】
したがって、この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａは図示いない超音波測定装置から入力されたパルス信号に応じて超音波パルスを被検体４３に対して送受信できる。この場合、溶融点温度が低いはんだを用いずに、振動子２８の上面（正極側面）と下面（負極側面）はコイルばね３０、３５を介して信号端子２４の正極３３及び負極３６に電気的に確実に接続されるので、たとえ、２３０℃〜２４０℃のはんだの溶融点温度を超える高温の被検体４３に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【００３９】
さらに、この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａにおいては、袋ナット４０を用いて、高温の被検体４３を高温用超音波探触子２０ａの振動子２８に押し当てている。したがって、別途、専用の治具を用いて、高温の被検体４３を高温用超音波探触子２０ａの振動子２８に押し当てる必要はない。
【００４０】
図７は、図３に示す第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａを用いて、非導電性材料の被検体に対する超音波を用いた検査を実施する場合における、この非導電性材料の被検体の加加工状態を示す図である。
【００４１】
この非導電性材料の被検体４５は、図５に示す導電性材料の被検体４３と同一形状を有しており、上端に大径部４５ａが形成された円柱形状を有する。この被検体４５の上面４５ｂには、導電性膜４６がコーティングされている。なお、導電性膜４６の面積は振動子２８の下面及びコイルばね３５の下端部分を十分に覆う広さに設定されている。
【００４２】
このような被検体４５を図６に示すように、高温用超音波探触子２０ａに装着すると、振動子２８の下面が導電性膜４６がコーティングされた被検体４５の上面４５ｂに当接する。また、上端が筐体２１の段部３４に接するコイルばね３５の下端が導電性膜４６がコーティングされた被検体４５の上面４５ｂに当接する。
【００４３】
したがって、この状態においては、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体４５の上面４５上にコーティングされた導電性膜４６、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続されている。
【００４４】
よって、たとえ、非導電性材料の被検体４５であっても、図７に示すように被検体４５の上面４５ｂに導電性膜４６をコーティングすることによって、図５に示す導電性材料の被検体４３と同様の作用効果を奏することができる。
【００４５】
（第３実施形態）
図８（ａ）、（ｂ）は本発明の第３実施形態に係わる高温用超音波探触子の適用図及び断面模式図である。図１（ａ）、（ｂ）に示す第１実施形態の高温用超音波探触子２０と同一部分には同一符号を付して重複する部分の詳細説明を省略する。
【００４６】
この第３実施形態の高温用超音波探触子２０ｂは化学工場の配管４７の外周面に恒久的に取り付けられ、被検体としての配管４７の厚みｄを一定周期で測定し、厚みｄの計時変化を測定する。
【００４７】
このような高温用超音波探触子２０ｂにおいては、筐体２１の外周面に環状突起部４９が一体形成されており、この環状突起部４９と配管４７とをボルト５０で固定している。なお、配管４７の表面に振動子２８の下面が所定の圧力で当接するように、ボルト５０の締め付け圧力を調節している。したがって、環状突起部４９とボルト５０は、筐体２１を被検体としての配管４７にクランプするクランプ機構を構成する。
【００４８】
このように構成された第３実施形態の高温用超音波探触子２０ｂにおいても、先に説明した第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａとほぼ同じ効果を奏することが可能である。
【００４９】
図９は本発明の第４実施形態に係わる高温用超音波探触子の断面模式図である。図８（ｂ）に示す第３実施形態の高温用超音波探触子２０ｂと同一部分には同一符号を付して重複する部分の詳細説明を省略する。
【００５０】
この第４実施形態の高温用超音波探触子２０ｃにおいては、筐体２１の外周面に環状突起部４９が一体形成されており、この環状突起部４９を配管４７に磁石５１で吸着固定している。したがって、環状突起部４９と磁石５１は、筐体２１を被検体としての配管４７にクランプするクランプ機構を構成する。
【００５１】
このように構成された第４実施形態の高温用超音波探触子２０ｃにおいても、先に説明した第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａとほぼ同じ効果を奏することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態に係わる高温用超音波探触子の概略構成を示す断面図及び上面図
【図２】同第１実施形態の高温用超音波探触子を平板状の被検体の上面に載置した状態を示す図
【図３】本発明の第２実施形態に係わる高温用超音波探触子の概略構成を示す断面図
【図４】同第２実施形態の高温用超音波探触子に組込まれた袋ナットを示す模式図
【図５】同第２実施形態の高温用超音波探触子で検査される被検体を示す斜視図
【図６】同第２実施形態の高温用超音波探触子における被検体が装着された状態を示す図
【図７】同第２実施形態の高温用超音波探触子で検査される非導電材料で形成された被検体を示す斜視図
【図８】本発明の第３実施形態に係わる高温用超音波探触子の適用図及び断面模式図
【図９】本発明の第４実施形態に係わる高温用超音波探触子の要部断面図
【図１０】従来の超音波探触子の概略構成を示す断面図及び斜視図
【符号の説明】
【００５３】
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ…高温用超音波探触子、２１…筐体、２２…開口、２３…蓋、２４…信号端子、２６…ダンパー材、２７…ストッパー材、２８…振動子、２９…貫通孔、３０，３５，４４…コイルばね、３３…正極、３４…段部、３６…負極、３７…コネクタ、３８，４３，４５…被検体、３９…ネジ溝、４０…袋ナット、４７…配管、４９…環状突起、５０…ボルト、５１…磁石
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被検体に対して超音波を伝搬させて被検体に対する各種検査を行うための超音波探触子に係わり、特に、高温の被検体に対する検査を行う高温用超音波探触子に関する。
【背景技術】
【０００２】
鋼板等の被検体の内部に存在する欠陥の検出や、鋼板等の被検体の厚み測定を簡易に実施する手法として、超音波検査手法が広く実用化されている。この超音波検査手法においては、被検体に対して超音波を送受信する超音波探触子が用いられる。超音波探触子には、被検体の表面に対して斜め方向に超音波を入射させる斜角型の超音波探触子と、被検体の表面に対して垂直方向に超音波を入射させる垂直型の超音波探触子とがある。
【０００３】
図１０（ａ）、（ｂ）は垂直型の超音波探触子の断面図及び外観図である。導電性金属材料で、下端に開口２を有する円筒形に形成された筐体１の上面に信号端子３が取付けられている。筐体１内には例えばアクリル樹脂等で円柱形に形成されたダンパー材４が収納されている。このダンパー材４の下面に、例えば水晶、チタン酸バリウム系磁器、セラミック、ニオブ酸鉛系磁器等の圧電材料で形成された円盤状の振動子５が貼付けられている。
【０００４】
なお、振動子５の上面及び下面は導電性膜６、７がコーティングされている。円柱形のダンパー材４の軸心に穿設された貫通孔９内に、導電性膜６がコーティングされた振動子５の上面と信号端子３の正極９とを接続するリード線８が収納されている。なお、リード線８は振動子５にコーティングされた導電性膜６及び信号端子３の円筒状の正極９に「はんだ」で接続されている。
【０００５】
さらに、振動子５の下面にコーティングされた導電性膜７はリード線１１を介して、筐体１の開口２部の内周面に接続されている。なお、リード線１１は振動子５にコーティングされた導電性膜７及び筐体１の開口２部の内周面に「はんだ」で接続されている。信号端子３の負極１２は筐体１に対して、例えば、一体形成されているので、導電性膜６がコーティングされた振動子５の下面は信号端子の負極１２と電気的に接続される。なお、導電性膜６がコーティングされた振動子５の下面には、この振動子５を保護するための保護膜１３が貼付けられている。
【０００６】
なお、実際の測定時には、信号端子３に図示しない超音波測定装置から信号が入出力されるコネクタ１４が装着される。
【０００７】
このような構成の垂直型の超音波探触子１５を被検体１６の表面に図示しない治具で押し当てた状態で、超音波測定装置から、例えば繰返し周波数５００Hzのパルス信号をコネクタ１４、信号端子３、リード線８を介して振動子５に印加すると、振動子５から、振動子５の厚みで定まる例えば振動周波数５ＭHzを有した繰返し周波数５００Hzの超音波パルス１７が被検体１６の表面に対して垂直方向に入射して、被検体１６内を垂直方向に伝搬する。被検体１６内を伝搬している超音波パルス１７が欠陥又は被検体１６の底面に当接すると、元来た経路を逆進して振動子５へ入力される。
【０００８】
なお、高温用の超音波探触子は、例えば、特許文献１に報告されている。
【特許文献１】特開平１０―３３９７２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら上述した超音波探触子においてもまだ解消すべき次のような課題があった。
【００１０】
すなわち、近年、超音波検査手法を用いて、欠陥検出や厚み測定を精度良く検査できる被検体における測定条件範囲の拡大が求められている。例えば、化学工場の各種プラントにおける配管、タンク等に対する定期的な超音波探傷や定期的な厚み測定等が要求されている。
【００１１】
しかしながら、これらの配管、タンク等に対する探傷や厚み測定は、プラントを稼働状態に維持した状態で実施する必要があるので、配管、タンク等に高温の気体や液体が通流又は貯蔵されている場合には、被検体１６の温度が高温になる。例えば、３００℃を超える場合がある。被検体１６の温度が高温になると、この被検体１６に対して例えば治具等を用いて押当てられている超音波探触子１５の温度も高温になる。
【００１２】
図１０（ａ）、（ｂ）に示す超音波探触子１５を構成する各部材において、温度上昇に対して最も脆弱な部材は、被検体１６に保護膜１３を介して接している振動子５の導電性膜６と信号端子３とを接続し、かつ、リード線１１で振動子５にコーティングされた導電性膜７と開口２部とを接続する「はんだ」である。
【００１３】
一般的に「鉛」と「すず」とをほぼ５０％の割合で混合した「はんだ」の融点温度は約２００℃程度である。「高温はんだ」と称されるものでも、その融点温度はせいぜい２３０℃〜２４０℃である。この融点温度を超える温度の被検体１６を検査すると、リード線８が振動子５から離れてしまう。したがって、この超音波探触子１５において検査可能な被検体の温度範囲は高くても２３０℃〜２４０℃である。
【００１４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、たとえ、はんだの溶融温度を超える高温の被検体であったとしても、この高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる高温用超音波探触子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明の高温用超音波探触子は、導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が筐体に接し振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、一端が信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が振動子の他方面に当接して振動子を被検体に付勢する正極側ばね部材と、一端が筐体に固定され他端が被検体に当接する負極側ばね部材とを備えている。
【００１６】
このように構成された高温用超音波探触子においては、導電性材料で形成された筐体内に収納された振動子は正極側ばね部材にて被検体に付勢されている。さらに、振動子の他方面（上面、正極側面）は正極側ばね部材を介して、信号端子の正極側に電気的に接続されている。また、振動子の一方面（下面、負極側面）は導電性材料の被検体に接している。筐体と導電性材料の被検体との間には、負極側ばね部材が介挿されている。したがって、振動子の一方面（下面、負極側面）は信号端子の負極側に接続されている。
【００１７】
このように構成された高温用超音波探触子を例えば治具等を用いて被検体に押当てた状態においては、溶融点温度が低いはんだを用いずに、振動子の他方面（上面、正極側面）と一方面（下面、負極側面）は正極側ばね部材及び負極側ばね部材を介して信号端子の正極側及び負極側に電気的に確実に接続されるので、はんだの溶融点温度を超える高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【００１８】
また、別の発明の高温用超音波探触子は、導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が筐体に接し振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、一端が信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して振動子を被検体に付勢する正極側ばね部材と、一端が筐体に固定され他端が被検体に当接する負極側ばね部材と、正極側ばね部材及び負極側ばね部材の付勢力に抗して、筐体を被検体にクランプするクランプ機構とを備えている。
【００１９】
このように構成された高温用超音波探触子においては、筐体を被検体にクランプするクランプ機構が設けられているので、別途、検査時に高温用超音波探触子を被検体に押当てるための治具を準備する必要がない。
【００２０】
また、別の発明の高温用超音波探触子は、非導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が筐体に接し振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、一端が信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が振動子の他方面に当接して振動子を被検体に付勢する正極側ばね部材と、一端が筐体に固定され他端が導電性膜がコーティングされた被検体に当接する負極側ばね部材と、正極側ばね部材及び負極側ばね部材の付勢力に抗して、筐体を被検体にクランプするクランプ機構とを備えている。
【００２１】
このように構成された高温用超音波探触子においては、被検体が非導電性材料の場合においては、この被検体の振動子が当接する部分には導電性膜がコーティングされているので、振動子の一方面（下面、負極側面）はコーティングされた導電性膜、負極側ばね部材及び筐体を介して信号端子の負極側に電気的に確実に接続される。したがって、非導電性材料の高温の被検体であっても、この非導電性材料の高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明の高温用超音波探触子においては、ばね部材でもって振動子に対する信号の送受信と振動子の被検体に対する付勢を行っているので、ばね部材が振動子から離れることはない。その結果、従来のはんだを用いる必要はないので、はんだの溶融温度を超える温度の被検体であったとしても、この高温の被検体に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の各実施形態を図面を用いて説明する。
【００２４】
（第１実施形態）
図１（ａ）、（ｂ）は本発明の第１実施形態に係わる高温用超音波探触子の断面図及び上面図である。
【００２５】
この第１実施形態の高温用超音波探触子２０においては、導電性金属材料で、下端に開口２２を有する円筒形に形成された筐体２１の上端の蓋２３に信号端子２４が取付けられている。筐体２１内にはダンパーケース２５で覆われたダンパー材２６が収納されている。このダンパー材２６の上面にストッパー材２７が収納されている。ダンパー材２６の下面に、例えば水晶、チタン酸バリウム系磁器、セラミック、ニオブ酸鉛系磁器等の圧電材料で形成された円盤状の振動子２８が、落下しない程度に緩やかに貼付けられている。
【００２６】
なお、振動子２８の上面及び下面は導電性膜がコーティングされている。円柱形のダンパー材２６、円柱形のストパー材２７の軸心に穿設された貫通孔２９内に、正極側ばね部材としての導電性材料で形成されたコイルばね３０が収納されている。コイルばね３０の上端はストパー材２７に固定された電極板３１に当接しており、コイルばね３０の上端は電極板３１、リード線３２を介して、信号端子２４の正極３３に接続されている。コイルばね３０の下端は導電性膜がコーティングされている振動子２８の上面に当接している。そして、コイルばね３０の上端位置は電極板３１位置に固定されているので、振動子２８は、コイルばね３０により下方に付勢されており、振動子２８の下面は、筐体２１の下端開口２２から例えば１ｍｍ程度下方へ露出している。
【００２７】
円筒形に形成された筐体２１の外周面の下方位置には、段部３４が形成されており、この環状の段部３４に、負極側ばね部材としての導電性材料で形成されたコイルばね３５が挿入されている。コイルばね３５の下端は、筐体２１の下端開口２２から例えば１０ｍｍ程度下方へ露出している。なお、このコイルばね３５のばね定数（反発力）は非常に小さく、図２に示すように、この高温用超音波探触子２０を平板状の被検体３８の上面に載置すると、高温用超音波探触子２０の重力にて、コイルばね３５が圧縮され、被検体３８の上面が振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面に当接する。
【００２８】
一方、信号端子２４の円筒形状を有した負極３６は蓋２３及び筐体２１を介して、コイルばね３５に電気的に接続されている。上述したように、この高温用超音波探触子２０を平板状の被検体３８の上面に載置すると、コイルばね３５の下端は導電性材料の被検体３８の上面に当接するので、結果的に、実際の検査時においては、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体３８、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続されることになる。また、実際の測定時には、信号端子２４に図示しない超音波測定装置から信号が入出力されるコネクタ３７が装着される。
【００２９】
このように構成された第１実施形態の高温用超音波探触子２０においては、この高温用超音波探触子２０を図示しない治具を用いて、導電性材料の被検体３８に押当てたり、図２に示すように、この高温用超音波探触子２０を平板状の被検体３８の上面に載置すると、コイルばね３０にて、振動子２８が被検体３８の上面に付勢される。また、この状態においては、振動子２８の上面は、コイルばね３０、電極板３１、リード線３２を介して、信号端子２４の正極３３に接続されている。また、この状態においては、上述したように、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体３８、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続される。
【００３０】
したがって、この高温用超音波探触子２０は図示いない超音波測定装置から入力されたパルス信号に応じて超音波パルスを被検体３８に対して送受信できる。この場合、溶融点温度が低いはんだを用いずに、振動子２８の上面（正極側面）と下面（負極側面）はコイルばね３０、３５を介して信号端子２４の正極３３及び負極３６に電気的に確実に接続されるので、２３０℃〜２４０℃のはんだの溶融点温度を超える高温の被検体３８に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【００３１】
なお、測定可能な被検体３８の上限温度は、例えば水晶、チタン酸バリウム系磁器、セラミック、ニオブ酸鉛系磁器等の圧電材料で形成された円盤状の振動子２８における圧電機能が急激に劣化する二次相転移温度（キュリー点温度）である５３０℃（ニオブ酸鉛系磁器）である。
【００３２】
（第２実施形態）
図３は本発明の第２実施形態に係わる高温用超音波探触子の断面図である。図１（ａ）、（ｂ）に示す第１実施形態の高温用超音波探触子２０と同一部分には同一符号を付して重複する部分の詳細説明を省略する。
【００３３】
この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａにおいては、振動子２８、ダンパー材２６、ストパー材２７、コイルばね３０を収納した筐体２１の外周面にネジ溝３９が刻設されており、このネジ溝３９にクランプ機構としての袋ナット４０がねじ込まれている。
【００３４】
袋ナット４０の上壁には前記ネジ溝３９がねじ込まれるネジ溝が刻設されたネジ孔４１が形成され、袋ナット４０の下壁には、図５に示す上端に大径部４３ａが形成された円柱状の被検体４３が貫通する貫通孔４２が形成されている。さらに、この円筒状の袋ナット４０内には、内周面近傍にコイルばね４４が収納されている。このコイルばね４４の上端はネジ孔４１が形成された上壁の内面に固定されている。
【００３５】
この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａで検査される導電性材料で形成された被検体４３は、図５示すように、上端に大径部４３ａが形成された円柱形状を有する。この被検体４３の上面４３ｂに高温用超音波探触子２０ａの振動子２８の下面を当接させる。
【００３６】
このような形状の被検体４３を高温用超音波探触子２０ａに装着する手順を説明する。先ず、袋ナット４０を筐体２１の外周面から取り外して、この状態で、高温用超音波探触子２０ａの下方から被検体４３の上面４３ｂを振動子２８の下面、コイルばね３４、４４の下端に押し当てた状態で、円筒状の袋ナット４０を、貫通孔４２に被検体４３を貫通させた状態で、下方から筐体２１の外周面に刻設されたネジ溝３９に、被検体４３の上面４３ｂが振動子２８の下面に当接する位置までネジ込む。
【００３７】
図６は、被検体４３が袋ナット４０にて、高温用超音波探触子２０ａに装着された状態を示す断面図である。この状態においては、被検体４３の大径部４３ａは袋ナット４０の下壁の上面と振動子２８の下面とに挟まれた状態である。したがって、図１に示した第１実施形態の高温用超音波探触子２０と同様に、コイルばね３０にて、振動子２８が被検体４３の上面４３ｂに付勢される。また、この状態においては、振動子２８の上面は、コイルばね３０、電極板３１、リード線３２を介して、信号端子２４の正極３３に接続されている。また、この状態においては、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体４３の上面４３ｂ、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続されている。
【００３８】
したがって、この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａは図示いない超音波測定装置から入力されたパルス信号に応じて超音波パルスを被検体４３に対して送受信できる。この場合、溶融点温度が低いはんだを用いずに、振動子２８の上面（正極側面）と下面（負極側面）はコイルばね３０、３５を介して信号端子２４の正極３３及び負極３６に電気的に確実に接続されるので、たとえ、２３０℃〜２４０℃のはんだの溶融点温度を超える高温の被検体４３に対する超音波を用いた探傷や厚み測定等の各種検査を精度良く実施できる。
【００３９】
さらに、この第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａにおいては、袋ナット４０を用いて、高温の被検体４３を高温用超音波探触子２０ａの振動子２８に押し当てている。したがって、別途、専用の治具を用いて、高温の被検体４３を高温用超音波探触子２０ａの振動子２８に押し当てる必要はない。
【００４０】
図７は、図３に示す第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａを用いて、非導電性材料の被検体に対する超音波を用いた検査を実施する場合における、この非導電性材料の被検体の加加工状態を示す図である。
【００４１】
この非導電性材料の被検体４５は、図５に示す導電性材料の被検体４３と同一形状を有しており、上端に大径部４５ａが形成された円柱形状を有する。この被検体４５の上面４５ｂには、導電性膜４６がコーティングされている。なお、導電性膜４６の面積は振動子２８の下面及びコイルばね３５の下端部分を十分に覆う広さに設定されている。
【００４２】
このような被検体４５を図６に示すように、高温用超音波探触子２０ａに装着すると、振動子２８の下面が導電性膜４６がコーティングされた被検体４５の上面４５ｂに当接する。また、上端が筐体２１の段部３４に接するコイルばね３５の下端が導電性膜４６がコーティングされた被検体４５の上面４５ｂに当接する。
【００４３】
したがって、この状態においては、振動子２８の導電性膜がコーティングされた下面は、被検体４５の上面４５上にコーティングされた導電性膜４６、コイルばね３５、筐体２１、蓋２３を介して、信号端子２４の負極３６に電気的に接続されている。
【００４４】
よって、たとえ、非導電性材料の被検体４５であっても、図７に示すように被検体４５の上面４５ｂに導電性膜４６をコーティングすることによって、図５に示す導電性材料の被検体４３と同様の作用効果を奏することができる。
【００４５】
（第３実施形態）
図８（ａ）、（ｂ）は本発明の第３実施形態に係わる高温用超音波探触子の適用図及び断面模式図である。図１（ａ）、（ｂ）に示す第１実施形態の高温用超音波探触子２０と同一部分には同一符号を付して重複する部分の詳細説明を省略する。
【００４６】
この第３実施形態の高温用超音波探触子２０ｂは化学工場の配管４７の外周面に恒久的に取り付けられ、被検体としての配管４７の厚みｄを一定周期で測定し、厚みｄの計時変化を測定する。
【００４７】
このような高温用超音波探触子２０ｂにおいては、筐体２１の外周面に環状突起部４９が一体形成されており、この環状突起部４９と配管４７とをボルト５０で固定している。なお、配管４７の表面に振動子２８の下面が所定の圧力で当接するように、ボルト５０の締め付け圧力を調節している。したがって、環状突起部４９とボルト５０は、筐体２１を被検体としての配管４７にクランプするクランプ機構を構成する。
【００４８】
このように構成された第３実施形態の高温用超音波探触子２０ｂにおいても、先に説明した第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａとほぼ同じ効果を奏することが可能である。
【００４９】
図９は本発明の第４実施形態に係わる高温用超音波探触子の断面模式図である。図８（ｂ）に示す第３実施形態の高温用超音波探触子２０ｂと同一部分には同一符号を付して重複する部分の詳細説明を省略する。
【００５０】
この第４実施形態の高温用超音波探触子２０ｃにおいては、筐体２１の外周面に環状突起部４９が一体形成されており、この環状突起部４９を配管４７に磁石５１で吸着固定している。したがって、環状突起部４９と磁石５１は、筐体２１を被検体としての配管４７にクランプするクランプ機構を構成する。
【００５１】
このように構成された第４実施形態の高温用超音波探触子２０ｃにおいても、先に説明した第２実施形態の高温用超音波探触子２０ａとほぼ同じ効果を奏することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の第１実施形態に係わる高温用超音波探触子の概略構成を示す断面図及び上面図
【図２】同第１実施形態の高温用超音波探触子を平板状の被検体の上面に載置した状態を示す図
【図３】本発明の第２実施形態に係わる高温用超音波探触子の概略構成を示す断面図
【図４】同第２実施形態の高温用超音波探触子に組込まれた袋ナットを示す模式図
【図５】同第２実施形態の高温用超音波探触子で検査される被検体を示す斜視図
【図６】同第２実施形態の高温用超音波探触子における被検体が装着された状態を示す図
【図７】同第２実施形態の高温用超音波探触子で検査される非導電材料で形成された被検体を示す斜視図
【図８】本発明の第３実施形態に係わる高温用超音波探触子の適用図及び断面模式図
【図９】本発明の第４実施形態に係わる高温用超音波探触子の要部断面図
【図１０】従来の超音波探触子の概略構成を示す断面図及び斜視図
【符号の説明】
【００５３】
２０，２０ａ，２０ｂ，２０ｃ…高温用超音波探触子、２１…筐体、２２…開口、２３…蓋、２４…信号端子、２６…ダンパー材、２７…ストッパー材、２８…振動子、２９…貫通孔、３０，３５，４４…コイルばね、３３…正極、３４…段部、３６…負極、３７…コネクタ、３８，４３，４５…被検体、３９…ネジ溝、４０…袋ナット、４７…配管、４９…環状突起、５０…ボルト、５１…磁石
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が前記被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が前記筐体に接し前記振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、
一端が前記信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して前記振動子を前記被検体に付勢する正極側ばね部材と、
一端が前記筐体に固定され他端が前記被検体に当接する負極側ばね部材と
を備えたことを特徴とする高温用超音波探触子。
【請求項２】
導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が前記被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が前記筐体に接し前記振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、
一端が前記信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して前記振動子を前記被検体に付勢する正極側ばね部材と、
一端が前記筐体に固定され他端が前記被検体に当接する負極側ばね部材と、
前記正極側ばね部材及び前記負極側ばね部材の付勢力に抗して、前記筐体を前記被検体にクランプするクランプ機構と
を備えたことを特徴とする高温用超音波探触子。
【請求項３】
非導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が前記被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が前記筐体に接し前記振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、
一端が前記信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して前記振動子を前記被検体に付勢する正極側ばね部材と、
一端が前記筐体に固定され他端が導電性膜がコーティングされた前記被検体に当接する負極側ばね部材と、
前記正極側ばね部材及び前記負極側ばね部材の付勢力に抗して、前記筐体を前記被検体にクランプするクランプ機構と
を備えたことを特徴とする高温用超音波探触子。
【請求項１】
導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が前記被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が前記筐体に接し前記振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、
一端が前記信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して前記振動子を前記被検体に付勢する正極側ばね部材と、
一端が前記筐体に固定され他端が前記被検体に当接する負極側ばね部材と
を備えたことを特徴とする高温用超音波探触子。
【請求項２】
導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が前記被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が前記筐体に接し前記振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、
一端が前記信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して前記振動子を前記被検体に付勢する正極側ばね部材と、
一端が前記筐体に固定され他端が前記被検体に当接する負極側ばね部材と、
前記正極側ばね部材及び前記負極側ばね部材の付勢力に抗して、前記筐体を前記被検体にクランプするクランプ機構と
を備えたことを特徴とする高温用超音波探触子。
【請求項３】
非導電性材料の被検体に対向する開口を有する導電性材料で形成された筐体内に、一方面が前記被検体に当接した振動子を収納するとともに、負極側が前記筐体に接し前記振動子に対する信号を送受信するための信号端子を備えた超音波探触子において、
一端が前記信号端子の正極側に電気的に接続され、他端が前記振動子の他方面に当接して前記振動子を前記被検体に付勢する正極側ばね部材と、
一端が前記筐体に固定され他端が導電性膜がコーティングされた前記被検体に当接する負極側ばね部材と、
前記正極側ばね部材及び前記負極側ばね部材の付勢力に抗して、前記筐体を前記被検体にクランプするクランプ機構と
を備えたことを特徴とする高温用超音波探触子。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−１７５７８１（Ｐ２００８−１７５７８１Ａ）
【公開日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−１１７７２（Ｐ２００７−１１７７２）
【出願日】平成１９年１月２２日（２００７．１．２２）
【出願人】（５９１２６７８５５）埼玉県 (71)
【出願人】（５９１０４１４１７）ジャパンプローブ株式会社 (12)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年７月３１日（２００８．７．３１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年１月２２日（２００７．１．２２）
【出願人】（５９１２６７８５５）埼玉県 (71)
【出願人】（５９１０４１４１７）ジャパンプローブ株式会社 (12)
【Ｆターム（参考）】
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