【課題】保温材を取り外す必要なく、被検体の複雑形状部の状態を常時監視する。
【解決手段】被検体の複雑形状部に耐熱性を有する接着剤を適量塗布して該接着剤に薄膜センサを載せる第一の工程（ステップＰ３）と、薄膜センサに超音波探傷器を接続してセンサ信号波形を確認し、センサ信号波形が確認できたら信号強度を計測し、センサ信号波形が確認できなかったら再度第一の工程の処理を行う第二の工程（ステップＰ５）と、薄膜センサと超音波探傷器との接続を解除し、接着剤を硬化させる第三の工程（ステップＰ７）と、薄膜センサに超音波探傷器を接続してセンサ信号波形を確認し、センサ信号波形の強度が向上していれば薄膜センサの設置を完了し、センサ信号波形の強度が向上していなければ再度第一の工程の処理を行う第四の工程（ステップＰ９）とにより薄膜センサを被検体の複雑形状部に設置するようにした。 （もっと読む）

【課題】 素子毎の電気信号を入出力する配線を各素子から素子基板の周辺部の接続パッドまで引き出す場合、素子毎に変換特性のばらつきが生じやすい。
【解決手段】 本発明の電気機械変換装置の回路部は、素子部の素子基板の前記反対側の面と接合された回路基板と、前記回路基板に形成された複数の第二の接続端子と、前記素子基板の裏面に形成された複数の第一の接続端子と前記第二の接続端子とを夫々電気的に接続する複数の第二の配線と、を有し、前記複数の第二の接続端子は、前記回路基板の前記素子基板が接合された面とは反対側の面に形成され、前記複数の第二の配線は夫々、前記回路基板に前記第一の接続端子毎に形成された貫通孔を通り、前記第一の接続端子と前記第二の接続端子とを電気的に接続している。 （もっと読む）

【課題】デバイスを破損させることなく、また歩留まり良く、フレキシブル基板に電子デバイスを実装させることができる電子デバイス搭載方法を提供する。
【解決手段】下面に導電部材を有する電子デバイス２１，２２をフレキシブル基板１０に搭載する方法であって、電子デバイス２１，２２をフレキシブル基板１０の上面に接合させる第１工程と、フレキシブル基板１０の下面側からフレキシブル基板１０に開口２１１，２２１を形成して、電子デバイス２１，２２の下面に設けられた導電部材を部分的に露呈させる第２工程と、フレキシブル基板１０の下面に電子デバイス２１，２２の導電部材と電気的に接続する配線パターン３０を形成する第３工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】簡易に測定でき、かつ、測定の精度を向上できる。
【解決手段】弾性表面波を伝播する圧電素子基板（１０）と、電気信号と前記弾性表面波との変換を行う電極（１１−１ａ、１１−１ｂ、１１−２ａ、及び１１−２ｂ）と、前記弾性表面波の伝播路に配置され、検体である液体が導入される検出領域（１２）と、前記検出領域に接触し、液体が浸潤する多孔性基材（１３）と、前記電極が液体と接触することを防ぐ封止構造（１４−１及び１４−２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】検査対象において発生する振動音を検出することを可能にする。
【解決手段】入力電気信号が印加されると、液体中に縦波が照射される。縦波はダイアフラム４によって反射され、遅延電気信号として検出される。このとき、検査対象に衝撃が加えられると、それにより発生した振動音は、振動伝搬体６を介してダイアフラム４に伝搬され、ダイアフラム４が振動し、ダイアフラム４と圧電基板１との離間距離(d)が変動する。その結果、液中縦波の伝搬路長(L)が変動するので、発振周波数(f₀)も変動することとなる。このようにして、発振周波数(f₀)の変動から、検査対象において発生する振動音を高感度で検出することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、工業分野で使用可能であり、センサ全体として感度を低下させることなく、一素子あたりの指向性を広げることにより斜角方向の検査性能を向上させた超音波センサ及びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 超音波センサ１００は、レンズ状基板１０と、レンズ状基板に保持された複数の圧電素子２０とから構成される。複数の圧電素子２０は、平面形状が長方形状であり、長方形状の長辺同士が隣接するように短辺方向であるＸ方向にアレイ状に配列される。長方形状の複数の圧電素子２０がＸ−Ｙ平面に配列され、複数の各圧電素子は、Ｘ−Ｙ平面に直交するＸ−Ｚ平面においてのみ、その断面形状が円弧状である。円弧状の圧電素子の凸方向に超音波を送信してセクタスキャンするように用いられる。 （もっと読む）

【課題】下部電極を各素子に分割することで段差が生じても、上部電極の抵抗上昇、メンブレンへのダメージおよび上部電極と下部電極間の絶縁耐性低下を低減する技術を提供する。
【解決手段】複数の下部電極２０３と、下部電極を覆う絶縁膜２０４と、絶縁膜２０４上に下部電極２０３と重なるように形成された複数の空洞部２０５と、空洞部２０５の間を埋める絶縁膜３４０１と、空洞部２０５および絶縁膜３４０１を覆う絶縁膜２０６と、絶縁膜２０６上に空洞部２０５と重なるように形成された複数の上部電極２０７とそれらを結ぶ複数の配線２０８を備えた超音波トランスデューサにおいて、空洞部２０５と絶縁膜３４０１の表面が同じ高さに平坦化されている。 （もっと読む）

【課題】高周波成分における感度を向上させるとともに、帯域を広く利用することができる積層圧電体、超音波探触子及び超音波診断装置を提供する。
【解決手段】積層圧電体１１２０は、無機材料を主成分とする圧電体が４層の圧電体１１２１，１１２２，１１２３，１１２４を１単位として４ｎ層に積層され、圧電体の厚み伸縮によって生じるｍλ／２共振モードで共振する。圧電体は、それぞれ厚み方向に残留分極を有する。積層圧電体１１２０は、電圧が印加されたときの電界の向きと、残留分極の向きとが、１単位中の４層の圧電体１１２１，１１２２，１１２３，１１２４のうち１つのみが対向して他の３つが一致する関係、又は、１単位中の４層の圧電体１１２１，１１２２，１１２３，１１２４のうち１つのみが一致して他の３つが対向する関係となるように圧電体を積層している。 （もっと読む）

【課題】撮像に必要な高分解能を提供するために、コヒーレント超音波二次元（２Ｄ）アレイの開口寸法が大きくなってきている。焦点調節のために個々の画素間で複雑な時間的調節を必要で、高速かつ高精度なエレクトロニクスを必要とするため、この技術を大面積アレイに拡張するのは困難であったが、ＴＦＴ技術により受信回路を含んだ大口径アレイを提供する。
【解決手段】受信器アレイが、送信信号に対応する受信信号の同相成分および直交成分を検出するために基板上に複数の受信器要素を有している。受信器要素のそれぞれは受信器トランスデューサと薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）受信回路とを含んでいる。ＴＦＴ受信回路は受信信号と複数の受信器要素全体にわたって分散された合成バイアス信号内の基準信号とを混合するための混合器を有する直交検出器を含んでいる。送信器は複数の受信器要素に音響的に接続され、撮像媒体を通じて送信信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】制御可能な総素子数を抑えつつ、センサ開口の大型化を行うことで深部の検査を行えるとともに、ＳＮ比の向上した超音波センサおよび超音波探傷装置を提供することにある。
【解決手段】超音波センサ１の超音波振動素子１Ａは、ある超音波振動素子の重心位置から長辺方向に隣接する他の超音波振動素子の重心位置までのベクトルをａ１とし、当該超音波振動素子の重心位置から短辺方向に隣接する他の超音波振動素子の重心位置までのベクトルをａ２とするとき、ある素子の重心位置を基準とした場合、他の素子の重心位置Ｒは、（ｎ１ａ１＋ｎ２ａ２）を満たす。また、ベクトルａ１＞ベクトルａ２であり、ベクトルａ２の長さは超音波の波長λに対して、（λ／２）よりも大きく、ベクトルａ１とベクトルａ２のなす角度は９０度以外となるように、超音波振動素子が規則的に２次元状に配列されている。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換エレメントの可動領域以外の部分からの反射波を抑制する事で、測定対象から発生した音響波の検出性能を向上させる事が可能な電気機械変換装置を提供する。
【解決手段】静電容量型超音波変換装置などの電気機械変換装置は、被検体から放出される音響波を受信するための可動領域１６を有する電気機械変換エレメント１０と、エレメント１０と電気的接続を取る電気配線基板１３と、反射抑制層１２を有する。反射抑制層１２は、被検体側に面する面のうちの、可動領域以外の少なくとも一部に設けられ、可動領域以外に到達する音響波が音響波源側に反射する事を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷ共振子を用いて確実に磁界検知ができる磁気センサを実現する。
【解決手段】ＳＡＷ共振子１０の水晶基板１１の表面１１１には、第１のくし形電極１２Ａ、第２のくし形電極１２Ｂが形成されている。第１のくし形電極１２Ａの電極指１２１Ａと第２のくし形電極１２Ｂの電極指１２１Ｂとは、配列方向に沿って交互に配置されており、全ての電極指１２１Ａ，１２１Ｂの長さおよび幅は同じである。電極指１２１Ａと電極指１２１Ｂの交叉幅も一定である。ＳＡＷ共振子１０を、磁界検出の一態様において、電極指１２１Ａ，１２１Ｂの配列方向すなわち共振信号の伝搬方向と磁石２０Ａ，２０Ｂで生じる磁界強度の中心軸とが平行になるように、設置する。より具体的には、交叉幅の中心を結んで得られるＳＡＷ共振子１０のＸ軸中心軸と、磁界強度の中心軸に対応する磁石２０Ａ，２０Ｂの中心軸とが略一致するように、ＳＡＷ共振子１０を設置する。 （もっと読む）

【課題】アレイ形状の切削（ダイシング加工）の際、圧電体である単結晶等がチッピングを起こしても、電極の剥離による導通不良の恐れはなく、確実な導通が確保でき、かつ製造工程の歩留まりの高い超音波探触子とその製造方法を提供する。また、当該超音波探触子を具備した超音波医用画像診断装置を提供する。
【解決手段】音響レンズ、音響整合層、超音波振動子、及びバッキング層が、この順に、接着し積層されて成る超音波探触子であって、当該超音波振動子を構成する圧電体が単結晶又は一軸配向結晶であり、かつ当該圧電体に隣接する層又は部材のみに電極が設けられていることを特徴とする超音波探触子。 （もっと読む）

【課題】 保護膜が不要であって被検知体やその設置場所の自由度があり、無線によりバッテリレスのセンサシステムを構成する場合にも検出感度や感知距離の劣化が従来よりも少ない化学的または物理的センサを提供すること。
【解決手段】 圧電体基板３と、圧電体基板３上に形成された一対の入出力端子４、５と、入出力端子４、５に接続された表面弾性波を励振するための一対の櫛歯電極１と、一対の櫛歯電極１に電気配線１２により並列に接続された被検知体２とを有し、入出力端子４、５に電気信号を入力し、入出力端子４、５から反射して出力する前記電気信号の変化を検出することにより、被検知体２の化学的変化または物理的変化により生ずる入出力端子４、５のインピーダンスの変化を検出し、被検知体２の変化を検出する。 （もっと読む）

【課題】より簡易に製造でき得る振動子を提供する。
【解決手段】振動子は、上面および下面に電極が設けられた複数の圧電体２２を面方向にずれた状態で積層した積層体であって、前記電極により当該積層体の上面、下面および圧電体間に電極層２４が形成された積層体と、前記積層体の上面に配置されたグランド電極３０と、前記積層体の下面に配置されたシグナル電極３２と、積層方向にのみ導電性を発揮する姿勢で配される複数の異方導電体２８と、を備える。異方導電体２８は、圧電体２２をずらして積層することで外部に露出した電極層２４の露出部分と、前記グランド電極３０、シグナル電極３２、他の電極層２４の露出部分のいずれか一つの間に配置されることで、偶数番目の電極層２４−２，２４−２同士および奇数番目の電極層２４−１，２４−３同士を電気的に一つに接続する。 （もっと読む）

【課題】温度変化や、溶液の比重・粘性などの外乱要素の影響を抑制し、高い精度により溶液の電気的特性・力学的特性の測定を行う表面弾性波センサ装置を提供する。
【解決手段】本発明の表面弾性波センサ装置は、基準信号を入力し、溶液の比重及び粘性を含む力学的特性で基準信号が変化した第１の測定信号を出力する第１の表面弾性波センサ素子と、溶液の測定対象の特性により影響を受ける形状に構成されており、力学的な特性と測定対象の特性とにより基準信号が変化した第２の測定信号を出力する第２の表面弾性波センサ素子とを有し、第１及び第２の表面弾性波センサ素子の基準信号を伝搬させる方向の長さが、第１及び第２の表面弾性波素子のセンサ面の構造に起因する誤差の差分に対応する長さ分異なって形成され、第１及び第２の測定信号の振幅比及び位相差から、溶液の特性を検出する。 （もっと読む）

【課題】超音波トランスデューサー間に電極から引き出される電極線の本数を少なくできる超音波センサーを提供すること。
【解決手段】センサー基板上に、超音波トランスデューサー３０がセンサー基板に対して互いに直交する二方向に沿って配置された超音波センサーであって、センサー基板は、当該センサー基板を厚み方向に沿って見た平面視において、互いに直交するＸ軸Ｌ１及びＹ軸Ｌ２により分割される領域Ａｒ１〜Ａｒ４を備える。そして、各領域Ａｒ１〜Ａｒ４内において、各超音波トランスデューサー３０の下部電極から引き出される各下部電極線３３４は、Ｘ軸Ｌ１及びＹ軸Ｌ２の互いに交差する基板中心点Ｏから離れる方向に延びている。 （もっと読む）

【課題】医療用超音波診断装置において、超音波トランスデューサに多層圧電体を用いて高調波を送受波するにあたって、高調波成分を増加させると同時に基本波成分を減衰させる。
【解決手段】３層圧電体を用いて３次高調波を送受波するにあたって、その３層を分極方向を揃えて積層するのではなく、一部の向きを逆方向にする。具体的には、両端の電極を端子に接続して各圧電体を直列接続する。そして、圧電体１の残留分極の向き（＋Ｐ）を基準として、圧電体２および圧電体３を逆方向（−Ｐ）とすると、端子間の電場は、λ／４共振ではその感度が打ち消され、３λ／４共振においては強調される。こうして、フィルタやアンプを用いることなく、基本波を抑え、３次高調波を抽出することができる。 （もっと読む）

【課題】液体燃料の外部への漏出、外部から液体燃料中への不純物の侵入及び液体燃料中への不純物の溶出を防止し、液体燃料濃度の測定精度を向上させる。
【解決手段】本発明の液体燃料濃度センサは、基板３４と、基板３４の表面側に設けられる弾性表面波電極３７ａ，３７ｂと、基板３４の裏面側に設けられる内部電極３８ａ，３８ｂと、スルーホール３９を通って各弾性表面波電極３７ａ，３７ｂと内部電極３８ａ，３８ｂとを結合する電気配線４０ａ，４０ｂと、を有する弾性表面波素子３１を備え、弾性表面波素子３１は、内部に前記液体燃料を収容する合成樹脂製の取付対象部材１３，１９，２０の内面に沿って設けられ、弾性表面波伝播領域３５ａ，３５ｂが前記液体燃料に臨むと共に内部電極３８ａ，３８ｂが基板３４と取付対象部材１３，１９，２０の間に介装されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】医療用超音波診断装置において、超音波トランスデューサに多層圧電体を用いて高調波を送受波するにあたって、高調波成分を増加させると同時に基本波成分を減衰させる。
【解決手段】３層圧電体を用いて３次高調波を送受波するにあたって、その３層を分極方向を揃えて積層するのではなく、一部の向きを逆方向にするとともに、電極引回しを工夫する。具体的には、互いに隣り合う圧電体の離反側の面の電極同士を連絡して２つの端子にそれぞれ並列接続する。そして、圧電体１の残留分極の向き（＋Ｐ）を基準として、圧電体２を同方向（＋Ｐ）、圧電体３を逆方向（−Ｐ）とすると、端子間の電気変位は、λ／４共振ではその感度が打ち消され、３λ／４共振においては強調される。こうして、フィルタやアンプを用いることなく、基本波を抑え、３次調波を抽出することができる。 （もっと読む）