【課題】熱や周囲環境の変化により伸縮して形状変化が生じた樹脂スタンパの形状を調整することができる樹脂スタンパ用ステージを提供すること。
【解決手段】一方の表面に微細な凹凸パターンが形成された樹脂スタンパ１６を、その凹凸パターン形成面とは反対側の面が接するように載置するための載置台１２を有し、該載置台１２は、前記樹脂スタンパの反対側の面を吸引する複数の吸引孔１５を有する吸引機構１４と、前記複数の吸引孔１５を、前記樹脂スタンパが載置される載置面１２ａの平面方向にそれぞれ独立して移動させる移動機構と、を備えていることを特徴とする樹脂スタンパ用形状調整ステージ。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントにおいて、ある基準状態下で、モールドのパターン寸法と所望の割合だけ異なる寸法のレジストパターンを形成することを可能とする。
【解決手段】ナノインプリント方法において、所定の基準圧力Ｐｓｔおよび所定の基準温度Ｔｓｔにおいて所定の基準寸法を有する微細な凹凸パターンが表面に形成されたモールド１、および被加工基板７であって、これらのヤング率および／または熱膨張率が互いに異なるものを用い、基準寸法に対するレジストパターンについての寸法差の割合ΔＤ_ａｌｌ、基準圧力Ｐ_ｓｔ、基準温度Ｔ_ｓｔ、モールドのヤング率Ｅ_ｍおよび熱膨張率α_ｍ、並びに、被加工基板のヤング率Ｅ_ｉおよび熱膨張率α_ｉを使用して、所定の関係式を充足するように圧力容器１１０内の圧力Ｐおよび／またはアセンブリ８の温度Ｔが制御された状態で、レジスト６を硬化せしめる。 （もっと読む）

【課題】光インプリント材料を提供すること。
【解決手段】下記式（１）及び／又は式（２）で表されるシリコーン骨格を有する化合物および光重合開始剤を含む光インプリント材料。


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【課題】処理対象物の表面に凹凸が生じることを防止できる生産性のよいイオン注入法を提供する。
【解決手段】本発明は、Ｘ_ｍＹ_ｎ（式中、Ｘ及びＹのいずれか一方を水素原子とし、いずれか他方を質量数が１１〜４０の原子とし、水素原子の数を１〜６、他方の原子の数を１〜２とする）で表される分子の中から選択される少なくとも１種を含む処理ガスを用い、この処理ガスを減圧下で導入してプラズマを形成し、プラズマ中で電離したイオンを引き出し、引き出したイオンを加速して処理対象物Ｗ内に注入するイオン注入法であって、処理ガスの分圧、イオンの注入エネルギ及びイオンの注入ドーズ量の少なくとも１つを制御して、処理対象物Ｗ表面に堆積する活性種の堆積速度よりも、加速したイオンによる活性種のエッチング速度を遅くする。 （もっと読む）

【課題】サーボ情報を正確に読出しできるサーボパターンを形成可能な露光パターンを描画する。
【解決手段】位相サーボパターンＰＳ５の各位相サーボ部のうちの少なくとも１つのパターンＰＳ５ａ，ＰＳ５ｂ等の描画時に、これらを構成する露光領域Ａ１および非露光領域Ａ２のうちの回転方向で並ぶ一組の領域Ａ１，Ａ２の各半径位置毎の回転方向に沿った合計長をそれぞれ第１の長さとして、領域Ａ１における回転方向と交差する辺の半径方向に対する交差角度が最大となる半径位置を含む第１の領域内のいずれの半径位置のサーボトラックＳＴにおいても、１つのトラックＳＴにおける第１の長さの範囲内への描画用ビームの総照射量を第１の長さで除した第１の値が、交差角度が最小となる半径位置を含む領域であって半径方向において第１の領域に対して隣接する第２の領域内の各半径位置のトラックＳＴ毎の第１の値の平均よりも大きくなるようにビームを照射する。 （もっと読む）

【課題】１つ以上のブロック共重合体および１つ以上のナノインプリントステップを製造プロセスに組込むことによってナノパターン化するための方法を提供する。
【解決手段】ブロック共重合体は有機もしくは無機成分で構成され得、層状、球状、または円筒状であり得る。その結果、５〜１００ｎｍの特徴ピッチおよび／または少なくとも１Ｔｄｐｓｉのビット密度を有する一次元もしくは二次元のパターンを有するパターンド媒体が形成され得る。 （もっと読む）

【課題】型の撓み量を制限する、または、型の特定の撓み状態を得るのに有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】基板５上の未硬化樹脂５６を型３により成形して硬化させ、基板５上に硬化した樹脂５６のパターンを形成するインプリント装置であって、型３を引きつけて保持する保持部２４と、保持部２４に保持された型３の背圧を離型と並行して減少させる減圧手段５２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】離型において型の撓み量を制限するのに有利なインプリント装置を提供する。
【解決手段】基板５上の未硬化樹脂５６を型３により成形して硬化させ、基板５上に硬化した樹脂５６のパターンを形成するインプリント装置１であって、型３を引きつけて保持する保持部２４と、該保持部２４により引きつけられる領域より内側の領域において離型と並行して型３に接触することにより型３を補強する補強部材５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】樹脂のパターン形成部に混入する気泡を減少させつつ、パターン形成部の欠陥の発生を抑えることが可能なインプリント装置を提供する。
【解決手段】本発明は、基板５上の未硬化樹脂５２とモールド３とを互いに押し付けて、基板５上に樹脂５２のパターンを形成するインプリント装置１に係る。ここで、モールド３は、基板５に対向する側の中央部に、樹脂５２と接触する凹凸パターン３ｃが形成される平板部３ａと、外周側に壁部３ｂとを有する箱形の形状を有する。このインプリント装置１は、壁部３ｂの垂直面３ｄを引き付けて保持する保持部２４を有するモールド保持装置４を備え、該モールド保持装置４は、平板部３ａの中央部と壁部３ｂとの間の形状を変形させるモールド変形機構５０を備える。 （もっと読む）

【課題】多孔質基材の質感を生かしつつ、磁気記録媒体層の磁気特性を良好に保つことが可能な磁気カードを提供すること。
【解決手段】カード基材に磁気記録媒体層を配置した磁気カードであって、 カード基材は、磁気記録媒体層配置面の磁気記録媒体層配置領域以外の少なくとも一部の領域において凹凸面が露出した多孔質基材が用いられており、磁気記録媒体層と多孔質基材との間に、少なくとも多孔質基材表面の磁気記録媒体層配置領域を覆い、該多孔質基材に一部が含浸した平坦化層が積層されていることを特徴とする磁気カードとする。 （もっと読む）

【課題】ディスクリートトラック媒体上で、従来の連続膜からなる磁気記録層を含む磁気記録媒体と同様の検査が可能な磁気記録装置を提供する。
【解決手段】記録再生素子を含むヘッドスライダと、磁気記録可能な幅Ｌ１の記録トラックと、前記記録トラックの幅Ｌ１より広い幅Ｌ２をもつワイドランドトラックと、隣接する記録トラック間に設けられた幅Ｇ１の非記録部とを有する磁気記録媒体とを具備し、前記記録トラックの幅Ｌ１は前記記録再生素子の再生裾幅ＢＲＷより狭く、前記ワイドランドトラックの幅Ｌ２は前記記録再生素子の再生裾幅ＢＲＷより広い磁気記録装置。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体に磁気転写する情報信号が書き込まれ、繰り返し磁気転写に使用できる使用可能回数が十分に多い耐久性に優れたマスター情報担体を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体に磁気転写する情報信号が書き込まれた磁性層１０１と、最表面に配置された親水性樹脂からなる防汚層１０３とを備えるマスター情報担体Ｍとする。 （もっと読む）

【課題】剥離性、耐久性に優れたスタンパーを提供する。
【解決手段】基板、触媒活性をもつ導電性下地層、及び触媒活性をもたない凸状パターンが順に形成され、かつ触媒活性を有する導電性下地層が露出した領域を有する原盤を用い、凸部パターン間及び導電性下地層が露出した領域に無電解めっきにより非晶質導電層を堆積させてスタンパー凸部を形成し、非晶質導電層及び導電性下地層を電極として凸状パターン及び非晶質導電層からなるスタンパー凸部上に電気めっきを行い、結晶性金属からなるスタンパー本体を形成し、及び原盤からスタンパー凸部及びスタンパー本体からなるスタンパーを剥離するスタンパーの形成方法。 （もっと読む）

【課題】磁気転写後の磁気記録媒体に誤情報が残存するのを抑制する。
【解決手段】基板の両面に垂直記録層１５０を形成した磁気記録媒体１に対し、まず、交流磁界を印加して垂直記録層１５０の消磁を行った後、一方向に直流磁界を印加して垂直記録層１５０の磁化の向きを一方向に揃える。次いで、垂直記録層１５０の磁化の向きを一方向に揃えた磁気記録媒体１に、サーボ・パターンに対応する凹凸が形成されたマスタ情報記録体を密着させ、一方向とは逆方向の直流磁界を印加して垂直記録層１５０の磁化の向きを局所的に反転させることで、磁気記録媒体１に磁化の向きの配列からなるサーボ・パターンを形成させる。 （もっと読む）

【課題】磁気転写の際に、転写磁界の均一性を向上させる。
【解決手段】情報を担持したマスター担体とスレーブ媒体とを密着させ、転写用磁界を印加して前記情報をスレーブ媒体に転写する際にマスター担体を保持するホルダープレートを、オーステナイト系ステンレス材をホルダープレートの形状に加工して加工体を形成し、該加工体に固溶化熱処理を行うことにより製造する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、（１）従来の熱アシスト記録方式やディスクリート方式（ＤＴＭ等）によっても解決できないクロストークの問題、（２）従来の埋め込み型ＤＴＭ等のもつ表面平坦性の問題、（３）ＤＴＭに熱アシスト方式を適用したときの、材料の熱膨張率差の問題を解決し、（４）特別な媒体構造を必要とせず、表面の平坦性が良好な、経済的・機能的に実現性の高い磁気ディスクを提供する。
【解決手段】イオン注入によるＤＴＭは表面平坦性に優れ、且つイオン注入した部分（非記録領域）のキュリー温度（Ｔｃｎ）と、イオン注入していない部分（記録領域）のキュリー温度（Ｔｃｒ）の間の温度で熱アシスト記録することにより、クロストークを解消することができる。 （もっと読む）

【課題】ナノメートルスケールの自己組織化膜上に支持メンブランを提供する。
【解決手段】一実施形態では、構造は、基板から上方に延出する複数のナノ構造と、複数のナノ構造の上端にわたって延在する多孔質メンブランとを含む。方法は、基板上にブロックコポリマー層を形成するステップと、ブロックコポリマー層の自己組織化を誘発するステップと、ブロックコポリマー層からブロックポリマーを選択的に分解させるステップと、ブロックコポリマー層の上に多孔質メンブランを形成するステップと、ブロックコポリマー層の上に多孔質メンブランを形成後、基板から上方に延出する複数のナノ構造を画成するためにブロックコポリマー層の一部分を除去するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】 秩序立った核形成層を有する垂直型磁気記録ディスクおよび垂直型磁気記録ディスクの製造方法を提供する。
【解決手段】 基板と、基板上の下層と、下層の上に設けられ、粒状強磁性Ｃｏ合金とＳｉ、Ｔａ、Ｔｉ、およびＮｂの１つ以上の１つ以上の酸化物との連続層を備える垂直型磁気記録層と、下層と記録層との間に設けられ、記録層のＣｏ合金からなるアレイを備えた核形成層とを備える。 （もっと読む）

【課題】少ない熱量で基材に磁気記録層を埋め込むことのできる磁気記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】コア基材とコア基材の表裏に外装基材を備え、コア基材と外装基材を貼り合せる工程、少なくとも一方の外装基材に磁気記録層を埋設する工程、を有する磁気記録媒体の製造方法において、外装基材のうち、少なくとも一方の外装材が多孔質基材からなり、外装基材に磁気記録層を埋設する工程が、磁気記録層を加圧または加熱加圧により該多孔質基材に埋設することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】スタンパのＲＲＯが十分に低い磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体の記録層のディスクリートトラックのパターンを転写するためのスタンパの凹凸パターンは、記録媒体のデータ記録部及びアドレス部を含むデータ領域に対応する主要な領域と、ダミー領域とを有するように形成し、そのダミー領域の凹凸パターンは、そのリピータブルランアウトが回転周波数を基準の１次とした場合に１５次から４０次の間で１ｎｍ以下である構成としたスタンパにより製造する。 （もっと読む）