【課題】高密度記録した場合には、微小な記録磁区を安定して形成することが難しいという課題を有していた。
【解決手段】ディスク基板上に、少なくとも記録層を備え、前記記録層が磁気グレインごとに分離し、磁気的に孤立した記録ドメインを形成する構成、あるいは、相互に孤立した磁気グレインの集合体により、記録膜中に微細な構造を形成し、記録膜の比抵抗が大きい特性を有する構成の光磁気記録媒体とその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 重合体マトリクス中で十分分散した磁性ナノ粒子を生成するための方法を提供する。
【解決手段】 ナノ粒子は、非強磁性または弱い強磁性である。分散液は、非強磁性ナノ粒子を強磁性ナノ粒子に転換させ、且つ弱い強磁性ナノ粒子中の強磁性を増進する温度Ｔ_ＦＭでアニールされる。磁場が分散液に加えられ、分散液が温度Ｔ_Ａに加熱される間にナノ粒子を整列する。 （もっと読む）

【課題】 垂直磁気記録媒体に用いられるＣｏ−Ｆｅ系合金の軟磁性膜を成膜するためのＣｏ−Ｆｅ系合金ターゲット材に関して、良好なスパッタリング特性を有する低透磁率のＣｏ−Ｆｅ系合金ターゲット材およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 原子比における組成式が（Ｃｏ_Ｘ−Ｆｅ_{１００−Ｘ}）_{１００−（Ｙ＋Ｚ）}−Ｚｒ_Ｙ−Ｍ_Ｚ、２０≦Ｘ≦７０、２≦Ｙ≦１５、２≦Ｚ≦１０で表され、前記組成式のＭ元素が（Ｔｉ、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｗ、Ｂ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｍｇ）から選ばれる１種または２種以上の元素であるスパッタリングターゲット材であって、該スパッタリングターゲット材のミクロ組織がＣｏを主体とする合金相とＦｅを主体とする合金相とからなる焼結組織を有し、前記Ｆｅを主体とする合金相中にＦｅ_２Ｍの非磁性ラーベス相金属間化合物が存在するＣｏ−Ｆｅ系合金スパッタリングターゲット材である。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、除電ユニットからの漏出荷電粒子に起因するフィルムの熱変形を防止することができる巻取式真空成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る巻取式真空成膜（蒸着）装置１０は、冷却用キャンローラ１４と除電ユニット２３の間に、除電ユニット２３からキャンローラ１４へ向かう荷電粒子を捕捉する電荷捕捉体２５を設けることで、除電ユニット２５から漏出した荷電粒子がキャンローラ１４へ到達することを阻止して、キャンローラ１４に印加されたフィルム密着用のバイアス電位の変動を抑止し、フィルム１２に対する静電力を安定に保持する。これにより、フィルム１２とキャンローラ１４の間の密着力が安定に保持されるので、フィルム１２の熱変形が防止されることになる。 （もっと読む）

【課題】アモルファス磁性膜からなる記録層を含む磁気記録媒体において、該アモルファス磁性膜に微細な安定磁区を形成する。
【解決手段】基板と、該基板上に形成されたグラニュラー層と、該グラニュラー層上に形成されたアモルファス磁性膜からなる記録層と、を少なくとも有する磁気記録媒体であって、該グラニュラー層は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉのうち少なくとも１種類の元素とＰｔ、Ｐｄのうち少なくとも１種類の元素を主成分とする複数の柱状磁性体と、該柱状磁性体を取り囲むＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＭｇＯのうち少なくとも１種類の酸化物を主成分とする非磁性体マトリックス領域と、を含み、及び、該柱状磁性体の平均直径は、２ｎｍ以上６ｎｍ以下の範囲内であり、かつ前記柱状磁性体の平均周期は、４ｎｍ以上８ｎｍ以下の範囲であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、情報を磁気的に記録する磁気記録媒体等に関し、低ノイズ性能を維持したまま、記録層と裏打層との間の距離を縮めることにより被ライト性能を向上させる。
【解決手段】 非磁性基体と、非磁性基体の上に形成された裏打層２２と、裏打層２２の上に形成された下地層２３と、下地層２３の上に形成された中間層２４と、中間層２４の上に形成された、垂直磁気異方性を有する記録層とを有し、中間層２４が、上層側の層ほど下層側の層に比較して膜厚が厚くかつ高ガス圧で製膜された、２層以上の層２４１，２４２からなる。 （もっと読む）

【課題】微粒子の付着部分に酸を発生させることがなく、付着の均一性を向上させ、低欠陥なパターンを形成することが可能となるパターン形成方法、デバイス作製方法を提供する。
【解決手段】基板上に、複数の微粒子を配して構成されるパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記基板上に、アミノ基を含有するシランカップリング剤を含有する層を形成する工程と、
前記シランカップリング剤を含有する層上に、ネガ型レジスト層、あるいは溶解阻害ポジ型レジスト層を形成する工程と、
前記レジスト層を選択的に除去し、前記シランカップリング剤を含有する層を表出させる工程と、
前記表出したシランカップリング剤を含有する層上に、前記複数の微粒子を配する工程と、を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】ナノ粒子の分散方法及びこれを用いたナノ粒子薄膜の製造方法を提供する。
【解決手段】ナノ粒子表面を改質してナノ粒子が電荷を帯びるようにし、該電荷を帯びるナノ粒子と基板間の静電気的な引力、及び該ナノ粒子同士間の反発力をｐＨ調節によってナノ粒子の配列密度を制御し、ナノ粒子が単一膜として配列される過程で静電気的な力の他に毛管力を加えることによって高密度の均一な単一膜を大面積で得るナノ粒子薄膜の製造方法。
ナノ粒子の低い配列密度、大面積均一性及び粒子凝集の問題を克服し、大面積で均一に塗布された高密度のナノ粒子単一膜を形成でき、これを、フラッシュメモリ、ＤＲＡＭ、ハードディスク、発光素子及びＯＬＥＤ等の様々な分野に効果的に適用可能になる。 （もっと読む）

【課題】良好な熱揺らぎ耐性を有すると共にＳＮ比を向上した垂直磁気記録媒体、その製造方法、およびその垂直磁気記録媒体を備える磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】基板１１と、基板上に形成された軟磁性裏打層１２と、第１の記録層１９、記録補助層２１、第２の記録層２２がこの順に堆積してなる記録層１８と、を備え、第１および第２の記録層１９，２２は、膜面に垂直な磁化容易軸を有する強磁性層であり、記録補助層２１は、膜面に略垂直で、非磁性部２１ｂにより互いに離隔された複数の磁性粒子からなり、該磁性粒子は膜面に対して斜め方向の磁化容易軸を有し、第１の記録層１９、記録補助層２１、および第２の記録層２２は隣接する層が互いに交換結合している。さらに、垂直磁気記録媒体１０は、第１の記録層１９と記録補助層２１との間、あるいは記録補助層２１と第２の記録層２２との間に交換結合力制御層２０を有してもよい。 （もっと読む）

【課題】パーティクル発生の少ない磁気記録膜形成用Ｃｏ基焼結合金スパッタリングターゲットの製造方法を提供する。
【解決手段】原料粉末としてＰｔ：１０〜９０原子％を含有し、残部がＣｒからなるＰｔ−Ｃｒ二元系合金粉末、Ｐｔ粉末、二酸化珪素、酸化タンタル、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化トリウム、酸化ジルコニウム、酸化セリウムおよび酸化イットリウムなどの非磁性酸化物粉末、並びにＣｏ粉末を用意し、さらに必要に応じてＣｒ：５０〜７０原子％を含有し、残部がＣｏからなるＣｒ−Ｃｏ二元系合金粉末を用意し、これら原料粉末を非磁性酸化物：２〜１５モル％、Ｃｒ：３〜２０モル％、Ｐｔ：５〜３０モル％を含有し、残部：Ｃｏからなる成分組成となるように配合し混合したのち加圧焼結する。 （もっと読む）

【課題】グラニュラー磁性層内の強磁性微粒子の酸化を低減し、磁気特性の劣化を抑制することで、高密度化に対応可能な垂直磁気記録媒体、このような垂直磁気記録媒体を製造するのに好適なスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】基板１上に少なくとも磁気記録層６を備えた垂直磁気記録媒体の前記磁気記録層を成膜する際に使用するスパッタリングターゲットであって、このスパッタリングターゲットは強磁性材料と金属酸化物とからなり、その金属酸化物はその金属酸化物中に含まれる酸素の原子数が化学量論比よりも小さくなるようにした。また、このような磁気記録媒体製造用スパッタリングターゲットを用いてスパッタリング法により上記磁気記録層を成膜することにより垂直磁気記録媒体を得る。 （もっと読む）

【目的】所望とする磁性パターンを確実に作ることができる磁気記録媒体製造方法を提供する。
【構成】本発明の磁気記録媒体製造方法は、導電下地膜１４および磁性膜１２’を積層した構造をもつ磁気記録媒体の中間部材に対して凹凸面を有するスタンパ２１を用い、このスタンパ２１の凹凸面における凸部２１ｂ先端に補助導電膜２２を付着させた状態で凹凸面を磁性膜１２’に当接させる工程と、中間部材の導電下地膜１４とスタンパ２１との間に電圧を印加する工程とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高密度記録のための記録媒体には、高温での熱処理が必要であり、記録媒体を製造時低コストの製造プロセスで、安定して形成することが難しいという課題を有していた。
【解決手段】ディスク基板上に、少なくとも記録層を備え、前記記録層を形成した後にレーザ光スポットを照射することにより、記録層の結晶化と配向性を促進し、安定した結晶構造を有する構成の光磁気記録媒体とその製造方法を提供する。
記録層の垂直磁気異方性を大きく、安定した膜構造を形成できることより、マーク長を小さくした場合にも記録磁区を安定化させることができ、再生信号振幅を低下させることなく、記録密度を大幅に向上できる。また、繰り返し書き換えを行った場合にも安定した記録再生特性が得られ、信号特性に優れた磁気記録媒体、及び、その製造方法、媒体への情報の記録・再生方法が実現できる。 （もっと読む）

【課題】ターゲット形状を複雑にした場合に、スパッタ成膜中にターゲットの変形が生じてもターゲットとバッキングプレートとの良好な接触性が保たれるバッキングプレート及びスパッタ装置を提供する。
【解決手段】バッキングプレートは、固定プレート部と、この固定プレート部におけるターゲット保持面側に設けられたバネ部と、このバネ部を介して固定プレート部に保持され、エロージョン形状に合わせて凹凸が設けられたターゲットの背面が接触される可動プレート部と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁気記録層の結晶粒界相を２種類以上の酸化物で形成することで、安定な結晶粒界相を提供し、磁性粒子間の相互作用を低減することで低ノイズ化を実現し、より高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を得ることにある。
【解決手段】本発明は、磁性層のうち少なくとも１層を、スパッタリング法を用いて２種類以上の異なる組成を持つターゲットを同時放電させながら形成し、さらに該磁性層の微細構造を強磁性の結晶粒と非磁性である酸化物の結晶粒界相とから構成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】垂直記録媒体の高速生産において高い生産安定性を実現するためには、ターゲットに融点の低い組織をもたせないようにするか、その割合を小さくする必要がある。
【解決手段】垂直記録媒体１００の構成層のうち、融点の低い元素を有する層を形成する際には、予め６６０℃より融点の高い金属間化合物を形成した合金粉を用いてターゲットを構成し、熱変形しないようにする。 （もっと読む）

【課題】非磁性層と磁性層の界面変動による出力変動を抑制し、再生トラック幅が約１μ
m以下の高密度磁気記録でも高Ｓ／Ｎ比であり、エラーレートが少ない磁気記録媒体およ
びその製造方法を提供すること。
【解決手段】支持体上に、厚みが０．５〜２．５μｍ、比表面積が２０〜１２０ｍ^２／ｍ
ｌ、細孔容積が０．１５〜０．４０ｍｌ／ｍｌ、かつ平均細孔半径が３〜１６ｎｍとなる
ように、非磁性粉末および結合剤を含む非磁性層用塗布液を塗布し、非磁性層を形成し、
前記非磁性層上に、平均直径４〜１４ｎｍの微粒子を含む分散液を塗布し、前記非磁性層
の細孔に前記微粒子を充填した後、その上に強磁性粉末および結合剤を含む磁性層用塗布
液を塗布し、磁性層を形成することにより、磁気記録媒体を得る。 （もっと読む）

【課題】平滑な表面性を有し、ヘッドとのスペーシングが少なく、高記録密度が可能でありながら、走行性に優れ、ヘッド摩耗も少ない、塗布型の磁気記録媒体および上記性能を達成し、かつ生産性に優れた磁気記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】非磁性支持体上に、強磁性粉末および結合剤を含む磁性層を少なくとも有する磁気記録媒体において、前記磁性層表面の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて測定した中心面平均表面粗さＲａが２ｎｍ以下であり、最大高さＲｍａｘが５０ｎｍ以下であり、かつタッピングモ−ド原子間力顕微鏡により検出された位相差の算術平均が２〜２０°である磁気記録媒体およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 非磁性基板の少なくとも一方の表面に、磁気的に分離した磁気記録パターンを有する磁気記録媒体において、従来の物理的な磁気層加工型と比較しその磁性層除去工程を排除することにより格段に製造工程を簡略化し、かつ汚染リスクがすくない製造方法と、ヘッド浮上特性に優れた有用なディスクリートトラック型磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 磁気記録パターン部を磁気的に分離する非磁性部を、すでに成膜された磁性層に原子を注入し、磁性層を部分的に非磁性化することにより形成する。または、磁気記録パターン部を磁気的に分離する非磁性部を、すでに成膜されたＣｏ含有磁性層に部分的に原子を注入し、該箇所の磁性層のＸ線回折によるＣｏ（００２）またはＣｏ（１１０）ピーク強度を１／２以下にして形成する。 （もっと読む）

本発明はｎ層の所定材料の元素状活性層（ｎは２以上の整数）を含む多層構造物を支持体上に製造する方法（１００）に関する。この方法は、第１の元素状材料活性層の成膜工程（２００）と、ｎ番目の元素状材料活性層の成膜工程（３００）とを含む方法であって、特性が制御された多層構造物を得るために、成膜されたｎ層の材料元素状活性層上に、ｎ層の元素状活性層のそれぞれの個々の特性を変性させるのに適したイオン種をレジストを介して注入する単一の工程（６００）を含むことを特徴とする。
（もっと読む）