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Fターム[5D112BB01]の内容

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【課題】複数枚の非導電性の基板に対してバイアススパッタによる成膜を行う枚葉式の成膜装置において、生産性を維持したままで、良好にDCバイアスを印加することができるようにする。
【解決手段】複数枚の基板1を略々一平面上に保持する基台6と、複数のバイアス印加用端子13が設けられた導電性のバイアス印加部材14とを備える。バイアス印加部材14は、基台6に対し、基台6上に保持された複数の基板1の略々中央を通り各基板1に対して垂直な回転軸回りに回動可能に支持されており、基台6に対して回動されることにより、複数のバイアス印加用端子13を基台6上に保持された複数の基板1に対応して接離させる。 (もっと読む)


【課題】所定パターンの記録磁性部を記録層内に有し且つ記録面の平坦性の高い磁気記録媒体を製造するのに適した方法、および、所定パターンの記録磁性部を記録層内に有し且つ高い記録面平坦性を実現するのに適した磁気記録媒体を、提供すること。
【解決手段】本発明に係る磁気記録媒体製造方法は、例えば、磁性膜12’上に、当該磁性膜12’を部分的に露出させるための開口部21aを有するマスク21を設ける工程(a)と、拡散金属源材料22を開口部21a内に供給する工程(b)と、加熱により、拡散金属源材料22から磁性膜12’に対して金属を拡散させて非磁性部12Bを形成する工程(c)とを含む。本発明に係る磁気記録媒体Xは、連続膜である記録層12を備え、当該記録層12は、記録磁性部12Aと、当該記録磁性部12Aに金属が拡散したのと同一の組成を有する非磁性部12Bとを含む。 (もっと読む)


【課題】記録再生中、誤差が生ずることがない信頼性の高いパターンドメディア及びそれを用いた磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】パターンドメディアは、基板、軟磁性層、非磁性層、中間層及び記録層とを有する。記録層は非磁性材料と磁性材料からなるパターン構造を有し、非磁性材料のヤング率は磁性材料のヤング率よりも大きい。 (もっと読む)


【課題】基板上に磁性層を成膜したのちにパターンを形成するディスクリートトラック型磁気記録媒体において、従来の磁気層加工型と比較しその磁性層除去工程とレジスト塗布による派ターニング工程とその除去工程を排除することにより格段に製造工程を簡略化し、かつ汚染リスクがすくない製造方法と、ヘッド浮上特性に優れた有用なディスクリートトラック型磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基板の少なくとも一方の面に、物理的に分離した磁気記録トラック及びサーボ信号パターンを有するディスクリートトラック型磁気記録媒体において、磁気記録トラック及びサーボ信号パターン部を物理的に分離する非磁性部を、分離したいパターン形状のマスク上からイオン照射することにより非磁性化した非磁性部で形成する。 (もっと読む)


【課題】2種の合金材料を同時にメッキする必要の無い、新規なL10規則合金相を有する構造体の製造方法、磁気記録媒体および永久磁石を提供する。
【解決手段】Pt又はPdのいずれかの金属Xからなる膜面に対して垂直な多数の柱状部材11と、該柱状部材を取り囲むマトリックス2から成る薄膜を用意する工程と、該マトリックッス2の一部または全部を除去する工程と、該マトリックスの除去により露出した金属Xからなる柱状部材の表面をFe、Co又はNiのいずれかの金属Yで被覆する工程と、熱処理により金属X及び金属Yを含むL10規則合金相を形成する工程とを有する構造体の製造方法。微細なFePt等のL10規則合金相が内包された構造体を用いた磁気記録媒体および永久磁石。 (もっと読む)


【課題】磁性ナノ粒子の凝集がなく、配向処理が容易で、高い保持力を有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】CuAu型あるいはCuAu型硬磁性規則合金相を形成し得る合金ナノ粒子を液中でアニール処理する第1のアニール処理工程と、前記アニール処理後の合金ナノ粒子を磁場中で支持体上に塗布する塗布工程と、塗布後に還元雰囲気の気相中でアニール処理を施す第2のアニール処理工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 規則化した合金材料が、細孔中に充填されている構造体、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 以下の3つの工程を有する。
多孔質層の孔内に合金を構成する第1の材料を充填する第1の工程。該多孔質層上に第2の材料を含み構成される膜を成膜する第2の工程。該膜を有する該多孔質層を熱処理する第3の工程。 (もっと読む)


【課題】熱揺らぎ耐性に優れ、良好なSNR特性を示し、容易に製造することができる磁気記録媒体を提供すること。
【解決手段】基板と、該基板上に形成され、Niを含有する非晶質合金を含む第1の下地膜と、該第1の下地膜上に形成され、Cr単体またはCrを含有する合金を含む結晶性の第2の下地膜と、該第2の下地膜上に形成され、Fe及びCoのうち少なくとも一種の元素、ならびにPt及びPdのうち少なくとも一種の元素を含有し、L10構造を持つ磁性結晶粒子を含む磁気記録層とを具備し、前記第2の下地膜の上面に存在する酸素量が、前記第2の下地膜の下面に存在する酸素量より多く、前記磁気記録層の磁性結晶粒子の(001)面の法線方向が膜面法線方向に対して3ないし25°の範囲で傾斜して配向していることを特徴とする磁気記録媒体。 (もっと読む)


【課題】既存のマグネトロンスパッタリング装置への広範囲な変更を要求せずに、強磁性体のスパッタリング効率を改善する。
【解決手段】改良されたスパッタリングターゲットを、マグネトロンスパッタリング装置で使用するために提供するものであり、そのスパッタリングターゲットは、ターゲット材料がスパッタされる活性な表面と該活性な表面の反対側に位置した背面とを含んでいる。少なくとも1つの磁石が、ターゲットの活性な表面を通り抜ける磁界を増加させるためにターゲットの背面に埋め込み、配向される。 (もっと読む)


本発明は、磁性材料(18)の分離した部分(14)のパターンを持つ層(12)を備え、磁性材料が対応するパターンの局所磁場(2)を生じさせる、装置(デバイス)(10)を製造する方法に関する。磁性材料(18)は固形物質(24)において分散する粒子(22)から構成される。粒子は、磁気的に安定で、及び局所磁場(2)を生じさせるために実質整列される。本方法は次の工程を備える。すなわち、物質(32)を提供し、それが物質(32)において分散する粒子(22)を持ち、物質(32)は粒子(22)が物質(32)において動くのを可能にするための粘性を持つ工程、物質(32)の分離した部分(14)のパターンを装置(10)の層(12)において創作する工程、外的な磁場(50)を、粒子(22)を物質(32)の分離した部分(14)において実質整列させるために適用する工程、及び物質(32)を、固形物質(24)を得るために凝固する工程を備える。この方法の利益は、粒子(22)の内部の磁化を変化させる代わりに、粒子(22)を動かし、典型的に回転させ、外部に適用(印加)される磁場(50)に対して整列させることである。次いで、物質(32)の凝固は、整列された磁気的に安定な粒子(22)を固形物質(24)の内部で固定し、それは永久に磁化された磁性材料(18)を招く。
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【課題】磁性粒子の凝集を防ぎながら遷移ノイズを低減させ、高い生産性を有する磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】磁性領域と非磁性領域とを有する磁気記録媒体であって、前記磁性領域として、Fe162を主相とする窒化鉄系磁性粒子とマトリックス剤とを含む磁性領域を2以上有し、それぞれの磁性領域が物理的に独立した形で形成されていることを特徴とする磁気記録媒体である。前記2以上の磁性領域における隣り合う2つの磁性領域間の距離は磁性領域の長さの0.4倍以上であることが好ましい。 (もっと読む)


【課題】 トラッキングが容易で、磁気ヘッドの書込み電流を増やすことなく高密度記録及び高速記録が可能で大容量であり、極めて高品質な磁気記録媒体等の提供。
【解決手段】 本発明のナノホール構造体は、金属基材に、ナノホールの規則配列の複数が交互に隣接してなり、隣接する前記規則配列が互いに異なる。本発明のナノホール構造体の製造方法は、基材上に凹凸ラインを形成し、該凹凸ライン上に微粒子をパターン状に単層配列させた後、該微粒子の配列パターンをスタンパ形成材料に転写してスタンパを作製し、該スタンパを用いて金属基材上にナノホール形成用起点を形成した後、該金属基材にナノホール形成処理を行う。本発明の磁気記録媒体は、基板上に、該基板面に対し略直交する方向にナノホールが複数形成された多孔質層を有し、該ナノホールの内部に磁性材料を有してなり、該多孔質層が本発明のナノホール構造体である。 (もっと読む)


【課題】置換めっき法を用いて、低コストで容易且つ大面積に柱状構造体を形成することができる構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】多孔質層13の孔14内へめっき物を充填する工程を有する構造体の製造方法であって、基板上1に、めっき物よりも電気化学的に貴な下地膜12を介して多孔質層を有する部材を用意する工程、置換めっき法により、該多孔質層の孔内へめっき物を充填する工程を有する構造体の製造方法。前記めっき物が、Zn、Fe、Co、Ni、Sn、Cu、Ag、Rh、Pd、Pt、Auから選ばれる少なくとも1種類以上を含むこと特徴とする。 (もっと読む)


垂直磁気記録媒体は、基板と、基板上に、軟磁性裏打ち層、シード層、磁束スリット層、非磁性中間層、記録層、保護膜、及び潤滑層を順次積層した構成とし、磁束スリット層13は非磁性部分の境界部を有する略柱状構造の軟磁性粒子を有し、記録ヘッドからの磁束を軟磁性粒子の部分だけに狭窄して磁束の広がりを抑制する。また、磁束スリット層を記録層上に設けた垂直磁気記録媒体を開示する。
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ナノ粒子媒体の製造方法において、白金、窒化ケイ素および真空中での熱処理の下で解離する磁性元素の窒化物が基板上に所定量スパッタリングされ、基板は、真空中で高速熱処理操作を受けさせられ、基板は、磁性元素の窒化物が解離し拡散により窒素を放出して磁性元素を後に残す温度まで所定の期間にわたって加熱され、そして基板は放冷される。磁性元素は白金と合金を作り、実質的に単分散でありかつ窒化ケイ素中に実質的に均一に分布された粒子を形成する。この合金化プロセスは、磁性元素の窒化物が解離すると直ちに生じる。磁性元素は、好ましくはコバルトであり、基板は、好ましくは正方晶形のPtCo合金の形成を可能にする温度まで加熱される。

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【課題】ウェット・オン・ドライ方式により、上層の磁性層を50nm以下の薄層に形成する場合において、高配向性を実現し、高い角形比を有する磁気記録媒体を作製する。
【解決手段】磁性塗料の塗布を行うダイ(塗布装置)101から、磁場配向処理を行う配向装置Cまでの到達時間を0.05秒以下とし、かつ配向処理における磁場強度を0.8T以上1.6T未満とする。 (もっと読む)


【課題】 強磁性を示し、走行耐久性の優れた磁気記録媒体およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 CuAu型あるいはCu3Au型強磁性規則合金およびマトリックス剤を含む磁性層を有する磁気記録媒体であって、前記磁性層に細孔が形成されていることを特徴とする磁気記録媒体である。また、上記磁気記録媒体の製造方法であって、前記CuAu型あるいはCu3Au型強磁性規則合金とするための熱処理を行う熱処理工程の前工程として、脱脂処理を行う脱脂処理工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法である。 (もっと読む)


【課題】 10000mを超える長尺ロール製品のポリエステルフィルムの表面性を極めて平坦化しても、フィルムロールに局所的な帯電斑欠点が発生せず、磁気記録媒体の生産性を高めることができる磁気記録媒体用フィルムロール、ならびにそれを用いた磁気記録媒体の提供。
【解決手段】 厚さが3〜9μmのポリエステルフィルムからなる基材フィルムを円筒状コアに10000〜50000m巻きつけたフィルムロールであって、基材フィルムの表面粗さWRaは、表面Aが0.5〜4nmで、他方の表面Bが表面Aよりも粗くかつ4nm以上で、両者のWRaの和が高々12nmで、表面Aは高さ5〜50nmの突起を1〜50個/μm有し、該フィルムロールの表面硬度が800〜950で、そして該フィルムの局所帯電斑欠点の個数が5個/m以下である磁気記録媒体用フィルムロール。 (もっと読む)


【課題】保磁力に優れ、媒体ノイズの少ないCo系合金磁性膜をスパッタリング法によって形成するためのスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】クロム、ニッケル、タンタルおよびプラチナの金属元素のうち1種以上と残部がコバルトとの合金からなる合金相と、酸素、窒素および炭素のうち少なくとも1種の元素と、これらの元素に対して親和力のあるシリコン、アルミニウム、ホウ素、チタン、およびジルコニウムのうち少なくとも1種の元素との化合物からなるセラミックス相の微細均質分散混合相からなるスパッタリングターゲット。 (もっと読む)


【課題】 ガラス材料からなる基体上に1μm以上の厚い膜であっても密着性良く均一に無電解めっき法でめっき膜を形成することが可能なガラス基体へのめっき方法を提供する。
【解決手段】 ガラス材料からなる基体上に、少なくとも、ガラス活性化処理S2、シランカップリング剤処理S3、Pd触媒化処理S4、Pd結合化処理S5を順次施した後、無電解めっきS6により0.02μm以上0.5μm以下の膜厚にめっき膜を形成して200℃以上350℃以下の温度にてアニール処理S7を施し、そのめっき膜上に無電解めっきS8を施す。 (もっと読む)


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