【課題】 本発明は、情報を磁気的に記録する磁気記録媒体等に関し、低ノイズ性能を維持したまま、記録層と裏打層との間の距離を縮めることにより被ライト性能を向上させる。
【解決手段】 非磁性基体と、非磁性基体の上に形成された裏打層２２と、裏打層２２の上に形成された下地層２３と、下地層２３の上に形成された中間層２４と、中間層２４の上に形成された、垂直磁気異方性を有する記録層とを有し、中間層２４が、上層側の層ほど下層側の層に比較して膜厚が厚くかつ高ガス圧で製膜された、２層以上の層２４１，２４２からなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高い保磁力Ｈｃや逆磁区核形成磁界Ｈｎを維持しつつ、耐衝撃性を高めることの可能な磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的としている。
【解決手段】上記課題を解決するために、本発明にかかる磁気記録媒体の製造方法の代表的な構成は、ディスク基体１上に少なくとも第１磁気記録層５、第２磁気記録層６を備える垂直磁気記録方式の磁気記録媒体の製造方法において、第１磁気記録層５および第２磁気記録層６は連続して成長した結晶粒子の間に粒界部を形成する非磁性領域を備えたグラニュラー構造の強磁性層であって、ディスク基体１側の第１磁気記録層は高圧の雰囲気ガス圧でスパッタリング法を用いて成膜し、ディスク基体１から離れて形成する第２磁気記録層は低圧の雰囲気ガス圧でスパッタリング法を用いて成膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所定パターンの記録磁性部を記録層内に有し且つ記録面の平坦性の高い磁気記録媒体を効率よく製造するのに適した方法を、提供すること。
【解決手段】本発明の磁気記録媒体製造方法は、基板１１上に形成された磁性膜１２’と、凹部２１ｂおよび凸部２１ａからなる所定の凹凸パターンを有する基材２１との間に、酸素供給物質２２を介在させつつ、基材２１の凸部２１ａを磁性膜１２’に当接させた状態において、磁性膜１２’における基材２１の凸部２１ａに対応する領域を酸化して非記録磁性部１２Ｂを形成することにより、記録磁性部１２Ａおよび非記録磁性部１２Ｂを有する記録層１２を形成する工程〔図３（ｃ）〕を含む。 （もっと読む）

【課題】常圧下でのプラズマ処理を行っても、処理後の基板表面を清浄な状態に保てる磁気ディスクの製造方法、また、潤滑層との高い密着性を有する保護層を備えた磁気ディスクの製造方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に磁性層５０と保護層６０と潤滑層７０を順に備える磁気ディスクの製造方法であって、基板１０上に磁性層５０と保護層６０を順に形成した後、前記保護層６０を常圧下でのプラズマに曝す処理を行う。上記プラズマに曝される保護層表面付近には酸素又は水分が存在しないような状態で処理を行う。しかる後、前記保護層６０上に前記潤滑層７０を形成する。 （もっと読む）

【解決手段】基板上にシリコンを含む厚さが１ｎｍ以上１０ｎｍ未満のシリコン下地膜を設け、このシリコン下地膜上にＮ₂分圧が１〜１０％のＮ₂添加雰囲気下でスパッタリング法にて成膜され、かつ２００〜４００℃で１０〜３０分間熱処理が施されたパラジウム中間層を設け、更にこのパラジウム中間層上にＣｏとＰｄをそれぞれ複数回にわたって交互に成膜することによって形成された磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂直磁化膜を設けてなることを特徴とする磁気記録媒体。
【効果】本発明によれば、シリコン下地膜が１０ｎｍより薄い場合でも記録再生特性が良好である。また、本発明に係るシリコン下地膜とパラジウム中間層とから構成される下地膜は、軟磁性膜を最下層に付与した垂直二層記録媒体における中間層として有用である。 （もっと読む）

【課題】 高Ｓ／Ｎ比の実現に適した粒径分布を持ち、互いに孤立して一様に分布する磁性粒子を有する垂直磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】 基板の上に、Ｒｕを主成分とする六方最密充填構造の合金、またはＲｕからなる多結晶の下地層が配置されている。下地層の上に、中間層が配置されている。中間層は、Ｒｕを主成分とする六方最密充填構造の合金、またはＲｕで形成され、面内に分布する複数の結晶粒で構成されている。結晶粒の各々の上面は、上方に向かって凸状の形状を有する。中間層の上に、磁気記録層が配置されている。磁気記録層内では、磁性材料からなる複数の磁性粒子が面内に分布し、相互に隣り合う磁性粒子同士が、両者の間に配置された非磁性材料からなる非磁性領域によって磁気的に分離されている。 （もっと読む）

【課題】高ＯＲを実現しながら、Ｈｃｒの低下が少ない高記録密度磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】非磁性基板、第１シード層、第２シード層、第１下地層、第２下地層および磁気記録層をこの順に備え、第１シード層は、Ｎｉ−Ｔｉ系合金、Ｃｒ−Ａｌ系合金、Ｃｒ−Ｔａ系合金およびＣｒ−Ｔｉ系合金からなる群から選ばれるいずれか１種以上の材料からなる単層または２層以上で構成され、第２シード層は、Ｎｉ−Ｗ系合金、Ｎｉ−Ｒｕ−Ｗ系合金、Ｃｏ−Ｗ系合金からなる群から選ばれるいずれか１種以上の材料からなる単層または２層以上で構成され、第１下地層は、Ｃｒ−Ｒｕ合金からなる単層または２層以上で、第２下地層は、Ｍｏ、Ｂ、ＴｉおよびＷからなる群から選ばれるいずれか１種以上の元素とＣｒとからなるＣｒ系合金からなる単層または２層以上で構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】熱揺らぎ耐性と、媒体ＳＮｍとの向上を両立させる。
【解決手段】異方性磁界Ｈｋと飽和磁化量Ｍｓが、２＜Ｈｋ／４πＭｓ＜５を満足し、垂直方向に磁界ＭＨループにおいて、その傾斜の度合いをαとしたとき、異方性磁界Ｈｋ、飽和磁化量Ｍｓ、及び保磁力Ｈｃが、式０．０１＜｛（α−１）Ｈｃ＋４πＭｓ｝／Ｈｋ＜０．２を満足し、かつ面内残留磁化量Ｍｒが、垂直飽和磁化量Ｍｓの０．２未満となる磁気特性を有する垂直磁気記録媒体。 （もっと読む）

【課題】 磁気記録層におけるグレインサイズを縮小する。
【解決手段】 グレインサイズが減らされた磁気記録層を有する磁気記録媒体を製造するための１つの方法が示される。磁気記録層の形成より先に、第１に、中間層にてグレインを囲みかつ分け隔てるグレイン境界相によって中間層が形成される。グレイン境界相の形成にともない、中間層のグレインサイズをうまく減少させることができる。磁気記録媒体は、中間層とこの中間層上に形成された磁気記録層とを有する。中間層では、分け隔てられたグレインとこのグレインを囲みかつ分け隔てるグレイン境界相とが形成される。磁性層は、中間層の構造に続いて形成された磁性グレインを有する。こんため、磁性層は、縦覧のグレインサイズに比べて、相対的により小さなグレインサイズを有する。 （もっと読む）

【課題】生産性を高めることが可能な二層記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】非磁性基板１１上に非磁性基板１１と平行な面内に磁化容易軸を有する軟磁性層１２を堆積する軟磁性層堆積段階と、軟磁性層１２上に非磁性基板１１に垂直な磁化容易軸を有する記録磁性層１３を堆積する記録磁性層堆積段階とを含む二層記録媒体の製造方法であって、軟磁性層堆積段階が、軟磁性層１２の比透磁率がイオンアシストのない状態の１．２倍以上となるイオンアシストありのスパッタリングにより軟磁性層１２を堆積する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスに何らかの異常が発生した場合、あとからその原因を追求して速やかに修復できるように、製造プロセスの履歴を保存できるようにする。
【解決手段】同一の工程処理をサイクル毎に繰り返し行う処理装置（磁気ディスク製造用のスパッタリング装置など）１１と、処理装置における処理条件の生データ（放電条件など）を収集するサンプリングユニット３０と、前記生データを受け取り、生データを一定のルールに基づいて演算してサイクル毎の特徴点を表現する要約データ（特性値：例えば平均値、最大値、最小値、標準偏差、放電時間など）として加工する演算部１００と、その加工した要約データを記憶手段に保存するデータ保存ユニット４０と、記憶手段に保存された要約データをチャート表示する表示・出力ユニット５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】下地層の粒成長を抑制し、且つ高い配向性を出現させることによって、低い媒体ノイズを有し、高S/N比が得られる磁気ディスクを提供する。
【解決手段】ディスク状ガラス基板上に、少なくとも、非晶質の第１下地層と、結晶質の第２下地層と、磁性層とを有する磁気ディスクの製造方法であって、酸化性ガスを含む雰囲気において反応性スパッタリングにより前記第１下地層を成膜した後、１００℃から２４０℃の範囲の基板温度で前記第２下地層を成膜する。前記第１下地層は、例えばＣｏＷ、ＣｒＷ、ＣｒＴａ、ＣｒＭｏ、ＣｏＴａのうちの何れかの材料からなる。前記酸化性ガスとしては、例えば酸素ガス、二酸化炭素ガスである。また、前記第２下地層は、体心立方構造のＣｒ系合金からなる。 （もっと読む）

【課題】高密度記録が可能であると共に、生産歩留まりの低下を回避し、さらには磁気記憶装置の信頼性を向上可能な垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記憶装置を提供する。
【解決手段】基板１１と、基板１１上に、軟磁性裏打ち層１２、シード層１３、下地層１４、記録層１５、保護膜１６、および潤滑層１８を順次積層した構成とし、下地層１４は、ＲｕまたはＲｕ合金からなる複数の結晶粒子１４ａからなり、結晶粒子１４ａ同士を互い離隔する空隙部１４ｂを介して基板面内方向に配置され、記録層１５は下地層１４の結晶粒子１４ａ上に堆積した複数の磁性粒子１５ａからなり、磁性粒子１５ａ同士を互い離隔する空隙部１５ｂを介して基板面内方向に配置される。記録層１５の磁性粒子１５ａは、下地層１４の結晶粒子１４ａ上に成長した構成を有する。 （もっと読む）

【課題】粒状のコバルト合金に酸化物が添加されて成る記録層(RL)を備えた垂直磁気記録ディスクにおいて、記録性能を劣化させることなく良好な耐食性を付与する。
【解決手段】六方最密(hcp)結晶構造を有するRu或いはRu合金から成る中間層(IL)を従来よりも実質的に低いスパッタ圧にて蒸着し、その結果、中間層の柱状構造が従来よりも減少し、中間層の表面が従来よりも平滑になる。そのようにして得られた比較的平滑な中間層(IL)の表面をアルゴン雰囲気中でのスパッタエッチング等のイオン照射により変性し、ナノスケールの粗さとし、その上に記録層(RL)を成長させる。そのように中間層(IL)の表面を粗面化すると記録層(RL)が成長する際に記録層中の粒子の分離が促進されるが、本発明の中間層(IL)は柱状構造が少ないので水や腐食剤の通り道が従来よりも少なくなる。 （もっと読む）

【課題】面内磁気記録ヘッドで記録可能であり、且つ、熱的に安定であり、しかも、ＳＮＲが高い磁気記録媒体を得る。
【解決手段】非磁性支持体１２と、該非磁性支持体１２の少なくとも一方の面に形成されたシード層１４と、該シード層１４上に形成された下地層１６と、該下地層１６上に形成された磁性層１８とを有し、磁性層１８は、ＣｏＰｔを主成分とする強磁性体微粒子が酸化物で分離されたグラニュラ構造を有する層であり、酸化物は、酸化ケイ素と酸化クロムの混合物である。酸化ケイ素と酸化クロムの混合比は、９：１〜１：９の範囲である。前記強磁性体微粒子の平均粒子径は、円形換算で６〜１０ｎｍφである。 （もっと読む）

【課題】改善された高い記録性能、特に良好な信号雑音比をもつ磁気記録媒体及び製造法を提供する。
【解決手段】基板、第１及び第２磁性層をもち、第１磁性層２における磁性粒子間の交換結合は、第２磁性層３における磁性粒子間の交換結合より低く、第１及び第２磁性層は膜の積み重ねであり、そのため第１磁性層２における磁気粒子は第２磁性層３を通る通路により交換結合される。前記第１の磁性層は非強磁性材料の領域を包含し、また前記第２の磁性層は本質的に非強磁性材料を包含しない。 （もっと読む）

【課題】高記録密度を有する垂直磁気記録媒体の量産を安定して行うためには、軟磁性下地層の特性を劣化させることなく成膜を行う技術が必要である。
【解決手段】基板１上に密着層２を形成し、次に第一軟磁性層３１及び第二軟磁性層３２をそれぞれ２５ｎｍ形成し、非磁性層３３であるＲｕを形成し、第三軟磁性層３４及び第四軟磁性層３５をそれぞれ２５ｎｍ形成して軟磁性下地層３を作製した。第一軟磁性層３1と第二軟磁性層３２及び第三軟磁性層３４と第四軟磁性層３５はそれぞれ強磁性的に結合しており、第二軟磁性層３２と第三軟磁性層３４はＲｕ非磁性層３３を介して反強磁性的に結合している。その後、基板半径方向に磁界を印加しながら冷却を行い、次に、中間層４であるＲｕを形成し、記録層５を形成し、保護膜６を形成した。 （もっと読む）

【課題】 磁気テープ上に形成した金属磁性膜が薄くなり抵抗損失が大きくなったとしても、成膜速度を高め、製品不良を招くこと無く、プラズマＣＶＤにより金属磁性膜に保護膜を成膜する。
【解決手段】テープ状基板１上に形成された磁性膜１ａ上にプラズマ反応によって保護膜１ｂを成膜する成膜装置１０は、磁性膜１ａに保護膜１ｂを形成するためのプラズマ反応空間を形成する反応室１１と、反応室１１内に保護膜１ｂを形成するための反応ガスを供給する反応ガス導入部１２と、反応室１１内に設けられており磁性膜１ａとの間にプラズマを発生させる陽極電極３１と、反応室１１の外部に設けられ、磁性膜１ａに対して非接触で電子流を供給する電子供給源３４，３５と、電子供給源３４，３５から磁性膜１ａに対して供給する電子流の電流量を制御する制御部３６とを備える。制御部３６は、電子供給源３４，３５から磁性膜１ａに対して供給する電子流の電流量を、陽極電極３１に対して供給される電流量以上に制御する。 （もっと読む）

【課題】媒体Ｓ／Ｎが高く、かつ耐食性、スクラッチ耐力に優れた媒体を実現する。
【解決手段】基板上１１に少なくとも軟磁性層１３、シード層１４、中間層１５、磁気記録層１６、保護層１７が順次積層されてなる垂直磁気記録媒体において、磁気記録層１６をＣｏＣｒＰｔ合金からなる多数の柱状粒子と酸化物を含む粒界層によって構成されたグラニュラ構造とし、シード層１４をＷＣｏ合金で構成し、中間層１５をＲｕ又はＲｕ合金によって構成する。 （もっと読む）

【課題】 優れた熱ゆらき耐性を保ちながら、同時に記録再生特性、特に媒体ノイズの低減を実現し、高密度の情報の記録再生が可能な垂直磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】 非磁性基板上に、少なくとも、直上の層の配向性を制御する配向制御層と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁性層と、保護層とが設けられ、垂直磁性層が、Ｃｏを主成分とし、基板側から順に、少なくともＣｒ、Ｐｔと金属または半導体の酸化物、窒化物を含んだ材料を主成分とする垂直磁性層（１）とＣｏＣｒ合金を主成分とする垂直磁性層（２）、ＣｏＣｒＰｔＢ系合金を主成分とする垂直磁性層（３）の少なくとも３層以上から構成される。 （もっと読む）