【課題】 本発明は、同一の組成で形成される連続した２層間におけるパーティクルの付着を防止することにより、垂直磁気記録媒体の歩留まりの向上および記録再生特性の改善が可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ディスク基体１１０上に複数の層をスパッタリングによって成膜する垂直磁気記録媒体の製造方法において、複数の層のうち、少なくとも２つの連続する層を、同一チャンバーにおいて同一のターゲットを用いて１つのプロセスタイム内でスパッタ条件を異ならせて成膜することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２層構造のＲｕ下地層において第１の下地層の結晶粒のサイズを小さくすることで、記録層であるグラニュラ磁性層の磁性結晶粒をより微細化することのできる垂直磁気記録媒体の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】炭化酸素を含んだ不活性ガス雰囲気においてＲｕ又はＲｕ合金を軟磁性裏打ち層１２上に堆積させることにより下部下地層１４を形成する。不活性ガス雰囲気においてＲｕ又はＲｕ合金を下部下地層１４上に堆積させることにより上部下地層１５を形成する。上部下地層１５上に、磁性結晶粒１６ａを含んだ磁性層１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ磁気特性と記録再生特性に優れ、さらなる高記録密度化が可能な垂直磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】垂直磁気記録媒体の製造方法は、ＮｉＣｒ合金ターゲット又はＣｒターゲット及びＮｉターゲットを用い、スパッタ法によりシード層を形成する工程と、前記シード層の上に非磁性下地層を形成する工程と、前記非磁性下地層上に磁性層を形成する工程とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】制御された蒸気の供給を可能とする。
【解決手段】液体又は固体の物質を保持する保持部４と、保持部を冷却する冷却手段５と、保持部の温度を検知する検知手段６と、検知手段により検出した温度に基づき、冷却手段を制御する制御手段７と、を有し、制御手段により、冷却手段を用いて保持部の温度を制御することで、液体又は固体の物質の気化又は昇華を制御して、物質の蒸気を供給する。蒸気供給装置の置かれた雰囲気での、液体又は固体から気化又は昇華した蒸気の圧力を測定する手段９又は１０を有し、制御手段は、測定された圧力に基づき蒸気の圧力が所定の値になるように保持部の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】記録再生ヘッドの浮上性を確保しつつ、ヘッド位置決め精度がよく、ＳＮ比が良好で、高温多湿環境下でも高い信頼性を示す磁気記録媒体を製造できる方法を提供する。
【解決手段】基板上に磁気記録層を成膜し、前記磁気記録層の記録部に対応する領域にマスクを形成し、前記マスクに覆われていない領域の磁気記録層の一部をエッチングガスによりエッチングして磁気記録層に凹凸を形成し、凹部に残存する磁気記録層を改質ガスにより改質して非記録部を形成し、全面に保護膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】磁気記録層の磁性結晶粒子を適切に微細化する。
【解決手段】垂直磁気記録方式で情報を記録する垂直磁気記録媒体１００の製造方法であって、上層の結晶方位を制御する下地層１１８を成膜する下地層成膜工程と、下地層１１８の結晶方位に応じた方向に磁化容易軸が向く磁性結晶粒子３０６が非磁性物質３０８のマトリックス中に分散するグラニュラ構造の磁気記録層である主記録層１２０を成膜する磁気記録層成膜工程とを備え、下地層成膜工程は、希ガスと多原子分子ガスとの混合ガスをスパッタリングガスとして用いるスパッタリング法により、下地層１１８の少なくとも最上層部を成膜する。 （もっと読む）

【課題】基板の配向性に関わらず、磁性層の（００１）面方位への配向性を強くした磁気デバイスの製造方法を提供することにある。
【解決手段】第１ターゲットＴ１をスパッタする前に、Ａｒを用いたプラズマを基板Ｓの表面に照射し、基板Ｓの表面を洗浄した。そして、基板Ｓと第１ターゲットＴ１との間の距離が第１ターゲットＴ１から放出されるスパッタ粒子の平均自由工程よりも短くなるように成膜圧力を設定して、室温に保持される基板Ｓに、膜厚が５ｎｍ〜２０ｎｍのＭｇＯ層を形成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、記録層の結晶配向分散を低減した垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】垂直磁気記録媒体１０は、複数の微小結晶粒２０ａよりなる第１磁性層２０と、第２磁性層１６とを有する。第２磁性層１６は、基板面の垂直方向に一致した磁化容易軸を有する複数の結晶粒１６ａと結晶粒の間に介在する非磁性体１６ｂとで構成される。下地層１４のＲｕ結晶粒の上に、第１磁性層の微小結晶粒２０ａが形成される。微小結晶粒２０ａの上に、第２磁性層の結晶粒１６ａが形成される。第１磁性層２０の微小結晶粒２０ａの粒径は、第２磁性層１６の結晶粒１６ａの粒径より小さい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、磁気記録媒体及びその製造方法に関し、媒体ノイズを低減可能とすることを目的とする。
【解決手段】非磁性中間層上に磁性記録層を有する磁気記録媒体の製造方法において、非磁性中間層及び磁性記録層のうち少なくとも一方を酸化物材料からなるターゲットを使用したスパッタリングにより形成する際に、酸素ガス又は二酸化炭素ガスを供給してプラズマ発生時に酸化物材料から酸素原子が分離することによる酸素供給不足の状態を抑制するように構成する。 （もっと読む）

【課題】記録再生用ヘッドと軟磁性層との間のスペースを大きくすることなく、磁気記録層の結晶配向性を向上させ、磁性粒を微細化しても高いＳ／Ｎ比と保磁力Ｈｃを維持し、高記録密度化を図ることが可能な磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】ディスク基体１上に少なくとも軟磁性層１４と、配向制御層１６と、下地層１８と、信号を記録する磁気記録層２２とを、この順に成膜する垂直磁気記録媒体１００において、配向制御層１６は、Ｃｕ合金から成り、下地層１８は、ルテニウムから成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】トラック幅を狭くすると同時に、Ｓ／Ｎ比も向上させるという、従来は相反すると思われていた特性を両方同時に獲得でき、これによって高記録密度化を図ることが可能な磁気記録媒体を提供することを目的とする。
【解決手段】ディスク基体１上に少なくとも軟磁性層１４と、配向制御層１６と、ルテニウムから成る下地層１８と、信号を記録する磁気記録層２２とを、この順に成膜する垂直磁気記録媒体１００において、配向制御層１６はＣｕ合金から成り、これによって垂直磁気記録媒体１００のトラック幅が狭くなるほどＳ／Ｎ比は向上することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ガス噴出口を工夫することで、面方向の膜厚の均一性を向上させることを目的とする。
【解決手段】 本発明による磁気記録媒体の製造方法は、真空成膜装置１００を用いて、円板状基体１の上に少なくとも磁気記録層２２および媒体保護層２６を成膜する磁気記録媒体の製造方法であって、チャンバ１０２内に円板状基体１を搬入する工程と、チャンバ１０２内の空気を排出して略真空に引く工程と、チャンバ１０２内にガスを導入する工程と、を含み、ガスを導入する工程においては、複数のガス噴出口１１４を円板状基体１の外周に沿って配置し、当該円板状基体１の半径方向に対して所定角度傾斜した方向にガスを噴出することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気記録媒体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板と、基板上に形成される軟磁性層と、軟磁性層上に形成される底層と、底層上に形成される複数のＣｏ合金酸化物層を有する記録層と、を備え、複数のＣｏ合金酸化物層の各層は、底層側に位置した下部層から上部層へ行くほど磁気異方性エネルギーが次第に低くなるように形成されたことを特徴とする垂直磁気記録媒体である。前記第１Ｃｏ合金酸化物層のＰｔ含量は、前記第２Ｃｏ合金酸化物層のＰｔ含量より多い。 （もっと読む）

【課題】下地層の膜厚を薄くしても良好な磁気特性が得るようにし、磁気ヘッドと軟磁性層間の距離を小さくし、より急峻なヘッド磁界で記録すること。
【解決手段】非磁性基体１上に少なくとも、下地層２と磁気記録層３と及び保護膜４が順に形成された構造を有しており、さらにその上に液体潤滑材層５が形成されている。磁気記録層３は、強磁性を有する結晶粒とそれを取り巻く酸化物或いは窒化物の非磁性結晶粒界からなり、かつ下地層の形成時のガス圧を変化させ、表面層部分を初期層部分よりも高ガス圧で形成した。下地層２の形成方法としては、初期層部分は低ガス圧で成膜し、表面層は初期層部分よりも高ガス圧で成膜する。 （もっと読む）

【課題】磁性結晶粒子が互いに面内方向で空隙により分離された構成の記録層を有する垂直磁気記録媒体において、粒径分散と結晶配向分散の双方を抑制し、高いＳ／Ｎｔと狭ライトコア幅を実現する。
【解決手段】垂直磁気記録媒体（１０）は、基板（１１）上に形成される軟磁性裏打ち層（１２）と、前記軟磁性裏打ち層上に形成されたＲｕ又はＲｕ合金の下地層（１４．１５）と、前記下地層上に形成され、基板面と垂直方向に磁化容易軸を有する複数の磁性粒子と、当該磁性粒子を取り巻く非磁性体とで構成される層を少なくとも１層含んだ多層あるいは単層構造の記録層（１６）と、前記軟磁性裏打ち層と前記下地層の間に挿入され、Ｒｕ又はＲｕ合金からなる結晶構造体膜（２１）および多結晶膜（２５）と、他の多結晶膜（２２）とを少なくとも含む積層体（３０、３０Ａ〜３０Ｅ）を含む。 （もっと読む）

【課題】垂直磁気媒体において，磁性結晶粒の孤立化を促進するためのひな形を、磁性層の下層側に配置した中間層により形成する。磁性結晶粒の孤立化が進むと，ヘッドによる書き込み能力が著しく低下する。
【解決手段】上部Ru中間層16b形成時に微量の酸素を添加したArガスを用いることで，この上に形成する磁性層17のミクロ構造が，非磁性酸化物領域が偏析し，磁性結晶粒が孤立化した形態となるようにすることができる。このときの上部中間層16bを形成するガス圧力は５Pa以上12Pa以下と，下部Ru中間層16aの0.5Pa以上1Paに比べて遙かに高い領域とする。孤立化が促進された磁性結晶粒を有する垂直磁気媒体は，ヘッドによる書き込みが著しく困難となるため，メインとなる第１磁性層17の上層に，酸化物濃度を低くして，表面側磁性層でのみ粒子間の結合を若干強めて磁化反転を容易にさせるための第２磁性層18を形成する。 （もっと読む）

【課題】非磁性層により囲まれた柱状磁性結晶よりなる記録層を有する垂直磁気記録媒体において、柱状磁性結晶の粒径分散を低減し、信号対ノイズ比およびオーバーライト特性を向上させ、また書き込み領域幅を低減する。
【解決手段】基板と、前記基板上に順次形成された軟磁性裏打ち層、配向制御層１３と、ＲｕあるいはＲｕ合金の連続膜よりなる第１の下地層３１と、ＲｕあるいはＲｕ合金よりなる複数の結晶粒１４ａと、前記複数の結晶粒を互いに離間させる隙間１４ｂとよりなる第２の下地層１４と、前記複数の結晶粒に対応して形成され、各々基板面に略垂直方向に磁化容易軸を有する複数の磁性粒子１５ａと、前記複数の磁性粒子を互いに離隔する非磁性粒界相１５ｂとよりなる記録層１５と、よりなる垂直磁気記録媒体であって、前記第１の下地層１３と前記配向制御層との界面には、複数の核が、互いに離間して形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および耐腐食性に優れた二重保護層を備えた磁気記録再生ヘッドまたは磁気ディスクおよびそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気記録再生ヘッド１０または磁気ディスク２０の清浄化された表面に、シリコン酸化窒化物（ＳｉＯ_xＮ_y）からなる密着性向上のための下地層１８０（２８０）と、ＤＬＣ層１９０（２９０）とからなる２層構造保護膜を形成する。ｘは０．０２〜２．０の範囲、ｙは０．０１〜１．５の範囲とすることが好ましい。下地層１８０（２８０）のｘ，ｙの値を適切に調整することにより、基板とＤＬＣ層との間の強い化学的結合、優れた耐摩耗性および耐腐食性、化学的・機械的安定性、および低い導電性が得られる。 （もっと読む）

【課題】高いＳＮＲが得られる薄膜積層体としての磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録媒体製造装置、さらにこの磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置を提供する。
【解決手段】成膜用基板を複数のスパッタチャンバ内に順次搬送し、スパッタチャンバ内で、前記成膜用基板上に、スパッタ法を用いて薄膜を形成する際、スパッタチャンバ内に、複数の成膜用基板を同時に収容し、このうち、いずれかの成膜用基板に薄膜を形成しつつ、成膜前の待機中の他の成膜用基板を加熱する第１の工程と、成膜用基板のうち、いずれかの成膜用基板に薄膜を形成しつつ、前記第１の工程で薄膜を形成した後の成膜用基板を加熱する第２の工程のうち、少なくとも一方を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 耐摩耗性および耐腐食性に優れた二重保護層を備えた磁気ディスクまたは磁気記録再生ヘッドおよびそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】 磁気ディスクまたは磁気記録再生ヘッドの清浄化された表面に、アルミニウム酸化窒化物、チタンアルミニウム合金酸化窒化物、シリコンアルミニウム合金酸化窒化物またはクロムアルミニウム合金酸化窒化物等の酸化窒化物からなる密着性向上のための下地層を形成し、その上にＤＬＣ層を形成する。 （もっと読む）