【課題】本発明は主として誘電体積層部品を形成するセラミックシートに関するものであり、グリーンシートの薄膜化を目的とする。
【解決手段】特に、グリーンシート４の支持フィルム３上に非晶質無機誘電体層６を形成し、この非晶質無機誘電体層６に種結晶７を分散配置したものであり、この構成により、非晶質無機誘電体層は種結晶を中心として粒成長するようになるため、この種結晶の分散状態を制御することで焼成時における誘電体の粒成長を制御することができ、結果として焼結後の誘電体特性のバラツキを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は主として誘電体積層部品を形成するグリーンシートの形成方法に関するものであり、グリーンシートの薄膜化を目的とする。
【解決手段】特に、グリーンシート４の形成方法として支持フィルム３上に非晶質無機誘電体層６をスパッタリング工法で形成し、この非晶質無機誘電体層６に種結晶７を形成したものであり、この構成により、サブミクロン単位の非晶質無機誘電体層を容易に形成できるとともに、種結晶を配置することで異常粒成長を抑制でき、高精度なグリーンシートを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】 容量値の精度が高く品質も向上させやすい薄膜キャパシタ素子と、その製造方法を提供すること。
【解決手段】 薄膜キャパシタ素子１０は、基板１上に形成された下部電極２と、下部電極２の所定領域上に積層された同一平面形状の誘電体層３および上部電極膜４１と、これら下部電極２の一部と誘電体層３および上部電極膜４１からなる積層体６の側端面６ａを覆う位置に形成された枠状の絶縁樹脂層５と、上部電極膜４１の表面を覆って基板１上へ延出形成された上部引出し電極４０とを備えている。この薄膜キャパシタ素子１０は、製造時に異方性エッチングにより積層体６の側端面６ａを基板１と略直交する平坦面となしているので、カバレッジ不良部分を覆う絶縁樹脂層５が、下部電極２と上部電極膜４１との間に介在せず、同電位な上部引出し電極４０と上部電極膜４１との間に介在している。 （もっと読む）

【課題】 表面積の大きい多孔質バルブ金属薄膜およびその製造方法、並びにその薄膜を陽極体として利用した容量密度の大きい薄膜キャパシタを提供する。
【解決手段】 １）バルブ金属と異相成分の粒子径が１ｎｍ〜１μｍの範囲にあり、かつ、バルブ金属と異相成分が均一に分布した薄膜を作製する工程、２）熱処理により粒子径を調整をするとともに適度に焼結を進める工程、３）異相部分を除去する工程、からなる製造方法を用いて、多孔質バルブ金属薄膜を製造する。 （もっと読む）

【課題】誘電体薄膜の損傷を招くことなく、信頼性の優れた誘電体薄膜キャパシタを高効率で製造することができるようにする。
【解決手段】Ｓｉ基板１２の表面に酸化物層１３、密着層１４、第２の電極膜１５、誘電体薄膜７を形成し、その後パターニングされた第１の導体層６（第１の電極膜１６、Ｔｉ膜１７、Ｃｕ膜１８、Ｔｉ膜１９）を形成する（（ａ）〜（ｃ））。そしてこの後、第１の導体層６上に熱硬化性樹脂からなる平坦層５を形成する（ｄ）。その後、熱可塑性樹脂からなる接着層が表面に形成された樹脂多層基板を用意し、接着層と平坦化層とを重ね合わせ、加熱加圧して接合する。
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【課題】 誘電体樹脂層と電極金属層との積層体の層間接着を強化しつつ、積層体とスペーサとの接着を抑制することができるコンデンサの製造方法を提供する。
【解決手段】 誘電体樹脂層と電極金属層とが交互に積層されたコンデンサの製造方法において、誘電体樹脂層と電極金属層とを交互に積層した積層板を条に切断した個片３１とスペーサ４１とを交互に固定枠４２に組込み、固定枠４２に交互に組み込まれた個片３１とスペーサ４１とに外部電極となる金属を溶射し、個片３１とスペーサ４１とに作用する圧力を調整しながら個片３１とスペーサ４１とを加熱する。 （もっと読む）

【課題】 回転体表面に積層した積層体表面とオイルを出射する出射プレートとの間の距離を正確に測定することにより、積層体の特性を向上させることができる積層体の製造装置および製造方法を提供する。
【解決手段】 レーザーセンサからなる第１、第２の計測部１４Ａ、１４Ｂにより、積層体表面までの距離と出射プレート１３までの距離を測定し、その差を求めること、または、空気マイクロメータを備えた出射プレートプレートを用いることによって、回転体２の表面に積層した積層体表面と出射プレート１３間の距離を正確に測定する。 （もっと読む）

【課題】 上部電極から誘電体層へのイオンマイグレーションを確実に防止して信頼性を高めた薄膜キャパシタ素子を提供すること。
【解決手段】 薄膜キャパシタ素子１０は、基板１上に順次形成された下部電極２および誘電体層３と、誘電体層３を露出させる開口５ａを有して該誘電体層３の周縁部を覆う位置に形成された絶縁樹脂層５と、絶縁樹脂層５上および開口５ａ内の誘電体層３上に形成された拡散防止層６と、拡散防止層６上に形成されて開口５ａ内で該拡散防止層６および誘電体層３を介して下部電極２と対向する上部電極４とを備えており、拡散防止層６はＴａやＴａＮ等の金属材料にて薄膜形成されている。拡散防止層６には下部電極２上に位置する上部電極４の側端面よりも外方へ延びる延出部６ａが設けられており、この延出部６ａは上部電極４と同電位なので該側端面と下部電極２との間の電界を遮断する効果がある。 （もっと読む）

【課題】任意の場所に任意の形状で、誘電体組成物を形成すること。
【解決手段】現像液に少なくとも一部が溶解する無機フィラーと、樹脂を含む誘電体組成物であって、無機フィラーの量が、誘電体組成物中に含まれる固形分全量の６０体積％以上であり、膜状の該誘電体組成物を現像し、パターン化したときの膜断面のテーパーの角度が７０°以上１１０°以下であることを特徴とするパターン化された誘電体組成物および該誘電体組成物上にマスクパターンを形成し、酸と過酸化水素を含む混合溶液を用いて誘電体組成物中のフィラー成分を溶解してパターン化することを特徴とするパターン化された誘電体組成物の製造方法。 （もっと読む）

プリント回路構造に埋め込まれた複数のコンデンサのうちの１つは、プリント回路構造の第１基材層（５０５）をオーバーレイする第１電極（４１５）、第１電極をオーバーレイする結晶誘電体酸化物コア（４０５）、結晶誘電体酸化物コアの上にある第２電極（６１５）、および、結晶誘電体酸化物コアと第１および第２電極の少なくとも１つとの間にあってそれらに接触している高温酸化防止層（２２０）を含む。結晶誘電体酸化物コアは、１マイクロメートルより薄い厚さを有し、１０００ｐＦ／ｍｍ^２より大きい容量密度を有する。複数のコンデンサはいずれも材料および厚さが同じである。結晶誘電体酸化物コアは、複数のコンデンサの他のコンデンサ全ての結晶誘電体酸化物コアから分離されていてもよい。
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金属−絶縁体−金属（ＭＩＭ）コンデンサを形成する方法であって、ＭＩＭコンデンサのプレートが、半導体デバイスのメタライゼーション層の厚み全域に形成されている。上記メタライゼーション層の表面の粗さを軽減するために、上記メタライゼーション層の材料内に、少なくとも１つの薄い伝導材料層が配置されている。このため、ＭＩＭコンデンサの信頼性が改善される。上記薄い伝導材料層は、ＴｉＮ、ＴａＮ、またはＷＮを含んでいてよく、あるいは、上記ＴｉＮ、ＴａＮ、またはＷＮの上または下に配置されたバリヤ層を含んでいてもよい。上記ＭＩＭコンデンサの１つのプレートは、メタライゼーション層内の伝導線をパターン化するために用いられるマスクと同一のマスクを用いてパターン化される。したがって、上記ＭＩＭコンデンサを製造するために必要なマスクの数を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】 低温の結晶化により良好な特性を有するＢｉ層状ペロブスカイト構造を有する強誘電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の強誘電体膜の製造方法は、第１の原料液と、第２の原料液とを含む強誘電体の原料液を結晶化することにより、強誘電体膜を形成する工程を含み、前記第１の原料液と前記第２の原料液とは、種類が異なる関係にあり、前記第１の原料液は、Ｂｉ系層状ペロブスカイト構造を有する強誘電体を生成するための原料液であり、前記第２の原料液は、ＡサイトがＰｂであるＡＢＯ_３系酸化物を生成するための原料液である。 （もっと読む）

【課題】 汎用的なシート材料を用いることにより低コストで簡便なプロセスにより、樹脂回路基板内に高精度のＬＣＲや電波吸収部品層の内蔵化を歩留まり良く実現させることができるプリント配線板製造用シート材を提供する。
【解決手段】 支持体層２、金属層３、受動部品形成層４、金属層５の順に積層成形して成るプリント配線板の製造にあたり、支持体層２によって金属層３，５及び受動部品形成層４が支持されていると共に支持体層２の存在により金属層３がパターニングされていない状態で積層成形する。このことから成形時の受動部品形成層４の変形や割れが抑制される。この金属層３，５や受動部品形成層４によってコンデンサ、インダクタ、抵抗、電波吸収部品層等の回路部品を形成することにより、これらの回路部品をプリント配線板に内蔵すると共に受動部品形成層４の薄いものでも歩留まり良く高精度に形成することができる。 （もっと読む）