本発明は、レチクルを収納し、第１のコンテナに収容される第２のコンテナを備えるレチクル容器を提供する。第２のコンテナは、衝撃および振動絶縁部材を備える第１のコンテナ内に保持されるため、第１のコンテナ内で多自由度の移動が可能である。レチクルが第２のコンテナの内部に固定されることにより、レチクル容器からレチクルへの衝撃や振動の伝達が実質的に軽減される。
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【課題】パターン形成面と収納カセットの内側との擦れを防止し、収納したカラーフイルタ基板に傷が付かず、収納カセット内に異物が発生しない基板用収納カセットを提供する。
【解決手段】基板２０上の一方面に形成したマーク等を含むパターン形成面４０と対向する側面に、収納カセット１０内側の頂上部から側壁２２側の底部２３へ山型の裾野状の傾斜面５１を付ける形状に形成した山型溝部品１１を設け、該山型溝部品１１上にカラーフイルタ基板２０を載置する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の搬送及びパネルの製造工程において、コンテナ自体を清浄に保ち易く、ガラス基板の取り出しを容易に行うことができる基板搬送用コンテナを提供する。
【解決手段】ガラス基板を収容するための略矩形状の底部とその周囲に形成されたガラス基板の脱落を防止する側部とからなる本体２からなる基板搬送用コンテナであって、底部は、ガラス基板をリフトアップするための突き上げ用ピンが通過することができる開口部３が形成されている基板搬送用コンテナ１。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上に膜厚のバラツキを抑制して形成することができる半導体製造装置を提供する。
【解決手段】半導体製造装置は、ウエハ１２に熱処理を施すためのボート１７を有する縦型炉と、熱処理前のウエハ１２を収納するカセット１４と、ウエハ１２をカセット１４から縦型炉に搬送するための搬送機１５と、ウエハ１２の位置の修正を行うアライメント装置１６とを有する。アライメント装置１６によって、カセット１４に載置された熱処理をする前のウエハ１２が正規の位置からずれていたとしても、ボート１７の正規の位置に載置されるようにウエハ１２の位置を修正するので、搬送機１５によってウエハ１２をカセット１４からボート１７に搬送して載置したとき、ウエハ１２をボート１７の正規の位置に近づけて載置することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 トレイからの削り屑がトレイ内にて発生することが無く、ウェハ表面上にトレイ屑が付着しない半導体ウェハ用トレイを提供する。
【解決手段】 ウェハ１１を収容するトレイ１０と、蓋１３とからなる半導体ウェハ用トレイであり、蓋１３の外周に固定用の爪１５設け、トレイ１０の外周に固定用の爪受け２０を設け、トレイ１０に蓋１３を重ね、固定用の爪１５を固定用の爪受け２０に係合させてトレイ１０に蓋１３を閉じる。 （もっと読む）

自重でたわむ大型液晶表示装置用ガラス基板（６）を置いた場合に、大型液晶表示装置用ガラス基板（６）にできる複数の尾根を、複数列のピン状支持部材（１６、１８）ごとにて支持するようにした薄板支持体である。該薄板支持体に置くことにより、たわみ量が少なくなる。薄板支持体としては、ロボットのフォーク状エンドエフェクタとカセットがある。
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［解決課題］ 高低差の大きなダイパッド部にチップを搭載した場合でも、ダイパッド部と粘接着剤層との間にボイドが発生することない、埋め込み性に優れた粘接着剤層を有するダイシング・ダイボンド用粘接着シートを提供することを目的としている。 ［解決手段］ 本発明に係るダイシング・ダイボンド用粘接着シートは、１００℃での弾性率（Ｍ_１００）と７０℃での弾性率（Ｍ_７０）との比（Ｍ_１００／Ｍ_７０）が０．５以下である粘接着剤層が基材上に設けられてなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】フォトマスクの搬送、保管に使用されるフォトマスクケース起因によるフォトマスクの曇りを確実に防止するフォトマスクケースを提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスクの搬送、保管に使用するフォトマスクケースであって、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる有機硫黄系物質の合計が５ｎｇ以下、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる有機リン系物質の合計が５ｎｇ以下、前記フォトマスクケース作成時の材料に含まれる揮発性有機物質の総量が１００ｎｇ以下になっていることを特徴とするフォトマスクケース。 （もっと読む）

【課題】
接着剤層を単層にすることでダイシングシート機能付きダイアタッチフィルムの作成時の作業工数を低減し、界面が少なく信頼性の高いダイシングシート機能付きダイアタッチフィルムを提供すること。
【解決手段】
本発明は、基材フィルム（Ｉ）、粘着剤層、基材フィルム（II）およびフィルム状接着剤層がこの順に構成されてなるダイアタッチフィルムであって、基材フィルム（II）のフィルム状接着剤層側の界面が離型処理されていることを特徴とするダイシングシート機能付きダイアタッチフィルムを提供する。 （もっと読む）

【課題】 ダイアタッチフィルムを介してダイシングテープに貼り付けたチップを速やかにピックアップするダイボンディング技術を提供する。
【解決手段】 ピックアップ装置１０のエキスパンドリング１２を下降させ、ダイシングテープ５の周辺部に接着されたウエハリング６を下方に押し下げると、ダイシングテープ５が、その中心部から周辺部に向かう強い張力を受けて水平方向に弛みなく引き伸ばされるので、ダイアタッチフィルム４も引き伸ばされて切断され、チップ単位で互いに分離される。次に、エキスパンドリング１２を低速で僅かに上昇させ、ダイシングテープ５に加わる水平方向の張力を小さくした後、チップ１とダイアタッチフィルム４をダイシングテープ５から剥離する。 （もっと読む）

【課題】 搬送中に衝撃が加わっても、収納したガラス基板に損傷を与えることのないガラス基板収納装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板収納装置１０は、底部１３と側部１２とを有し内部にガラス基板３０を垂直方向に配置して収納する収納ボックス１１と、収納ボックス１１の開口１１ａを覆う蓋体２０と、蓋体２０の裏面に設けられ収納ボックス１１内のガラス基板３０を上方から押える押え板２５とを備えている。押え板２５は蓋体２０の凹部２２内に嵌合して固定され、凹部２２内で動くことはない。押え板２５にはガラス基板３０の上縁３０ａ全長に延びる保持溝２７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 ロール状に巻回された場合であっても、ダイアタッチ用積層シート、特にダイアタッチフィルムの変形が生じ難いダイアタッチ用積層シート支持体を提供する。
【解決手段】 長尺状の基材シート２の片面において複数のダイアタッチ用積層シート３が長さ方向に分散配置されており、各ダイアタッチ用積層シート３が、ダイアタッチフィルムと、ダイアタッチフィルムの基材シートに貼り合わされている面とは反対側の面において直接または間接に貼付されたダイシングフィルム６とを備え、ダイアタッチ用積層シート３の側方において、ダイアタッチフィルム４の基材シートの長手方向に沿う一方端から他方端までの間の領域に至るようにダイアタッチ用積層シート３と同一の厚みを有する保護シート７，８が設けられている、ダイアタッチ用積層シート支持体１。 （もっと読む）

【課題】 大型化、重量化する大型フォトマスクを高清浄度で把持し、保管時および運搬時に、マスクが損傷したり、汚染したりすることを防止し、マスクの出し入れが容易なマスク用ケース、及びケース交換装置を提供する。
【解決手段】 大型フォトマスクを収納し搬送するためのトレーと上蓋からなる大型フォトマスク用ケースであって、少なくとも前記ケースの上蓋に金属のフレームと、前記フォトマスクを把持し固定するために前記金属フレームから前記ケース内部に突き出た爪と、前記金属フレームから前記ケースの外側に突き出たハンドルと、を有し、前記トレーと前記上蓋を分離した状態で、前記上蓋の内側に前記フォトマスクを前記爪で固定し、前記上蓋の外側の前記ハンドルを人間あるいは搬送装置が把持して搬送できることを特徴とする。 （もっと読む）

厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたウエハ保護シート１であって、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が３０〜８０ｍｍであることを特徴とするウエハ保護シート１。本発明のウエハ保護シート１は十分に薄く、また積み重ねた各ウエハ間に介在させてウエハを保護する際、ウエハと密着せず、容器に収納したウエハを輸送に伴う振動から保護することができる。
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【課題】 レーザー光の赤外吸収アブレーションにより被加工物を加工する場合に、分解物による被加工物表面の汚染を効果的に抑制することのできるレーザー加工用保護シートを提供すること。また、前記レーザー加工用保護シートを用いたレーザー加工品の製造方法を提供すること。
【解決手段】 レーザー光の赤外吸収アブレーションにより被加工物を加工する際に使用するレーザー加工用保護シートであって、前記保護シートは、少なくとも基材を有しており、かつ前記基材のエッチング率（エッチング速度／エネルギーフルエンス）が２×１０^−４〔（μｍ／ｐｕｌｓｅ）／（Ｊ／ｃｍ^２）〕以上であることを特徴とするレーザー加工用保護シート。 （もっと読む）

【課題】 板状ワークを全面にわたって撓み変形なく支持することができ、搬送も安定良く行うことができる枚葉搬送用トレイおよび搬送システムを提供する。板状ワークは、例えば液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板である。
【解決手段】 この枚葉搬送用トレイ１は、板状ワークＷの載置部２をメッシュクロスで構成する。このメッシュクロスは、その周囲のトレイ周壁部３にテンションを掛けて張られる。メッシュクロスは、例えば、芯成分が溶融異方性芳香族ポリエステル、鞘成分がＰＥＮと溶融異方性芳香族ポリエステルのブレンドポリマーからなり、鞘成分のＰＥＮを固相重合した複合繊維で構成する。搬送システムはこの枚葉搬送用トレイ１を使用したものであって、アンローディング部４において、枚葉搬送用トレイ１のワーク載置部２の下方からエアーを吹き出すことにより板状ワークＷを浮上させる手段７を設ける。 （もっと読む）

【課題】 底板がたわまないような軽量、高硬度の搬送体を提供する。
【解決手段】 搬送体１は、底板３および底板３上に設けられた枠板５からなっており、底板３には底板３を貫通する孔７が複数個設けられている。
底板３は、スチロール板９およびスチロール板９の上下に貼り付けられたＦＲＰ（Fiber Reinforced Plastics）板１１ａ、１１ｂからなる。
また、ＦＲＰ板１１ａ、１１ｂには樹脂シート１３ａ、１３ｂが貼り付けられ、スチロール板９、ＦＲＰ板１１ａ、１１ｂおよび樹脂シート１３ａ、１３ｂの側面には樹脂コート１５が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】ドライエッチング処理の前後の工程を簡単、安価に済ませることができるエッチング方法を提供する。
【解決手段】エッチング対象基板４、４’をドライエッチング装置１０、１０’を用いてドライエッチング処理するエッチング方法であり、基板４、４’を支持するための支持基板６及び弾性材料からなる放熱シート（放熱シリコーンゴムシート５、５’、導電性シリコーンゴムシート５０等）を準備し、放熱シート（５、５’、５０等）を基板４、４’と支持基板６との間に挟着して基板４、４’と支持基板６に密着させた積層体を形成し、該積層体を、装置１０、１０’における基板支持電極３にセットし、基板４、４’にドライエッチング処理を施す。 （もっと読む）

【課題】 被着体の接着対象面積が小さくなる場合であっても、有効な接触面積を確保でき、チップ飛びなどの接着不具合の発生を防止できる加熱剥離型粘着シートを用いた電子部品の切断方法を提供する。
【解決手段】 電子部品の切断方法は、基材の少なくとも片側に熱膨張性微小球を含有する熱膨張性粘着層が設けられており、且つ加熱前の熱膨張性粘着層表面の中心線平均粗さが０．４μｍ以下に設定されている加熱剥離型粘着シートにより電子部品を仮固定して該電子部品を切断することを特徴とする。 （もっと読む）

非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更可能として通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制防止し、異なる場所や装置等で使用されても情報の伝達性にバラツキを招かない精密基板収納容器を提供する。 複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体１の底部に着脱自在に装着されるボトムプレート２０と、ボトムプレート２０に着脱自在に支持されるホルダ５０と、ホルダ５０に収容されるＲＦＩＤシステムの応答器６０とを備え、ボトムプレート２０を、容器本体１の底面後方に対向するベース板２１と、ベース板２１に立設される壁板３０とから構成する。そして、ベース板２１に、水平方向を向くホルダ５０を支持する第一の保持機構４０を設けるとともに、壁板３０には、垂直方向を向くホルダ５０を支持する第二の保持機構４３を設け、ホルダ５０の向きを縦横二方向の間で選択的に変更可能とする。
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