精密基板収納容器
非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更可能として通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制防止し、異なる場所や装置等で使用されても情報の伝達性にバラツキを招かない精密基板収納容器を提供する。 複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体１の底部に着脱自在に装着されるボトムプレート２０と、ボトムプレート２０に着脱自在に支持されるホルダ５０と、ホルダ５０に収容されるＲＦＩＤシステムの応答器６０とを備え、ボトムプレート２０を、容器本体１の底面後方に対向するベース板２１と、ベース板２１に立設される壁板３０とから構成する。そして、ベース板２１に、水平方向を向くホルダ５０を支持する第一の保持機構４０を設けるとともに、壁板３０には、垂直方向を向くホルダ５０を支持する第二の保持機構４３を設け、ホルダ５０の向きを縦横二方向の間で選択的に変更可能とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等からなる精密基板を収納、保管、移送、搬送、輸送したり、あるいは精密基板の加工用に標準化された機械的インターフェイス装置（ＳＭＩＦ）やＦＩＭＳ（Ｆｒｏｎｔ−ｏｐｅｎｉｎｇ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ）システムに接続可能な精密基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
従来の精密基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体を開閉する蓋体と、容器本体の底面に装着されるボトムプレートとから構成されている。
容器本体は、正面の開口したフロントオープンボックスに形成され、左右両側壁の内面には、半導体ウェーハを水平に支持する一対の支持リブが上下方向に複数対並設されており、正面の内周縁部には、複数の係合穴がそれぞれ形成されている。蓋体には、外部からの操作に基づき、出没可能な係合爪を係合穴に嵌入させるラッチ機構が内蔵されている。
上記において、複数枚の半導体ウェーハを処理する場合には、先ず、ハンドリング装置のキャリアステージに、精密基板収納容器を空の工程内容器やオープンカセットと共に位置決めセットする。
すると、蓋体のラッチ機構が解錠操作され、容器本体の正面から気密性を確保する蓋体が取り外されて容器本体が開口する。こうして容器本体が開口すると、複数枚の半導体ウェーハは、その収納状態が確認され、ハンドリング装置の移載機構に下方から順次取り出されるとともに、空の工程内容器あるいはオープンカセットに下方から順に収納され、その後、所定の処理が施されることとなる。
ところで、半導体ウェーハの処理・加工に際しては、半導体ウェーハの品種や精密基板収納容器等に関する情報を正確に識別・認識する必要がある。係る識別を実現するため、従来においては、非接触型の通信機器を用いる生産システムが構築されており、非接触型の通信機器である応答器用のポケットを精密基板収納容器に設置する技術が提案されている（特開２０００−２１９６６号公報参照）。また、半導体ウェーハの搬送用キャリアの一端部に収納溝を形成し、この収納溝に応答器等を収納してその開口を閉鎖する技術も開示されている（特許第２６５１３５７号公報参照）。
従来においては、以上のようにして半導体ウェーハの品種や精密基板収納容器等に関する情報を識別・認識しているが、これには、以下に示すような問題がある。
先ず、上記特許文献のいずれの場合にも、応答器が一方向しか向いていないので、装置側の通信エリアの設定仕様によっては、例え同一の応答器を使用したとしても、通信不良が発生し易くなるという大きな問題がある。また、応答器は、一般的に円筒形に形成され、指向方向を間違え易いという特徴がある。指向方向を誤ると、情報の伝送機能が低下し、同じ応答器や精密基板収納容器を使用していながら使用時の情報伝達性にバラツキが生じることとなる。
このような問題の詳細を、代表的なＲＦＩＤを使用した生産システムを例に説明する。ＲＦＩＤシステムは、一般にホストコンピュータ、質問器（リーダー／ライター）、及び応答器（ＩＤタグ）を備えている。質問器は、コントローラ、送受信器、及びアンテナから構成され、ホストコンピュータとその制御下で情報を交換する。この質問器は、応答器の情報を読み込んで確認したり、書き込みする機能を有し、精密基板収納容器の使用される装置や工程内の所定装置に設置される。また、応答器は、アンテナ、送受信器、及びメモリーから構成され、精密基板収納容器に設置されて半導体ウェーハのロット、工程内の加工、あるいは処理経過を記憶する。
こうした生産システムは、電磁結合方式、静電結合方式、マイクロ波方式、光通信方式等の伝送方式があり、どの方式を採用するかにより、通信距離、記憶容量、耐環境性等の仕様が定められる。
一方、どのシステム方式を採用するかは、精密基板収納容器の用いられる工場でも統一されておらず、装置間でも伝送信号を送受信する位置や方向がまちまちである。したがって、ある特定の工場で正常に機能していたＲＦＩＤ付き精密基板収納容器を別の工場や工程で使用しようとすると、情報交換が困難になったり、不可能になるおそれが少なくない。
また、読み取り／書き込みエリアにおいて、使用可能な周波数領域は国により異なるので、精密基板収納容器が外国で使用される場合には、国の内外で使用可能なように精密基板収納容器を構成するか、あるいは国内用と外国用に厳格に区分して管理せざるを得ない。
さらに、システムの応答器は、質問器の正面から多少ずれても、通信可能ではあるが、質問器との相対位置が９０°変化すると、読み取りエリアが２０〜３０％減少するので、質問器との位置関係により通信エラーを招くおそれがある。そこで、どのような方式にも対応し、どの工場間や装置間でも互換性のある応答器付きの万能精密基板収納容器が望まれているが、上記問題を解決しようとして読み取りエリアを広く設定すると、周囲に存在する他の応答器の内容を誤って読み取ってしまうという別の問題が新たに生じることとなる。
【発明の開示】
本発明は上記に鑑みなされたもので、非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更可能として通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制防止し、異なる場所や装置等で使用されても情報の伝達性にバラツキを招くことのない精密基板収納容器を提供することを目的としている。
本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体とを含み、この非接触型情報媒体の向きを少なくとも異なる二方向の間で変更可能としたことを特徴としている。
なお、精密基板を半導体ウェーハとし、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスとすることができる。
また、非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とすることができる。
また、応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成することができる。
また、応答器が嵌め入れられるホルダを含み、このホルダを断面略Ｕ字形に形成してその開口周縁部から複数のフランジをそれぞれ外方向に突出させることが可能である。
また、ホルダに、少なくとも水切り機能を有する貫通孔を設けることが可能である。
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を開口した一方から収納する容器本体と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを含み、容器本体の少なくとも一面に対向するようプレートを取り付け、このプレートに、容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体を少なくとも異なる二方向の間で変更可能に支持させるようにしたことを特徴としている。
なお、非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とすることができる。
また、応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成することができる。
また、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成することができる。
また、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、この容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させることも可能である。
また、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させることも可能である。
また、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられてホルダを略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられてホルダを略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成することも可能である。
また、容器本体の底面後部両側に一対の保持リブを設け、ベース板の両側部には、保持リブに着脱自在に取り付けられる被保持体をそれぞれ設けても良い。
また、ベース板に複数のキャップ孔を設け、この複数のキャップ孔に、精密基板の仕様を識別するためのキャップを選択的に挿入すると良い。
また、壁板の内面を容器本体の背面に対向させ、壁板の外面にバーコードを取り付けると良い。
さらに、第一の保持機構を、ホルダの両端部に引っかかる複数の係止爪と、ホルダの側部にフランジを介して引っかかる係止リブとから構成することができる。
さらにまた、第二の保持機構を、ホルダの上端部に引っかかる係止リブと、ホルダの両側部にフランジを介して引っかかる複数の係止爪とから構成することができる。
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体と、容器本体の少なくとも一面に対向するよう取り付けられるプレートとを含み、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成するとともに、第一、第二の保持機構の少なくともいずれか一方を、非接触型情報媒体よりも大きい多角形を描き、非接触型情報媒体の隅部に引っかかる複数の係止爪と、この複数の係止爪が描く多角形の長辺中央部付近に位置し、非接触型情報媒体が傾いて配置されるときに、係止爪との間に非接触型情報媒体を挟み、かつ非接触型情報媒体の側部に接触する一対の係止リブとから構成し、これら係止爪と係止リブとを用いて非接触型情報媒体の向きを三方向の間で変更可能としたことを特徴としている。
さらに、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板とこれを収納する容器本体の少なくともいずれか一方の識別用の非接触型情報媒体と、この非接触型情報媒体が嵌め入れられるホルダとを含んでなることを特徴としている。
ここで特許請求の範囲における精密基板には、少なくとも１５０ｍｍ（６インチ）、２００ｍｍ（８インチ）、３００ｍｍ（１２インチ）の半導体ウェーハ（シリコンウェーハ）、マスクガラス、液晶セル、石英ガラス、マスク基板等が含まれる。この精密基板は単数複数何れでも良い。容器本体には、少なくとも正面の開口したフロントオープンボックス、前後等の二方向が開口したオープンボックスやキャリア等が含まれる。この容器本体には、必要に応じて帯電処理等が施される。
非接触型情報媒体には、最低限、情報伝達用で非接触型の応答器からなる通信機器が含まれる。異なる二方向とは、少なくとも精密基板収納容器が加工装置に位置決め搭載された場合における高さ方向の基準平面と略平行な水平方向と、基準平面に略垂直な方向とをいい、横方向、縦方向、斜め方向を含む三方向、四方向以上でも良い。また、ホルダの断面略Ｕ字形には、少なくとも断面Ｃ字形、Ｕ字形、Ｖ字形等が含まれる。貫通孔は、単数複数に増減することができ、貫通した溝や切り欠きが含まれる。
プレートのベース板は、容器本体の全底部に対向するものでも良いし、底部の一部と向き合うものでも良く、壁板と一体形成することも可能である。壁板は、直線的な板形、断面略半円弧形やＬ字形等に形成され、ベース板に固定して設けられても良いし、着脱自在に設けられても良い。また、横方向にスライド可能に取り付けられたり、起伏可能に支持されても良い。また、ベース板に垂直に立て設けられても良いし、傾斜して設けることも可能である。
さらに、本発明に係る精密基板収納容器は、少なくとも半導体の製造に使用されるキャリア、工程間搬送キャリア（ＦＯＵＰ）、出荷用のＦＯＳＢとして利用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す全体分解斜視図である。
第２図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体を示す底面図である。
第３図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す背面図である。
第４図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体にボトムプレートを装着した状態を示す底面図である。
第５図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるボトムプレートの第一の保持機構にホルダを支持させた状態を示す斜視図である。
第６図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるボトムプレートの第二の保持機構にホルダを支持させた状態を示す斜視図である。
第７図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるホルダを背面側から示す斜視図である。
第８図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるホルダを示す正面図である。
第９図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体とボトムプレートとの装着状態を示す説明図である。
第１０図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体の保持リブとボトムプレートの取付部との関係を示す説明図である。
第１１図は本発明に係る精密基板収納容器の第２の実施形態を示す説明図である。
第１２図は本発明に係る精密基板収納容器の第２の実施形態を示す説明図である。
第１３図は本発明に係る精密基板収納容器の第３の実施形態を示す説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における精密基板収納容器は、第１図ないし第１０図に示すように、複数枚の半導体ウェーハを収納する容器本体１と、この容器本体１の底部後方に着脱自在に装着されるプレートであるボトムプレート２０と、このボトムプレート２０に着脱自在に支持されるホルダ５０と、このホルダ５０に嵌合収容されるＲＦＩＤシステムの応答器６０とを備え、ホルダ５０の向きを水平方向と垂直方向の二方向の間で選択的に変更するようにしている。
半導体ウェーハは、図示しないが、例えば３００ｍｍ（１２インチ）の円板形を呈するシリコンウェーハからなり、通常２５枚あるいは２６枚が整列収納される。
容器本体１は、第１図に示すように、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、ＣＯＰ（シクロオレフィンポリマー）、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン等の合成樹脂を使用して正面の開口した透明のフロントオープンボックス構造に成形され、十分な強度、剛性、寸法安定性を維持してＡＧＶ等からなる自動搬送装置の正常な動作を保証しており、開口した正面が着脱自在の蓋体１０により開閉される。この容器本体１は、その天井中央部に図示しないロボティックフランジが螺着され、このロボティックフランジが図示しない天井搬送機に把持されることにより搬送される。
容器本体１の底面の前部両側と後部中央とには、第２図や第４図に示すように、底面視で三角形を描く断面略逆Ｖ字形の位置決め具２がそれぞれ別体として、あるいは一体形成され、各位置決め具２が図示しない加工装置の位置決めピンと嵌合して精密基板収納容器を加工装置に位置決めする。各位置決め具２は、耐磨耗性等に優れるポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド等により平面視で略小判形に成形される。このような位置決め具２により精密基板収納容器が加工装置に位置決めされると、精密基板収納容器から加工装置に半導体ウェーハがローディングされたり、アンローディングされる。
ここで加工装置とは、精密基板収納容器から半導体ウェーハをローディングして別の工程内容器に移し替える装置、あるいは蓋体１０を自動的に開閉したり、オープン状態の容器本体１を搭載して半導体ウェーハをローディングし、半導体ウェーハに酸化、フォトレジスト塗布、露光、エッチング、洗浄、薄膜形成等の各種処理や加工を施す別の装置に半導体ウェーハを供給する装置をいう。
容器本体１の底面の後部両側には、第２図、第４図、第９図、第１０図に示すように、後部の位置決め具２の左右両側に隙間をおいて位置する一対の保持リブ３が配設され、この一対の保持リブ３の間にボトムプレート２０が着脱自在に装着される。一対の保持リブ３は、それぞれ底面視で略Ｌ字形に形成されて内側に溝部４を有し、この溝部４が相対向する。各保持リブ３は、そのガイド機能を営む長片３ａが容器本体１の前方から後方にかけて指向し、短片３ｂが左右方向内側に指向する。
容器本体１の左右両側壁の内面には、第１図に示すように、半導体ウェーハを水平に支持する一対の支持リブ５が上下方向に所定のピッチで複数対並設される。この複数対の支持リブ５は、容器本体１の左右両側壁の内面に、一体形成されたり、あるいは別体として装着される。各支持リブ５は、半導体ウェーハの側部周縁を水平に搭載可能な上面と、自由端部が先細りとなるよう傾斜した下面とから形成され、これらの交わるエッジ部がＲ状に形成される。容器本体１の開口した正面は、外方向に膨出屈曲形成されてリム部６を形成し、このリム部６の内部段差面がシール面を形成する。また、容器本体１の両側壁外面には、蓋体固定用の係止突部７がそれぞれ突設される。
蓋体１０は、第１図に示すように、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、ＣＯＰ、ポリエーテルイミド等の合成樹脂を使用して略矩形に成形され、容器本体１のリム部６内にエンドレスのシール部材を介して密嵌する。この蓋体１０の左右両側部には、容器本体１の係止突部７にコ字形の切り欠きを嵌合する係止板１１がそれぞれ回転可能に軸支される。蓋体１０の内面には、半導体ウェーハの前部周縁を水平に支持する複数のフロントリテーナ（図示せず）が上下方向に並設される。
容器本体１のリム部６内と蓋体１０との間に介在するシール部材は、ポリオレフィン系やポリエステル系の各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、シリコーンゴム等を用いて枠形に成形され、蓋体１０の嵌合被覆時にリム部６の内部段差面に圧接されてシールする。このシール部材は、半導体ウェーハを汚染する有機成分の発生が少なく、ＪＩＳに定められているＫ６３０１Ａの測定方法による硬度が８０°以下の成形材料で成形されることが好ましい。
ボトムプレート２０は、第１図、第３図ないし第６図、第９図、第１０図に示すように、容器本体１の識別領域である底面後方に近接対向するベース板２１と、このベース板２１の後端部に立設されて容器本体１の背面の一部（識別領域）に対向する壁板３０とから構成され、ベース板２１に、水平横方向に指向するホルダ５０を保持する第一の保持機構４０が設けられるとともに、壁板３０には、垂直縦方向に指向するホルダ５０を保持する第二の保持機構４３が設けられる。このボトムプレート２０は、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート等の合成樹脂を使用して成形される。
ボトムプレート２０のベース板２１は、多角形の平板からなり、前端部中央から後方にかけて回避溝２２が切り欠かれており、この回避溝２２が容器本体１の後部の位置決め具２に後方から嵌合してボトムプレート２０が位置決め具２に不当に干渉するのを規制する。このベース板２１には、複数のキャップ孔２３が所定の間隔で丸く穿孔され、この複数のキャップ孔２３には、加工装置が精密基板の仕様（精密基板収納容器の種類や半導体ウェーハの収納枚数等）を識別するための図示しないキャップ（インフォパッドともいう）が必要に応じ選択的に挿入される。ベース板２１の左右両側部には被保持体２４がそれぞれ配設され、この一対の被保持体２４が容器本体１の一対の保持リブ３に着脱自在に係合する。
各被保持体２４は、第５図や第６図、第１０図に示すように、ベース板２１の側部に張り出し形成される本体２５と、この本体２５の前部外側から前方に伸びるストッパ突起２６と、本体２５の前部内側から前方にストッパ突起２６よりも細長く伸びる可撓性の首片２７と、この首片２７の先端部外側に略三角形状に形成される脱落防止突起２８と、ストッパ突起２６と首片２７との間に区画形成される切り欠き空間２９とから形成される。ストッパ突起２６と脱落防止突起２８とは、保持リブ３の長片３ａの内側に位置して短片３ｂを挟持し、この挟持により容器本体１にボトムプレート２０が強固に装着される（第１０図参照）。
ボトムプレート２０の壁板３０は、第１図、第５図や第６図に示すように、横長の矩形に形成され、その容器本体１に対向しない背面に、バーコード領域３１が形成される。このバーコード領域３１には、バーコード３２が直接貼着されたり、あるいはバーコード３２がポケットを介し着脱自在に挿入される（第３図参照）。
第一の保持機構４０は、第５図や第９図に示すように、ベース板２１の後端部両側に間隔をおいて対設され、ホルダ５０の前後両端部に係止する一対の係止爪４１と、ベース板２１の後端部に設けられてホルダ５０の長い一側部に係止する溝付きの係止リブ４２とから構成され、壁板３０の下部に隣接する。
第二の保持機構４３は、同図に示すように、壁板３０の対向面中央部付近に設けられてホルダ５０の上端部に係止する溝付きの係止リブ４２Ａと、壁板３０の対向面中央部付近に間隔をおいて対設され、ホルダ５０の左右両側部に係止する一対の係止爪４１Ａとから構成される。
第一、第二の保持機構４０・４３の係止爪４１・４１Ａは、接触するホルダ５０の厚さの１／４〜１／２の範囲の高さを有する略Ｌ字形に形成され、略鉤形の先端部に傾斜面が形成されてホルダ５０の着脱を容易にする。係止爪４１・４１Ａの高さが係る範囲であるのは、高さが１／４未満の場合には、使用時にホルダ５０の外れるおそれがあり、逆に高さが１／２を超える場合には、着脱が困難化し、作業性が悪化するからである。また、第一、第二の保持機構４０・４３の係止リブ４２・４２Ａは、それぞれＬ字形に形成される。
ホルダ５０は、第７図や第８図に示すように、所定の熱可塑性樹脂を使用して中空の略半円柱形、又は断面略Ｕ字形等に成形され、背面や側部等に複数の水切り孔５１が所定の間隔で穿孔されており、この複数の水切り孔５１が洗浄時の水切り性を向上させたり、応答器６０の有無やその破損の有無を視覚的に把握させる。このホルダ５０の内部には、応答器６０の脱落を規制する抜け落ち防止爪（図示せず）が突設される。ホルダ５０の開口周縁の左右両側部には、単数複数のフランジ５２がそれぞれ外方向に突設され、このフランジ５２が第一の保持機構４０の係止リブ４２、又は第二の保持機構４３の係止爪４１Ａに着脱自在に係止される。
なお、ホルダ５０の水切り孔５１については、水切り孔５１の形状、大きさ、数を適宜増減変更して応答器６０の指向性と合致させることにより、精密基板収納容器に取り付けた場合に加工装置との情報交換の性能を一定に保つことができる。
応答器６０は、アンテナ、送受信器、及びメモリーを備えて一般的には円筒形に形成され、表面がガラスや合成樹脂等により被覆保護されており、ホルダ５０に嵌合されて半導体ウェーハのロット、工程内の加工、あるいは処理経過を記憶する。
上記構成において、ボトムプレート２０の第一の保持機構４０に、応答器６０を収容したホルダ５０を寝かせて取り付ける場合には、第一の保持機構４０における一対の係止爪４１と係止リブ４２との間に、開口が視認できないようホルダ５０を横にしてセットし、ホルダ５０を左右方向に適宜スライドさせ、係止リブ４２の溝にホルダ５０のフランジ５２を嵌入係止するとともに、一対の係止爪４１によりホルダ５０を位置決め保持すれば、ホルダ５０を安定して保持することができる。
また、第二の保持機構４３に、ホルダ５０を立てて取り付ける場合、第二の保持機構４３における係止リブ４２Ａと一対の係止爪４１Ａとの間に、開口が視認できないようホルダ５０を起立させてセットし、このホルダ５０を適宜スライドさせ、係止リブ４２Ａの溝にホルダ５０のフランジ５２を嵌入係止し、かつ一対の係止爪４１Ａによりホルダ５０を位置決め保持すれば、ホルダ５０を安定して保持できる。
上記構成によれば、ボトムプレート２０の第一、第二の保持機構４０・４３に応答器６０をホルダ５０を介して選択的に取り付け、応答器６０の向きを縦横二方向の間で適宜変更するようにしているので、装置側における通信エリアの設定仕様に応じ、応答器６０の向きを簡単に変更することができる。具体的には、質問器が容器本体１の底面方向に設置されている場合には、第一の保持機構４０に応答器６０付きのホルダ５０を支持させ、質問器が容器本体１の背面方向に設置されている場合には、第二の保持機構４３に応答器６０付きのホルダ５０を支持させれば良い。したがって、同一の応答器６０を使用したとしても、通信不良が発生しやすくなるという問題をきわめて有効に解消することができる。
また、応答器６０の向きを状況に応じて変更することができるので、質問器との位置関係により、通信エラーを招くおそれもない。また、読み取りエリアを広く設定する必要もないから、周囲に存在する他の応答器６０の内容を誤って読み取ることがない。さらに、応答器６０は、ホルダ５０に収容被覆された状態で使用されるので、損傷防止を図ることができる他、設置向きの誤りを簡易な構成で抑制防止することが可能になる。したがって、情報の伝送機能が低下し、同じ応答器６０や精密基板収納容器を使用していながら、使用時の情報伝達性にバラツキが生じるのをきわめて有効に抑制防止することが可能になる。さらにまた、第一、第二の保持機構４０・４３を比較的簡易に構成してホルダ５０を適正、かつ確実に保持することができる。
次に、第１１図、第１２図は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、ボトムプレート２０を、容器本体１の底面に対向するベース板２１と、このベース板２１に立て設けられる壁板３０とから構成し、ベース板２１上に、略水平方向に指向する応答器６０を直接間接に保持する第一の保持機構４０を設けるとともに、壁板３０の内面には、略垂直方向に指向する応答器６０を直接間接に保持する第二の保持機構４３を設けるようにしている。
第一、第二の保持機構４０・４３は、応答器６０を直接保持する構成でも良いし、ホルダ５０を介して間接的に保持する構成でも良い。また、係止爪４１・４１Ａや係止リブ４２・４２Ａで応答器６０を直接間接に保持しても良いし、これらを省略し、ホルダ５０のフランジ５２やホルダ５０の水切り孔５１に干渉する凸部等を利用して保持するようにしても良い。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、応答器６０の取り付けパターンの多様化を図ることができるのは明らかである。
次に、第１３図は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、第一、第二の保持機構４０・４３の少なくともいずれか一方を、ホルダ５０よりも横長の大きい長方形を描く複数の係止爪４１Ａと、この複数の係止爪４１Ａが描く長方形の長辺中央部に位置する一対の係止リブ４２Ａとから構成し、複数の係止爪４１Ａと係止リブ４２Ａとを用いて応答器６０を収容するホルダ５０の向きを三方向の間で選択的に変更するようにしている。
本実施形態を第二の保持機構４３を例に説明すると、複数の係止爪４１Ａは、長方形の四隅部に位置するよう壁板３０の対向面にそれぞれ配設され、各係止爪４１Ａが横長のＬ字形に屈曲形成されており、各係止爪４１Ａがホルダ５０の隅部に係合するよう機能する。一対の係止リブ４２Ａは、壁板３０の対向面に間隔をおいてそれぞれ配設され、各係止リブ４２Ａが略Ｖ字形に屈曲形成される。各係止リブ４２Ａは、ホルダ５０が起立配置される場合には、ホルダ５０の側部に間隔をおいて対向し、ホルダ５０が左右４５°の角度で傾斜配置される場合には、係止爪４１Ａとの間にホルダ５０を挟むとともに、ホルダ５０の側部に係止する。このように構成された第二の保持機構４３は、複数の係止爪４１Ａと係止リブ４２Ａとにより、応答器６０を収容するホルダ５０の向きを上方向、斜め左上方向、斜め右上方向の間で選択的に変更する。
これに対し、第一の保持機構４０の場合、複数の係止爪４１Ａは、長方形の四隅部に位置するようベース板２１にそれぞれ配設され、各係止爪４１ＡがＬ字形に屈曲形成されており、各係止爪４１Ａがホルダ５０の隅部に係合するよう機能する。一対の係止リブ４２Ａは、ベース板２１に間隔をおいてそれぞれ配設され、各係止リブ４２Ａが略Ｖ字形に屈曲形成されており、各係止リブ４２Ａが水平配置されたホルダ５０の側部に間隔をおいて対向するとともに、左右４５°の角度で傾斜配置されたホルダ５０の側部に係止する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。この第一の保持機構４０は、複数の係止爪４１Ａと係止リブ４２Ａとにより、応答器６０を収容するホルダ５０の向きを横方向、斜め左横方向、斜め右横方向の間で選択的に変更する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、応答器６０の取り付けパターンの多様化を図ることができるのは明らかである。また、ホルダ５０のフランジ５２を第１３図のように形成しても良いが、フランジ５２を省略して構造の簡素化を図ることも可能となる。
なお、上記実施形態では容器本体１の開口した正面に蓋体１０を単に嵌合したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、容器本体１の正面の内周縁部に複数の係合穴を凹み形成し、蓋体１０に、外部からの操作に基づき出没可能な係合爪を係合穴に嵌入させるラッチ機構を内蔵しても良い。また、第一、第二の保持機構４０・４３の係止爪４１・４１Ａと係止リブ４２・４２Ａの数は、適宜増減することができる。
また、第一、第二の保持機構４０・４３とホルダ５０の一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ形成し、これらを嵌め合わせることによりホルダ５０を支持させても良い。これは、容器本体１とボトムプレート２０の関係についても同様である。さらに、容器本体１の底部や側壁等に第一、第二の保持機構４０・４３を設置し、これらに応答器６０やホルダ５０を保持させることも可能である。
【産業上の利用可能性】
以上のように本発明によれば、非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更して向けることができるので、通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制あるいは防止することができるという効果がある。また、例え精密基板収納容器が異なる場所や装置等で使用されたとしても、情報の伝達性にバラツキが生じるのを防ぐことができる。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【技術分野】
本発明は、半導体ウェーハやマスクガラス等からなる精密基板を収納、保管、移送、搬送、輸送したり、あるいは精密基板の加工用に標準化された機械的インターフェイス装置（ＳＭＩＦ）やＦＩＭＳ（Ｆｒｏｎｔ−ｏｐｅｎｉｎｇ ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ）システムに接続可能な精密基板収納容器に関するものである。
【背景技術】
従来の精密基板収納容器は、図示しないが、複数枚の半導体ウェーハを整列収納する容器本体と、この容器本体を開閉する蓋体と、容器本体の底面に装着されるボトムプレートとから構成されている。
容器本体は、正面の開口したフロントオープンボックスに形成され、左右両側壁の内面には、半導体ウェーハを水平に支持する一対の支持リブが上下方向に複数対並設されており、正面の内周縁部には、複数の係合穴がそれぞれ形成されている。蓋体には、外部からの操作に基づき、出没可能な係合爪を係合穴に嵌入させるラッチ機構が内蔵されている。
上記において、複数枚の半導体ウェーハを処理する場合には、先ず、ハンドリング装置のキャリアステージに、精密基板収納容器を空の工程内容器やオープンカセットと共に位置決めセットする。
すると、蓋体のラッチ機構が解錠操作され、容器本体の正面から気密性を確保する蓋体が取り外されて容器本体が開口する。こうして容器本体が開口すると、複数枚の半導体ウェーハは、その収納状態が確認され、ハンドリング装置の移載機構に下方から順次取り出されるとともに、空の工程内容器あるいはオープンカセットに下方から順に収納され、その後、所定の処理が施されることとなる。
ところで、半導体ウェーハの処理・加工に際しては、半導体ウェーハの品種や精密基板収納容器等に関する情報を正確に識別・認識する必要がある。係る識別を実現するため、従来においては、非接触型の通信機器を用いる生産システムが構築されており、非接触型の通信機器である応答器用のポケットを精密基板収納容器に設置する技術が提案されている（特開２０００−２１９６６号公報参照）。また、半導体ウェーハの搬送用キャリアの一端部に収納溝を形成し、この収納溝に応答器等を収納してその開口を閉鎖する技術も開示されている（特許第２６５１３５７号公報参照）。
従来においては、以上のようにして半導体ウェーハの品種や精密基板収納容器等に関する情報を識別・認識しているが、これには、以下に示すような問題がある。
先ず、上記特許文献のいずれの場合にも、応答器が一方向しか向いていないので、装置側の通信エリアの設定仕様によっては、例え同一の応答器を使用したとしても、通信不良が発生し易くなるという大きな問題がある。また、応答器は、一般的に円筒形に形成され、指向方向を間違え易いという特徴がある。指向方向を誤ると、情報の伝送機能が低下し、同じ応答器や精密基板収納容器を使用していながら使用時の情報伝達性にバラツキが生じることとなる。
このような問題の詳細を、代表的なＲＦＩＤを使用した生産システムを例に説明する。ＲＦＩＤシステムは、一般にホストコンピュータ、質問器（リーダー／ライター）、及び応答器（ＩＤタグ）を備えている。質問器は、コントローラ、送受信器、及びアンテナから構成され、ホストコンピュータとその制御下で情報を交換する。この質問器は、応答器の情報を読み込んで確認したり、書き込みする機能を有し、精密基板収納容器の使用される装置や工程内の所定装置に設置される。また、応答器は、アンテナ、送受信器、及びメモリーから構成され、精密基板収納容器に設置されて半導体ウェーハのロット、工程内の加工、あるいは処理経過を記憶する。
こうした生産システムは、電磁結合方式、静電結合方式、マイクロ波方式、光通信方式等の伝送方式があり、どの方式を採用するかにより、通信距離、記憶容量、耐環境性等の仕様が定められる。
一方、どのシステム方式を採用するかは、精密基板収納容器の用いられる工場でも統一されておらず、装置間でも伝送信号を送受信する位置や方向がまちまちである。したがって、ある特定の工場で正常に機能していたＲＦＩＤ付き精密基板収納容器を別の工場や工程で使用しようとすると、情報交換が困難になったり、不可能になるおそれが少なくない。
また、読み取り／書き込みエリアにおいて、使用可能な周波数領域は国により異なるので、精密基板収納容器が外国で使用される場合には、国の内外で使用可能なように精密基板収納容器を構成するか、あるいは国内用と外国用に厳格に区分して管理せざるを得ない。
さらに、システムの応答器は、質問器の正面から多少ずれても、通信可能ではあるが、質問器との相対位置が９０°変化すると、読み取りエリアが２０〜３０％減少するので、質問器との位置関係により通信エラーを招くおそれがある。そこで、どのような方式にも対応し、どの工場間や装置間でも互換性のある応答器付きの万能精密基板収納容器が望まれているが、上記問題を解決しようとして読み取りエリアを広く設定すると、周囲に存在する他の応答器の内容を誤って読み取ってしまうという別の問題が新たに生じることとなる。
【発明の開示】
本発明は上記に鑑みなされたもので、非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更可能として通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制防止し、異なる場所や装置等で使用されても情報の伝達性にバラツキを招くことのない精密基板収納容器を提供することを目的としている。
本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体とを含み、この非接触型情報媒体の向きを少なくとも異なる二方向の間で変更可能としたことを特徴としている。
なお、精密基板を半導体ウェーハとし、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスとすることができる。
また、非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とすることができる。
また、応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成することができる。
また、応答器が嵌め入れられるホルダを含み、このホルダを断面略Ｕ字形に形成してその開口周縁部から複数のフランジをそれぞれ外方向に突出させることが可能である。
また、ホルダに、少なくとも水切り機能を有する貫通孔を設けることが可能である。
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を開口した一方から収納する容器本体と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを含み、容器本体の少なくとも一面に対向するようプレートを取り付け、このプレートに、容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体を少なくとも異なる二方向の間で変更可能に支持させるようにしたことを特徴としている。
なお、非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とすることができる。
また、応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成することができる。
また、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成することができる。
また、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、この容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させることも可能である。
また、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させることも可能である。
また、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられてホルダを略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられてホルダを略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成することも可能である。
また、容器本体の底面後部両側に一対の保持リブを設け、ベース板の両側部には、保持リブに着脱自在に取り付けられる被保持体をそれぞれ設けても良い。
また、ベース板に複数のキャップ孔を設け、この複数のキャップ孔に、精密基板の仕様を識別するためのキャップを選択的に挿入すると良い。
また、壁板の内面を容器本体の背面に対向させ、壁板の外面にバーコードを取り付けると良い。
さらに、第一の保持機構を、ホルダの両端部に引っかかる複数の係止爪と、ホルダの側部にフランジを介して引っかかる係止リブとから構成することができる。
さらにまた、第二の保持機構を、ホルダの上端部に引っかかる係止リブと、ホルダの両側部にフランジを介して引っかかる複数の係止爪とから構成することができる。
また、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体と、容器本体の少なくとも一面に対向するよう取り付けられるプレートとを含み、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成するとともに、第一、第二の保持機構の少なくともいずれか一方を、非接触型情報媒体よりも大きい多角形を描き、非接触型情報媒体の隅部に引っかかる複数の係止爪と、この複数の係止爪が描く多角形の長辺中央部付近に位置し、非接触型情報媒体が傾いて配置されるときに、係止爪との間に非接触型情報媒体を挟み、かつ非接触型情報媒体の側部に接触する一対の係止リブとから構成し、これら係止爪と係止リブとを用いて非接触型情報媒体の向きを三方向の間で変更可能としたことを特徴としている。
さらに、本発明においては、上記課題を達成するため、精密基板とこれを収納する容器本体の少なくともいずれか一方の識別用の非接触型情報媒体と、この非接触型情報媒体が嵌め入れられるホルダとを含んでなることを特徴としている。
ここで特許請求の範囲における精密基板には、少なくとも１５０ｍｍ（６インチ）、２００ｍｍ（８インチ）、３００ｍｍ（１２インチ）の半導体ウェーハ（シリコンウェーハ）、マスクガラス、液晶セル、石英ガラス、マスク基板等が含まれる。この精密基板は単数複数何れでも良い。容器本体には、少なくとも正面の開口したフロントオープンボックス、前後等の二方向が開口したオープンボックスやキャリア等が含まれる。この容器本体には、必要に応じて帯電処理等が施される。
非接触型情報媒体には、最低限、情報伝達用で非接触型の応答器からなる通信機器が含まれる。異なる二方向とは、少なくとも精密基板収納容器が加工装置に位置決め搭載された場合における高さ方向の基準平面と略平行な水平方向と、基準平面に略垂直な方向とをいい、横方向、縦方向、斜め方向を含む三方向、四方向以上でも良い。また、ホルダの断面略Ｕ字形には、少なくとも断面Ｃ字形、Ｕ字形、Ｖ字形等が含まれる。貫通孔は、単数複数に増減することができ、貫通した溝や切り欠きが含まれる。
プレートのベース板は、容器本体の全底部に対向するものでも良いし、底部の一部と向き合うものでも良く、壁板と一体形成することも可能である。壁板は、直線的な板形、断面略半円弧形やＬ字形等に形成され、ベース板に固定して設けられても良いし、着脱自在に設けられても良い。また、横方向にスライド可能に取り付けられたり、起伏可能に支持されても良い。また、ベース板に垂直に立て設けられても良いし、傾斜して設けることも可能である。
さらに、本発明に係る精密基板収納容器は、少なくとも半導体の製造に使用されるキャリア、工程間搬送キャリア（ＦＯＵＰ）、出荷用のＦＯＳＢとして利用することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す全体分解斜視図である。
第２図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体を示す底面図である。
第３図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態を示す背面図である。
第４図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体にボトムプレートを装着した状態を示す底面図である。
第５図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるボトムプレートの第一の保持機構にホルダを支持させた状態を示す斜視図である。
第６図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるボトムプレートの第二の保持機構にホルダを支持させた状態を示す斜視図である。
第７図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるホルダを背面側から示す斜視図である。
第８図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態におけるホルダを示す正面図である。
第９図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体とボトムプレートとの装着状態を示す説明図である。
第１０図は本発明に係る精密基板収納容器の実施形態における容器本体の保持リブとボトムプレートの取付部との関係を示す説明図である。
第１１図は本発明に係る精密基板収納容器の第２の実施形態を示す説明図である。
第１２図は本発明に係る精密基板収納容器の第２の実施形態を示す説明図である。
第１３図は本発明に係る精密基板収納容器の第３の実施形態を示す説明図である。
【発明を実施するための最良の形態】
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明すると、本実施形態における精密基板収納容器は、第１図ないし第１０図に示すように、複数枚の半導体ウェーハを収納する容器本体１と、この容器本体１の底部後方に着脱自在に装着されるプレートであるボトムプレート２０と、このボトムプレート２０に着脱自在に支持されるホルダ５０と、このホルダ５０に嵌合収容されるＲＦＩＤシステムの応答器６０とを備え、ホルダ５０の向きを水平方向と垂直方向の二方向の間で選択的に変更するようにしている。
半導体ウェーハは、図示しないが、例えば３００ｍｍ（１２インチ）の円板形を呈するシリコンウェーハからなり、通常２５枚あるいは２６枚が整列収納される。
容器本体１は、第１図に示すように、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、ＣＯＰ（シクロオレフィンポリマー）、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルフォン等の合成樹脂を使用して正面の開口した透明のフロントオープンボックス構造に成形され、十分な強度、剛性、寸法安定性を維持してＡＧＶ等からなる自動搬送装置の正常な動作を保証しており、開口した正面が着脱自在の蓋体１０により開閉される。この容器本体１は、その天井中央部に図示しないロボティックフランジが螺着され、このロボティックフランジが図示しない天井搬送機に把持されることにより搬送される。
容器本体１の底面の前部両側と後部中央とには、第２図や第４図に示すように、底面視で三角形を描く断面略逆Ｖ字形の位置決め具２がそれぞれ別体として、あるいは一体形成され、各位置決め具２が図示しない加工装置の位置決めピンと嵌合して精密基板収納容器を加工装置に位置決めする。各位置決め具２は、耐磨耗性等に優れるポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエーテルイミド等により平面視で略小判形に成形される。このような位置決め具２により精密基板収納容器が加工装置に位置決めされると、精密基板収納容器から加工装置に半導体ウェーハがローディングされたり、アンローディングされる。
ここで加工装置とは、精密基板収納容器から半導体ウェーハをローディングして別の工程内容器に移し替える装置、あるいは蓋体１０を自動的に開閉したり、オープン状態の容器本体１を搭載して半導体ウェーハをローディングし、半導体ウェーハに酸化、フォトレジスト塗布、露光、エッチング、洗浄、薄膜形成等の各種処理や加工を施す別の装置に半導体ウェーハを供給する装置をいう。
容器本体１の底面の後部両側には、第２図、第４図、第９図、第１０図に示すように、後部の位置決め具２の左右両側に隙間をおいて位置する一対の保持リブ３が配設され、この一対の保持リブ３の間にボトムプレート２０が着脱自在に装着される。一対の保持リブ３は、それぞれ底面視で略Ｌ字形に形成されて内側に溝部４を有し、この溝部４が相対向する。各保持リブ３は、そのガイド機能を営む長片３ａが容器本体１の前方から後方にかけて指向し、短片３ｂが左右方向内側に指向する。
容器本体１の左右両側壁の内面には、第１図に示すように、半導体ウェーハを水平に支持する一対の支持リブ５が上下方向に所定のピッチで複数対並設される。この複数対の支持リブ５は、容器本体１の左右両側壁の内面に、一体形成されたり、あるいは別体として装着される。各支持リブ５は、半導体ウェーハの側部周縁を水平に搭載可能な上面と、自由端部が先細りとなるよう傾斜した下面とから形成され、これらの交わるエッジ部がＲ状に形成される。容器本体１の開口した正面は、外方向に膨出屈曲形成されてリム部６を形成し、このリム部６の内部段差面がシール面を形成する。また、容器本体１の両側壁外面には、蓋体固定用の係止突部７がそれぞれ突設される。
蓋体１０は、第１図に示すように、軽量性や成形性等に優れるポリカーボネート、ＣＯＰ、ポリエーテルイミド等の合成樹脂を使用して略矩形に成形され、容器本体１のリム部６内にエンドレスのシール部材を介して密嵌する。この蓋体１０の左右両側部には、容器本体１の係止突部７にコ字形の切り欠きを嵌合する係止板１１がそれぞれ回転可能に軸支される。蓋体１０の内面には、半導体ウェーハの前部周縁を水平に支持する複数のフロントリテーナ（図示せず）が上下方向に並設される。
容器本体１のリム部６内と蓋体１０との間に介在するシール部材は、ポリオレフィン系やポリエステル系の各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、シリコーンゴム等を用いて枠形に成形され、蓋体１０の嵌合被覆時にリム部６の内部段差面に圧接されてシールする。このシール部材は、半導体ウェーハを汚染する有機成分の発生が少なく、ＪＩＳに定められているＫ６３０１Ａの測定方法による硬度が８０°以下の成形材料で成形されることが好ましい。
ボトムプレート２０は、第１図、第３図ないし第６図、第９図、第１０図に示すように、容器本体１の識別領域である底面後方に近接対向するベース板２１と、このベース板２１の後端部に立設されて容器本体１の背面の一部（識別領域）に対向する壁板３０とから構成され、ベース板２１に、水平横方向に指向するホルダ５０を保持する第一の保持機構４０が設けられるとともに、壁板３０には、垂直縦方向に指向するホルダ５０を保持する第二の保持機構４３が設けられる。このボトムプレート２０は、ポリプロピレン、ポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート等の合成樹脂を使用して成形される。
ボトムプレート２０のベース板２１は、多角形の平板からなり、前端部中央から後方にかけて回避溝２２が切り欠かれており、この回避溝２２が容器本体１の後部の位置決め具２に後方から嵌合してボトムプレート２０が位置決め具２に不当に干渉するのを規制する。このベース板２１には、複数のキャップ孔２３が所定の間隔で丸く穿孔され、この複数のキャップ孔２３には、加工装置が精密基板の仕様（精密基板収納容器の種類や半導体ウェーハの収納枚数等）を識別するための図示しないキャップ（インフォパッドともいう）が必要に応じ選択的に挿入される。ベース板２１の左右両側部には被保持体２４がそれぞれ配設され、この一対の被保持体２４が容器本体１の一対の保持リブ３に着脱自在に係合する。
各被保持体２４は、第５図や第６図、第１０図に示すように、ベース板２１の側部に張り出し形成される本体２５と、この本体２５の前部外側から前方に伸びるストッパ突起２６と、本体２５の前部内側から前方にストッパ突起２６よりも細長く伸びる可撓性の首片２７と、この首片２７の先端部外側に略三角形状に形成される脱落防止突起２８と、ストッパ突起２６と首片２７との間に区画形成される切り欠き空間２９とから形成される。ストッパ突起２６と脱落防止突起２８とは、保持リブ３の長片３ａの内側に位置して短片３ｂを挟持し、この挟持により容器本体１にボトムプレート２０が強固に装着される（第１０図参照）。
ボトムプレート２０の壁板３０は、第１図、第５図や第６図に示すように、横長の矩形に形成され、その容器本体１に対向しない背面に、バーコード領域３１が形成される。このバーコード領域３１には、バーコード３２が直接貼着されたり、あるいはバーコード３２がポケットを介し着脱自在に挿入される（第３図参照）。
第一の保持機構４０は、第５図や第９図に示すように、ベース板２１の後端部両側に間隔をおいて対設され、ホルダ５０の前後両端部に係止する一対の係止爪４１と、ベース板２１の後端部に設けられてホルダ５０の長い一側部に係止する溝付きの係止リブ４２とから構成され、壁板３０の下部に隣接する。
第二の保持機構４３は、同図に示すように、壁板３０の対向面中央部付近に設けられてホルダ５０の上端部に係止する溝付きの係止リブ４２Ａと、壁板３０の対向面中央部付近に間隔をおいて対設され、ホルダ５０の左右両側部に係止する一対の係止爪４１Ａとから構成される。
第一、第二の保持機構４０・４３の係止爪４１・４１Ａは、接触するホルダ５０の厚さの１／４〜１／２の範囲の高さを有する略Ｌ字形に形成され、略鉤形の先端部に傾斜面が形成されてホルダ５０の着脱を容易にする。係止爪４１・４１Ａの高さが係る範囲であるのは、高さが１／４未満の場合には、使用時にホルダ５０の外れるおそれがあり、逆に高さが１／２を超える場合には、着脱が困難化し、作業性が悪化するからである。また、第一、第二の保持機構４０・４３の係止リブ４２・４２Ａは、それぞれＬ字形に形成される。
ホルダ５０は、第７図や第８図に示すように、所定の熱可塑性樹脂を使用して中空の略半円柱形、又は断面略Ｕ字形等に成形され、背面や側部等に複数の水切り孔５１が所定の間隔で穿孔されており、この複数の水切り孔５１が洗浄時の水切り性を向上させたり、応答器６０の有無やその破損の有無を視覚的に把握させる。このホルダ５０の内部には、応答器６０の脱落を規制する抜け落ち防止爪（図示せず）が突設される。ホルダ５０の開口周縁の左右両側部には、単数複数のフランジ５２がそれぞれ外方向に突設され、このフランジ５２が第一の保持機構４０の係止リブ４２、又は第二の保持機構４３の係止爪４１Ａに着脱自在に係止される。
なお、ホルダ５０の水切り孔５１については、水切り孔５１の形状、大きさ、数を適宜増減変更して応答器６０の指向性と合致させることにより、精密基板収納容器に取り付けた場合に加工装置との情報交換の性能を一定に保つことができる。
応答器６０は、アンテナ、送受信器、及びメモリーを備えて一般的には円筒形に形成され、表面がガラスや合成樹脂等により被覆保護されており、ホルダ５０に嵌合されて半導体ウェーハのロット、工程内の加工、あるいは処理経過を記憶する。
上記構成において、ボトムプレート２０の第一の保持機構４０に、応答器６０を収容したホルダ５０を寝かせて取り付ける場合には、第一の保持機構４０における一対の係止爪４１と係止リブ４２との間に、開口が視認できないようホルダ５０を横にしてセットし、ホルダ５０を左右方向に適宜スライドさせ、係止リブ４２の溝にホルダ５０のフランジ５２を嵌入係止するとともに、一対の係止爪４１によりホルダ５０を位置決め保持すれば、ホルダ５０を安定して保持することができる。
また、第二の保持機構４３に、ホルダ５０を立てて取り付ける場合、第二の保持機構４３における係止リブ４２Ａと一対の係止爪４１Ａとの間に、開口が視認できないようホルダ５０を起立させてセットし、このホルダ５０を適宜スライドさせ、係止リブ４２Ａの溝にホルダ５０のフランジ５２を嵌入係止し、かつ一対の係止爪４１Ａによりホルダ５０を位置決め保持すれば、ホルダ５０を安定して保持できる。
上記構成によれば、ボトムプレート２０の第一、第二の保持機構４０・４３に応答器６０をホルダ５０を介して選択的に取り付け、応答器６０の向きを縦横二方向の間で適宜変更するようにしているので、装置側における通信エリアの設定仕様に応じ、応答器６０の向きを簡単に変更することができる。具体的には、質問器が容器本体１の底面方向に設置されている場合には、第一の保持機構４０に応答器６０付きのホルダ５０を支持させ、質問器が容器本体１の背面方向に設置されている場合には、第二の保持機構４３に応答器６０付きのホルダ５０を支持させれば良い。したがって、同一の応答器６０を使用したとしても、通信不良が発生しやすくなるという問題をきわめて有効に解消することができる。
また、応答器６０の向きを状況に応じて変更することができるので、質問器との位置関係により、通信エラーを招くおそれもない。また、読み取りエリアを広く設定する必要もないから、周囲に存在する他の応答器６０の内容を誤って読み取ることがない。さらに、応答器６０は、ホルダ５０に収容被覆された状態で使用されるので、損傷防止を図ることができる他、設置向きの誤りを簡易な構成で抑制防止することが可能になる。したがって、情報の伝送機能が低下し、同じ応答器６０や精密基板収納容器を使用していながら、使用時の情報伝達性にバラツキが生じるのをきわめて有効に抑制防止することが可能になる。さらにまた、第一、第二の保持機構４０・４３を比較的簡易に構成してホルダ５０を適正、かつ確実に保持することができる。
次に、第１１図、第１２図は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、ボトムプレート２０を、容器本体１の底面に対向するベース板２１と、このベース板２１に立て設けられる壁板３０とから構成し、ベース板２１上に、略水平方向に指向する応答器６０を直接間接に保持する第一の保持機構４０を設けるとともに、壁板３０の内面には、略垂直方向に指向する応答器６０を直接間接に保持する第二の保持機構４３を設けるようにしている。
第一、第二の保持機構４０・４３は、応答器６０を直接保持する構成でも良いし、ホルダ５０を介して間接的に保持する構成でも良い。また、係止爪４１・４１Ａや係止リブ４２・４２Ａで応答器６０を直接間接に保持しても良いし、これらを省略し、ホルダ５０のフランジ５２やホルダ５０の水切り孔５１に干渉する凸部等を利用して保持するようにしても良い。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、応答器６０の取り付けパターンの多様化を図ることができるのは明らかである。
次に、第１３図は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、第一、第二の保持機構４０・４３の少なくともいずれか一方を、ホルダ５０よりも横長の大きい長方形を描く複数の係止爪４１Ａと、この複数の係止爪４１Ａが描く長方形の長辺中央部に位置する一対の係止リブ４２Ａとから構成し、複数の係止爪４１Ａと係止リブ４２Ａとを用いて応答器６０を収容するホルダ５０の向きを三方向の間で選択的に変更するようにしている。
本実施形態を第二の保持機構４３を例に説明すると、複数の係止爪４１Ａは、長方形の四隅部に位置するよう壁板３０の対向面にそれぞれ配設され、各係止爪４１Ａが横長のＬ字形に屈曲形成されており、各係止爪４１Ａがホルダ５０の隅部に係合するよう機能する。一対の係止リブ４２Ａは、壁板３０の対向面に間隔をおいてそれぞれ配設され、各係止リブ４２Ａが略Ｖ字形に屈曲形成される。各係止リブ４２Ａは、ホルダ５０が起立配置される場合には、ホルダ５０の側部に間隔をおいて対向し、ホルダ５０が左右４５°の角度で傾斜配置される場合には、係止爪４１Ａとの間にホルダ５０を挟むとともに、ホルダ５０の側部に係止する。このように構成された第二の保持機構４３は、複数の係止爪４１Ａと係止リブ４２Ａとにより、応答器６０を収容するホルダ５０の向きを上方向、斜め左上方向、斜め右上方向の間で選択的に変更する。
これに対し、第一の保持機構４０の場合、複数の係止爪４１Ａは、長方形の四隅部に位置するようベース板２１にそれぞれ配設され、各係止爪４１ＡがＬ字形に屈曲形成されており、各係止爪４１Ａがホルダ５０の隅部に係合するよう機能する。一対の係止リブ４２Ａは、ベース板２１に間隔をおいてそれぞれ配設され、各係止リブ４２Ａが略Ｖ字形に屈曲形成されており、各係止リブ４２Ａが水平配置されたホルダ５０の側部に間隔をおいて対向するとともに、左右４５°の角度で傾斜配置されたホルダ５０の側部に係止する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。この第一の保持機構４０は、複数の係止爪４１Ａと係止リブ４２Ａとにより、応答器６０を収容するホルダ５０の向きを横方向、斜め左横方向、斜め右横方向の間で選択的に変更する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、応答器６０の取り付けパターンの多様化を図ることができるのは明らかである。また、ホルダ５０のフランジ５２を第１３図のように形成しても良いが、フランジ５２を省略して構造の簡素化を図ることも可能となる。
なお、上記実施形態では容器本体１の開口した正面に蓋体１０を単に嵌合したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、容器本体１の正面の内周縁部に複数の係合穴を凹み形成し、蓋体１０に、外部からの操作に基づき出没可能な係合爪を係合穴に嵌入させるラッチ機構を内蔵しても良い。また、第一、第二の保持機構４０・４３の係止爪４１・４１Ａと係止リブ４２・４２Ａの数は、適宜増減することができる。
また、第一、第二の保持機構４０・４３とホルダ５０の一方に凹部を、他方には凸部をそれぞれ形成し、これらを嵌め合わせることによりホルダ５０を支持させても良い。これは、容器本体１とボトムプレート２０の関係についても同様である。さらに、容器本体１の底部や側壁等に第一、第二の保持機構４０・４３を設置し、これらに応答器６０やホルダ５０を保持させることも可能である。
【産業上の利用可能性】
以上のように本発明によれば、非接触型情報媒体の向きを複数の方向に変更して向けることができるので、通信不良や情報の伝送機能の低下を抑制あるいは防止することができるという効果がある。また、例え精密基板収納容器が異なる場所や装置等で使用されたとしても、情報の伝達性にバラツキが生じるのを防ぐことができる。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体とを含み、この非接触型情報媒体の向きを少なくとも異なる二方向の間で変更可能としたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
精密基板を半導体ウェーハとし、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスとした請求の範囲第１項記載の精密基板収納容器。
【請求項３】
非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とした請求の範囲第１項記載の精密基板収納容器。
【請求項４】
応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成した請求の範囲第３項記載の精密基板収納容器。
【請求項５】
応答器が嵌め入れられるホルダを含み、このホルダを断面略Ｕ字形に形成してその開口周縁部から複数のフランジをそれぞれ外方向に突出させた請求の範囲第４項記載の精密基板収納容器。
【請求項６】
ホルダに、少なくとも水切り機能を有する貫通孔を設けた請求の範囲第５項記載の精密基板収納容器。
【請求項７】
精密基板を開口した一方から収納する容器本体と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを含み、容器本体の少なくとも一面に対向するようプレートを取り付け、このプレートに、容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体を少なくとも異なる二方向の間で変更可能に支持させるようにしたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項８】
非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とした請求の範囲第７項記載の精密基板収納容器。
【請求項９】
応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成した請求の範囲第８項記載の精密基板収納容器。
【請求項１０】
プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成した請求の範囲第７項記載の精密基板収納容器。
【請求項１１】
容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、この容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させるようにした請求の範囲第５項記載の精密基板収納容器。
【請求項１２】
容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させるようにした請求の範囲第６項記載の精密基板収納容器。
【請求項１３】
プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられてホルダを略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられてホルダを略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成した請求の範囲第１１項記載の精密基板収納容器。
【請求項１４】
容器本体の底面後部両側に一対の保持リブを設け、ベース板の両側部には、保持リブに着脱自在に取り付けられる被保持体をそれぞれ設けた請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１５】
ベース板に複数のキャップ孔を設け、この複数のキャップ孔に、精密基板の仕様を識別するためのキャップを選択的に挿入するようにした請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１６】
壁板の内面を容器本体の背面に対向させ、壁板の外面にバーコードを取り付けた請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１７】
第一の保持機構を、ホルダの両端部に引っかかる複数の係止爪と、ホルダの側部にフランジを介して引っかかる係止リブとから構成した請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１８】
第二の保持機構を、ホルダの上端部に引っかかる係止リブと、ホルダの両側部にフランジを介して引っかかる複数の係止爪とから構成した請求の範囲第１７項記載の精密基板収納容器。
【請求項１９】
精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体と、容器本体の少なくとも一面に対向するよう取り付けられるプレートとを含み、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成するとともに、第一、第二の保持機構の少なくともいずれか一方を、非接触型情報媒体よりも大きい多角形を描き、非接触型情報媒体の隅部に引っかかる複数の係止爪と、この複数の係止爪が描く多角形の長辺中央部付近に位置し、非接触型情報媒体が傾いて配置されるときに、係止爪との間に非接触型情報媒体を挟み、かつ非接触型情報媒体の側部に接触する一対の係止リブとから構成し、これら係止爪と係止リブとを用いて非接触型情報媒体の向きを三方向の間で変更可能としたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２０】
精密基板とこれを収納する容器本体の少なくともいずれか一方の識別用の非接触型情報媒体と、この非接触型情報媒体が嵌め入れられるホルダとを含んでなることを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項１】
精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体とを含み、この非接触型情報媒体の向きを少なくとも異なる二方向の間で変更可能としたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２】
精密基板を半導体ウェーハとし、容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスとした請求の範囲第１項記載の精密基板収納容器。
【請求項３】
非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とした請求の範囲第１項記載の精密基板収納容器。
【請求項４】
応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成した請求の範囲第３項記載の精密基板収納容器。
【請求項５】
応答器が嵌め入れられるホルダを含み、このホルダを断面略Ｕ字形に形成してその開口周縁部から複数のフランジをそれぞれ外方向に突出させた請求の範囲第４項記載の精密基板収納容器。
【請求項６】
ホルダに、少なくとも水切り機能を有する貫通孔を設けた請求の範囲第５項記載の精密基板収納容器。
【請求項７】
精密基板を開口した一方から収納する容器本体と、この容器本体の開口を閉鎖する蓋体とを含み、容器本体の少なくとも一面に対向するようプレートを取り付け、このプレートに、容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体を少なくとも異なる二方向の間で変更可能に支持させるようにしたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項８】
非接触型情報媒体を、ＲＦＩＤシステムの質問器に応答する応答器とした請求の範囲第７項記載の精密基板収納容器。
【請求項９】
応答器を、少なくともアンテナ、送受信器、及びメモリーを備えた略円筒形に形成した請求の範囲第８項記載の精密基板収納容器。
【請求項１０】
プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成した請求の範囲第７項記載の精密基板収納容器。
【請求項１１】
容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、この容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させるようにした請求の範囲第５項記載の精密基板収納容器。
【請求項１２】
容器本体を、蓋体により正面が開閉されるフロントオープンボックスタイプとし、容器本体にプレートを取り付け、このプレートに非接触型情報媒体をホルダを介して支持させるようにした請求の範囲第６項記載の精密基板収納容器。
【請求項１３】
プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられてホルダを略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられてホルダを略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成した請求の範囲第１１項記載の精密基板収納容器。
【請求項１４】
容器本体の底面後部両側に一対の保持リブを設け、ベース板の両側部には、保持リブに着脱自在に取り付けられる被保持体をそれぞれ設けた請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１５】
ベース板に複数のキャップ孔を設け、この複数のキャップ孔に、精密基板の仕様を識別するためのキャップを選択的に挿入するようにした請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１６】
壁板の内面を容器本体の背面に対向させ、壁板の外面にバーコードを取り付けた請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１７】
第一の保持機構を、ホルダの両端部に引っかかる複数の係止爪と、ホルダの側部にフランジを介して引っかかる係止リブとから構成した請求の範囲第１３項記載の精密基板収納容器。
【請求項１８】
第二の保持機構を、ホルダの上端部に引っかかる係止リブと、ホルダの両側部にフランジを介して引っかかる複数の係止爪とから構成した請求の範囲第１７項記載の精密基板収納容器。
【請求項１９】
精密基板を収納する容器本体と、この容器本体に支持される容器本体及び又は精密基板識別用の非接触型情報媒体と、容器本体の少なくとも一面に対向するよう取り付けられるプレートとを含み、プレートを、少なくとも容器本体の底部に対向するベース板と、このベース板に立て設けられる壁板と、ベース板に設けられて非接触型情報媒体を略水平方向に向けて支持する第一の保持機構と、壁板に設けられて非接触型情報媒体を略垂直方向に向けて支持する第二の保持機構とから構成するとともに、第一、第二の保持機構の少なくともいずれか一方を、非接触型情報媒体よりも大きい多角形を描き、非接触型情報媒体の隅部に引っかかる複数の係止爪と、この複数の係止爪が描く多角形の長辺中央部付近に位置し、非接触型情報媒体が傾いて配置されるときに、係止爪との間に非接触型情報媒体を挟み、かつ非接触型情報媒体の側部に接触する一対の係止リブとから構成し、これら係止爪と係止リブとを用いて非接触型情報媒体の向きを三方向の間で変更可能としたことを特徴とする精密基板収納容器。
【請求項２０】
精密基板とこれを収納する容器本体の少なくともいずれか一方の識別用の非接触型情報媒体と、この非接触型情報媒体が嵌め入れられるホルダとを含んでなることを特徴とする精密基板収納容器。
【国際公開番号】ＷＯ２００４／０７９８１８
【国際公開日】平成１６年９月１６日（２００４．９．１６）
【発行日】平成１８年６月８日（２００６．６．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−５０２９９４（Ｐ２００５−５０２９９４）
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００４／００１３６９
【国際出願日】平成１６年２月１０日（２００４．２．１０）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
【国際公開日】平成１６年９月１６日（２００４．９．１６）
【発行日】平成１８年６月８日（２００６．６．８）
【国際特許分類】
【国際出願番号】ＰＣＴ／ＪＰ２００４／００１３６９
【国際出願日】平成１６年２月１０日（２００４．２．１０）
【出願人】（０００１９０１１６）信越ポリマー株式会社 (1,394)
【Ｆターム（参考）】
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