【課題】半導体ウエハが搬送中等に破損することがなく、しかも必要に応じてクッションシートをトレイに対し簡便に脱着して容易に洗浄したり交換したりすることができるクッションシート付ウエハ収納容器を提供すること。
【解決手段】ウエハ載置トレイ１上面の半導体ウエハＷ載置位置には弾力性のあるウエハ載置クッションシート５が配置され、そのウエハ載置クッションシート５にはウエハ載置トレイ１に対して着脱自在に吸着される着脱自在吸着面（５Ｂ）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】高度な回路の微細化要求を満たすとともに、半導体ウェーハの汚染を抑制し、パーティクルの発生をも有効に抑制できる半導体ウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１の開口正面部を密封閉鎖用のシールガスケットを介して開閉する蓋体とを備え、容器本体１の半導体ウェーハＷとの接触領域２０にイオン注入装置によりイオン注入処理を施して導電化する。容器本体１の半導体ウェーハＷとの接触領域２０に、イオン注入して表面改質し、耐汚染性、導電性、耐磨耗性等を付与するので、最近の回路の微細化要求を満たしながら半導体ウェーハＷの汚染を有効に抑制することができる。また、導電化による帯電防止により、静電気破壊やスパークを防止したり、パーティクルの発生を有効に防止できる。 （もっと読む）

【課題】高度な回路の微細化要求を満たすとともに、半導体ウェーハの汚染を抑制し、パーティクルの発生をも有効に抑制できる半導体ウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】複数枚の半導体ウェーハＷを整列収納するフロントオープンボックスタイプの容器本体１と、容器本体１の開口正面部を密封閉鎖用のシールガスケットを介して開閉する蓋体とを備え、容器本体１の半導体ウェーハＷとの接触領域２０にダイヤモンドライクカーボンを被覆して耐汚染性と導電性とを付与する。容器本体１の半導体ウェーハＷとの接触領域２０をダイヤモンドライクカーボンにより被覆して表面改質し、耐汚染性、導電性、耐磨耗性等を付与するので、最近の回路の微細化要求を満たしながら半導体ウェーハＷの汚染を有効に抑制することができる。また、導電化による帯電防止により、静電気破壊やスパークを防止したり、パーティクルの発生を有効に防止できる。 （もっと読む）

【課題】容易に正確な位置への装脱着が可能で、ガイド部材のみを交換することにより、容器本体を安価に使用可能とするウエハ容器の位置決め構造を提供する。
【解決手段】ガイド面部１５ｈは、長孔部１５ｇの真下に連続するように凹設形成されて、位置決めピンとしてのキネマティックカップリングピン２ａを係合した状態で、このキネマティックカップリングピン２ａの先端部を対向させる位置決めリブ１６，１６の先端縁との間に、間隙ｄが形成するように、このキネマティックカップリングピン２ａの前記容器本体１１への近接距離を規制するように構成されている。 （もっと読む）

本発明は、チップスケールパッケージ用トレイを提供することを目的とするものであって、長方形のフレーム１０と、該フレーム１０に比べ、相対的にソフトで摩擦力の高い材質で製作され、前記フレーム１０の上面に格子状に配置され、上面には半導体チップが搭載されるシート部材２０と、前記フレーム１０に比べ、相対的にソフトで摩擦力の高い材質で製作され、前記フレーム１０のシート部材２０と対応する底面に取り付けられた支持部材３０と、を備えてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ等を収納する容器等の材料である高分子材料の導電性を向上させ、容器の帯電防止や塵埃付着防止をはかること。
【解決手段】高分子材料にカーボンナノチューブ等の導電性ナノチューブを含有させる。射出成形により作製する容器において、容器を構成する高分子材料は、ゲートと容器の端までの長さLと容器の代表厚みｔとの比L/tが増加すると、あるいは、シート状製品の場合には、圧延・延伸前後のシート厚さの比t₁/t₀が減少すると、導電率が増加する傾向にある。特にL/t比が50以上、またはt₁/t₀比が0.7以下において、顕著である。この理由は、高分子材料のマトリックス中に導電性ナノチューブがその長手方向に配向するためである。本発明を用いて成形した半導体ウエハなどの容器は、帯電しないので塵埃付着などがなく、半導体の超微細加工プロセスに適用できる。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープの余剰部を刃物により除去する際、成形されたフレームから切削屑が発生して半導体ウェーハを汚染させるのを抑制することができ、しかも、刃物による切削跡に切削屑の付着するおそれの少ないキャリア治具を提供する。
【解決手段】 バックグラインドにより薄片化された半導体ウェーハを収容する中空のフレーム１と、フレーム１の裏面４に貼着され、半導体ウェーハを粘着保持するダイシングテープ１０とを備え、フレーム１を、樹脂を含む成形材料により射出成形する。また、フレーム１の裏面４の外周部を切り欠いてカッタ刃回避用の段差部２０を平坦に形成する。フレーム１から食み出るダイシングテープ１０の不要な余剰部１１をカッタ刃３１により切断する際、凹んだ段差部２０にカッタ刃３１の接触することがないので、フレーム１の裏面４をカッタ刃３１により切削してしまうことがなく、異物の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】破損等に関わらず基板の利用率を高め、かつ、カセット等の汎用性を高める。
【解決手段】基板載置部７の吸着面７ｂに基板が載置されて吸引孔７ａが塞がれ、裏面側の被吸着面が搬送ロボットのフィンガの先端部に形成された吸着面に載置されて、吸引孔６ａと、フィンガの先端部に形成された吸引孔とが連通され、真空吸着によって、吸引孔６ａ，７ａ及び吸引路に沿って吸気されて、フィンガに基板把持用治具１が吸着されると共に、基板は基板把持用治具１に押し付けつけられて、基板及び基板把持用治具１がフィンガによって吸着・把持される。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープの余剰部を刃物により除去する際、成形されたフレームから切削屑が発生して半導体ウェーハを汚染させるのを抑制することができ、しかも、刃物による切削跡に切削屑の付着するおそれの少ないキャリア治具を提供する。
【解決手段】 バックグラインドにより薄片化された半導体ウェーハを収容する中空のフレーム１と、このフレーム１の裏面４に接着され、半導体ウェーハを粘着保持するダイシングテープ１０とを備え、フレーム１の裏面４に、ダイシングテープ１０に接着する軟質の切削屑発生防止層２０を積層し、この切削屑発生防止層２０により、ダイシングテープ１０の余剰部１１除去に伴う切削屑の発生を抑制防止する。カッタ刃３１がフレーム１ではなく、裏面４を保護する切削屑発生防止層２０に接触し、異物が発生しないので、フレーム１の裏面４をカッタ刃３１により切削してしまうことがない。 （もっと読む）

【課題】 ダイシングテープの余剰部を刃物により除去する際、成形されたフレームから切削屑が発生して半導体ウェーハを汚染させるのを抑制することができ、しかも、刃物による切削跡に切削屑の付着するおそれの少ないキャリア治具を提供する。
【解決手段】 バックグラインドにより薄片化された半導体ウェーハを収容する中空のフレーム１と、このフレーム１の裏面４に接着され、半導体ウェーハを粘着保持するダイシングテープ１０とを備え、フレーム１の裏面４に、ダイシングテープ１０に接着する金属製の切削屑発生防止層２０を積層し、この切削屑発生防止層２０により、ダイシングテープ１０の余剰部１１除去に伴う切削屑の発生を抑制防止する。カッタ刃３１がフレーム１ではなく、硬い切削屑発生防止層２０に接触し、異物が発生しないので、フレーム１の裏面４をカッタ刃３１により切削してしまうことがない。 （もっと読む）

【課題】レチクルケースの帯電を防止し、レチクルおよびレチクルケースへの塵埃等の異物の静電的付着を防止し、かつレチクル情報を確実に把握すること。
【解決手段】レチクルケースの上・下面に透明窓を設ける。これによりレチクルケース内のレチクル状態およびレチクル情報を把握できる。透明窓以外のレチクルケースは非帯電性材料で形成され、かつ連続している。これによりレチクルケースの帯電を防止できる。レチクルケースには呼吸弁およびケミカルアブソーバーが設置される。これによりレチクルケース内は、常に清浄な環境に保持される。呼吸弁はレチクルケース外表面から張り出さない構造である。このため、レチクルケース本体および蓋体の側面に形成されたV溝を用いて固定スライダでレチクルケース本体および蓋体を結合固定できる。また、呼吸弁の破損がなくなりレチクルケースの取り扱いも容易になる。 （もっと読む）

【課題】 射出成形性に優れ、高い機械的強度と耐衝撃性、ならびに適度な硬さと適度なクッション性を有し、各種イオン量を低く抑えたシリコンウェーファー搬送治具用樹脂組成物、およびそれを使用したシリコンウェーファー搬送治具の提供。
【解決手段】 ポリエステルブロック共重合体（Ａ）５〜１００重量部と、芳香族ポリエステル樹脂（Ｂ）９５〜０重量％とからなり、ＡＳＴＭ Ｄ７９０に従って測定した曲げ弾性率が８００〜２０００ＭＰａであって、そのペレットＹｇ（Ｙは正数）を電気伝導率が２５℃で０．１μＳ／ｃｍ未満の水Ｙｍｌ（Ｙは正数）中に室温で２４時間静置した後、濾過した抽出水のイオン濃度が、塩素イオン濃度２０ｐｐｂ以下、硫酸イオン濃度２０ｐｐｂ以下、ナトリウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下、カルシウムイオン濃度２０ｐｐｂ以下の中から選択される１つ以上を満たすことを特徴とするシリコンウェーファー搬送冶具用樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができるウエハ片剥離方法を提供する。
【解決手段】ウエハ片剥離方法は、シート１１上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシート１１から剥離させる方法である。ウエハ片剥離方法は、熱剥離シートからなるシート１１のウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッド３５に対面するようにして、加熱ヘッド３５とシート１１とを接触させる工程と、シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッド３５により加熱する工程と、を備えている。シート１１を加熱することによって、シート１１のウエハ片に対する粘着保持力を除去または弱める。 （もっと読む）

【課題】基板収納箱の製造コストを低減することができ、しかも基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる基板収納箱の位置決めシステムを提供することである。
【解決手段】基板収納箱２は、ガラス基板が収納される収納空間７が形成される箱本体８と、前記収納空間７に収納されるガラス基板を保持する保持体９とを有する。保持体９は、箱本体８よりも剛性が高い。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１，３２，３３，３４を有する。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を保持体９に当接させて、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって保持体９を押圧することによって、保持体９を位置決めする。このように保持体９が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板の収納位置が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】 様々な形状の基板に応じて基板の下方を支持して収納することのできる基板収納キャリアを提供すること。
【解決手段】 支持部材５を配設する部位が係合溝３の溝形成方向において変更可能とした。 （もっと読む）

【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板保持容器を提供する。
【解決手段】薄板収納容器２１の上側面の第１載置部２３Ａが薄板収納容器２１の周縁部２５Ａに対して凹状になり、薄板収納容器２１の下側面の第２載置部２３Ｂが薄板収納容器２１の周縁部２５Ｂに対して凸状になっている。薄板収納容器２１を重ねた時に、下の薄板収納容器２１における上側面の周縁部２５Ａが上の薄板収納容器２１における下側面の周縁部２５Ｂと重なり、上の薄板収納容器２１の第２載置部２３Ｂは下の薄板収納容器２１の凹部に入り込む構造になっている。載置部２３は柔軟性材料や弾性材料で形成される。ウエハは上下の載置部２３に挟持されて固定する。この結果、ウエハを搭載した薄板収納容器２１の搬送やプロセスも自動化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板収納容器を提供する。
【解決手段】極薄化ウエハ３７を真空吸着し固定できる薄板収納容器を用いる。収納容器の真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を持つ。減圧室には支持隔壁が設置され、吸着板を支える。吸着板は、収納容器から分離できる構造である。吸着面が弾性材料で、他方が一定の強度を有する高分子材料で構成する二層構造である。収納容器は、好適にはウエハ吸着面が周縁部に対し凹状である。ウエハが真空吸着固定されるので、薄板収納容器の搬送やプロセスも自動化が可能となる。収納容器は繰り返し使用でき、環境負荷も少ない。 （もっと読む）

【課題】焼却した場合の燃焼カロリーが低く、焼却炉を傷めず、硫黄酸化物や窒素酸化物等の有毒ガスの発生を低減し、更には自然界において容易に分解し、生態系に及ぼす悪影響を低減しうるダイシングウエハ収納トレーを提供する。
【解決手段】ダイシングウエハを収納する凹部を備えたダイシングウエハ収納トレーであって、ポリ乳酸を含有すると共に、他の熱可塑性樹脂を含有し、更にイオン導電性の導電剤を含有する樹脂組成物を用いて成形したダイシングウエハ収納トレー。 （もっと読む）

【課題】接着テープ自体に光硬化成分と光遮蔽成分を配合して、光照射によりダイシングテープとの界面のみの密着力を低下させることにより、ピックアップ時にダイシングテープとの剥離を容易にする接着シートを提供する。
【解決手段】あらかじめダイシングテープの半導体ウエハを仮接着する面に一体的に積層して用いられる接着シートにおいて、少なくとも（Ａ）光硬化型粘着成分、（Ｂ）光重合開始剤、（Ｃ）フィラー、（Ｄ）光遮蔽成分を必須の成分として含有する接着シート。 （もっと読む）

【課題】基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行うことができる基板搬送容器、および基板搬送容器内空間のガス置換を満遍なく、また効率よく行い得る方法を提供する。
【解決手段】一側面に開口部３が設けられ且つ複数枚の基板を夫々独立に収容できる基板支持手段４を有する容器本体１と、容器本体１に３開口部を閉塞可能にかつ開閉自在に取り付けられる蓋体２とを有する基板搬送容器であって、蓋体２には、容器外部から不活性ガスを導入するためのガス導入口１１と、ガス導入口１１から導入された不活性ガスを容器内に収容される基板間の空間に噴出可能に設けられてなるガス供給ノズルと、容器内のガスを容器外に排出するためのガス排出口１２とが設けられている。 （もっと読む）