【課題】リテーナの変形のおそれを抑制し、リテーナの装着作業の円滑化や容易化を実現して作業効率を向上させることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】リテーナ２０を、蓋体１０に装着される縦長の枠体２１と、枠体２１の一対の対向片２２からそれぞれ突出して相互に接近する一対の弾性片２９と、一対の弾性片２９に形成されて半導体ウェーハＷの前部周縁を保持する保持部３０とから形成する。枠体２１を、間隔をおき平行に対向して蓋体１０の上下方向に伸びる一対の対向片２２と、一対の対向片２２の上下両端部間にそれぞれ水平に架設される一対の架設片２３とから形成し、各架設片２３に、半導体ウェーハＷ方向に突出して枠体２１を変形させるバネ性の屈曲部２５を形成する。 （もっと読む）

【課題】バッチ・ロードロック装置で一度でも使用したウエハ収納容器は表面深くハロゲン・イオンがトラップされているため、洗浄しても除去困難である。その為、そのようなウエハ収納容器内に収容したままで、ウエハを比較的長期間保管等すると、ハロゲン・イオンと雰囲気中の水分が反応して、腐食性の物質を生じる結果、アルミニウム配線、電極、およびパッド等の金属部分を腐食するという問題が発生する。
【解決手段】半導体装置生産ラインにおいてバッチ・ロードロック装置で使用したウエハ収納容器は非バッチ・ロードロック装置や保管等に使用しないようにすることにより、ウエハ収納容器からのハロゲン汚染に起因する金属部分の腐食等を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】乾燥作業の迅速化や基板の汚染防止を図ることのできるリテーナ及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板収納容器の蓋体１０と共に洗浄されるリテーナ２０を、蓋体１０に装着される縦長の枠体２１と、この枠体２１の一対の対向片２２からそれぞれ突出して相互に接近する一対の弾性片と、この一対の弾性片に形成されて半導体ウェーハの前部周縁を保持する保持部３０とから形成する。また、枠体２１の各対向片２２の蓋体１０に対向する裏面長手方向に、複数の凹凸２８を間隔をおいて交互に形成し、この複数の凹凸２８により、リテーナ２０の洗浄や乾燥時の水切り性を向上させる。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器に基板を保管中にイオンや塩化メチレンのような発生ガスによって基板が汚染される恐れがない基板収納容器とその製造方法を提供する。
【解決手段】 基板収納容器の表面に、ドーパントを含む酸化重合剤溶液とモノマー溶液とを用いてドーパント存在下にモノマーを重合させた電子共役系ポリマー層が形成されており、前記基板収納容器の表面固有抵抗値が１×１０³〜９×１０⁸Ωの範囲であることを特徴とする。
また、前記基板収納容器を密封し、２３℃×２４時間放置したときに、基板収納容器の内部に発生する塩化メチレン量が、前記基板収納容器を放置した環境から発生する塩化メチレン量と同じかそれよりも少ないものであることが好ましい。
さらに、基板収納容器の全光線透過率を４０〜８０％であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】薬品がトランスポンダに触れないようにするだけでなく、トランスポンダを取り付けた部分だけを交換することもでき、メンテナンスが容易なウェーハキャリアを提供する。
【解決手段】ウェーハキャリア１００を、半導体ウェーハＷを収容するための容器本体１１０と、容器本体１１０の外面に形成したプレート挿入部１１５に前記外面に沿って挿入することにより容器本体１１０に対して着脱自在に保持させる着脱プレート１２０とで構成し、着脱プレート１２０にトランスポンダ１２１を埋め込んで封止した。 （もっと読む）

【課題】部品点数が増加せず、かつウェーハに傷をつけることなく簡易に収納できるウェーハ収納容器およびウェーハの品質を高く保持したまま容易にウェーハをハンドリングすることが可能なウェーハのハンドリング方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハ４４の外周縁より外側にある外周部１４と、外周部１４からウェーハ４４の径方向内側に延出する載置部１２とを備えるウェーハ収納容器１０であって、載置部１２は、ウェーハ４４の径方向内側に向かって延出すると共に、その上面にはウェーハ４４の外周縁とのみ接触できるように径方向内方に向かって斜め下方に傾斜する第１の傾斜面２８を有し、外周部１４の周方向に沿った複数の箇所からは、径方向内方に向かって切り欠かれた切欠部２０が形成されており、ウェーハ収納容器１０を複数重ねた際に、下方のウェーハ収納容器１０に対してその上に重ねられたウェーハ収納容器１０が位置決めされるものとする。 （もっと読む）

【課題】内外部を連通する連通部に水分が入り込まない基板収納容器を提供する。
【解決手段】一端に開口部を有し基板を収納する容器本体１と、開口部を閉鎖する蓋体とを有し、容器本体１の内部と外部とを連通する連通部３が少なくとも１ヶ設けられている基板収納容器であって、前記連通部３には、フィルタ保持部材５が取り付けられていて、フィルタ保持部材５の向き合う開口部の両端に第一のフィルタ６と第二のフィルタ７が向き合うように配設されていることを特徴とする。フィルタ保持部材には、逆止弁を備えた開閉バルブが内蔵されること、第一のフィルタ６の圧力損失が、フィルタ保持部材の他端部に設けられる第二のフィルタ７の圧力損失以上であること、等がそれぞれ好ましい。 （もっと読む）

【課題】ビーズ発泡法等により成型された寸法精度の悪い樹脂成型品を、箱体本体および蓋体として使用した場合であっても、箱体本体に対して蓋体を確実に嵌合可能であり、且つ、ガラス基板に不当な応力が作用することなく積み重ねることが可能なガラス基板梱包箱を提供する。
【解決手段】上端が開口した箱体本体２と、箱体本体２に嵌合してその上端開口を閉鎖する蓋体３とを備え、箱体本体２に配備されたガラス保持部４，５の複数の保持溝４ａ，５ａと、蓋体３に配備されたガラス保持部６の複数の保持溝６ａとにより、複数枚のガラス基板Ｇを縦姿勢で間隔を置いて並列に配列した状態で保持するガラス基板梱包箱１であって、蓋体３と、蓋体３に配備されたガラス保持部６との間に、ガラス保持部６よりも弾性が高いスペーサ７を介在させた。 （もっと読む）

【課題】接着剤による汚染の心配がなく、かつ、リサイクル等の経費発生が少ないシリコンウエハ等の薄板材料の補強材を提供する。
【解決手段】電気絶縁層１１３の内部に電極部１１２を埋設させた薄板状の静電保持部を備える補強材本体１１０と、補強対象物１０１をアースに導通可能とする第１の接続端子と、電極部１１２をアース又は高電圧に導通可能とする第２の接続端子とを備えることにより補強材本体１１０と切り離し可能に構成される電圧制御部１２０を備えている。電圧制御部１２０は、補強対象物１０１に対してアースから補強対象物１０１に供給された電荷と逆極性の電荷を供給させることにより静電保持部に吸着力を発揮させて補強対象物１０１を吸着して補強材本体１１０を補強材として機能させる吸着工程と、補強対象物１０１及び電極部１１２に蓄積された電荷を放出させて静電吸着能力を消滅させる吸着開放工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】エキスパンド条件の最適化のために多大な時間や労力を要することなく、エキスパンドによって良好に分断可能な半導体ウエハ加工用フィルムを提供すること。
【解決手段】本発明の半導体ウエハ加工用テープ１０は、半導体ウエハＷに接着した状態でエキスパンドされることにより、半導体ウエハＷとともにチップサイズに分断される略円形の接着フィルム１１と、接着フィルム１１の半導体ウエハＷに接着される面とは反対の面に貼り合わされた略円形の粘着テープ１２とを有する積層構造の加工用フィルムであって、接着フィルム１１の粘着テープ１２に対する直径比が、０．８１５〜１の範囲である。 （もっと読む）

【課題】ウェーハを、凹部が形成された裏面を露出した状態に全面載置型のスピンナテーブルに保持して洗浄した後に、該ウェーハを安全、かつ確実に取り上げて所定の搬送先に円滑に搬送する。
【解決手段】スピンナテーブル７１に保持して洗浄したウェーハ１の環状凸部５Ａをウェーハ取り上げ機構９０の吸着パッド９４で吸着して取り上げ、次いで、露出した表面側を搬送ロボット２３のロボットピック２３ｃで受け取って吸着、保持し、搬送ロボット２３を作動させてウェーハ１を回収カセット２２Ｂ内に移送して収容する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大型ペリクル用の収納容器において、特に真空成形を用いて製造した容器であっても、洗浄性を損なわずに剛性を向上させることのできる大型ペリクル収納容器を提供することを可能にすることを目的としている。
【解決手段】 ペリクル１を収納して保管、搬送するために用いられる大型ペリクル収納容器であって、ペリクル１を収納するトレイ２と、該トレイ２を被覆する蓋３とからなり、該トレイ２または蓋３の少なくとも平面部は二重構造であって、２枚のトレイ２ａ，２ｂの間にハニカム構造42を設けて構成したことを特徴とする。
【選択図】 図５
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【課題】半導体チップがトレイに張り付くのを防止する。
【解決手段】半導体チップ２を収容するための断面凹状の複数の収容部１ｃ，１ｅが主面および裏面に形成されたトレイ１を複数段積み重ねた時に、下段のトレイ１の主面の収容部１ｃと、上段のトレイ１の裏面の収容部１ｅとが重なったところに形成される空間に半導体チップ２を収容した状態で搬送する搬送方法において、上段のトレイ１の裏面の収容部１ｅの底面に、半導体チップ２に接しないような高さの孤立状の突起１ｆを分散させて配置した。これにより、半導体チップ２が上段のトレイ１の裏面に張り付いてしまう現象を防止できる。 （もっと読む）

【課題】フレームの重量増大を招くことなく剛性を高めることができ、積層時の位置ずれや崩れを防止したり、専用の輸送容器等を省略したり、さらにはハンドリング作業の便宜を図ることのできる基板保持具を提供する。
【解決手段】フレーム２にその中空を覆う弾性の保持層３を貼着し、この保持層３上に大口径の半導体ウェーハＷを着脱自在に保持させ、フレーム２の表裏厚さ方向に、剛性を向上させる凹凸部４を形成する。また、フレーム２の凹凸部４を、フレーム２の外周縁部を断面略山形に屈曲することにより形成する。凹凸部４が断面略山形に屈曲してフレーム２の剛性を高めるので、フレーム２の大口径化が要求されても、フレーム２の反りや撓みが大きくなるのを防止できる。 （もっと読む）

【課題】環境温度変化等によって両者間に寸法誤差が生じた場合でも、常時、安定した状態で支持プレートを容器本体の底部内面と蓋体の天板内面に形成した支持プレート用取付部内に嵌着できるようにした板状体の搬送容器を提供する。
【解決手段】容器本体の底部内面と蓋体３の天板内面に支持プレート５を嵌着するための支持プレート用取付部３２を形成する。支持プレート用取付部３２には、嵌着する支持プレート５の長手方向の両端を位置決めする端側壁３４と、両端側壁３４、３４間に支持プレート５の移動を拘束する２つ以上の拘束体４１、４２とを形成する。支持プレート５には、表面側に収容した板状体の下縁または上縁を挿入して支持する複数の横溝５１を、裏面側には前記各拘束体４１、４２に係合する凸部および凹部５５と、長手方向に直交する方向の１つ以上の切り欠き５３を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板を破壊させることなく収納できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体１０と、前記容器本体１０に対向する面の一部に前記容器本体１０内に突出する突出部２１ａを有し前記容器本体１０に係合する蓋部材２０と、前記容器本体１０内に収納され前記基板と略同一形状を有し前記基板よりも高い剛性を有する変形防止板３０とを具備し、前記変形防止板３０を介して前記蓋部材２０の前記突出部２１ａによって前記基板を押圧することで、前記基板を前記容器本体１０内に保持する。 （もっと読む）

ソーラーウエハ（２）のマウントディバイスであって、細長いウエブ（３）を有する少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）を有し、細長いウエブ（３）の長手方向に延びる部分に沿って等間隔に配置された複数の櫛歯要素（４）が備えられており、互いに向き合う隣接する２つの櫛歯要素（４）の間に、少なくとも１つの凹部（５または６）が形成されており、凹部は、ソーラーウエハ（２）を挿入する接触表面（７）及びガイド表面（８）からなる。マウントディバイスにソーラーウエハを確実に保持且つマウントするために、少なくとも１つの櫛状ホルダ（１）の細長いウエブ（３）の隣接する２つの櫛歯要素（４）の間に、マウント・ギャップ（９）が備えられている。マウント・ギャップの輪郭は、互いにズレた２つの凹部（５または６）による任意の間隔（ｂ_H）と、櫛歯要素（４）の総奥行き（ｔ_ges）よりも短い奥行き（ｔ₁）または奥行き（ｔ₂）を有する接触表面（７）及びガイド表面（８）からなり、奥行き（ｔ₁）及び奥行き（ｔ₂）は、合わせて櫛歯要素（４）の個々の総奥行き（ｔ_ges）を形成し、輪郭（ｕ_A1またはｕ_A2）は、マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕ_S）の接触表面（７）を含む平面（１３）に対して鋭角（α）をもって傾斜して延びる平面（１２）内に位置するウエブ寄りに傾斜表面（１１）を有する溝部（１０）を有し、ソーラーウエハ（２）の下端縁（２１）が、輪郭（ｕ_A1またはｕ_A2）に含まれる溝部（１０）の傾斜表面（１１）と接触するまで、重力によって滑って予め決められた位置に移動する。この位置において、マウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕ_S）に含まれる接触表面（７）の垂線を中心にして櫛状ホルダ（１）を予め決められた鋭角（φ）回転させている間、接触表面（７）と平面接触するように、ソーラーウエハ（２）の表面（１３）が接触表面（７）と向かい合わされている。このとき、ソーラーウエハ（２）の接触表面（７）から離れた側の表面（２２）と、接触表面（７）と平行に延びるマウント・ギャップ（９）の輪郭（ｕ_S）に含まれるガイド表面（８）との間には公差（１４）が同じ位置に形成される。 （もっと読む）

【解決手段】フォトマスク用合成石英ガラス基板を収容、保管するプラスチック製保管ケースであって、この保管ケースに収容されるガラス基板の表面又は表面及び裏面と対向する保管ケース内面に、保管ケースから発生するアウトガス成分の吸収剤を保持する吸収剤保持部材を取り付けてなり、この保持部材に保持される吸収剤の総量（ｇ）とこの吸収剤のＢＥＴ比表面積（ｍ²／ｇ）との積Ａ（ｍ²）と、保持部材が取り付けられた保管ケースの内面に対向するガラス基板の表面又は表面及び裏面の合計面積Ｂ（ｃｍ²）との比（Ａ／Ｂ）が１．０〜１２０ｍ²／ｃｍ²であるフォトマスク用合成石英ガラス基板保管ケース。
【効果】本発明によれば、ガラス基板を長期保存しても、基板表面への化学吸着が進みにくく、これによりガラス基板にＣｒ膜等を成膜する際の成膜ムラを抑制でき、生産性の向上及び歩留まり向上につながる。 （もっと読む）

【課題】蓋体の施錠や開閉に支障を来たすおそれの少ない基板収納容器を提供する。
【解決手段】２枚の半導体ウェーハを収納する容器本体の正面部を開閉する蓋体２０に、容器本体の正面部を閉塞した蓋体２０を施錠する施錠機構４０を設け、施錠機構４０を、蓋体２０に支持されてその左右内外方向にスライド可能なリンクプレート４１と、リンクプレート４１の先端部に回転可能に支持され、蓋体側壁の溝孔２３から突出して容器本体の正面部内側の係止溝に干渉可能な係止爪４５と、リンクプレート４１を蓋体２０の左右外方向にスライドさせて係止爪４５を蓋体２０の溝孔２３から突出させるコイルバネ４７と、リンクプレート４１の最末端部４３側に穿孔され、蓋体２０外部から操作ピンが挿入される操作孔４８とから構成し、操作孔４８を正面略楕円形に形成してその蓋体２０の左右内方向側に位置する周縁部を直線的な縦平坦部４９とする。 （もっと読む）

【課題】ワークに力が加わるような処理を行う場合にもワークを確実に密着固定できると共に、処理後のワークの脱離も容易な固定治具並びにこの固定治具を用いたワークの処理方法を提供する。
【解決手段】治具本体２に、密着層３側の外面に開口する、区画空間６に連通しない吸着孔８が形成される。そして、吸着孔８に連通する貫通孔９を密着層３に形成し、吸着孔８の真空引きによりワークＷに吸着力を作用させる。 （もっと読む）