本発明は、物理的衝撃時の間におけるウェハの拘束を改良したウェハ容器に関する。複数の切欠を有する二次ウェハ拘束構造体は、容器のドアにおいて、対向するウェハ拘束部材の間に載置される。
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フォトマスクの貯蔵及び輸送に適切であり、コンテナ本体、カバー、第一及び第二のクッション、並びにコンテナ本体内に形成されたスロット内部に配置された左右の導管を含むコンテナ。一実施形態において、本発明のコンテナは、回転成形によってワンピース設計で形成される。次に、カバーが本体から分離され、十分に滑り込んで密封されるように切削され、その中に配置される。
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【課題】 蓋体の撓みに伴う蓋体開閉装置とのドッキング不良を抑制防止し、作動トラブルやパーティクルを含む気体が容器本体に侵入して基板を汚染することのない基板収納容器を提供する。
【解決手段】 開口した正面から挿入された半導体ウェーハＷを収納する容器本体１と、容器本体１の開口した正面に嵌入される蓋体２０と、容器本体１に嵌入された蓋体２０を施錠する施錠機構４０とを備え、蓋体２０を、容器本体１の開口した正面に嵌入される筐体２１と、筐体２１の開口した正面の両側部を覆う表面プレート２８とから構成し、筐体２１の中央部に、表面プレート２８方向に凹む凹部２４を形成する。そして、容器本体１に嵌入された蓋体２０の凹部２４からＳＥＭＩ規格のＦＤＰまでの距離を、表面プレート２８の表面２９からＦＤＰまでの距離よりも短くする。 （もっと読む）

【課題】パーティクルなどによる発塵を十分抑制することが出来る薄膜付基板の支持部材を提供する。また、このような支持部材を備え、薄膜付基板を高い清浄度に保ちながら保管できる薄膜付基板の収納に好適な収納容器を提供する。
【解決手段】マスクブランク等の薄膜付基板１を支持するための支持手段を備える支持部材２，５であって、支持手段の少なくとも薄膜付基板１と接触する部位の表面を、算術平均表面粗さ（Ｒａ）で０．１μｍ以下である平滑面とした。支持手段の少なくとも薄膜付基板１と接触する部位の表面は例えば樹脂材料で構成する。薄膜付基板１を固定状態に支持する支持部材を備える収納容器において、上記支持部材２、５を用いて薄膜付基板１を支持する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハを収納する収納用ケースを評価するにあたって、収納用ケースにおける不純物の発生の経時的な変化を短期間で確認することができる半導体ウェーハ収納用ケースの評価方法を提供すること。
【解決手段】合成樹脂からなる半導体ウェーハ収納用ケース１におけるウェーハ汚染物滲出の経時的変化を評価するにあたり、半導体ウェーハ収納用ケースに表面の不純物を測定した半導体ウェーハを収納して密閉状態とした後、半導体ウェーハ収納用ケースをクリーンルームでの保存等、所定の標準環境下にて保存し、保存後の半導体ウェーハ収納用ケースに対して湿気を付与ないし除去する吸放湿処理を施し、この吸放湿処理の後、半導体ウェーハ表面における不純物を再度測定して、密閉前の測定結果と比較するようにする。 （もっと読む）

【課題】ティースの正規の位置に基板を復帰させてその取り出し作業を容易にしたり、基板の破損を抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷを収納する容器本体と、容器本体の内部両側に配設されて半導体ウェーハＷを略水平に支持する複数のティースと、容器本体内に装着されて半導体ウェーハＷの後部周縁を保持溝３２を介して保持するリヤリテーナと、容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備える。そして、複数のティースの後方に、容器本体を蓋体により嵌合閉鎖した場合に半導体ウェーハＷの両側部周縁に傾斜面５１を接触させて半導体ウェーハＷを上下方向に案内する複数のガイド溝５０を設け、各ガイド溝５０を形成する傾斜面５１の傾斜角度をリヤリテーナ３０の保持溝３２を形成する傾斜面３３の傾斜角度よりも小さく設定する。 （もっと読む）

並列ウエハ処理リアクタのための基板キャリアは、複数の基板を支持する。上記基板キャリアは、垂直スタックに水平に配列されるサーマルプレート又は環状リングでよい複数のサセプタを含む。上記基板は、サセプタの対の間でそれらサセプタの外周をめぐって設けられた２つ又はそれ以上のサポート上に取り付けられる。サセプタの各対の間に取り付けられる基板の数は、同じであっても異なっていてもよいが、サセプタの少なくとも１つの対の間では２つ又はそれ以上である。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程における半導体基板の待機中或いは搬送中に、大気中の水分等不純物の半導体基板への付着を制御できる基板収納装置及びその不純物制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 ガス流量を適切にフィードバックした基板収納装置及び基板収納装置内の不純物制御方法を用いることにより、半導体製造工程間における不純物による半導体基板への悪影響、例えば配線の腐食、自然酸化膜の形成等を防止する。 （もっと読む）

【課題】液晶基盤のような基盤材料を安全に搬送する容器の提供および容器内部に用いる底上げ装置の提供。
【解決手段】本発明の基板搬送用容器は、発泡樹脂製の有底角筒状体であり、該有底角筒状体の対峙する内周壁に基板支持溝１６が形成された容器本体部１２と、容器本体部の開口を覆うように着脱自在に装着される発泡樹脂製の蓋体部４５と、容器本体部１２の少なくとも該基板支持溝１６が形成された対峙する内周壁面に、該内周壁面に僅かな空隙を形成して配置された、該内周壁面と略同一の表面形状に賦形された壁面基板支持用樹脂シート２２ａ、２２ｂと、好適には、表面に基板支持溝３６が形成された発泡樹脂製の板状体であり前記容器本体部１２に収容本体部の底部に収納されて、容器本体の配収壁に形成された基板支持溝と共同して基板を保持すると共に、上記壁面基板支持用樹脂シート２２ａ、２２ｂの倒れ込みを防止する底上げ部材３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースから別のケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替、ガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置、ガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する。
【解決手段】レチクルＲが載置される底部材１２と、底部材１２に載置されたレチクルＲを覆うように底部材１２に合わせられ底部材１２との間に空間部を形成する蓋部材２０と、底部材１２又は／及び蓋部材２０に設けられ蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態で空間部を気密にするシール部材１８と、蓋部材２０に設けられ底部材１２に引っ掛けられて蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態を維持するフック部材２４と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】 刺激を与えることにより被着体を損傷することなく容易に剥がすことができ、しかも保存安定性に優れる両面粘着テープを提供する。
【解決手段】 基材の少なくとも一方の面に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有する両面粘着テープであって、前記粘着剤層は、イソボロニルアクリレートセグメントと、２−エチルヘキシルアクリレートセグメント及び／又はブチルアクリレートセグメントとを主成分とし、かつ、分子内にラジカル重合性の不飽和結合を有するアクリル共重合体、並びに、ラジカル重合性の多官能オリゴマー及び／又はラジカル重合性の多官能モノマーを含有する両面粘着テープ。 （もっと読む）

【課題】 少数枚の基板の収納、保管、搬送に適し、効率的、経済的な基板収納容器及びその使用方法を提供する。
【解決手段】 ２枚の半導体ウェーハを上下に整列収納する容器本体１と、容器本体１の開口した前面を着脱自在に開閉する蓋体２０と、蓋体開閉装置からの外部操作に基づき、容器本体１の前面を嵌合閉鎖する蓋体２０を施錠・解錠する複数のロック機構４０とを備える。そして、容器本体１を、樹脂にカーボンナノチューブを添加した成形材料により射出成形する。２枚という少数枚の半導体ウェーハの枚数に応じて基板収納容器を薄く低く構成したので、サイズ等が必要以上に大きくなることがない。したがって、効率や経済性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。
【解決手段】ウェハー搬送モジュールのシェル５８には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置とのインターフェース部と、ウェハーを支持するためにウェハー搬送モジュール内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。また、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能なハンドル２８に設けられた係合部材と協動する係合部材を備えた溝７８を有している。ハンドル２８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位置へロックするための戻り止めが設けられている。 （もっと読む）

【課題】フープ内でＰ、Ｃｌ_２等の腐食性ガスが滞留することなく、処理済と処理前のウエハが混在しても、清浄な雰囲気を保つことができるフープを提供することを目的とする。
【解決手段】半導体製造プロセスにおいてウエハキャリアに用いられるフープにおいて、前記フープのシェルの内側に設けられるウエアを載置するためのセルであって、箱型形状に形成された前記セルの内側にウエハを載置するためのウエハサポートと、仕切られた箱状空間内にウエハを載置できるように前記ウエハサポートの間に仕切りが設けられていることを特徴とするフープである。また、前記セルが導電性を有するか、又は帯電防止処理されており、かつ前記シェルの上面、前記セル、及び前記シェルの下面が導通する部材を用いて構成されていることを特徴とする。さらに、前記セルのウエハの出し入れ側に対抗する反対側に開口部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】金属製の留め具を利用することなくハンドルを取付けたり取り外したりできるウェハー搬送用のウェハー搬送モジュールの提供。
【解決手段】ウェハー搬送モジュールのシェル５８には開閉可能なドア２４が備えられている。中央支持構造６０はシェル５８の底部において露出する処理装置とのインターフェース部と、ウェハー３８を支持するためにウェハー搬送モジュール２０内を上方に延びる一体構造のウェハー支持コラム９２とを有する。また、シェル５８の側壁７４、７６には、取り外し可能なハンドル２８に設けられた係合部材と協動する係合部材を備えた溝７８を有している。ハンドル２８には、このハンドル２８を側壁７４、７６の所定の位置へロックするための戻り止めが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 物品を固定する部材の機能を工夫することにより、トレイ内での収納品の固定と取り出し易さとの両立を図ったトレイを提供する。
【解決手段】 自己吸着層を有する面状の自己吸着部材３を、トレイ１の容器２の底面５に設ける。自己吸着層は自己粘着層とも呼ばれるものであるが、名称とは異なって粘着性はほとんど無く、物品と接触するとその表面と隙間無く密着する特性を有しているものである。この自己吸着層を有する自己吸着部材３をトレイ１の底面５に設けることで、収納品７は自己吸着層と密着して固定される。一方、収納品７の取り出しは小さな力で容易に行うことができる。また、自己吸着層の表面を洗うことにより、繰り返し使用も可能である。 （もっと読む）

【課題】 基板を安全に保管及び運搬することができ、特に大型基板の場合にも基板の撓みを最大限減らすことができ、防振部材を設けて外部の衝撃で発生する振動を減らすことによって、さらに安全に基板を保管及び運搬することができる基板積載用カセットを提供する。
【解決手段】 複数の基板を積載するための基板積載用カセットにおいて、前記基板を積載するように積載空間を形成するフレームと、両端部が前記フレームに結合されて前記フレームに水平方向に設けられ、前記フレームの上下方向に離隔配置された複数の支持台と、前記基板を積載するロボットアームが前記支持台と干渉しないように前記各支持台に起立設置されて前記基板を支持する少なくとも一つの支持ピンと、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

高温高強度ポリマーおよび少なくとも１つの金属酸化物および、任意の少なくとも１つのピグメントの混合物から製造する、例えば、マトリックス・トレイ、チップ・トレイ、およびウェハ・キャリヤなどの電子部品を処理するための静電放電を起こさない装置に関する。金属酸化物を導電性材料として使用すると、色の薄い静電放電を起こさない材料を有利に作成可能である。このような材料は、材料の性能仕様を劣化させることなく、ピグメントにより着色することができる。
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【課題】 ウェハーの性能を保持すると共にウェハーケースに対するウェハーの出し入れ
の効率化を図ったウェハー搬送容器を提供する。
【解決手段】 第１，第２端壁７，９の他方の中央に支持軸１３で回動可能に一体にして
、ウェハー押さえ２４はウェハーＷを均一に押さえるようにし、第１，第２ウェハーケー
ス２Ｃ，２Ｄの相対回動時に共回りする現象、すなわちウェハーとウェハー押さえ２４と
の摩擦による異物粒子の発生、及びこれによるウェハーＷの性能劣化を抑える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、基板の収容や取出しの際の作業が容易で、しかも積載効率に優れる板状体搬送用ボックスを提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の板状体搬送用ボックスは、同じ寸法の板状体Ｐを該板状体Ｐの面に対して互いに平行に複数収容する収容部１と、該収容部１の内面の相対向する一対の面に相対向して形成されている板状体支持用の溝部２とを少なくとも有し、該溝部２に形成されている溝５の底部８の位置が隣り合う溝ごとに異なる。 （もっと読む）