【課題】
主要部が発泡合成樹脂からなる基板搬送用容器であって、容器本体に対するガラス基板の出し入れが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、これにより欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供すること。
【解決手段】
底壁部４ａおよびこの底壁部４ａから一体的に立ち上げられた一対の長側壁部、および一対の短側壁部が、それぞれ断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱板１０，１２，２０が、発泡合成樹脂からなる外容器本体の内側に着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板１０，１２，２０に、さらに予め別体で形成された樹脂製のシート部材１４，１６，１８が着脱自在に装着され、シート部材と内側断熱板との間に若干の隙間が確保されている。 （もっと読む）

環境の間で物体を移送するための移送容器が記載される。移送容器は、筐体と、浄化材料を含む浄化器とを備え、浄化器は、筐体に取り付けられ、かつ筐体内に流れる流体を浄化するように構成され、移送容器はさらに、筐体に取り付けられ、浄化器を通って筐体内へ流体を推進させるための流体推進手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 薄板状の物品を一枚ずつ載置して、複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもトレイに由来するダストが発生しない枚葉搬送用トレイと、このトレイを保持するトレイマガジンを提供する。
【解決手段】 枚葉搬送用トレイ１の上下の積み重ね部の所定位置に上下に貫通する吸引孔２０ａを設けた。また、上下の積み重ね部をクリーン対策材料からなる樹脂ブロック８で構成した。更にこれら枚葉搬送用トレイ１を積み重ねた状態で保持するトレイマガジンには、その最下段又は最上段のトレイの吸引孔２０ａから吸引する様にした。 （もっと読む）

【課題】板状物を一枚ずつ載置し、搬送し、複数枚積み重ねた状態で保管することのできる枚葉搬送用トレイであって、収容する板状物にトレイからダストが付着することがない枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】外枠２間に桟４を架け渡すことによってワーク載置部３１を形成する枚葉搬送用トレイ１であって、桟４の両端を外枠２に接合するとともに、その接合箇所３をワーク載置部３１の外側に設けた。 （もっと読む）

【課題】 薄板状の物品を一枚ずつ載置して搬送する枚葉搬送用トレイであって、小さなピッチで積み重ねることが可能で、かつ充分な強度を備えた枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】 枚葉搬送用トレイの外枠２の断面形状を、フランジ１４，これより少し高い外側平坦部１１、これに連続して下降する傾斜部１３、この傾斜部１３の下方に連続する内側平坦部１２とで形成する。傾斜部１３の高さを適宜調整して、外枠２に要求される強度を得る。傾斜部１３を、積み重ねたときに上方から別のトレイが入り込む受容部として構成する。 （もっと読む）

【課題】 表面保護フィルムをウェーハから容易に剥離できるようにする。
【解決手段】 ウェーハ（１２０）のフィルム貼付面に貼付けられているフィルム（３）を剥離するフィルム剥離装置（１００）において、ウェーハのフィルム貼付面が上面になるようにウェーハを吸着するウェーハ吸着手段（３１）と、フィルム貼付面上に剥離テープを繰出す剥離テープ繰出手段（４２）と、ウェーハの縁部において剥離テープの一部分のみをウェーハのフィルムに対して押圧して加熱する加熱手段（８０）とを具備し、それにより、剥離テープの一部分において該剥離テープとフィルムとの間の接着力を高めるようにし、さらに、接着力の高められた剥離テープの一部分を剥離開始箇所（７５ａ）として、剥離テープによってウェーハのフィルム貼付面からフィルムを剥離する剥離手段（４４）を具備するフィルム剥離装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】現場組立可能な板金構造体でありながら、板状物の収容高さを低く抑え、かつ、この板状物を載置する桟の強度を向上させることができる枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】外枠間に桟４を架け渡すことによってワーク載置部を形成する枚葉搬送用トレイであって、桟４の断面形状を、外枠への平坦な取付部２５の間に上方に突出する膨出部２６を設けたハット型とした。 （もっと読む）

【課題】 薄板状の物品を一枚ずつ載置して搬送する枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもトレイに由来するダストが発生しない枚葉搬送用トレイを提供する。
【解決手段】枚葉搬送用トレイ１の外枠２には、耐磨耗性の高い樹脂ブロック８が固定されており、積み重ねられた枚葉搬送用トレイ１との接触部を構成している。樹脂ブロック８には、上下に嵌め合わせることのできる位置決め部が設けられている。また、樹脂ブロック８には、トレイマガジンの爪によって支持される被支持部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 生産性の高いバッチ式研磨装置にてナノトポグラフィの悪化を抑制するとともに、ベースプレートからウエハを剥離する際、ウエハに損傷を与えることなく剥離できるウエハ剥離装置及び研磨ライン装置を提供する。
【解決手段】ベースプレート１１と、前記ベースプレート１１上の所定の位置に設けられ、貼付されるウエハＷの裏面と側周部に面接触するテンプレート９と、前記テンプレート９及びベースプレート１１に形成された貫通する複数の貫通穴１１ａと、前記貫通穴１１ａに挿通可能に設けられ、テンプレート９上方に突出可能な複数の押し上げピン６ｃと、前記複数の押し上げピン６ｃを昇降動作させる昇降手段６ｂとを備え、前記昇降手段６ｂによって押し上げピン６ｃを上昇させて、テンプレート９上に貼付されたウエハＷの裏側を押し上げ、前記ウエハＷをベースプレート９から剥離する。 （もっと読む）

【課題】分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられたウエーハを、分割予定ラインに沿って正確且つ確実に分割する。
【解決手段】複数の分割予定ラインに沿って強度が低下せしめられているウエーハを、分割予定ラインに沿って分割するウエーハの分割装置であって、ウエーハの一方の面に貼着した保持テープを保持するテープ保持手段４４と、テープ保持手段４４に保持テープを介して保持されたウエーハを分割予定ラインの両側において保持テープを介して保持するための所定方向に延在する保持面を備えた保持部を有する第１の保持部材５aおよび第２の保持部材５bと、第１の保持部材５aと第２の保持部材５bを離反する方向に移動せしめる保持部材移動手段５３とからなるウエーハ破断手段とを具備し、第１の保持部材５aの保持部５１１および第２の保持部材５bの保持部５１２は静電チャックによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】 例え蓋体の押圧力や容器本体の固定力を小さくしても、容器本体の変形、基板の位置ずれや傾斜、基板の汚染のおそれ等を抑制でき、しかも、容器本体を蓋体で有効に閉鎖できる基板収納容器の蓋体開閉方法を提供する。
【解決手段】 蓋体開閉装置により容器本体２０の開口したリム部２４を蓋体３０で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、容器本体２０の開口したリム部２４に蓋体３０を予め設定された押圧力で対向させ、容器本体２０に収納された半導体ウェーハＷの前部周縁に蓋体３０のフロントリテーナ３３を接近させた状態で停止させ、施錠機構４０の回転体４２の操作を開始して容器本体２０の係止穴４１に蓋体３０の係止爪４７を嵌合するとともに、回転体４２の操作の継続により係止穴４１と係止爪４７との嵌合部Ｅを起点としてリム部２４に蓋体３０を嵌入し、半導体ウェーハＷの前部周縁を蓋体３０のフロントリテーナ３３に保持させ、リム部２４を蓋体３０によりシール状態に閉鎖する。 （もっと読む）

【課題】 アウトガスがより少なく、静電気によるパーティクルの付着がより少ない、精密部材収納容器を提供する。
【解決手段】 熱可塑性樹脂１００質量部に対して、導電性化合物を１〜１０質量部含有した導電性樹脂からなり、前記導電性樹脂は、８０℃にて６０分放置した時に熱脱離する揮発性有機ガスの総発生ガス量が０．３ｐｐｍ以下であり、表面抵抗値が１０³〜１０⁸Ωであることを特徴とする。熱可塑性樹脂が粘度平均分子量１００００〜３００００のポリカーボネート樹脂であり、導電性化合物がＤＢＰ吸油量が３００ｃｍ³／１００ｇ以上、ＢＥＴ比表面積が５００ｍ²／ｇ以上の導電性カーボンブラックであること、前記ポリカーボネート樹脂は、ペレット２ｇを１００ｍｌの超純水に入れ、５０℃で３時間加熱した時に溶出するイオンの溶出液濃度の総量が８ｐｐｂ以下であること、また、前記ポリカーボネート樹脂は、安定剤及び離型剤の添加量がが５００ｐｐｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 ゲルシートを用いたウェハキャリアにおいて、真空源を用いることなく、ウェハを除去する。
【解決手段】 トレイ１の上にゲルシート２を設け、それらの間に、磁性分散液３および磁性体５を封入した構造とする。ウェハ４を除去する際には、トレイ１の裏面側に、磁石６を所定間隔で配置する。すると、磁石６の直上に磁性体５が偏在し、その分布に応じてゲルシート２の表面に凹凸が形成される。このため、ゲルシート２とウェハ４の接触面積が減少する。これにより、ウェハ４は、ピンセット７で容易に除去することができる。
従って、真空源を用いることなく、ウェハ４を除去することができる。 （もっと読む）

【課題】複数の液晶表示パネルを収納凹部にずれ動くことなく収納できるようにした収納トレイを提供することにある。
【解決手段】合成樹脂によって成形されたトレイ本体１と、平面形状が四角形で、トレイ本体の上面に開口して形成されるとともに、内面が深さ方向下端から上端に向かって外方に傾斜したテーパ面１１に形成され内部に複数の液晶表示パネルが積層して収納される複数の収納凹部４と、収納凹部の内面の一部に垂直に形成され収納凹部に収納された液晶表示パネルの外周面を支持して液晶表示パネルが収納凹部内で水平方向にずれ動くのを阻止する垂直支持部１２とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 保持枠が変形せず、ペリクル膜が変形することのない、取扱い及び搬送が容易で、簡単な構造で補強することのできるリソグラフィ用大型ペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】 一辺の長さが300mm以上で、外形が４辺以上の辺より構成される枠体でペリクル膜を保持する大型ペリクルを収納する収納容器であって、該収納容器が樹脂で形成され、外形の少なくとも一部が収納容器より大きな容器補強体上に、該収納容器が載置又は載置後接合されてなることを特徴としている。なお、収納容器は、ペリクルを収めるカバーと該カバーを支持・運搬するためのトレーから構成されている。この容器補強体には、持ち運び用の取っ手を設けるとよい。また、容器補強体は、金属製又は樹脂製、あるいは樹脂と金属の複合材料や、樹脂と無機材料の複合材料で構成するのが好ましい。無機材料には、炭素繊維が挙げられる。 （もっと読む）

【課題】耐熱性、平面維持性をより高いレベルで保持し、熱に対するフィルムの反りのないポリイミドフィルムを基材として使用した、半導体加工時の破損、剥がれなどのない優れた半導体保護用粘フィルムを提供する。
【解決手段】ベンゾオキサゾール構造を有する芳香族ジアミン類と、芳香族テトラカルボン酸無水物類とを反応させて得られるポリイミドベンゾオキサゾールを主成分とするフィルムで長手方向（ＭＤ方向）および幅方向（ＴＤ方向）の線膨張係数が２〜１６ｐｐｍ／℃であるフィルムを、基材フィルムとし使用し該基材フィルム上に粘着剤層を設けた半導体ウエハ保護用粘着テープ。 （もっと読む）

【課題】外力が加わっても、破損や収納不良が発生しにくく、半導体ウエハ等を一枚づつ収納しても、取扱や管理を容易に行うことが出来るウエハ収納容器を提供する。
【解決手段】湾曲弾接片１４は、この蓋体１３の裏面側に外周縁部から一定距離内側に離間して形成される円弧状装着溝部に、半嵌着されることにより、リップ部を下方に向けて突設させている。そして、内径方向へ向けて凹状となるように、両端部１４ｂ，１４ｂが湾曲されていて、この両端部１４ｂ，１４ｂが、周方向に離間した２箇所で、容器本体１１内に収納された半導体ウエハ４の外周縁４ａ，４ａに弾接して保持する。この湾曲弾接片１４の曲率半径は、半導体ウエハ４の外周縁部４ａの曲率半径よりも小さく、各端部１４ｂ，１４ｂが、半導体ウエハ４の外周縁４ａ，４ａに各々浅い角度で当接する。 （もっと読む）

【課題】基板との摩擦・摺動によるパーティクルの発生をより低減させる、基板収納容器を提供。
【解決手段】開口部を有し、基板支持部と、基板支持部よりもリア側に位置する位置規制部とが設けられた容器本体と、蓋体とを有する基板収納容器であって、前記蓋体閉鎖時に、リテーナの保持溝２５が基板１３の１端側を基板支持部から浮かせて保持し、基板１３の他端側は、基板支持部の支持面より下方の位置で位置規制部の側壁と接触して支持するものであって、前記リテーナは、蓋体内面に取り付け可能な係止部（取り付け部）を有するベース部材（枠体部）と、基板１３のそれぞれと当接するようにベース部材（枠体部）の向き合う側壁から延びる１又は複数列の弾性片と保持溝２５とを有するとともに、保持溝２５の最深部２８の下側の傾斜面２６を上側の傾斜面２７よりも急傾斜で長くなるように設定する。 （もっと読む）

【課題】 板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルタ基板を傷、破損から守り、保管、輸送に有効な基板収納容器を提供する。
【解決手段】 複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、前記支持台上に、前記支持台に載置された前記積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第１の蓋体と、前記第１の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第２の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】 極めて薄いシンウエハーを安全にかつ確実に支持することができると共に容易に出し入れできるようにする。
【解決手段】 内部に１枚のシンウエハー４Ａを収納する容器本体２と、当該容器本体２に取り付けられる蓋体３とを備えた枚葉収納容器１である。容器本体２側に位置して蓋体３を底面側から支持する底面支持部材３５と、蓋体３側に位置して上側表面側から支持する表面支持部材３６とを備えた。底面支持部材３５は、シンウエハー４Ａの中央部分を支持する中央支持部３７と、外周部分を支持する外周支持部３８と、径方向外方から支持する周縁支持部３９と、上記中央支持部３７と外周支持部３８とを一体的に結合する環状板部４０を備えた。表面支持部材３６は、シンウエハー４Ａを上側から覆う円盤部４３と、上記底面支持部材３５と共に上記シンウエハー４Ａを挟むようにして支持する当接部４４，４５とを備えた。 （もっと読む）