【課題】 製品（分割片）の歩留まりや品質を向上し得るダイシングシートおよびレーザダイシング方法を提供する。
【解決手段】 ウェハＷの裏面に接着されるエキスパンドテープ２０には、ウェハＷの割断予定線Ｄevに沿って長穴２１が形成されている。これにより、ウェハＷの割断によって発生するパーティクルを、当該エキスパンドテープ２０の長穴２１を介してエキスパンドテープ２０の他の面２０ｂ側に吸引することが可能となるので、ウェハＷを割断した半導体チップＳＣの歩留まりや品質を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】被粘着物を十分な保持力で保持可能であると共に容易に取り外すことができ、耐久性に優れた保持治具を提供する。
【解決手段】保持治具１は、周壁部２０と、前記周壁部２０で包囲された内部空間２２に形成された少なくとも一つの凸状体３０と、前記周壁部２０と前記凸状体３０との間隙部に連通する通気孔４０とを有する基体１０、及び、前記基体１０上に接着固定又は密着固定され、前記凸状体３０上に位置する上面に弱粘着部又は非粘着部を有する粘着性シート５０を備え、前記凸状体３０は曲面部又は面取部３３を有する頂部とを備える。 （もっと読む）

【課題】精密基板の収納の有無にかかわらず容器本体等を検知することができ、しかも、容器本体等の大部分を不透明にする必要がなく、精密基板を検出するセンサの機能を維持できる精密基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハからなる複数枚の精密基板を整列収納する透明の容器本体１と、容器本体１の開口した正面をシール可能に開閉する着脱自在の蓋体とを備える。また、容器本体１の底面と天井とに、加工装置２０の区画室２１に設置された光電センサ３０の発光素子３２から受光素子３３に照射された光線３１の光線透過率を１０％以上減衰させる遮光領域４０をそれぞれ形成する。容器本体１の底面と天井に、光線３１を遮蔽する遮光領域４０を成形するので、容器本体１が透明でも、光電センサ３０の検知に支障を来たすことがない。 （もっと読む）

【課題】大型の薄板体を大量に収納する場合であっても軽量化を図ることができる薄板体収納容器を提供する。
【解決手段】内部に半導体ウエハを複数枚収納するとともに、半導体ウエハを出し入れするための開口部２６を有する容器本体２０と、開口部２６を開閉自在に蓋する蓋体と、蓋体で開口部２６を蓋したときに容器本体２０を気密に密閉するシール材と、側面部２３、２４の内面に形成され、半導体ウエハを軸方向に離間し、かつ、平行に配列支持する薄板体支持部３０とを具備し、容器本体２０を構成する部材には、中空部２０ａが形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハや半導体チップに貼り付けた粘着テープを、半導体ウエハや半導体チップを破損したり、糊残りしたりすることなく、容易かつ確実に剥離することができる粘着テープの剥離方法を提供する。
【解決手段】光重合開始剤を含有する光硬化型粘着剤層を有する粘着テープが貼付された半導体ウエハ又は半導体チップに光を照射することにより、前記光硬化型粘着剤層を硬化させ、前記半導体ウエハ又は前記半導体チップから前記粘着テープを剥離する粘着テープの剥離方法であって、照射する光は、ピーク波長が前記光重合開始剤の硬化の開始のトリガーとなる反応を引き起こす反応波長域内にあり、かつ、波長幅が１００ｎｍ以下で粘着テープの剥離方法。 （もっと読む）

【課題】低コストで嵩張らず、リサイクルも容易で、運搬等の際に受ける衝撃による破損・損傷から内容物（ウエハ）を守ることのできるウエハ収納用容器を提供する。
【解決手段】本発明のウエハ収納用紙製容器は、段ボール製の箱体１０と、板状のウエハ把持部１１ａを有する把持部組立体１１と、把持部組立体１１を箱体１０内に固定するウエハ固定部１２と、から成る。ウエハ把持部１１ａは互いに平行に並べたウエハを１枚ずつ把持するが、ウエハ把持部１１ａのウエハを把持する部分を鋭角のＶ字形の凹部とし、ウエハの中心に向けて設けることで、より安定的にウエハを固定して耐衝撃性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】剥離開始箇所の適切な形成およびウェーハの破損を防止する表面保護フィルム剥離方法および表面保護フィルム剥離装置を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ１の表面全体に加熱ブロック１２を近接し、加熱ブロック１２によって表面保護フィルム３全体を加熱し、それにより、半導体ウェーハ１と表面保護フィルム３の間にある気泡を膨張させ、半導体ウェーハ１と表面保護フィルム３の密着力を弱めた後、半導体ウェーハ１から表面保護フィルム３を剥離する。 （もっと読む）

【課題】 従来と比べて半導体チップの搬送コストを低くすることができる半導体チップ収容トレイを提供する。
【解決手段】 本発明に係る半導体チップ収容トレイ１は、複数積み重ねて使用される半導体チップ収容トレイであって、ベース板１ａと、ベース板１ａの上面に設けられ、半導体チップを収容する複数のエリア１ｂの境界に沿って部分的に設けられた上面リブ２と、ベース板１ａの下面に、エリア１ｂの境界に沿って部分的に設けられることにより、半導体チップ収容トレイ１が複数積み重ねられた場合に上面リブ２と噛み合う、下面リブとを具備する。積み重ねられた場合に上段のベース板１ａと下段のベース板１ａの間隔が従来と比べて小さくなるため、紙を用いる必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウェーハをストックしたり、専用の装置が停止しても、他の装置で処理することのできる固定キャリア及びその使用方法を提供する。
【解決手段】 剛性を有する支持基材１と、支持基材１の表面周縁部に接着されて半導体ウェーハを着脱自在に保持する変形可能な保持層１０とを備え、半導体製造後工程で使用される固定キャリアであって、支持基材１と保持層１０との間に区画空間３を形成し、支持基材１に、保持層１０の裏面を支持する複数の突起５を配設するとともに、支持基材１に、区画空間３に連通する給排孔４を穿孔し、保持層１０を、区画空間３内の空気を外部に給排孔４を介し排気することにより変形させ、保持層１０の変形により半導体ウェーハを取り外す。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の製品を加工する際に使用される粘着シートであり、加工中に半導体ウエハ等を汚染したり破損することがない粘着シートを提供すること。
【解決手段】 粘着シートは、基材、中間層及び粘着剤層をこの順に有する粘着シートであって、この中間層が、ウレタンポリマーとビニル系ポリマーとを有効成分として含有する複合フィルムにより形成されており、このウレタンポリマーは微分分子量曲線における重量平均分子量が１万以下の成分の含有量が１０％未満である。 （もっと読む）

【課題】客先での使用時に、精密基板収納容器をハンドリング中に落下させたり、衝撃を与えたりして、精密基板を破損させたり、汚染させたりすることを防止できる精密基板収納容器の付属部品取り付け取り外し治具を提供する。
【解決手段】精密基板を１又は複数枚収納可能な精密基板収納容器の外壁に取り付けられる付属部品の取り付け取り外し用の冶具２０であって、前記付属部品の取り付け取り外し用の冶具２０は、把持可能な本体部２１を有し、前記本体部２１の一端には、前記付属部品の係止部と係合する溝部２２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 周縁部端面が断面略半円形に湾曲した薄板を液体を用いて加工しても、表面に液体が付着するのを抑制できる固定搬送治具を提供する。
【解決手段】 支持基材１と、支持基材１の周縁部２に貼着され、周縁部端面３１が断面略半円形の半導体ウェーハ３０を保持する保持層２０とを備え、支持基材１と保持層２０を半導体ウェーハ３０よりも拡径に形成し、支持基材１と保持層２０間に区画空間４を形成するとともに、支持基材１に、区画空間４用の給排孔を穿孔し、支持基材１の表面３には、保持層２０に接触する突起群１１を形成する。区画空間４を、半導体ウェーハ３０の周縁部に保持層２０を介し対向する気体充填空間５とそれ以外の気体給排空間６に分割するとともに、突起群１１を、半導体ウェーハ３０の周縁部に保持層２０を介し対向する区画支持突起１２とそれ以外の支持突起１４に分割し、支持基材１に、気体充填空間５に空気を流入させる流入孔７を穿孔する。 （もっと読む）

【課題】 加工中又は搬送中には十分な保持力で部品を保持固定でき、完成後には部品を容易に取り外すことができて、部品を破損させることがなく、特に薄板状の電子部品の取り扱いに適した部品保持具を提供する。
【解決手段】 上面に非粘着面若しくは弱粘着面を有する固定部４の平面内に、固定部４の上面よりも粘着力の大きな強粘着面５を上面に有する可動部６が配置されている部品保持具１であって、部品取り付け前の初期設定時には可動部６の上面が固定部４の上面と同一若しくはより高い位置にあり、かつ、部品取り外し時には可動部６の上面を固定部４の上面より低い位置に変更する切替手段を備える。 （もっと読む）

【課題】合成樹脂発泡体で作られており、容器本体１０と、容器本体に収容した板状体Ｐの対向する２つのコーナー部に取り付ける緩衝パッド３０と、緩衝パッドを取り付けた状態の板状体に上から被せるようにして用いられる蓋体２０とからなる板状体の搬送容器Ａにおいて、蓋体２０を被せる作業を容易に行いうるようにして梱包作業の容易化を図る。
【解決手段】緩衝パッド３０の垂直部３２の外側面３５に、全幅方向にわたる厚さ方向の切り欠き部３８が形成する。蓋体２０が傾斜して、偶部２６が緩衝パッド３０の外側面３５に食い込んだときでも、その食い込みは偶部２６が切り欠き部３８に達したときに開放されるので、蓋体２０は容易に水平姿勢に復帰することができる。 （もっと読む）

【課題】ケース内でのパーティクルの発生を抑制することができ、製品の品質および歩留の低下を抑えることができるレチクル収納ケースを提供する。
【解決手段】レチクル１を水平に保持するレチクル保持体２ｂを有する下皿２ａと、レチクル１を上部から弾性的に押さえつける押圧体３ｂを有する上蓋３ａとで構成し、レチクル保持体２ｂは金属のようなプラスチック樹脂よりも堅い材料で形成されており、その形状は丸みを帯びた上部凸型とする。 （もっと読む）

【課題】 粘着剤がダイに付着したり、フレームに残存するのを抑制防止し、大きな圧力を加えてもフレームからダイシング層がずれたり、外れるのを防止できる半導体ウェーハのダイシング用フレームを提供する。
【解決手段】 １２インチの薄い半導体ウェーハを隙間をおいて収容包囲する中空のフレーム１と、フレーム１の裏面４に貼着されて収容包囲された半導体ウェーハを着脱自在に粘着保持する可撓性のダイシング層２０とを備える。フレーム１の裏面４の中空部周縁をダイシング層２０用の被貼着領域５とし、被貼着領域５をランダムな凸凹に粗してその複数の凸部６を鋭利な略スパイク形に形成し、各凸部６をダイシング層２０の表面周縁部に食い込ませる。エキスパンド装置にダイシング用フレームが強く圧接されても、凸部６のスパイク作用により、フレーム１からダイシング層２０がずれたり、外れてしまうおそれを排除できる。 （もっと読む）

【課題】
主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
基板搬送用容器の前記容器本体が、断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱板１２，１２が発泡合成樹脂からなる外容器本体５０の内側に着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板１２，１２のさらに内方に、予め別体で形成された樹脂製のシート部材１６，１６が着脱自在に装着され、内側断熱材１６は、容器本体４の開口部に臨む位置から内方に向かう程、肉の厚さが漸次薄くなるように勾配が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
容器本体内などに乾燥剤を収納した場合でも、乾燥剤の落下に起因した基板の損傷が生じない基板搬送用容器を提供する。
【解決手段】
略矩形平板状のガラス基板が、少なくとも前記容器本体内の底壁および一対の側壁からなる３辺に所定間隔離間して形成された基板係止溝に係止された状態で搬送される基板搬送用容器であって、
容器本体４の底面に配置される内側断熱板２０には、厚さ方向に凹所２０ｄが形成され、かつ前記内側断熱板２０の上部に着脱自在に配置されるシート部材１８に、前記凹所２０ｄに連通するスリット２３が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】主要部分が発泡合成樹脂から形成された基板搬送用容器の内壁構造であって、容器本体に対するガラス基板の装着および取出しが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、かつ、基板の欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器の内壁構造を提供する。
【解決手段】容器本体の基板収容部は、矩形平板状の発泡合成樹脂製の内側断熱板１２と、この内側断熱板１２の表面を覆う薄いシート部材１６とから構成されるとともに、前記内側断熱板１２と前記シート部材１６とに形成された基板係止溝の凹凸部に、内方の内側断熱板と外方の樹脂シートとの間にクッション用隙間Ｈが確保されている。 （もっと読む）

【課題】
主要部が発泡合成樹脂からなる基板搬送用容器であって、容器本体に対するガラス基板の出し入れが容易であるとともに、搬送中の基板の不用意な上下方向への移動を防止し、これにより欠けや割れなどを生じさせる虞の少ない基板搬送用容器を提供すること。
【解決手段】
底壁部４ａおよびこの底壁部４ａから一体的に立ち上げられた一対の長側壁部、および一対の短側壁部が、それぞれ断熱材による二重壁を構成するように、予め別体で形成された発泡合成樹脂製の内側断熱板１０，１２，２０が、発泡合成樹脂からなる外容器本体の内側に着脱自在に配置されているとともに、これら内側断熱板１０，１２，２０に、さらに予め別体で形成された樹脂製のシート部材１４，１６，１８が着脱自在に装着され、シート部材と内側断熱板との間に若干の隙間が確保されている。 （もっと読む）