電子部品の製造において用いられるレチクル用検出／クリーニング装置であって、検出／クリーニング装置がクリーニングユニットを有し、その中にクリーニングチャンバーが構成されている。圧縮液体クリーニング媒体の導入用の少なくとも１つのガス供給がクリーニングチャンバーへ通じる。ガスをクリーニングチャンバーから放出する少なくとも１つの吸引手段がクリーニングチャンバーから通じる。クリーニングチャンバーはレチクルを導入し且つ取り除く少なくとも１つの第１開口部を有する。半導体製造で用いられる品物の汚染を検出する検出ユニットが設けられる。検出ユニットは検出手段を有し、その中へレチクルが検出ユニットの１つの送り側から導入され得る。クリーニングチャンバーの第１開口部と送り側は互いに反対側にある。送り装置はクリーニングユニットと検出ユニットとの間のレチクルを交換するために設けられる。
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【課題】 基板の搬送における基板の位置ずれの発生を防止するとともに、全ての種類の基板の生産効率を最適化することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 ウエハ搬送装置３は、Ｌ／Ｍ１２内に配置された搬送アーム１３と、Ｌ／Ｍ１２の側面において半導体ウエハＷを収容するフープ１０Ａ〜１０Ｄに対応して設けられたシャッタ３７Ａ〜３７Ｄの前に配置された面粗度センサ３０Ａ〜３０Ｄと、ウエハ搬送装置３の各構成要素の動作を制御する制御部３６とを備え、面粗度センサ３０は、搬送アーム１３によってフープ１０から取り出された半導体ウエハＷの裏面の面粗度を測定し、制御部３６は、該測定された面粗度に基づいて搬送アーム１３による半導体ウエハＷの搬送速度を設定する。 （もっと読む）

【課題】平坦な物品を装置へまたは装置から搬送するための機器を提供する。
【解決手段】搬送ポッド１を、耐漏洩性の方式で処理装置９の物品通過開口部１１に結合することができ、シーリングが、間に配置されたインタフェース周辺ガスケット１６によって得られる。ポッドドア４を、インタフェースドア１２に選択的に固定することができ、これらドアを、１つのユニットとして、ドアアクチュエータ１４からの駆動の下で横断ストロークが後に続く軸方向ストロークに沿ってともに動かすことができる。搬送ポッド１は、保持手段１５によって保持される。２つのドアの周りの周辺容積２１を、ポンプ２２とダクト２３によってポンプ排気することができる。ポッドドア４を、ロック手段２０によって搬送ポッド１にロックすることができ、ロック手段２０は、搬送ポッド１が処理装置９から分離している間の良好なシーリングを保障する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハカセットなどのウエハ保持容器を経て搬送するウエハへの前記ウエハ保持容器でのパーティクルの付着をなくし、配線ショート等のパターン形成不良の発生を防止する。
【解決手段】 複数のウエハ処理工程間でウエハ４を保管するウエハ保管装置２０を、ウエハ４をウエハ表面４ａが上下方向に沿う向きに保持するウエハカセット１と、ウエハカセット１内に上下方向の気流を流す気流取り入れ口２３ａ，排気口２４ａなどからなる気流発生機構と、ウエハカセット１の上流部で前記気流に対してイオン化を行うイオン化機構２２とを備えた構造とする。これにより、ウエハカセット１内の雰囲気中のパーティクルや、複数枚保持されたウエハ４の内の他のウエハ４に付着していたパーティクルが、重力作用によってウエハ表面４ａに落下すること、および、ウエハ表面４ａへ静電吸着することを防止可能である。 （もっと読む）

【課題】 ウェハステージのステップ長が変わる場合であっても、オートフォーカスエラーのばらつきを良好に低減することができるステージ制御装置等を提供する。
【解決手段】 フィードバック制御部７０ａは、ウェハを保持するウェハステージのＸＹ平面内の移動に合わせてウェハステージのＺ方向の位置及び姿勢を、センサ７９の検出結果に応じてフィードバック制御する。フィードフォワード制御部７０ａは、ウェハ上のあるショット領域に対する露光処理を終えてウェハステージをＸ方向にステップ移動させた後で、他のショット領域に対する露光処理を行うためにウェハステージをＹ方向に同期移動させるときに、Ｘ方向へのステップ長に応じてウェハステージのＺ方向の位置をフィードフォワード制御する。 （もっと読む）

【課題】 搬送容器内で膜厚制御可能に酸化膜を形成する。
【解決手段】 搬送容器内酸化装置１０を、密閉式の搬送容器として使用するフープ１０ａに構成する。フープ１０ａには、フープ１０ａ内の環境を、酸化環境と非酸化環境とに適宜切り替える環境切換手段２０を設ける。環境切換手段２０は、フープ１０ａ内に開管したガス供給管２１と、ガス供給管２１に設けたフィルタ２２、ガス切換弁２３とから構成する。かかるフープ１０ａ内に半導体ウエハを収納して搬送する途中で、環境切換手段２０で、フープ１０ａ内を酸化環境に設定することで、所望膜厚の酸化膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】回転用モータの回転駆動力を搬送用アームに正しく伝達させるとともに回転駆動軸の回転角度を正確に検出することにより、搬送部における搬送対象物を正しい位置に搬送可能な搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の搬送装置１は、気密構造を有するハウジング６１内に、所定の同心回転軸を中心として互いに独立して回動可能に構成された第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃと、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃの所定の部位にそれぞれ取り付けられた永久磁石３２ａ〜３２ｃと、永久磁石３２ａ〜３２ｃと対応して設けられた電磁コイル３４ａ〜３４ｃとが配設されている。電磁コイル３４ａ〜３４ｃに対し所定の情報に基づいて駆動電流を供給して第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃを駆動し、第１〜第３駆動軸１ａ〜１ｃに固定された第１及び第２リンケージ１２ａ、１２ｂによって搬送対象物を搬送する。 （もっと読む）

【課題】 ノズルとノズルユニットの加工、組立てばらつきを吸収して、ステージとノズルとの距離を一定に調整することが可能な部品の製造方法及び部品製造装置を提供する。
【解決手段】 高さ設定ユニット４１と上下駆動ユニット２１との間に、ノズル３２を配置し、モータ２２を回転させて、高さ設定ユニット４１の一定高さを検知した時のモータ２２の駆動量を算出し、既知の上下駆動ユニット２１から高さ設定ユニット４１の一定高さまでの距離と、求めた上下移動ピン２４下端までの距離とから、その差をノズル３２の長さとして記憶させて、ステージ１６と上下駆動ユニット２１との距離、モータ２２の駆動量に対する上下移動ピン２４の下端の高さ位置、部品の高さ、及びノズル３２の長さを使用し、ノズル３２が部品の吸着位置に来るように上下移動ピン２４の上下移動量を設定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、搬送を行う基板の材質や反りにより基板の吸着力が低下しても、確実に静電吸着により基板を保持して、搬送を行う基板搬送装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明は、保持部に電極を形成し、電極に電圧を印加して、電極と被保持材との間に生じる電位差により電極と被保持材との間に静電保持力を発生させ、静電保持力により被保持材を保持して被保持材の搬送を行う搬送装置において、前記被保持材の搬送時に必要な必要保持力になるように、前記搬送装置の被保持材に対する静電保持力を変更することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 横型拡散炉への半導体ウエハの出し入れを安全に行うことができる半導体ウエハの熱処理装置を提供すること。
【解決手段】 この半導体ウエハの熱処理装置は、半導体ウエハ３を搭載するボート４と、このボート４を支持するフォーク５と、このフォーク５に接触する加重センサ８と、上記フォーク５のチルト量を調節するチルト量調節機構６と、上記加重センサ８の出力に基づいて上記フォーク５が略水平になるように上記チルト量調節機構６を制御するチルト量制御手段９ａとを備える。そして、上記チルト量制御手段９ａによって、上記半導体ウエハ３の重量を計測しながら上記フォーク５のチルト量を自動的に変更するので、上記半導体ウエハ３の熱処理毎に手間をかけることなく、上記フォーク５を確実に略水平にすることができる。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、標準化機械インタフェース（ＳＭＩＦ）ポッドなどの搬送コンテナをパージングする方法およびシステムを対象にしている。詳細には、浄化されたパージガスを使用して、コンテナと密閉チャンバ（たとえば半導体処理ツール）を、密閉チャンバの環境に対する有機物および他の有害な汚染物質による有害な汚染を伴うことなくインタフェースさせることができるよう、前面作動統一ポッド（ＦＯＵＰ）および他の非気密封止搬送コンテナを浄化することができる。この方法およびシステムを使用して、電子材料を製造し、かつ、処理している間、ウェハ、半導体コンポーネント、および極めて清浄な環境への露出を必要とする他の材料などの対象を搬送することができる。
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本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル（２１）、ワークに対して所定の処理を施す処理部（３０）を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され，かつ，ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム（４１０）及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド（４２０）をそれぞれ有する一対のハンドラ（４０，４０’）、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット（７０）を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を，一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
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【課題】移載機ハンドの移載ポートに対する正確な移載位置を、人間の感覚に頼ることなく短時間で教示することができる無人搬送車の移載機ハンドのティーチング方法を提供すること。
【解決手段】移載機ハンドＨの移載機ポート１に対する移載位置を教示するに際し、移載機ハンドＨ側に所定の距離でターゲットＴを検出する位置検出センサ６を配設するとともに、移載機ポート１側に移載位置に合わせてターゲットＴを配設し、前記位置検出センサ６によってターゲットＴを検出することにより移載位置を教示する。 （もっと読む）

【課題】 処理容器内に晒される軸受をなくして、パーティクルの発生を完全に防止することができる枚葉式の処理装置を提供する。
【解決手段】 処理容器３２内にて載置台３８上に載置された被処理体Ｗに対して所定の処理を施す枚葉式の処理装置において、前記載置台を浮上させる浮上用磁石機構６０と、前記載置台の周縁部に設けた羽根部材４４と、前記羽根部材に対して不活性ガスを噴射させて前記載置台に回転力を付与する回転用ガス噴射手段６４とを備えるように構成する。これにより、処理容器内に晒される軸受をなくして、パーティクルの発生を完全に防止する。 （もっと読む）