【課題】ハンド部の位置ずれを検出し、ハンド部の位置を調整する。
【解決手段】レチクル中継部は、第２のロボット１８８のアーム１９０の一部（ハンド部１８０）に光Ｌ１、Ｌ２を照射する照射部１９７ａ，１９７ｂと、ハンド部とロードシェルフ２５とが所望の位置関係にあるときハンド部の異なる２箇所を経由した前記光を同時に受光可能で、所望の位置関係から外れたときは前記２箇所のうちの少なくとも１箇所を経由した光が受光不能となる光検出部１９９ａ，１９９ｂとを有する位置ずれ検出装置４５を備えている。このため、光の受光状況に基づいて第２のロボットがロードシェルフにレチクルＲを渡す際に、レチクルを保持したハンド部とロードシェルフとが所望の位置関係にあるか否か、すなわちハンド部１８０の位置ずれを確実に検出することができ、この検出結果に基づいてハンド部の位置を調整することができる。 （もっと読む）

本発明は、エピタキシャルリアクターの反応槽（３）内で回転するサセプタ（２）の位置制御するためのシステムに関する。その制御は、レーザー光線がサセプタ（２）に配されるピン（８）により反射されるとき、光源（１５）により伝播されるレーザービームの経路差に基づいて実行される。
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【課題】物体の位置ずれや落下等の不具合の発生を抑制しつつ処理速度を向上する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送アームによる物体の保持の有無を例えば吸着圧により検出し、保持無しと検出された場合における前記搬送アームが速度零から所定の移動速度Ｍａｘに到達するまでに要する時間ｔ１が、保持有りと検出された場合における前記搬送アームが速度零から当該所定の移動速度Ｍａｘに到達するまでに要する時間ｔ２よりも短くなるように、該搬送アームの移動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 カセットとトレイとの間におけるウェーハの移載を自動的に行うことができるとともに、ウェーハの移載を非接触で行うことができる基板移載装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハＷを収納した又は収納可能なカセット２と、ウェーハＷの収容位置を規定する載置部４１が面内に区画されたトレイ４と、カセット２とトレイ４との間においてウェーハＷを移載する基板搬送ロボット３とを備えさせるとともに、基板搬送ロボット３の基板保持部３Ａをベルヌーイチャック機構で構成し、載置部４１がウェーハＷの受け渡し位置に合致するようにトレイ４を位置合わせするアライメントユニット５０を備えさせる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルとノズルユニットの加工、組立てばらつきを吸収して、ステージとノズルとの距離を一定に調整することが可能な部品の製造方法及び部品製造装置を提供する。
【解決手段】 高さ設定ユニット４１と上下駆動ユニット２１との間に、ノズル３２を配置し、モータ２２を回転させて、高さ設定ユニット４１の一定高さを検知した時のモータ２２の駆動量を算出し、既知の上下駆動ユニット２１から高さ設定ユニット４１の一定高さまでの距離と、求めた上下移動ピン２４下端までの距離とから、その差をノズル３２の長さとして記憶させて、ステージ１６と上下駆動ユニット２１との距離、モータ２２の駆動量に対する上下移動ピン２４の下端の高さ位置、部品の高さ、及びノズル３２の長さを使用し、ノズル３２が部品の吸着位置に来るように上下移動ピン２４の上下移動量を設定する。 （もっと読む）

【課題】複数台を連結して移動可能であり、各種装置のポートとの間でウェハキャリアを搬出入する効率に優れる搬送台車を提供する。
【解決手段】搬送台車１００は、ウェハキャリア１０１を保持するアーム１０３を有する。搬送台車１００は、手押し操作により移動可能である台車本体１０６と、台車本体１０６に設けられている連結部Ａと、を備える。連結部Ａは、搬送台車１００の台車本体１０６と、隣接する他の搬送台車１００の台車本体１０６と、を連結するとともに、台車本体１０６と他の台車本体１０６とを連結した状態で、台車本体１０６に対する他の台車本体１０６の相対位置を調整可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数段の基板搬送ラインのそれぞれの搬送基準位置に対して搬送対象となる基板を容易に位置合わせすることができる基板搬送装置および基板処理装置を提供する。
【解決手段】昇降コンベア３０は、上段搬送ラインＵＴと下段搬送ラインＬＴとの間で昇降動作を行う。両搬送ライン間の搬送基準位置のずれに対処するために、上段搬送ラインＵＴおよび下段搬送ラインＬＴにそれぞれ上部位置決め部４０および下部位置決め部５０を設け、昇降コンベア３０が上段搬送ラインＵＴまたは下段搬送ラインＬＴに位置したときに、上段搬送ラインＵＴおよび下段搬送ラインＬＴのそれぞれの搬送基準位置に予め正確に微調整された球面凸状部材４６，５６と昇降コンベア３０に固設された第１円錐ブロック７１および第１Ｖブロック７２とを係合させることによって昇降コンベア３０を各搬送ラインの搬送基準位置に位置合わせするようにしている。 （もっと読む）

【課題】 ドラム型基板ホルダーの外周面に対して基板の取り付け、取り外しを、簡易な構成で容易に行うことができる薄膜形成装置を提供する。
【解決手段】 ドラム型基板ホルダー５を水平方向の回転軸を回転中心にして成膜室内に水平状態で回転自在に支持し、基板１２を固定保持した基板固定治具１３をアームでドラム型基板ホルダー５の外周面上に水平に搬送することで、ドラム型基板ホルダー５の外周面の角部５ａに設けた固定装置１４で基板固定治具１３の端部１３ｂを固定することができる。 （もっと読む）

【課題】 マルチポジションストップ機構を提供することである。
【解決手段】 互いに接触する間に移動可能な第１および第２の対象物間の複数のストップポジションを提供するためのマルチストップ機構。本発明のマルチストップ機構は、マルチストップ機構を第１の対象物および／または第２の対象物に固定するハウジングと、このハウジングに回転可能にマウントされた回転可能なシャフトと、この回転可能なシャフトに位置づけられた複数のストップとを含む。シャフトがハウジング内で回転するときに、ストップは、ハウジングに対して異なるポジションへ回転される。このように、回転可能なシャフトは、マルチストップ機構が取り付けられていない第１または第２の対象物に接触するようにストップの１つを位置づける。 （もっと読む）

支持具に支持される基板間のピッチを縮小し、処理枚数を増大させることができる熱処理装置を提供する。熱処理装置１０は、基板７２を処理する反応炉４０と、反応炉４０内で複数枚の基板７２を複数段に支持する支持具３０とを有する。この支持具３０は、基板７２と接触する複数の支持板５８と、この複数の支持板５８を支持する支持片６６とを有し、支持板５８と支持片６６が厚さ方向の少なくとも一部において重なるように構成される。 （もっと読む）

本発明のフークハンドリング装置は、ワークを載せるトレイを担持すると共に所定方向に往復動自在な可動テーブル（２１）、ワークに対して所定の処理を施す処理部（３０）を略中央に挟むようにしてトレイと処理部との間で往復動自在に配置され，かつ，ワークを搬送するべく水平方向及び鉛直方向に駆動される関節型アーム（４１０）及びその先端に設けら
れた複数の吸着ヘッド（４２０）をそれぞれ有する一対のハンドラ（４０，４０’）、一対のハンドラ及び可動テーブルを駆動制御する制御ユニット（７０）を備え、制御ユニットは、トレイから処理部への未処理ワークの搬入動作及び処理部からトレイへの処理済みワークの搬出動作の両動作を，一対のハンドラにそれぞれ行わせるように駆動制御する。これにより、装置が完全に停止するのを防止できる。
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基板容器および底板は、例えば、コネクタ機構の二つの部材間をねじ式で連結することにより、容器と底板との間の距離を調整する機構で連結されている。同様に、容器に孔を開けるダックビル弁と、衝撃による損傷を最小化する吸収材とが提供される。
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本発明の目的は、いかなるウエハ（４０）にもアクセスが簡単な状態で、実質的に水平な、密集したウエハ（４０）の貯蔵を可能にすることである。この目的を達成するために、本発明では複数の積重ねた貯蔵要素（１０）を備えてなる機器が設けられ、上記貯蔵要素（１０）は、ウエハ（４０）を置くことが可能である手段（１６）を有する。貯蔵要素（１０）は、特定の貯蔵要素（１０ａ）と特定の貯蔵要素（１０ａ）の上に配置された全ての貯蔵要素（１０）を、所定の第一高さにだけ持ち上げることができる持上げ用突出部（１４）を有し、その結果、接触間隔を作り出す。突出部（１４）は、上記貯蔵要素（１０ａ）の下に配置される貯蔵要素（１０ｂ）を、所定の第二高さにだけ持上げることに用いることもできる。
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【課題】トレイとテストヘッドの構成を簡略化し、消耗部品を排除した搬送装置を実現する。
【解決手段】検査対象デバイスをトレイに収納し、このトレイをソケットがある位置まで搬送し、検査対象デバイスをソケットと接続される位置に位置決めする搬送装置において、トレイとソケットにアライメントマークをそれぞれ付け、これらのアライメントマークの位置を撮像手段で画像認識することによって非接触でトレイとテストヘッド間の位置決めを行う。 （もっと読む）

【課題】 リニア増幅器とＰＷＭ増幅器を効率よく組み合わせた出力電流制御装置、この出力電流制御装置を使用したステージ装置および露光装置を提供すること。
【解決手段】 出力電流に応じてリニア増幅器１０５とＰＷＭ増幅器１０４とを使い分け、出力電流検出器Ｒ５、１０７と比較器１０６とを共通に使用する。 （もっと読む）