【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ウエハとサポートプレートとを所定配置で重ね合わせる重ね合わせユニットを提供する。
【解決手段】ウエハ（Ｗ）又はサポートプレート（Ｓ）を支持する支持手段と、ウエハ又はサポートプレートを搬送する搬送手段と、を備えるウエハ（Ｗ）とサポートプレート（Ｓ）との重ね合わせユニット（１）であって、前記支持手段は、前記ウエハ（Ｗ）またはサポートプレート（Ｓ）の端部を支持する第１支持部と、ウエハ（Ｗ）又はサポートプレート（Ｓ）の端部を前記第１支持部に導く第１位置合わせ部と、を有する３本以上の柱状部材（１０）を備える。 （もっと読む）

【課題】基板を平坦化しつつ支持する。
【解決手段】表面電位測定装置１の基板支持装置２では、第１流体噴出部２１の円環状の第１多孔質部材２１１から、基板９の上面９１上の対象領域９１１の周囲に向けて第１流体が噴出され、基板９を挟んで第１流体噴出部２１と対向する第２流体噴出部２２の円環状の第２多孔質部材２２１から基板９の下面９２に向けて第２流体が噴出される。これにより、第１流体噴出部２１と第２流体噴出部２２との間において基板９を平坦化しつつ基板９を支持することができる。また、基板９と第１流体噴出部２１の第１多孔質部材２１１との間の距離を、簡素な構造で一定に維持することができる。その結果、表面電位測定装置１において、平坦化された対象領域９１１上に所望の間隔をあけてプローブ３１を位置させることができ、基板９上の対象領域９１１に対する表面電位の測定を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。
【解決手段】大口径の基板ｗの上方又は下方に移動される支持部１７と、該支持部１７に設けられ基板ｗの周縁部を掴んで支持する掴み機構２８とを有する基板搬送装置において、上記支持部１７に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部３０を１つ又は複数設け、該非接触吸引保持部３０は、上記基板の上面又は下面に向って突設された柱体又は錐体からなる負圧形成突部３１と、該負圧形成突部３１に対して側方から気体を噴出することにより負圧形成突部３１の近傍に負圧を形成するための気体噴出ノズル３２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】気流の影響によらず、容易に搬送物を載置位置に載置する。
【解決手段】走行機構１７がレール１１に沿ってポート４３上に移動する。昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１が降下する。距離センサ３１が降下距離を測定し、ＦＯＵＰ２１が位置決めピン２３近傍まで降下したと判断した場合、風向風速センサ２５が水平方向に関する風向及び流速を測定し、重量センサ３０がＦＯＵＰ２１の重量を測定する。次に、ズレ量記憶部が参照されて位置ズレ量が推定され、この位置ズレ量に基づいて、水平移動機構１２によって昇降機構１３が水平方向に移動する。そして、再度昇降機構１３が懸垂ベルト１４を繰り出すことによって、ＦＯＵＰ２１は降下して、ＦＯＵＰ２１の位置決めピン２３と位置決め穴とが重ね合う。 （もっと読む）

【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。
【解決手段】大口径の基板ｗの上方又は下方に移動される支持部１７と、該支持部１７に設けられ基板ｗの周縁部を掴んで支持する掴み機構２８とを有する基板搬送装置において、上記支持部１７に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部３０を１つ又は複数設け、該非接触吸引保持部３０は、上記基板の上面又は下面に対向する平面円形の本体３１と、該本体に形成され中央に向って深くなるように傾斜した傾斜面３２ａを有する凹部３２と、該凹部３２の中央に設けられ上記傾斜面に沿って流れるように気体を放射状に噴出することにより負圧を発生させるための複数の気体噴出ノズル３３と、上記凹部３２の周縁部に適宜間隔で形成された気体逃げ溝３４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】被処理基板をその全面に亘って精度良く略均一に温度制御できる搬送トレー及び真空処理装置を提供する。
【解決手段】搬送トレー１の基板載置面に、被処理基板Ｓの外形に対応した少なくとも１個の凹部１１を形成し、この凹部の底面の外周に沿って環状のシール手段２と、凹部に落とし込むことで設置される被処理基板の外周面をシール手段に対して押圧する押圧手段３とを設ける。そして、この凹部に通じる少なくとも１本のガス通路１２ａ、１２ｂを開設し、このガス通路を介して、シール手段で支持されることで被処理基板の裏側に画成された空間に冷却ガスの供給する。 （もっと読む）

【課題】ステージとステージ支持盤との間に蓄えられた歪を開放し、より精密な位置決めが可能であるキネマティック保持装置を提供する。
【解決手段】
ステージ１８と、ステージ１８を支持するステージ支持盤１９と、ステージ１８の下面に設けられる突出部であるキネマボール２と、ステージ支持盤１９の上面に前記突出部であるキネマボール２が挿入される凹部であるキネマＶ溝３とを有し、凹部であるキネマＶ溝３がキネマボール２に力を加え、ステージ１８を昇降させる。キネマＶ溝３とキネマボール２間の摩擦力を減少させてキネマボール２の歪を除去し、キネマボール２を歪なく再現性よく保持できる。 （もっと読む）

【課題】基板の処理のタクトタイムが短い基板処理方法および基板処理装置を提供すること。
【解決手段】この基板処理装置は、第１吸着部４と、第２吸着部５とを備える。第１吸着部４による基板１０の中央部の基板吸着板１への吸着が未完了で、かつ、第２吸着部５による基板１０の周辺部の基板吸着板１への吸着が完了した時点で、基板１０の位置決め動作を行う。 （もっと読む）

【課題】搬送装置に搬送物を搬送させる前の準備作業である位置合わせを多大な時間をかけることなく簡易に行う。
【解決手段】フープを把持する把持機構にフープを介してマーカーを固定する（Ｓ１）。ここでマーカーは、先端のインク付着部が下方に位置し、フープの下面に形成された位置決め穴と水平方向に関して所定の位置関係を有するように固定される。次に、把持機構を下降させ、フープの載置台上にマーカーで位置合わせマークを形成する（Ｓ５）。そして、位置決め穴に対応する位置決めピンが固定されたテーブルを、位置決めピンが位置合わせマークに対して上記所定の位置関係を有するように、載置台上に固定する（Ｓ６）。 （もっと読む）

【解決手段】本発明は、概略的には、フラットパネルディスプレイ材料の格納及び搬送を行うシステムに関する。フラットパネルディスプレイシステムは、環境保護能力、材料のトラッキング機能、及び／又はワークステーション装填能力を有している。フラットパネルディスプレイシステムの構成要素の１つとして、搬送可能でシール可能な容器がある。フラットパネルディスプレイシステムの他の構成要素として、シール可能な装填ポートがある。装填ポートに容器がドッキングされ、基板が加工される。
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【課題】真空状態の処理室にて試料を処理する真空装置において、試料の搬送時間の短縮とフットスペースの削減を図る。
【解決手段】真空装置１に、個別に真空引きすることが可能な上下に連なる上室１０及び下室２０を設け、さらにこれらの間を開閉するゲートバルブ４０と、試料Ｓを載置する試料台３１と、試料台３１を昇降させて２つの室１０、２０の一方から他方へと試料Ｓを搬送する昇降機構３２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】吸着パッドが半導体チップの上面に接触する高さ位置を、簡単な構成で高精度に求めることができるハンドラのティーチング方法及びハンドラを提供する。
【解決手段】吸着パッドを検査用ソケットに配置されたＩＣチップに向かって下動させるとき、吸着パッドからエアーを噴射させながら下動させる。そして、検査用ソケットにＩＣチップの上面に接触するとき、吸着パッドから噴射しているエアーが、ＩＣチップにて塞がれるようにした。従って、エアーの噴射が塞がれることにより、吸引管内のエアーの圧力の上昇を圧力検出センサが検出することによって、吸着パッドが検査用ソケット内のＩＣチップに接触する高さを求めることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハに貼り付ける保護テープのテープ切り口の仕上がりを周方向において均一かつ精度よくテープ切断処理を行う。
【解決手段】ウエハ径方向に移動可能に支持したカッタ刃１２を半導体ウエハＷの外周縁に押し付け付勢するとともに、カッタ刃１２の旋回走行時に作用する遠心力の影響でカッタ刃１２の押し付け付勢力が変化しないように、カッタ刃１２の走行速度変動に対応させてカッタ刃１２の押し付け付勢力が一定となるように自動調整制御し、半導体ウエハＷの外周縁に対するカッタ刃１２の接触圧力を安定維持させる。 （もっと読む）

【課題】数ミリ以下の単位の位置精度を必要とする移動動作を行うロボットを運転する際、より安価かつ単純な方法で、ロボットの持つ位置情報の有効性を確認することにより事故を未然に防ぐ方法及び該方法を持つ移動システムを提供する。
【解決手段】予め移動システム１に設定された座標に数ミリ以下の単位の精度で移動動作をするロボット２が、該ロボット２のアーム２１の先端に取り付けられている作業手段２２により、所望の作業を行う際のロボットの移動動作精度の確認方法において、ロボット２の原点４とは異なる基準点５をロボット２の移動領域に設け、ロボット２が一作業を終了してから次の作業を開始する間の移動動作の際に、ロボット２を基準点５の座標に向かって移動させ、ロボット２が実際に移動した実位置と基準点５とを比較し、ロボットの移動動作精度の確認を行うことを特徴とするロボットの移動動作精度の確認方法及びロボットの移動システム１。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を移載するための機構が設けられていない中継バッファを介して、その上面に被搬送物を載置して軌道上を走行する台車と、その下端において被搬送物を把持し、軌道に懸垂された状態で走行する台車との間で、被搬送物の受け渡しを行う
【解決手段】グリッパ４７によりＦＯＵＰ３５を把持したＯＨＴ搬送台車１６は、中継バッファ５に対向する位置において昇降ベルト４６によりグリッパ４７を降下させ、棚板２１ａ、２１ｂの上面に跨るようにＦＯＵＰ３５を載置する。ＯＨＳ搬送台車８は、中継バッファ５に対向する位置において昇降テーブル６４を上昇させて棚板２１ａ、２１ｂの間を通過させることによってその上面にＦＯＵＰ３５を載置し、その後、中継バッファ５に対向しない位置まで移動させてから昇降テーブル６４を降下させることにより、ＦＯＵＰ３５をＦＯＵＰ載置台６０に載置する。 （もっと読む）

【課題】 搬送テーブルの真直性を確保し、ヨーの発生を防止する。
【解決手段】 ベース５１上にテーブル移動方向に延びるスライドバー５２を設ける。ベース５１上に、スライドバー５２を跨ぐよう配置した搬送テーブル５３を、スライド自在に載置する。搬送テーブル５３に、上記スライドバー５２に接触させる駆動ローラ５４と押付ローラ５５ａ，５５ｂを、ピエゾアクチュエータ５７，５８，５９によりテーブル移動方向と直角の方向に変位可能に設ける。駆動ローラ５４に駆動モータ６０の出力軸をたわみ継手６１を介して連結する。スライドバー５２に撓み等が生じている場合には、駆動ローラ５４と押付ローラ５５ａ，５５ｂの搬送テーブル５３に対する相対位置を変位させることで、搬送テーブル５３の位置と向きを、本来のテーブル進行方向位置及び向きに一致するよう補正させる。 （もっと読む）

【課題】ボックス体の移動、ボックス体に対する板状体の出し入れ処理を、構造簡単かつ安価にして行える板状体処理設備を提供する。
【解決手段】ボックス体１１は、少なくとも一側壁を開放するとともに、内部に配設した支持部材１５を介して、板状体１を上下複数段に収納自在に構成した。ボックス体に対して板状体の出し入れ処理を行う処理手段２０を設け、処理手段の両側に振り分けて、ボックス体を支持自在な入れ側固定荷受台６１と出し側固定荷受台７１を設けた。処理手段は、一側壁の開放部１１ｂを通して両固定荷受台の振り分け方向Ａとは直交状の方向Ｂに板状体を搬送自在な搬送装置３１と、搬送装置に干渉されることなくボックス体を昇降させる昇降装置４１から構成した。昇降装置におけるボックス体を支持する昇降体５５は、処理手段内と両固定荷受台とに亘って横移動自在に構成した。ボックス体を支持する昇降装置の昇降体により、ボックス体の昇降と横搬送とを兼用して行うことができる。 （もっと読む）

【課題】第一および第二可動オブジェクトを実質的に共通の動作区域内で位置決めする位置決めデバイスを提供する。
【解決手段】位置決めデバイスは、前記動作区域の隣に配置された第一コイルアセンブリと、前記動作区域の反対側に配置された第二コイルアセンブリと、第一可動オブジェクト上に配置され、第一コイルアセンブリと協働する１つまたは複数の第一磁石と、第二可動オブジェクト上に配置され、第二コイルアセンブリと協働する１つまたは複数の第二磁石とを含む。 （もっと読む）

【課題】載置台の下方スペースを有効活用できるクランプ機構を提供する。
【解決手段】キャリアベース３は、ＦＯＵＰオープナ本体部５０ｂの上部に対して移動可能に設置され、クランプベース４は、キャリアベース３の上部に対して移動可能に設置されている。クランプレバー５ａは、回転軸５ｃを介して、クランプベース４の上部において回動可能に支持されており、クランプレバー５ｂからは、クランプ用爪部５ｂがアンドック方向へ突出形成されている。クランプベース４は、キャリアベース３に対してアンドック方向へ付勢され、クランプレバー５ａは、クランプ用爪部５ｂが下方向へ変位するように付勢されている。キャリアベース３とＦＯＵＰ２とは一体となって移動する。クランプ用凹部２ｈに収容されたクランプ用爪部５ｂが、被クランプ部２ｃを上方から下方へ向けて押圧することにより、ＦＯＵＰ２が載置台５１に固定される。 （もっと読む）