【課題】基板収納箱の製造コストを低減することができ、しかも基板収納箱における基板の収納位置を、高い精度で位置決めすることができる基板収納箱の位置決めシステムを提供することである。
【解決手段】基板収納箱２は、ガラス基板が収納される収納空間７が形成される箱本体８と、前記収納空間７に収納されるガラス基板を保持する保持体９とを有する。保持体９は、箱本体８よりも剛性が高い。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１，３２，３３，３４を有する。第１位置決め装置５は、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４を保持体９に当接させて、第１〜第４保持体押圧片３１〜３４によって保持体９を押圧することによって、保持体９を位置決めする。このように保持体９が位置決めされることによって、基板収納箱２におけるガラス基板の収納位置が位置決めされる。 （もっと読む）

【課題】周縁部と内側部とに段差を有する極薄の半導体ウエハを安全にかつ確実に支持する。
【解決手段】周縁部１７Ａが肉厚に形成され内側部１７Ｂが肉薄に形成された半導体ウエハ１７をチャック１１上に載置して支持し、当該半導体ウエハ１７にプローブ針７を接触させて検査を行うプローバである。チャック１１は、半導体ウエハ１７の周縁部１７Ａに当接して当該周縁部１７Ａを支持する周縁支持部１２と、当該周縁支持部１２に対して段差を設けて半導体ウエハ１７の内側部１７Ｂに当接してこの内側部１７Ｂを支持する内側支持部１３と、前記周縁支持部１２と内側支持部１３とを相対的にずらして任意の高さの段差を作る移動機構１４とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】プロキシミティ露光において、マスクと基板間の間隙を正確に設定および調整する露光装置、および方法を提供する。
【解決手段】基板ステージ部２００は、下部にチャックシリンダー部を備える。チャックシリンダー部の間隙調節上部ハウジング３１０は、その上端外周面がスパーギア３１３に形成され、その下端外周面にネジ部３１２が形成され、その下端内部に凹部を有し、その凹部中心には、間隙調節シャフト３３０が貫通して移動するように、貫通孔３１１が形成されている。前記間隙調節上部ハウジング３１０のスパーギア３１３をダイヤルゲージ（図示せず）によって回転させることで、間隙を正確に設定することができる。 （もっと読む）

【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板収納容器を提供する。
【解決手段】極薄化ウエハ３７を真空吸着し固定できる薄板収納容器を用いる。収納容器の真空吸着部は、ウエハを載置するウエハ吸着面、吸着面上に開口したウエハを真空吸着する複数の吸着孔、吸着孔が接続する減圧室、外部真空ラインと接続する吸引口および減圧室と吸引口とを接続する吸気孔を持つ。減圧室には支持隔壁が設置され、吸着板を支える。吸着板は、収納容器から分離できる構造である。吸着面が弾性材料で、他方が一定の強度を有する高分子材料で構成する二層構造である。収納容器は、好適にはウエハ吸着面が周縁部に対し凹状である。ウエハが真空吸着固定されるので、薄板収納容器の搬送やプロセスも自動化が可能となる。収納容器は繰り返し使用でき、環境負荷も少ない。 （もっと読む）

【課題】極薄ウエハを破損せずに出し入れすると同時に、搬送、処理することが可能な薄板保持容器を提供する。
【解決手段】薄板収納容器２１の上側面の第１載置部２３Ａが薄板収納容器２１の周縁部２５Ａに対して凹状になり、薄板収納容器２１の下側面の第２載置部２３Ｂが薄板収納容器２１の周縁部２５Ｂに対して凸状になっている。薄板収納容器２１を重ねた時に、下の薄板収納容器２１における上側面の周縁部２５Ａが上の薄板収納容器２１における下側面の周縁部２５Ｂと重なり、上の薄板収納容器２１の第２載置部２３Ｂは下の薄板収納容器２１の凹部に入り込む構造になっている。載置部２３は柔軟性材料や弾性材料で形成される。ウエハは上下の載置部２３に挟持されて固定する。この結果、ウエハを搭載した薄板収納容器２１の搬送やプロセスも自動化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入することができるようにする。
【解決手段】Ｌ字型のＬ字アーム１２を回動させて一方側の回動アーム１３の先端でウエハ２を押し上げ、押し上げられたウエハ２を所望の溝部３へのウエハの挿入の基準とすることで、所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入する。 （もっと読む）

【課題】薄板収納容器用フック５を容易に取り付け、下側容器部２と上側容器部３とを容易に固定する。
【解決手段】板状の本体部２５と、上側容器部３の係止板１５に引っ掛けるための溝部２６Ａを形成する上側フック部２６と、下側容器部２の係止板７に引っ掛けるための溝部２７Ａを形成する下側フック部２７と、前記上側フック部２６及び下側フック部２７の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部２８と、各バネ取付け部２８に掛け渡して取り付けられた板バネ２９と、この板バネ２９の途中に設けられ下側容器部２側及び上側容器部３側の各係止板７、１５にそれぞれ形成された切り欠き８に嵌合して位置決め支持する係止用突起３０とを備えて構成した。前記上側フック部２６と下側フック部２７とは、上下対称に形成した。また、上側フック部２６及び下側フック部２７はそれぞれ左右対称に形成した。 （もっと読む）

【課題】半導体製造工程において、ウエハケースの運用を簡素化し、運用コストを低減することができるウエハケースの搬送方法、ウエハケースの運用方法及びケース搬送用保持部品を提供する。
【解決手段】ウエハケース１０の両側面１１Ａそれぞれに取っ手が着脱可能に設けられたウエハケース１０において、自動搬送ラインでは、ウエハケース１０から取っ手を取り外してその部分に無人搬送車によってウエハケース１０を保持可能にする保持部品２０を取り付けて、ウエハケース１０を運用する。 （もっと読む）

【課題】ポットの載置台に対する固定を確実に維持できるポッドクランプユニット、クランプユニットに対応したロードポート及びそのミニエンバイロンメントシステムを提供する。
【解決手段】ポッドを載置台に対して固定するポッドクランプユニット１であって、ポッド本体１０６の下面に設けられた第１係合部３１に係合し載置台１１９に対してポッドの上方向への移動を規制する、載置台１１９に配置されるクランプ部３と、ポッド本体１０６の下面に設けられた第２係合部５１に係合し第１係合部３１とクランプ部３との係合が外れる方向への移動を係止する、載置台１１９に昇降可能に配置される規制ピン５３と、規制ピン５３を第２係合部５１へ昇降する昇降駆動部６７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハ付シートを効率的に製造する方法を提供する。
【解決手段】ウエハ付シート１０はシート１１とシート上に粘着保持され周縁部分１６がＩＣチップ１８のみから構成されるウエハ１５とを有している。製造方法は、支持シート１１とこれに粘着保持された円盤状ウエハとを有する円盤状ウエハ付シートおよび円盤状ウエハの外周部分１７に対応した領域を含む第１領域３１ａとこれに囲まれた領域を含む第２領域３１ｂとを有する分離用シート３０を準備する工程と、円盤状ウエハ付シートと分離用シートとを重ね合わせる工程と、円盤状ウエハ付シートと分離用シートを離間させて外周部分を支持シート上から引き剥がす工程と、を備えている。第１領域は支持シートの粘着力よりも強い粘着力を有し、第２領域は粘着力を有さない。 （もっと読む）

【課題】半導体処理の真空チャンバシステムに関する。
【解決手段】真空チャンバシステムは、少なくとも２つの排気可能な真空チャンバ１ａ、１ｂと、移送手段４と、を備えている。２つの真空チャンバは、処理する半導体素子を収容し、真空チャンバ開口部２ａ、２ｂおよび真空チャンバシール面３ａ、３ｂを備えている。移送手段は、一方の真空チャンバを、他方の真空チャンバに対して移動させ、そのチャンバに真空気密でドッキングさせる。真空チャンバの少なくとも１つが、支持手段を備え、排気しドッキングした状態で支持する。支持手段は、２つの支持素子７１、７２の形式で、真空チャンバ開口部の側面に配置している。支持素子は、互いに動作接続部を備え、相互に力および変位バランスを備えている。この結果、ドッキング状態で、ミスアライメントによる相対する真空チャンバシール面の平行でない位置付けが、支持の際に補正される。 （もっと読む）

【課題】ウエハの薄化後の特徴を生かしつつも、通常のウエハの縦断面形状に変換することによって従来のウエハ処理装置で適切にウエハを処理することができるウエハ保護部材を提供する。
【解決手段】ベース部材３の収納部５に、中央部が円形状に薄化されたウエハを収納することで、ウエハの薄化された中央部が補われ、通常のウエハの縦断面形状に変換される。したがって、ウエハの薄化後の特徴を生かしつつも、従来のウエハ処理装置で適切に処理することができる。貫通孔１３には、ウエハをベース部材３から分離する際に分離しやすくする効果もある。 （もっと読む）

【課題】両面粘着シートを介して半導体ウエハなど凹凸の設けられたワークに支持用の基板を精度よく貼り合せることのできる基板貼合せ方法およびこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】バンプの設けられたウエハＷの表面に貼付けローラを押圧して転動させながらウエハＷと支持基板Ｇを、その間に介在させた両面粘着シートＳによって貼り合せた後に、さらに支持基板Ｇの周縁に沿って貼付けローラ１９を押圧して転動させながら支持基板Ｇの周縁部分を両面粘着シートＳに貼り付ける。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の低下や無駄を省いて多品種少量生産等の生産管理方式に対応できる処理治具用収納ケースを提供する。
【解決手段】 下部構造体１、上部構造体２、及び中部構造体３を取り付け取り外しが可能な分割自在に備え、これらのうち、少なくとも下部構造体１と上部構造体２とを着脱自在に連結してそれらの間に半導体ウェーハを粘着保持する処理治具を整列収納する。下部構造体１を、底板５と、この底板５の両側部にそれぞれ設けられる一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。また、上部構造体２を、天板１４と、この天板１４の両側部にそれぞれ設けられ、下部構造体１の側壁１０に着脱自在に連結される一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。 （もっと読む）

【課題】パターニングデバイス支持体の加速度をさらに高めることを可能にするとともに、パターニングデバイス支持体とその上に支持されているパターニングデバイスとの間の微小なスリップを回避できるリソグラフィ装置を提供する。
【解決手段】真空装置４の真空パッド５がパターニングデバイス２の上側に対して配置されており、これによって、真空力をパターニングデバイス２の上側に印加することができる。さらに複数の静電型クランピング装置６を備えており、真空装置４としてパターニングデバイス４の実質的に同じ部分にクランプ力を働かせる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ等の板状部材の外周からはみ出る大きさのシートを板状部材に貼付した状態で、前記シートを板状部材より小さく切断すること。
【解決手段】半導体ウエハＷの外周からはみ出る大きさのシートＳを半導体ウエハの外周に沿って切断するシート切断装置１０であり、同装置は、半導体ウエハＷの上面に接する差し込み深さとなるようにカッター刃１３を保持するロボット１２を備えている。カッター刃１３の刃先は、半導体ウエハＷの外周直近の内側位置でシートＳに差し込まれ、この状態でカッター刃１３を平面内で回転させることで、半導体ウエハＷの大きさよりも小さい状態でシートが切断される。 （もっと読む）

【課題】薄板状基板を複数段に収納したカセットなどを定位置に位置決めするのに利用される位置決め装置の従来の問題点を改善する。
【解決手段】支持手段により水平面上二次元方向に遊動自在に支持されたカセット１を、当該カセット１の底部周側面を水平方向に押圧して定位置に位置決めする位置決め装置５であって、カセット１の底部周側面に当接する垂直軸ローラー６ａと、この垂直軸ローラー６ａをカセット位置決め作用位置ＦＰと後退位置ＢＰとの間で略水平に往復移動させる駆動手段とから成る位置決め装置５において、前記駆動手段による垂直軸ローラー６ａの往復移動経路が、前記後退位置ＢＰにある垂直軸ローラー６ａが前記支持手段で支持されるカセット１の底面１ｃより低くなるように構成される。 （もっと読む）

【課題】 主として、コストの増大を押さえ、簡単な構成で、しかも、取付位置の無段階調整が高精度で可能で、しかも作業効率が向上する高精度取付機構を提供する。
【解決手段】 被取付体２００の取付面２００ｂに対する取付体の取付位置を無段階調整可能とする可動体３０と、被取付体２００の取付面２００ｂに対する取付体の取付位置を調整した後、可動体３０を拘束する拘束体２０とで構成される調整部１５を具備し、調整部１５を、取付体の取付位置に１又は複数配置した構成とした。
この場合、可動体は、外周はネジ状に形成されると共に、取付体の取付ネジに螺合する取付用メネジ部が形成され、拘束体２０は、当該拘束体２０と可動体３０とを拘束する拘束ボルト２２を具備すると共に、可動体３０に螺合する螺合部と、螺合部と可動体３０の拘束力を調整するスリットと、拘束ボルト２２用のネジ孔が形成されている構成とすると良い。 （もっと読む）

【課題】高精度かつ短時間に基板の位置合わせを行うことができる基板の受け渡し位置の調整に関する技術を提供すること。
【解決手段】棚ユニットＵ１に、基板であるウエハＷを水平に載置する基板載置
部（冷却プレート４５）を備えた複数の冷却モジュール（ＣＯＬ４）を、前記冷却プレート４５の中心が一致するように上下方向に設け、全ての冷却プレート４５の中心を通るように光軸形成用の孔部５１を形成し、発光素子５２によりこの孔部５１内に光軸Ｌ１を形成する。メインアームＡ４の搬送アーム６１に中心に孔部７１が形成された位置調整プレート７を保持させ、受け渡し位置のデータを得ようとする冷却モジュール（ＣＯＬ４）の冷却プレート４５の上方側に搬送し、位置調整プレートの孔部７１が前記光軸Ｌ１に一致し、受光素子５３が光を受光したときに、前記搬送アーム６１の（Ｘ，Ｙ）座標位置を取得する。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバ内外の気圧差による位置決め精度の低下を抑制できる真空用位置決め装置を提供する。
【解決手段】隔壁部６ｂが真空チャンバ１の外壁面１ａと蛇腹状シール部材８を気密に結合され、大気圧と真空チャンバ１内の気圧との気圧差に起因する隔壁部６ｂを挟んで垂直に作用する力の不釣合い分の影響をキャンセルする大気圧低減機構１１を真空チャンバ１と隔壁部６ｂとの間に設けた。 （もっと読む）