薄板収納容器用フック及び薄板収納容器
【課題】薄板収納容器用フック5を容易に取り付け、下側容器部2と上側容器部3とを容易に固定する。
【解決手段】板状の本体部25と、上側容器部3の係止板15に引っ掛けるための溝部26Aを形成する上側フック部26と、下側容器部2の係止板7に引っ掛けるための溝部27Aを形成する下側フック部27と、前記上側フック部26及び下側フック部27の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部28と、各バネ取付け部28に掛け渡して取り付けられた板バネ29と、この板バネ29の途中に設けられ下側容器部2側及び上側容器部3側の各係止板7、15にそれぞれ形成された切り欠き8に嵌合して位置決め支持する係止用突起30とを備えて構成した。前記上側フック部26と下側フック部27とは、上下対称に形成した。また、上側フック部26及び下側フック部27はそれぞれ左右対称に形成した。
【解決手段】板状の本体部25と、上側容器部3の係止板15に引っ掛けるための溝部26Aを形成する上側フック部26と、下側容器部2の係止板7に引っ掛けるための溝部27Aを形成する下側フック部27と、前記上側フック部26及び下側フック部27の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部28と、各バネ取付け部28に掛け渡して取り付けられた板バネ29と、この板バネ29の途中に設けられ下側容器部2側及び上側容器部3側の各係止板7、15にそれぞれ形成された切り欠き8に嵌合して位置決め支持する係止用突起30とを備えて構成した。前記上側フック部26と下側フック部27とは、上下対称に形成した。また、上側フック部26及び下側フック部27はそれぞれ左右対称に形成した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
この発明は、半導体ウエハなどの薄板を収納して、搬送及び保管するための薄板収納容器に用いる薄板収納容器用フック及びその薄板収納容器用フックを用いた薄板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【0002】
少数の薄板を収納して搬送、保管等する薄板収納容器は一般に知られている。このような薄板収納容器では、収納する薄板の枚数が少ない場合、全体に小型となり、本体部と蓋体部との間は、粘着テープで固定される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
ところで、上述の薄板収納容器のように、本体部と蓋体部との間を粘着テープで固定する場合、粘着面がいろんなところに接着してしまうため、本体部と蓋体部との間に正確に位置決めして貼り付けなければならない。このため、粘着テープを張る作業に時間がかかり、作業性が悪い。さらに、ゴミも発生するという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる薄板収納容器用フック及び薄板収納容器を提供するものである。このため、請求項1に係る発明は、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする。
【0005】
前記構成により、上側容器部と下側容器部とが合わさった状態で、上側容器部の係止板と下側容器部の係止板とに、上側フック部の溝部と下側フック部の溝部とがそれぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けられる。このとき、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
【0006】
また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フックは、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
【0007】
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の薄板収納容器用フックにおいて、前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする。
【0008】
前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止板に取り付ける。
【0009】
請求項3に係る発明は、薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、前記薄板収納容器用フックが、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする。
【0010】
前記構成により、下側容器部に薄板を複数枚収納して、この下側容器部に上側容器部を被せ、各係止板に前記薄板収納容器用フックの上側フック部及び下側フック部をそれぞれ引っ掛けて、薄板収納容器用フックを取り付ける。このとき、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
【0011】
また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フックは、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
【0012】
請求項4に係る発明は、請求項3に記載の薄板収納容器において、前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする。
【0013】
前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止板に取り付ける。
【発明の効果】
【0014】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器用フック及び薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【0015】
各係止板に、上側フック部及び下側フック部の各溝部がそれぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けて、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持することで、前記薄板収納容器用フックが上側容器部と下側容器部とを固定するため、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【0016】
また、前記薄板収納容器用フックが、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されて、その上下左右を合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることができ、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、磁気記録媒体ディスク、光記録媒体ディスクなどの薄板を収納して、搬送、保管に供するための容器である。本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器を例に説明する。
【0018】
薄板収納容器1は、図2〜6に示すように主に、下側容器部2と、上側容器部3と、ウエハキャリア4と、薄板収納容器用フック5とから構成されている。
【0019】
前記下側容器部2は、半導体ウエハWを内部に複数枚並べて収納するための容器である。この下側容器部2は、平面形状がほぼ長方形の深底の容器で構成されている。この下側容器部2の上部には外側へ膨らませた膨出部2Aが形成されている。この膨出部2Aは、前記下側容器部2の上部の全周に亘って設けられている。前記下側容器部2の短辺側(図6中の左右両側)の膨出部2Aの下端部には係止板7(図13、14参照)が設けられている。この係止板7は、膨出部2Aの下端部から下方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック5の下側フック部27に嵌合するようになっている。係止板7の中央部には、薄板収納容器用フック5の係止用突起30に嵌合する切り欠き8(図14参照)が設けられている。この切り欠き8は、薄板収納容器用フック5の係止用突起30がスムーズに嵌合するように、円弧状の凹状に形成されている。これにより、薄板収納容器用フック5の係止用突起30が切り欠き8に嵌合することで、薄板収納容器用フック5が位置決めして支持されるようになっている。さらに、切り欠き8の縁部も円弧状に湾曲して形成され、係止用突起30が係止板7をスライドして切り欠き8にスムーズに嵌合すると共に、スムーズに抜き取ることができるようになっている。
【0020】
前記下側容器部2の上端部には、長辺側(図6中の上下両側)の長手方向の一側半分(図3中の右半分)に嵌合凸条10が、他側半分(図3中の左半分)に嵌合凹条11がそれぞれ設けられている。さらに、これら嵌合凸条10と嵌合凹条11は、2つは長辺にそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条10と嵌合凹条11は、図7、8に示すように、互いに嵌合しあえるように、同じ形状の凸部と凹部によって構成されている。これにより、この嵌合凸条10及び嵌合凹条11と同じ形状の後述する上側容器部3の嵌合凹条18及び嵌合凸条17が、前記下側容器部2の嵌合凸条10と嵌合凹条11にそれぞれ嵌合して、下側容器部2に上側容器部3が位置決め支持された状態で被せられるようになっている。
【0021】
前記下側容器部2の底部には、図3に示すように、後述するウエハキャリア4の嵌合足部22が嵌合してウエハキャリア4を支持するウエハキャリア支持溝13が形成されている。このウエハキャリア支持溝13は、ウエハキャリア4の嵌合足部22に合わせて、前記下側容器部2の底部の2箇所の位置にそれぞれ設けられている。
【0022】
上側容器部3は、半導体ウエハWが収納された前記下側容器部2の上側に被せるための容器である。この上側容器部3は、前記下側容器部2と同様に、平面形状がほぼ長方形の深底の容器から構成されている。この上側容器部3の下部には、図2〜6に示すように、外側へ膨らませた膨出部3Aが形成されている。この膨出部3Aは、上側容器部3の下部の全周に亘って設けられている。上側容器部3の短辺側の膨出部3Aの上端部には係止板15(図13参照)が設けられている。この係止板15は、膨出部3Aの上端部から上方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック5の上側フック部26に嵌合するようになっている。係止板15の中央部には、薄板収納容器用フック5の係止用突起30に嵌合する切り欠き(図示せず)が設けられている。この切り欠きは、下側容器部2の係止板7の切り欠き8と同様に構成されている。
【0023】
上側容器部3の下端部には、図3に示すように、長辺側の長手方向の左半分に嵌合凸条17が、右半分に嵌合凹条18がそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条17と嵌合凹条18は、前記下側容器部2の嵌合凸条10及び嵌合凹条11と同じ形状に構成されている。これにより、この嵌合凸条17及び嵌合凹条18と下側容器部2の嵌合凸条10及び嵌合凹条11とがそれぞれ嵌合して、前記下側容器部2に上側容器部3が、位置決め支持された状態で被せられるようになっている。
【0024】
上側容器部3の底部には、ウエハキャリア4の嵌合足部22が嵌合してウエハキャリア4を支持するウエハキャリア支持溝13が形成されている。このウエハキャリア支持溝13は、ウエハキャリア4の嵌合足部22に合わせて、上側容器部3の底部の2箇所の位置にそれぞれ設けられている。
【0025】
これにより、下側容器部2と上側容器部3とは同じ形状に構成されて、上下を入れ替えていずれを下側にしても、ウエハキャリア4を収納できるようになっている。
【0026】
ウエハキャリア4は主に、溝板部21と、嵌合足部22とを備えて構成されている。溝板部21は、複数の支持溝21Aを備えて構成され、各支持溝21Aに半導体ウエハWが嵌合して支持されるようになっている。溝板部21は、左右対称に、互いに対向させて設けられ、半導体ウエハWを両側から支持するようになっている。嵌合足部22は、各溝板部21の下端部に下方へ延出して設けられている。各嵌合足部22は、ウエハキャリア4全体を支持するための部材である。さらに、各嵌合足部22は、ウエハキャリア4が前記下側容器部2に収納された状態で、各ウエハキャリア支持溝13に嵌合して、ウエハキャリア4を前記下側容器部2内の正確な位置に位置決めして支持するための部材である。さらに、各嵌合足部22は、上側容器部3に対しても嵌合する。ウエハキャリア4が、下側に配設された上側容器部3に収納された状態で、各嵌合足部22が各ウエハキャリア支持溝13にそれぞれ嵌合して、ウエハキャリア4を上側容器部3内の正確な位置に位置決めして支持する。
【0027】
薄板収納容器用フック5は、前記下側容器部2に前記上側容器部3を被せた状態でこれらの間を固定するための部材である。
【0028】
前記薄板収納容器用フック5は、図1、9〜12に示すように、本体部25と、上側フック部26と、下側フック部27と、バネ取付け部28と、板バネ29と、係止用突起30とから構成されている。
【0029】
本体部25は、薄板収納容器用フック5のほぼ全体形状を構成する板状部材である。この本体部25は、弾性を有する合成樹脂で構成されている。具体的には、下側容器部2に上側容器部3が被せられた状態で、これらを確実に支持できる強度を備えて撓る合成樹脂材料で構成されている。下側容器部2及び上側容器部3の大きさ、重量に応じて、合成樹脂の種類を選択する。本体部25の上下方向中央部の左右方向両端部には、手で掴むための左右対称の凹部25Aが設けられている。
【0030】
上側フック部26は、本体部25の上端に設けられ上側容器部3の係止板15に引っ掛けるための溝部26Aを形成する部分である。溝部26Aは係止板15の上端部形状に合わせて形成されている。
【0031】
下側フック部27は、本体部25の下端に設けられ下側容器部2の係止板7に引っ掛けるための溝部27Aを形成する部分である。溝部27Aは係止板7の下端部形状に合わせて形成されている。
【0032】
バネ取付け部28は、板バネ29を掛け渡すための切り欠きである。このバネ取付け部28は、上側フック部26及び下側フック部27の左右方向の中央位置をそれぞれ切り欠いて形成されている。このバネ取付け部28は、本実施形態では、上側フック部26及び下側フック部27にそれぞれ1つずつ設けたが、取り付ける板バネ29の数に応じて2以上設ける場合もある。
【0033】
板バネ29は、係止板7、15に弾性的に当接するための部材である。この板バネ29は、バネ取付け部28に掛け渡して取り付けられている。
【0034】
係止用突起30は、下側容器部2側及び上側容器部3側の各係止板7、15にそれぞれ形成された切り欠き8に嵌合して薄板収納容器用フック5を位置決め支持するための部分である。この係止用突起30は、板バネ29の途中(中央位置)に、各係止板7、15の切り欠き8側へV字状に隆起して形成されている。このV字状の係止用突起30が、円弧状の切り欠き8に嵌合して薄板収納容器用フック5を位置決め支持するようになっている。係止用突起30は、板バネ29に1つだけ設けられているが、2以上設ける場合もある。薄板収納容器用フック5の横ずれ防止に重点を置く場合は、係止用突起30の数を増やす。
【0035】
さらに、上側フック部26と下側フック部27とは上下対称に形成されている。また、上側フック部26及び下側フック部27は、それぞれ左右対称に形成されている。これにより、薄板収納容器用フック5は、上下左右を問わず、どちらの方向からでも、下側容器部2側及び上側容器部3側の各係止板7、15に挿入して取り付けることができるようになっている。
【0036】
[作用]
以上のように構成された薄板収納容器1は、次のようにして使用される。
【0037】
まず、下側容器部2、上側容器部3及びウエハキャリア4を準備し、ウエハキャリア4に半導体ウエハWを収納する。次いで、ウエハキャリア4を下側容器部2又は上側容器部3のいずれか一方の内部に収納して、ウエハキャリア4の嵌合足部22をウエハキャリア支持溝13に嵌合させる。
【0038】
次いで、下側容器部2又は上側容器部3の他方を一方にその上側から被せる。これにより、下側容器部2の嵌合凸条10及び嵌合凹条11と上側容器部3の嵌合凹条18及び嵌合凸条17とが互いに嵌合する。
【0039】
次いで、下側容器部2の係止板7と上側容器部3の係止板15とに薄板収納容器用フック5を取り付ける。具体的には、薄板収納容器用フック5の凹部25Aを手で持って、上側フック部26を上側の係止板7又は15に、下側フック部27を下側の係止板15又は7にそれぞれ嵌合させて、薄板収納容器用フック5を各係止板7、15の中央位置までスライドさせる。
【0040】
これにより、板バネ29の係止用突起30が係止板7、15をスライドしながら、切り欠き8に嵌合して、薄板収納容器用フック5を位置決めして支持する。このとき、薄板収納容器用フック5を係止板7、15に嵌合させる際に、薄板収納容器用フック5の上下左右を合わせる必要がなく、薄板収納容器用フック5の上側フック部26及び下側フック部27を、下側容器部2及び上側容器部3の係止板7、15のいずれかに適宜嵌合させるだけでよい。
【0041】
薄板収納容器1内から半導体ウエハWを取り出す場合は、薄板収納容器用フック5をずらして、係止用突起30を切り欠き8から外し、薄板収納容器用フック5を係止板7、15から抜き取る。
【0042】
次いで、上側の上側容器部3又は下側容器部2を取り外して、内部のウエハキャリア4を取り出す。そして、ウエハキャリア4内の半導体ウエハWを適宜取り出して処理等を施す。
【0043】
[効果]
これにより、薄板収納容器1は次のような効果を奏する。
【0044】
下側容器部2及び上側容器部3の各係止板7、15に、薄板収納容器用フック5を取り付けると、板バネ29の係止用突起30が各係止板7、15の切り欠き8に嵌合して、薄板収納容器用フック5を各係止板7、15に位置決め支持して、この薄板収納容器用フック5が下側容器部2と上側容器部3とを固定するため、下側容器部2と上側容器部3とを容易に固定することができるようになる。
【0045】
また、薄板収納容器用フック5が、上下、左右対称に形成されて、その上下左右を合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることができ、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す正面図である。
【図2】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面断面図である。
【図4】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す側面図である。
【図5】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す平面図である。
【図6】本発明の実施形態に係る薄板収納容器をその上側容器部を取り外した状態で示す平面図である。
【図7】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡大正面図である。
【図8】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡大平面図である。
【図9】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す側面図である。
【図10】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す平面図である。
【図11】図1のA−A線矢視断面図である。
【図12】図1のB−B線矢視断面図である。
【図13】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを係止板に取り付けた状態で示す側面図である。
【図14】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックの板バネ及び係止板の部分を示す要部拡大図である。
【符号の説明】
【0047】
1:薄板収納容器、2:下側容器部、2A:膨出部、3:上側容器部、3A:膨出部、4:ウエハキャリア、5:薄板収納容器用フック、7:係止板、8:切り欠き、10:嵌合凸条、11:嵌合凹条、13:ウエハキャリア支持溝、15:係止板、17:嵌合凸条、18:嵌合凹条、21:溝板部、22:嵌合足部、25:本体部、26:上側フック部、27:下側フック部、28:バネ取付け部、29:板バネ、30:係止用突起、W:半導体ウエハ。
【技術分野】
【0001】
この発明は、半導体ウエハなどの薄板を収納して、搬送及び保管するための薄板収納容器に用いる薄板収納容器用フック及びその薄板収納容器用フックを用いた薄板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【0002】
少数の薄板を収納して搬送、保管等する薄板収納容器は一般に知られている。このような薄板収納容器では、収納する薄板の枚数が少ない場合、全体に小型となり、本体部と蓋体部との間は、粘着テープで固定される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
ところで、上述の薄板収納容器のように、本体部と蓋体部との間を粘着テープで固定する場合、粘着面がいろんなところに接着してしまうため、本体部と蓋体部との間に正確に位置決めして貼り付けなければならない。このため、粘着テープを張る作業に時間がかかり、作業性が悪い。さらに、ゴミも発生するという問題がある。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる薄板収納容器用フック及び薄板収納容器を提供するものである。このため、請求項1に係る発明は、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする。
【0005】
前記構成により、上側容器部と下側容器部とが合わさった状態で、上側容器部の係止板と下側容器部の係止板とに、上側フック部の溝部と下側フック部の溝部とがそれぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けられる。このとき、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
【0006】
また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フックは、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
【0007】
請求項2に係る発明は、請求項1に記載の薄板収納容器用フックにおいて、前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする。
【0008】
前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止板に取り付ける。
【0009】
請求項3に係る発明は、薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、前記薄板収納容器用フックが、ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする。
【0010】
前記構成により、下側容器部に薄板を複数枚収納して、この下側容器部に上側容器部を被せ、各係止板に前記薄板収納容器用フックの上側フック部及び下側フック部をそれぞれ引っ掛けて、薄板収納容器用フックを取り付ける。このとき、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が、前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持する。これにより、前記薄板収納容器用フックで上側容器部と下側容器部とが固定される。
【0011】
また、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されるため、薄板収納容器用フックは、その上下左右を合わせる必要がなくなり、容易に取り付けることができる。
【0012】
請求項4に係る発明は、請求項3に記載の薄板収納容器において、前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする。
【0013】
前記構成により、凹部を手でつかんで、前記薄板収納容器用フックを上下の係止板に取り付ける。
【発明の効果】
【0014】
以上詳述したように、本発明の薄板収納容器用フック及び薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【0015】
各係止板に、上側フック部及び下側フック部の各溝部がそれぞれ嵌合して薄板収納容器用フックが引っ掛けて、各バネ取付け部の板バネの係止用突起が各係止板の切り欠きに嵌合して、前記薄板収納容器用フックを各係止板に位置決め支持することで、前記薄板収納容器用フックが上側容器部と下側容器部とを固定するため、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【0016】
また、前記薄板収納容器用フックが、上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されて、その上下左右を合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることができ、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0017】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、磁気記録媒体ディスク、光記録媒体ディスクなどの薄板を収納して、搬送、保管に供するための容器である。本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器を例に説明する。
【0018】
薄板収納容器1は、図2〜6に示すように主に、下側容器部2と、上側容器部3と、ウエハキャリア4と、薄板収納容器用フック5とから構成されている。
【0019】
前記下側容器部2は、半導体ウエハWを内部に複数枚並べて収納するための容器である。この下側容器部2は、平面形状がほぼ長方形の深底の容器で構成されている。この下側容器部2の上部には外側へ膨らませた膨出部2Aが形成されている。この膨出部2Aは、前記下側容器部2の上部の全周に亘って設けられている。前記下側容器部2の短辺側(図6中の左右両側)の膨出部2Aの下端部には係止板7(図13、14参照)が設けられている。この係止板7は、膨出部2Aの下端部から下方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック5の下側フック部27に嵌合するようになっている。係止板7の中央部には、薄板収納容器用フック5の係止用突起30に嵌合する切り欠き8(図14参照)が設けられている。この切り欠き8は、薄板収納容器用フック5の係止用突起30がスムーズに嵌合するように、円弧状の凹状に形成されている。これにより、薄板収納容器用フック5の係止用突起30が切り欠き8に嵌合することで、薄板収納容器用フック5が位置決めして支持されるようになっている。さらに、切り欠き8の縁部も円弧状に湾曲して形成され、係止用突起30が係止板7をスライドして切り欠き8にスムーズに嵌合すると共に、スムーズに抜き取ることができるようになっている。
【0020】
前記下側容器部2の上端部には、長辺側(図6中の上下両側)の長手方向の一側半分(図3中の右半分)に嵌合凸条10が、他側半分(図3中の左半分)に嵌合凹条11がそれぞれ設けられている。さらに、これら嵌合凸条10と嵌合凹条11は、2つは長辺にそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条10と嵌合凹条11は、図7、8に示すように、互いに嵌合しあえるように、同じ形状の凸部と凹部によって構成されている。これにより、この嵌合凸条10及び嵌合凹条11と同じ形状の後述する上側容器部3の嵌合凹条18及び嵌合凸条17が、前記下側容器部2の嵌合凸条10と嵌合凹条11にそれぞれ嵌合して、下側容器部2に上側容器部3が位置決め支持された状態で被せられるようになっている。
【0021】
前記下側容器部2の底部には、図3に示すように、後述するウエハキャリア4の嵌合足部22が嵌合してウエハキャリア4を支持するウエハキャリア支持溝13が形成されている。このウエハキャリア支持溝13は、ウエハキャリア4の嵌合足部22に合わせて、前記下側容器部2の底部の2箇所の位置にそれぞれ設けられている。
【0022】
上側容器部3は、半導体ウエハWが収納された前記下側容器部2の上側に被せるための容器である。この上側容器部3は、前記下側容器部2と同様に、平面形状がほぼ長方形の深底の容器から構成されている。この上側容器部3の下部には、図2〜6に示すように、外側へ膨らませた膨出部3Aが形成されている。この膨出部3Aは、上側容器部3の下部の全周に亘って設けられている。上側容器部3の短辺側の膨出部3Aの上端部には係止板15(図13参照)が設けられている。この係止板15は、膨出部3Aの上端部から上方に延出した板材で構成され、後述する薄板収納容器用フック5の上側フック部26に嵌合するようになっている。係止板15の中央部には、薄板収納容器用フック5の係止用突起30に嵌合する切り欠き(図示せず)が設けられている。この切り欠きは、下側容器部2の係止板7の切り欠き8と同様に構成されている。
【0023】
上側容器部3の下端部には、図3に示すように、長辺側の長手方向の左半分に嵌合凸条17が、右半分に嵌合凹条18がそれぞれ設けられている。これら嵌合凸条17と嵌合凹条18は、前記下側容器部2の嵌合凸条10及び嵌合凹条11と同じ形状に構成されている。これにより、この嵌合凸条17及び嵌合凹条18と下側容器部2の嵌合凸条10及び嵌合凹条11とがそれぞれ嵌合して、前記下側容器部2に上側容器部3が、位置決め支持された状態で被せられるようになっている。
【0024】
上側容器部3の底部には、ウエハキャリア4の嵌合足部22が嵌合してウエハキャリア4を支持するウエハキャリア支持溝13が形成されている。このウエハキャリア支持溝13は、ウエハキャリア4の嵌合足部22に合わせて、上側容器部3の底部の2箇所の位置にそれぞれ設けられている。
【0025】
これにより、下側容器部2と上側容器部3とは同じ形状に構成されて、上下を入れ替えていずれを下側にしても、ウエハキャリア4を収納できるようになっている。
【0026】
ウエハキャリア4は主に、溝板部21と、嵌合足部22とを備えて構成されている。溝板部21は、複数の支持溝21Aを備えて構成され、各支持溝21Aに半導体ウエハWが嵌合して支持されるようになっている。溝板部21は、左右対称に、互いに対向させて設けられ、半導体ウエハWを両側から支持するようになっている。嵌合足部22は、各溝板部21の下端部に下方へ延出して設けられている。各嵌合足部22は、ウエハキャリア4全体を支持するための部材である。さらに、各嵌合足部22は、ウエハキャリア4が前記下側容器部2に収納された状態で、各ウエハキャリア支持溝13に嵌合して、ウエハキャリア4を前記下側容器部2内の正確な位置に位置決めして支持するための部材である。さらに、各嵌合足部22は、上側容器部3に対しても嵌合する。ウエハキャリア4が、下側に配設された上側容器部3に収納された状態で、各嵌合足部22が各ウエハキャリア支持溝13にそれぞれ嵌合して、ウエハキャリア4を上側容器部3内の正確な位置に位置決めして支持する。
【0027】
薄板収納容器用フック5は、前記下側容器部2に前記上側容器部3を被せた状態でこれらの間を固定するための部材である。
【0028】
前記薄板収納容器用フック5は、図1、9〜12に示すように、本体部25と、上側フック部26と、下側フック部27と、バネ取付け部28と、板バネ29と、係止用突起30とから構成されている。
【0029】
本体部25は、薄板収納容器用フック5のほぼ全体形状を構成する板状部材である。この本体部25は、弾性を有する合成樹脂で構成されている。具体的には、下側容器部2に上側容器部3が被せられた状態で、これらを確実に支持できる強度を備えて撓る合成樹脂材料で構成されている。下側容器部2及び上側容器部3の大きさ、重量に応じて、合成樹脂の種類を選択する。本体部25の上下方向中央部の左右方向両端部には、手で掴むための左右対称の凹部25Aが設けられている。
【0030】
上側フック部26は、本体部25の上端に設けられ上側容器部3の係止板15に引っ掛けるための溝部26Aを形成する部分である。溝部26Aは係止板15の上端部形状に合わせて形成されている。
【0031】
下側フック部27は、本体部25の下端に設けられ下側容器部2の係止板7に引っ掛けるための溝部27Aを形成する部分である。溝部27Aは係止板7の下端部形状に合わせて形成されている。
【0032】
バネ取付け部28は、板バネ29を掛け渡すための切り欠きである。このバネ取付け部28は、上側フック部26及び下側フック部27の左右方向の中央位置をそれぞれ切り欠いて形成されている。このバネ取付け部28は、本実施形態では、上側フック部26及び下側フック部27にそれぞれ1つずつ設けたが、取り付ける板バネ29の数に応じて2以上設ける場合もある。
【0033】
板バネ29は、係止板7、15に弾性的に当接するための部材である。この板バネ29は、バネ取付け部28に掛け渡して取り付けられている。
【0034】
係止用突起30は、下側容器部2側及び上側容器部3側の各係止板7、15にそれぞれ形成された切り欠き8に嵌合して薄板収納容器用フック5を位置決め支持するための部分である。この係止用突起30は、板バネ29の途中(中央位置)に、各係止板7、15の切り欠き8側へV字状に隆起して形成されている。このV字状の係止用突起30が、円弧状の切り欠き8に嵌合して薄板収納容器用フック5を位置決め支持するようになっている。係止用突起30は、板バネ29に1つだけ設けられているが、2以上設ける場合もある。薄板収納容器用フック5の横ずれ防止に重点を置く場合は、係止用突起30の数を増やす。
【0035】
さらに、上側フック部26と下側フック部27とは上下対称に形成されている。また、上側フック部26及び下側フック部27は、それぞれ左右対称に形成されている。これにより、薄板収納容器用フック5は、上下左右を問わず、どちらの方向からでも、下側容器部2側及び上側容器部3側の各係止板7、15に挿入して取り付けることができるようになっている。
【0036】
[作用]
以上のように構成された薄板収納容器1は、次のようにして使用される。
【0037】
まず、下側容器部2、上側容器部3及びウエハキャリア4を準備し、ウエハキャリア4に半導体ウエハWを収納する。次いで、ウエハキャリア4を下側容器部2又は上側容器部3のいずれか一方の内部に収納して、ウエハキャリア4の嵌合足部22をウエハキャリア支持溝13に嵌合させる。
【0038】
次いで、下側容器部2又は上側容器部3の他方を一方にその上側から被せる。これにより、下側容器部2の嵌合凸条10及び嵌合凹条11と上側容器部3の嵌合凹条18及び嵌合凸条17とが互いに嵌合する。
【0039】
次いで、下側容器部2の係止板7と上側容器部3の係止板15とに薄板収納容器用フック5を取り付ける。具体的には、薄板収納容器用フック5の凹部25Aを手で持って、上側フック部26を上側の係止板7又は15に、下側フック部27を下側の係止板15又は7にそれぞれ嵌合させて、薄板収納容器用フック5を各係止板7、15の中央位置までスライドさせる。
【0040】
これにより、板バネ29の係止用突起30が係止板7、15をスライドしながら、切り欠き8に嵌合して、薄板収納容器用フック5を位置決めして支持する。このとき、薄板収納容器用フック5を係止板7、15に嵌合させる際に、薄板収納容器用フック5の上下左右を合わせる必要がなく、薄板収納容器用フック5の上側フック部26及び下側フック部27を、下側容器部2及び上側容器部3の係止板7、15のいずれかに適宜嵌合させるだけでよい。
【0041】
薄板収納容器1内から半導体ウエハWを取り出す場合は、薄板収納容器用フック5をずらして、係止用突起30を切り欠き8から外し、薄板収納容器用フック5を係止板7、15から抜き取る。
【0042】
次いで、上側の上側容器部3又は下側容器部2を取り外して、内部のウエハキャリア4を取り出す。そして、ウエハキャリア4内の半導体ウエハWを適宜取り出して処理等を施す。
【0043】
[効果]
これにより、薄板収納容器1は次のような効果を奏する。
【0044】
下側容器部2及び上側容器部3の各係止板7、15に、薄板収納容器用フック5を取り付けると、板バネ29の係止用突起30が各係止板7、15の切り欠き8に嵌合して、薄板収納容器用フック5を各係止板7、15に位置決め支持して、この薄板収納容器用フック5が下側容器部2と上側容器部3とを固定するため、下側容器部2と上側容器部3とを容易に固定することができるようになる。
【0045】
また、薄板収納容器用フック5が、上下、左右対称に形成されて、その上下左右を合わせる必要がなくなるため、前記薄板収納容器用フックを容易に取り付けることができ、下側容器部と上側容器部とを容易に固定することができる。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す正面図である。
【図2】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す正面断面図である。
【図4】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を一部破断して示す側面図である。
【図5】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す平面図である。
【図6】本発明の実施形態に係る薄板収納容器をその上側容器部を取り外した状態で示す平面図である。
【図7】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡大正面図である。
【図8】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の下側容器部の上端部を示す要部拡大平面図である。
【図9】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す側面図である。
【図10】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを示す平面図である。
【図11】図1のA−A線矢視断面図である。
【図12】図1のB−B線矢視断面図である。
【図13】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックを係止板に取り付けた状態で示す側面図である。
【図14】本発明の実施形態に係る薄板収納容器用フックの板バネ及び係止板の部分を示す要部拡大図である。
【符号の説明】
【0047】
1:薄板収納容器、2:下側容器部、2A:膨出部、3:上側容器部、3A:膨出部、4:ウエハキャリア、5:薄板収納容器用フック、7:係止板、8:切り欠き、10:嵌合凸条、11:嵌合凹条、13:ウエハキャリア支持溝、15:係止板、17:嵌合凸条、18:嵌合凹条、21:溝板部、22:嵌合足部、25:本体部、26:上側フック部、27:下側フック部、28:バネ取付け部、29:板バネ、30:係止用突起、W:半導体ウエハ。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、
当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、
当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、
前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
【請求項2】
請求項1に記載の薄板収納容器用フックにおいて、
前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
【請求項3】
薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、
当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、
前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、
前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、
前記薄板収納容器用フックが、
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、
当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、
当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、
前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項4】
請求項3に記載の薄板収納容器において、
前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項1】
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、
当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、
当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、
前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
【請求項2】
請求項1に記載の薄板収納容器用フックにおいて、
前記本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器用フック。
【請求項3】
薄板を複数枚並べて収納する下側容器部と、
当該下側容器部の上側に被せられる上側容器部と、
前記下側容器部に前記上側容器部を被せた状態でこれらの間を固定する薄板収納容器用フックとを備え、
前記下側容器部と上側容器部とが同じ形状を有して上下を入れ替えることができると共に、これら下側容器部及び上側容器部に、前記薄板収納容器用フックが係止する係止板をそれぞれ設け、
前記薄板収納容器用フックが、
ほぼ全体形状を構成する板状の本体部と、
当該本体部の上端に設けられ前記上側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する上側フック部と、
前記本体部の下端に設けられ前記下側容器部の係止板に引っ掛けるための溝部を形成する下側フック部と、
前記上側フック部及び下側フック部の左右方向の中間位置をそれぞれ切り欠いて形成されたバネ取付け部と、
当該各バネ取付け部に掛け渡して取り付けられた板バネと、
当該板バネの途中に設けられ前記下側容器部側及び上側容器部側の各係止板にそれぞれ形成された切り欠きに嵌合して位置決め支持する係止用突起とを備え、
前記上側フック部と下側フック部とが上下対称に形成されると共に当該上側フック部及び下側フック部がそれぞれ左右対称に形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項4】
請求項3に記載の薄板収納容器において、
前記薄板収納容器用フックの本体部の上下方向中央部の左右方向両端部に、手で掴むための左右対称の凹部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【公開番号】特開2007−269344(P2007−269344A)
【公開日】平成19年10月18日(2007.10.18)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2006−95396(P2006−95396)
【出願日】平成18年3月30日(2006.3.30)
【出願人】(000140890)ミライアル株式会社 (74)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成19年10月18日(2007.10.18)
【国際特許分類】
【出願日】平成18年3月30日(2006.3.30)
【出願人】(000140890)ミライアル株式会社 (74)
【Fターム(参考)】
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