搬送システム
【課題】被搬送物を移載するための機構が設けられていない中継バッファを介して、その上面に被搬送物を載置して軌道上を走行する台車と、その下端において被搬送物を把持し、軌道に懸垂された状態で走行する台車との間で、被搬送物の受け渡しを行う
【解決手段】グリッパ４７によりＦＯＵＰ３５を把持したＯＨＴ搬送台車１６は、中継バッファ５に対向する位置において昇降ベルト４６によりグリッパ４７を降下させ、棚板２１ａ、２１ｂの上面に跨るようにＦＯＵＰ３５を載置する。ＯＨＳ搬送台車８は、中継バッファ５に対向する位置において昇降テーブル６４を上昇させて棚板２１ａ、２１ｂの間を通過させることによってその上面にＦＯＵＰ３５を載置し、その後、中継バッファ５に対向しない位置まで移動させてから昇降テーブル６４を降下させることにより、ＦＯＵＰ３５をＦＯＵＰ載置台６０に載置する。
【解決手段】グリッパ４７によりＦＯＵＰ３５を把持したＯＨＴ搬送台車１６は、中継バッファ５に対向する位置において昇降ベルト４６によりグリッパ４７を降下させ、棚板２１ａ、２１ｂの上面に跨るようにＦＯＵＰ３５を載置する。ＯＨＳ搬送台車８は、中継バッファ５に対向する位置において昇降テーブル６４を上昇させて棚板２１ａ、２１ｂの間を通過させることによってその上面にＦＯＵＰ３５を載置し、その後、中継バッファ５に対向しない位置まで移動させてから昇降テーブル６４を降下させることにより、ＦＯＵＰ３５をＦＯＵＰ載置台６０に載置する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道に沿って移動する搬送台車によって被搬送物を搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路素子は、ＣＶＤによる薄膜形成、イオン注入、フォトリソグラフィー、エッチング、検査等、複数の処理工程を経て、最終製品が製造される。そして、これら複数の処理工程を行うために、半導体基板をＦＯＵＰ（被搬送物）に収納し、搬送装置によって各処理工程間を搬送する。
ここで、特許文献１には、敷設された軌道上を台車が走行することによってカセット（被搬送物）を搬送する自動倉庫システムが記載されている。また、特許文献２には、敷設された軌道に懸垂された台車が、軌道に沿って移動することによってワーク（被搬送物）を搬送し、２つの台車間でワークの受け渡しを行うために、一方の台車がワークをストレージラック部材（中継バッファ）にワーク載置し、他方の台車がストレージラック部材に載置されたワークを摘出する。
これらの技術を組み合わせれば、ＦＯＵＰを搬送するための搬送装置において、その上面にＦＯＵＰを載置し、軌道上を走行するＯＨＳ（Over Head Shuttle）搬送台車と、その下端においてＦＯＵＰを把持し、軌道から懸垂された状態で走行するＯＨＴ（Over Head Transport）搬送台車の両タイプの搬送台車を搬送装置に組み入れ、ＯＨＳ搬送台車が走行する軌道とＯＨＴ搬送台車が走行する軌道との間にＦＯＵＰを一時的に載置しておくことが可能な棚を有する中継バッファを設け、例えば、処理工程間のＦＯＵＰの搬送をＯＨＳ搬送台車に処理工程内のＦＯＵＰの搬送をＯＨＴ搬送台車に分担させ、ＯＨＳ搬送台車とＯＨＴ搬送台車との間のＦＯＵＰの受け渡しを、中継バッファを介して行うことにより、搬送装置全体における搬送効率を向上させることが可能である。また、半導体製造の各処理工程に要する時間は処理工程毎に異なるので、ある処理工程の後、次の処理工程を行うまでに待ち時間がある場合には、ＦＯＵＰを中継バッファに載置しておき、この間にＯＨＳ搬送台車及びＯＨＴ搬送台車を異なるＦＯＵＰの搬送に割り当てることにより、ＯＨＳ搬送台車及びＯＨＴ搬送台車を有効利用することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１３０７０９号公報
【特許文献２】特開平１０−１０９８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＯＨＴ搬送台車においては、特許文献２に記載されているのと同様に、その下端のグリッパで把持したＦＯＵＰを降下させることにより、中継バッファにＦＯＵＰを載置し、中継バッファに載置されたＦＯＵＰをグリッパで把持してからグリッパを上昇させることにより中継バッファからＦＯＵＰを摘出することができるのに対して、ＯＨＳ搬送台車においては、特許文献１と同様にして、中継バッファへのＦＯＵＰの載置及び中継バッファからのＦＯＵＰの摘出を行うためには、中継バッファにＦＯＵＰの移載を行うための機構が必要となってしまう。これにより、中継バッファの構造が複雑になってしまう。
【０００５】
本発明の目的は、中継バッファに被搬送物を移載するための機構を設けることなく、その上面に被搬送物を載置して軌道上を走行する台車と、その下端において被搬送物を把持し、軌道に懸垂された状態で走行する台車との間で、被搬送物の受け渡しを行うことが可能な搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
天井に敷設された第１軌道と、第１軌道に懸垂された状態で移動することによって被搬送物を搬送する第１搬送台車と、第１軌道の下方に敷設された第２軌道と、第２軌道に沿って第２軌道上を移動することによって被搬送物を搬送する第２搬送台車と、上下方向に関して第１軌道と第２軌道とが重なる位置において、第１軌道と第２軌道との間に配置され、被搬送物が載置される中継バッファとを備え、中継バッファは、上下方向に関して同じ位置に、第２軌道の延在方向と直交する方向に関して第２軌道を挟んで互いに離隔して配置され、その上面に被搬送物が載置される２つの棚部材を有しており、第１搬送台車は、上下方向に移動し、２つの棚部材に跨るように被搬送物を載置し、中継バッファに載置された被搬送物を摘出する第１授受手段を有しており、第２搬送台車は、その上面に前記被搬送物を載置する載置面を有し、上下方向に移動する第２授受手段を有し、第２授受手段は、２つの棚部材の間を通過して上下方向に移動可能に構成されている。
【０００７】
これによると、第１搬送台車は、中継バッファに対向する位置において第１授受手段を上下方向に移動させることにより、中継バッファへの被搬送物の載置及び中継バッファからの被搬送物の摘出を行うことができ、第２搬送台車は、中継バッファに対向する位置において第２授受手段を棚部材よりも上方まで移動させることによって中継バッファに載置された被搬送物を摘出することができるとともに、中継バッファ近傍で第２授受手段をその上面が２つの棚部材よりも上方にくるように上方に移動させてから、中継バッファに対向する位置まで移動し、第２授受手段を下方に移動させることにより、第２授受手段の上面に載置された被搬送物を中継バッファに載置することができる。つまり、中継バッファを介して、第１搬送台車と第２搬送台車との間で被搬送物の授受を行うことができる。
【０００８】
さらに、中継バッファに、第１搬送台車及び第２搬送台車との間で被搬送物の授受を行うための装置を設ける必要ないので、中継バッファの構成が簡略化される。
【０００９】
また、本発明の搬送システムにおいては、中継バッファは、上下方向に関して、第１軌道と第２軌道とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されていてもよい。これによると、中継バッファに被搬送物を載置する際、及び、中継バッファから被搬送物を摘出する際に、被搬送物の向きを変更する必要がないので、第１搬送台車及び第２搬送台車と中継バッファとの間の被搬送物の授受を効率よく行うことができる。
【００１０】
また、本発明の搬送システムにおいては、２つの棚部材の少なくとも一方に、被搬送物の中継バッファに対する位置決めを行う位置決め手段を有していてもよい。これによると、中継バッファにおいて、被搬送物が一定の位置に載置されるので、第１搬送台車及び第２搬送台車は中継バッファから確実に被搬送物を摘出することができる。
【００１１】
また、本発明の搬送システムにおいては、棚部材が、その上面に複数の被搬送物を載置可能であってもよい。これによると、第１搬送台車と第２搬送台車との間の被搬送物の授受をさらに効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１３】
図１は本発明の実施の形態に係る搬送システムの概略平面図である。図２は図１を矢印Ａの方向から見たときの側面図である。図３は図２を矢印Ｂの方向から見たときの側面図である。図４は図２、図３の中継バッファ５の平面図である。図５は図１を矢印Ｃの方向から見たときの側面図である。図６は図５の中継バッファ７の平面図である。図７は図１を矢印Ｄの方向から見たときの側面図である。
【００１４】
搬送システム１は、半導体を製造するためのクリーンルーム内に設けられたものである。クリーンルームには、複数のセル２０が設けられており、各セル２０おいて半導体を製造するための各処理工程が行われる。各セル２０には複数の半導体処理装置１７が設けられており、各半導体処理装置１７において半導体基板に各処理工程に必要な処理が施される。ここで、半導体基板は、箱状のＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod、被搬送物）３５内に収納された状態で以下に説明するように、セル２０間及び半導体処理装置１７を搬送される。
【００１５】
搬送システム１は、図１〜図６に示すように、ＯＨＳ搬送台車走行軌道（第２軌道）９、ＯＨＴ搬送台車走行軌道（第１軌道）１０、ＯＨＳ搬送台車（第２搬送台車）８、ＯＨＴ搬送台車（第１搬送台車）１６、及び、中継バッファ５、６、７を有している。そして、搬送システム１においては、ＦＯＵＰ３５を載置したＯＨＳ搬送台車８及びＯＨＴ搬送台車１６が、それぞれ、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９及びＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に沿って移動することによってＦＯＵＰ３５が搬送される。また、中継バッファ５、６、７においてＯＨＳ搬送台車８とＯＨＴ搬送台車１６との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しが行われる。
【００１６】
ＯＨＳ搬送台車走行軌道９は、懸吊部材３０によって天井から懸垂されたレール支持部材３２に支持された平面視で環状の軌道であり、その上をＯＨＳ搬送台車８が走行する。
【００１７】
ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０は、懸吊部材２７によって天井から懸垂されたレール支持部材３２の下面に固定された、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の上方に配設された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０から懸吊された状態でＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に沿って移動する。ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０は、工程間軌道１１、複数の工程内軌道１２及び分岐軌道１３、１４、１９を有している。
【００１８】
工程間軌道１１は、複数のセル２０に沿って各セル２０に隣接して環状に配設された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６がＦＯＵＰ３５を把持しつつ工程間軌道１１に沿って移動することによって、ＦＯＵＰ３５が各セル２０に搬送される。工程内軌道１２は、各セル２０に含まれる複数の半導体処理装置１７に沿って各半導体処理装置１７に隣接して配設された環状の軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６がＦＯＵＰ３５を把持しつつ工程内軌道１２に沿って移動することにより、ＦＯＵＰ３５が各半導体処理装置１７に搬送される。
【００１９】
分岐軌道１３は工程間軌道１１から分岐し、工程間軌道１１と工程内軌道１２とを接続する軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、分岐軌道１３に沿って移動することによって工程間軌道１１と工程内軌道１２との間を移動する。分岐軌道１４は、各工程内軌道１２から分岐し、ＦＯＵＰ３５を一時的に保管しておくための簡易バッファ１５に接続された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、分岐軌道１４に沿って簡易バッファ１５まで移動して簡易バッファ１５へのＦＯＵＰ３５の載置及び簡易バッファ１５からのＦＯＵＰ３５の摘出を行う。分岐軌道１９は、工程間軌道１１から分岐し、ＦＯＵＰ３５を一時的に保管しておくストッカ１８に接続された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、分岐軌道１９に沿ってストッカ１８まで移動し、ストッカ１８へのＦＯＵＰ３５の載置及びストッカ１８からのＦＯＵＰ３５の摘出を行う。
【００２０】
ＯＨＳ搬送台車８は、図３に示すように、２次側鉄心５６、１次側コイル鉄心５２、走行輪５３、昇降軸５９、荷台５８、昇降テーブル（第２授受手段）６４を有している。
【００２１】
２次側鉄心５６には、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９に設けられた１次側給電線５７から非接触で電力が供給される。１次側コイル鉄心５２は２次側鉄心５６に電力が供給されたときに磁力が発生する。そして、この磁力と、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９にその延在方向に沿って配設された永久磁石５１の磁力とによって、ＯＨＳ搬送台車８には、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の延在方向に推力が作用する。走行輪５３は、ＯＨＳ搬送台車８に推力が作用したときに回転し、これによりＯＨＳ搬送台車８はＯＨＳ搬送台車走行軌道９に沿ってスムーズに移動する。
【００２２】
昇降軸５９はＯＨＳ搬送台車８の略中央部において上下方向に延びており、昇降テーブル６４を上下方向に昇降させる。荷台５８はＦＯＵＰ３５を載置するための台であり、その上面に設けられたＦＯＵＰ載置台６０の上面にＦＯＵＰ３５が載置される。昇降テーブル６４は昇降軸５９によって上下方向に昇降される。昇降テーブル６４の上面（載置面）には、ＦＯＵＰ３５が載置可能になっている。また、昇降テーブル６４は最も下方まで降下したときに、ＦＯＵＰ載置台６０に形成された収納スペース６２内に収納され、このとき昇降テーブル６４の上面とＦＯＵＰ載置台６０の上面とが同じ高さとなる。
【００２３】
図８は、ＦＯＵＰ載置台６０及び昇降テーブル６４の平面図である。図８に示すように、ＦＯＵＰ載置台６０の上面には、上方に突出した３つのキネマティックピン６３が設けられている。３つのキネマティックピン６３は、平面視で略正三角形の３つの頂点に位置するように配置されている。
【００２４】
また、図８に示すように、昇降テーブル６４の上面には、上方に突出した３つのキネマテッィクピン６５が設けられている。３つのキネマティックピン６５は、平面視で３つのキネマテッィクピン６３を頂点とする正三角形よりも一回り小さい正三角形の頂点に位置するように配置されている。そして、３つのキネマティックピン６３及び３つのキネマティックピン６５をそれぞれ頂点とする上記２つの正三角形の重心は一致している。
【００２５】
図９は、ＦＯＵＰ３５の底面図である。図９に示すように、ＦＯＵＰ３５の底面には、３つのキネマティックピン６３及び３つのキネマティックピン６５にそれぞれ係合する、３つの窪み３７及び３つの窪み３８が設けられている。
【００２６】
そして、ＦＯＵＰ３５がＦＯＵＰ載置台６０の上面に載置されているときには、３つのキネマティックピン６３及び３つのキネマティックピン６５がそれぞれ３つの窪み３７及び３つの窪み３８に係合することにより、ＦＯＵＰ３５はＦＯＵＰ載置台６０に対して位置決めされて載置されるとともに、その位置がずれるのが防止されている。一方、ＦＯＵＰ載置台６０の上面にＦＯＵＰ３５が載置された状態で昇降テーブル６４が上昇したときには、３つのキネマティックピン６５が３つの窪み３８に係合することにより、ＦＯＵＰ３５は、昇降テーブル６４に対して位置決めされるとともに、その位置がずれるのが防止される。
【００２７】
図３に戻って、ＯＨＴ搬送台車１６は、２次側鉄心４２、１次側コイル鉄心４０、走行輪４１、分岐ローラ４３、昇降装置４５、グリッパ（第１授受手段）４７を有している。
【００２８】
２次側鉄心４２は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に設けられた１次側給電線３１から非接触で電力が供給される。１次側コイル鉄心４０は２次側鉄心４２に電力が供給されたときに磁力が発生し、この磁力と、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０にその延在方向に沿って配設された永久磁石３９の磁力とによって、ＯＨＴ搬送台車１６にはＯＨＴ搬送台車走行軌道１０の延在方向に推力が作用する。走行輪４１は、ＯＨＴ搬送台車１６に推力が作用したときに回転し、これによりＯＨＴ搬送台車８は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に沿ってスムーズに移動する。
【００２９】
分岐ローラ４３は、ＯＨＴ搬送台車１６が工程間軌道１１から分岐軌道１３、１９に移動する際、及び、工程内軌道１２から分岐軌道１３、１４に移動する際に、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に形成された分岐ガイドレール２８に当接することによって回転し、これにより、ＯＨＴ搬送台車１６は、工程間軌道１１、工程内軌道１２から分岐軌道１３、１４、１９にスムーズに移動する。
【００３０】
昇降装置４５は、その下面に設けられた昇降ベルト４６を駆動させて、昇降ベルト４６の下端に取り付けられたグリッパ４７を昇降させる。グリッパ４７はその下面においてＦＯＵＰ３５を把持することができるように構成されており、ＦＯＵＰ３５を把持したグリッパ４７を降下させることにより、中継バッファ５、６、７、簡易バッファ１５、１８及び半導体製造装置１７にＦＯＵＰ３５を載置することができ、これらに載置されたＦＯＵＰ３５をグリッパ４７により把持してからグリッパ４７を上昇させることによりＦＯＵＰ３５を摘出することができる。
【００３１】
中継バッファ５、６は、図１、２、４、５、６に示すようにＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道とが平面視で平行に重なる位置において、上下方向に関して、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道１０との間に配置されている。中継バッファ７は、図１、図７に示すように、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道とが平面視で直交に重なる位置において、上下方向に関して、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道１０との間に配置されている。
【００３２】
中継バッファ５は、２枚の棚板２１ａ、２１ｂ及び２枚の位置決めプレート（位置決め手段）２２ａ、２２ｂを有している。なお、棚板２１ａと位置決めプレート２２ａ、及び、棚板２１ｂと位置決めプレート２２ｂとが、それぞれ、本発明に係る棚部材に相当する。２枚の棚板２１ａ、２１ｂは、懸吊部材２４によりＯＨＴ搬送台車走行軌道１０から懸垂された略長方形の平面形状を有する板状体であり、互いに同じ高さに、図４の上下方向（ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の延在方向と直交する方向）に関して、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９を挟んで互いに離隔して配置されている。ここで、棚板２１ａと棚板２１ｂとの離隔距離は、図４の上下方向に関するＯＨＳ搬送台車８の昇降テーブル６４の長さよりも大きくなっている。これにより、前述した昇降テーブル６４は、棚板２１ａと棚板２１ｂとの間を通過して上下方向に移動可能となる。
【００３３】
位置決めプレート２２ａ、２２ｂは、棚板２１ａ、２１ｂよりも小さい略長方形の平面形状を有する板状体であり、それぞれ棚板２１ａ、２１ｂの上面に配置されている。位置決めプレート２２ａ、２２ｂの上面には、それぞれ１つ及び２つの、上方に突出したキネマティックピン２３が形成されており、これら３つのキネマティックピン２３は平面視で正三角形の頂点に位置するように配置されている。
【００３４】
そして、ＯＨＳ搬送台車８及びＯＨＴ搬送台車１６により、中継バッファ５の上面にＦＯＵＰ３５が載置されるときには、３つのキネマティックピン２３とＦＯＵＰ３５の底面に形成された３つ窪み３７とが係合することにより、ＦＯＵＰ３５が中継バッファ５に対して位置決めされる。このとき、ＦＯＵＰ３５は、２枚の棚板２１ａ、２１ｂに跨って載置されることになり、平面視で３つの窪み３８が２つの棚板２１ａ、２１ｂの間に位置する。これにより、昇降テーブル６４が棚板２１ａ、２１ｂの間を通過して上昇してきたときに、３つのキネマティックピン６５と３つの窪み３８とが係合する。
【００３５】
また、位置決めプレート２２ａ、２２ｂには、長手方向の両端部に、その長手方向及び短手方向に延びた貫通孔３３、３４が形成されている。これにより、位置決めプレート２２ａ、２２ｂをその長手方向が図４の左右方向と平行になるように図４の上下方向及び左右方向に移動させ、貫通孔３３及び貫通孔３４のいずれかの部分と棚板２１ａ、２１ｂに形成された図示しないネジ穴とが重なるように配置することにより、位置決めプレート２２ａ、２２ｂを棚板２１ａ、２１ｂに対して位置決めし、位置決めプレート２２ａ、２２ｂを棚板２１ａ、２１ｂに固定することができる。
【００３６】
中継バッファ６は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０との位置関係以外は中継バッファ５と同じであるので、ここではその説明を省略する。
【００３７】
中継バッファ７は、図５、図６に示すように、２枚の棚板７１ａ、７１ｂ及び２枚の位置決めプレート（位置決め手段）７２ａ、７２ｂを有している。なお、棚板７１ａと位置決めプレート７２ａ、及び、棚板７１ｂと位置決めプレート７２ｂが、それぞれ、本発明に係る棚部材に相当する。２枚の棚板７１ａ、７１ｂは、懸吊部材２４によりＯＨＴ搬送台車走行軌道１０から懸垂された、長手方向に関して棚板２１ａ、２１ｂの約２倍の長さを有する板状体であり、互いに同じ高さに、図６の上下方向（ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の延在方向と直交する方向）に関して、ＯＨＴ搬送台車走行軌道９を挟んで互いに離隔して配置されている。ここで、棚板７１ａと棚板７１ｂとの間の離隔距離は、図６の上下方向に関するＯＨＳ搬送台車８の昇降テーブル６４の長さよりも大きくなっている。これにより、前述した昇降テーブル６４は、棚板７１ａと棚板７１ｂとの間を通過して上下方向に移動可能となる。
【００３８】
位置決めプレート７２ａは、その長手方向に関して位置決めプレート２２ａの約２倍の長さを有するプレートであり、棚板７１ａの上面に配置されている。位置決めプレート７２ｂは、その長手方向に関して位置決めプレート２２ｂの約２倍の長さを有する板状体であり、棚板７１ｂの上面に配置されている。位置決めプレート７２ａ、７２ｂには、それぞれ、２つ及び４つのキネマティックピン２３が形成されており、これら６つのキネマティックピン２３のうちの３つずつが、位置決めプレート７２ａ、７２ｂの長手方向に関して対称となるように配置される２つの正三角形の頂点に位置するように配置されている。
【００３９】
そして、ＯＨＳ搬送台車８及びＯＨＴ搬送台車１６により、中継バッファ７の上面にＦＯＵＰ３５が載置されるときには、６つのキネマティックピン２３の３つとＦＯＵＰ３５の底面に形成された窪み３７とが係合することにより、ＦＯＵＰ３５が中継バッファ５に対して位置決めされる。そして、６つのキネマティックピン２３のうちの３つずつとＦＯＵＰ３５の窪み３７とにより位置決めされて、棚板７１ａ、７１ｂの上面にＦＯＵＰ３５が配置されることにより、中継バッファ７には２つのＦＯＵＰ３５を載置することが可能となっている。また、このとき、ＦＯＵＰ３５は、２枚の棚板７１ａ、７１ｂに跨って載置されることになり、平面視で３つの窪み３８が２つの棚板７１ａ、７１ｂの間に位置する。これにより、昇降テーブル６４が棚板７１ａ、７１ｂの間を通過して上昇してきたときに、３つのキネマティックピン６５と３つの窪み３８とが係合する。
【００４０】
次に、本実施形態において、中継バッファ５、６、７を介して、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う方法について説明する。図１０は中継バッファ５を介して、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う過程を示す模式図である。
【００４１】
ＯＨＴ搬送台車１６からＯＨＳ搬送台車８にＦＯＵＰ３５を移載するには、図１０（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ３５を搬送しているＯＨＴ搬送台車１６を、中継バッファ５に対向する位置まで移動させ、図１０（ｂ）に示すように、昇降ベルト４６によりグリッパ４７を降下させ、ＦＯＵＰ３５を棚板２１の上面に載置する。
【００４２】
次に、図１０（ｃ）に示すように、ＯＨＳ搬送台車８が中継バッファ５に対向する位置まで移動させ、この位置で、図１０（ｄ）に示すように、昇降テーブル６４をその上面が棚板２１の上面よりも若干高い位置にくるまで上昇させる。これにより、ＦＯＵＰ３５は昇降テーブル６４の上面に載置される。この状態でＯＨＳ搬送台車８は中継バッファ５と対向しない位置まで移動してから、昇降テーブル６４を降下させる。これにより、図１０（ｅ）に示すように、ＦＯＵＰ３５がＦＯＵＰ載置台６０の上面に載置される。以上のようにして、ＯＨＴ搬送台車１６からＯＨＳ搬送台車８へのＦＯＵＰ３５の移載が行われる。
【００４３】
ＯＨＳ搬送台車８からＯＨＴ搬送台車１６にＦＯＵＰ３５を移載する際には、これとは逆の動作を行う。すなわち、図１０（ｅ）に示すように、ＦＯＵＰ移載台６０の上面にＦＯＵＰ３５を載置したＯＨＳ搬送台車８を中継バッファ５の近傍まで移動させ、その位置で昇降テーブル６４を上昇させてから、図１０（ｄ）に示すように、ＯＨＳ搬送台車８を中継バッファ５に対向する位置まで移動させる。そして、図１０（ｃ）に示すように、昇降テーブル６４を降下させることによって、ＦＯＵＰ３５を棚板２１の上面に載置する。
【００４４】
次に、ＯＨＴ搬送台車１６を中継バッファ５に対向する位置まで移動させてから、図１０（ｂ）に示すように、昇降ベルト４６によってグリッパ４７を降下させ、グリッパ４７にＦＯＵＰ３５を把持させる。そして、図１０（ａ）に示すように、昇降ベルト４６によりグリッパ４７を上昇させる。以上のようにして、ＯＨＳ搬送台車８からＯＨＴ搬送台車１６へのＦＯＵＰ３５の移載が行われる。
【００４５】
ここで、中継バッファ５は、２枚の棚板２１ａ、２１ｂがＯＨＳ搬送台車走行軌道１０を挟んで互いに離隔して配置されており、昇降テーブル６４がそれらの間を通過して昇降可能となっているので、上述したように、ＯＨＴ搬送台車１６は昇降ベルト４６及びグリッパ４７により、ＯＨＳ搬送台車８は昇降テーブル６４により、それぞれ、中継バッファ５へのＦＯＵＰ３５の移載及び中継バッファ５からのＦＯＵＰ３５の摘出を行うことができる。したがって、中継バッファ５にはＦＯＵＰ３５を移載するための機構を設ける必要がなく、棚板２１ａ、２１ｂの上面に位置決めプレート２２ａ、２２ｂが配置された簡単な構成とすることができる。
【００４６】
また、中継バッファ５に対向する位置においては、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが平行になっているため、棚板２１ａ、２１ｂの上面にＦＯＵＰ３５を載置する際にその向きを変更する必要がなく、ＦＯＵＰ３５の移載を効率よく行うことができる。
【００４７】
中継バッファ６、７を介してＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う方法も上述したのと同様である。ただし、中継バッファ６を介してＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う場合には、中継バッファ６に対向する位置においてＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とが直交しているため、ＦＯＵＰ３５を平面に平行に９０°回転させてから棚板２１ａ、２１ｂの上面にＦＯＵＰ３５を載置する。
【００４８】
また、中継バッファ７を介してＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う場合には、ＯＨＳ搬送台車８は、ＯＨＳ搬送台車８の進行方向に関して前方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされたＦＯＵＰ３５が棚板７１ａ、７１ｂの上面に載置されているときに、ＯＨＳ搬送台車の進行方向に関して後方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされて棚板７１ａ、７１ｂに載置されたＦＯＵＰ３５を摘出すること、及び、ＯＨＳ搬送台車８の進行方向に関して後方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされたＦＯＵＰ３５が棚板７１ａ、７１ｂの上面に載置されているときに、ＯＨＳ搬送台車８の進行方向に関して前方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされるＦＯＵＰ３５を棚板７１ａ、７１ｂに載置することが禁止されている。これにより、ＦＯＵＰ３５同士が衝突してしまうのが防止される。
【００４９】
以上に説明した実施の形態によると、ＯＨＴ搬送台車１６は、中継バッファ５、６、７に対向する位置において昇降ベルト４６によりグリッパ４７を上下方向に移動させることにより、中継バッファ５、６、７へのＦＯＵＰ３５の載置、及び、中継バッファ５、６、７からのＦＯＵＯ３５の摘出を行うことができ、ＯＨＳ搬送台車８は、中継バッファ５、６、７に対向する位置において昇降テーブル６４を上昇させることによって中継バッファ５、６、７に載置されたＦＯＵＰ３５を摘出することができるとともに、中継バッファ５、６、７近傍で、昇降テーブル６４をその上面が２つの棚板２１ａ、２１ｂよりも上方に来るまで上昇させ、その状態で中継バッファ５、６、７に対向する位置まで移動してから昇降テーブル６４を下方に移動させることにより、昇降テーブル６４の上面に載置されたＦＯＵＰ６４を中継バッファ５、６、７に載置することができる。つまり、中継バッファ５、６、７を介して、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行うことができる。
【００５０】
さらに、中継バッファ５、６、７に、ＯＨＴ搬送台車１６及びＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行うための機構を設ける必要ないので、中継バッファ５、６、７の構成を棚板２１ａ、２１ｂ、７１ａ、７１ｂの上面に位置決めプレート２２ａ、２２ｂを配置した簡単な構成とすることができる。
【００５１】
また、中継バッファ５、７は、上下方向に関して、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されているので、中継バッファ５、７にＦＯＵＰ３５を載置する際、及び、中継バッファ５、７からＦＯＵＰ３５を摘出する際に、ＦＯＵＰ３５の向きを変更する必要がないので、ＯＨＴ搬送台車１６及びＯＨＳ搬送台車８と中継バッファ５、７との間のＦＯＵＰ３５の受け渡しを効率よく行うことができる。
【００５２】
また、ＦＯＵＰ３５の底面には窪み３８が形成されており、中継バッファ５、６、７においては、棚板２１ａ、２１ｂ、７１ａ、７１ｂの上面に、キネマティックピン２３が形成された位置決めプレート２２ａ、２２ｂが配置されているため、ＦＯＵＰ３５を中継バッファ５、６、７に載置する際に、窪み３８がキネマティックピン２３に係合することにより、ＦＯＵＰ３５が中継バッファ５、６、７に対して位置決めされて載置される。
【００５３】
また、中継バッファ７には、２つの被搬送物を載置することができるので、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間のＦＯＵＰ３５の受け渡しをさらに効率よく行うことができる。
【００５４】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。
【００５５】
本実施の形態においては、中継バッファ５、７に対向する位置において、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが平行に配設されており、中継バッファ６に対向する位置において、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが直交するように配設されていたが、中継バッファ５、６、７と対向する位置において、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とがこれらとは異なる角度で交差していてもよい。この場合には、両者の交差する角度に合わせて、ＦＯＵＰ３５を回転させてから、ＦＯＵＰ３５を中継バッファ５、６、７に載置する。
【００５６】
また、本実施の形態においては、位置決めプレート２２ａ、２２ｂ及び７２ａ、７２ｂの両方にキネマティックピン２３が設けられていたが、位置決めプレート２２ａ、２２ｂのいずれか一方、及び、位置決めプレート７２ａ、７２ｂのいずれか一方にのみ、それぞれキネマティックピン２３が設けられていてもよい。
【００５７】
また、本実施の形態においては、中継バッファ７は、２個のＦＯＵＰ３５を載置することができるものであったが、３個以上のＦＯＵＰ３５を載置することが可能なものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送システムの概略平面図である。
【図２】図１を矢印Ａの方向から見たときの側面図である。
【図３】図２を矢印Ｂの方向から見たときの側面図である。
【図４】図２、３の中継バッファの平面図である。
【図５】図１を矢印Ｃの方向から見たときの側面図である。
【図６】図５の中継バッファの平面図である。
【図７】図１を矢印Ｄの方向から見たときの側面図である。
【図８】ＯＨＳ搬送台車の上面図である。
【図９】ＦＯＵＰの底面図である。
【図１０】ＯＨＴ搬送台車とＯＨＳ搬送台車との間でＦＯＵＰの受け渡しを行う過程を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
５、６、７ 中継バッファ
８ ＯＨＳ搬送台車
９ ＯＨＳ搬送台車走行軌道
１０ ＯＨＴ搬送台車走行軌道
１６ ＯＨＴ搬送台車
２１ａ、２１ｂ 棚板
２２ａ，２２ｂ 位置決めプレート
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ キネマティックピン
３７、３８ 窪み
４７ グリッパ
６４ 昇降テーブル
７１ａ、７１ｂ 棚板
７２ａ、７２ｂ 位置決めプレート
【技術分野】
【０００１】
本発明は、軌道に沿って移動する搬送台車によって被搬送物を搬送する搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路素子は、ＣＶＤによる薄膜形成、イオン注入、フォトリソグラフィー、エッチング、検査等、複数の処理工程を経て、最終製品が製造される。そして、これら複数の処理工程を行うために、半導体基板をＦＯＵＰ（被搬送物）に収納し、搬送装置によって各処理工程間を搬送する。
ここで、特許文献１には、敷設された軌道上を台車が走行することによってカセット（被搬送物）を搬送する自動倉庫システムが記載されている。また、特許文献２には、敷設された軌道に懸垂された台車が、軌道に沿って移動することによってワーク（被搬送物）を搬送し、２つの台車間でワークの受け渡しを行うために、一方の台車がワークをストレージラック部材（中継バッファ）にワーク載置し、他方の台車がストレージラック部材に載置されたワークを摘出する。
これらの技術を組み合わせれば、ＦＯＵＰを搬送するための搬送装置において、その上面にＦＯＵＰを載置し、軌道上を走行するＯＨＳ（Over Head Shuttle）搬送台車と、その下端においてＦＯＵＰを把持し、軌道から懸垂された状態で走行するＯＨＴ（Over Head Transport）搬送台車の両タイプの搬送台車を搬送装置に組み入れ、ＯＨＳ搬送台車が走行する軌道とＯＨＴ搬送台車が走行する軌道との間にＦＯＵＰを一時的に載置しておくことが可能な棚を有する中継バッファを設け、例えば、処理工程間のＦＯＵＰの搬送をＯＨＳ搬送台車に処理工程内のＦＯＵＰの搬送をＯＨＴ搬送台車に分担させ、ＯＨＳ搬送台車とＯＨＴ搬送台車との間のＦＯＵＰの受け渡しを、中継バッファを介して行うことにより、搬送装置全体における搬送効率を向上させることが可能である。また、半導体製造の各処理工程に要する時間は処理工程毎に異なるので、ある処理工程の後、次の処理工程を行うまでに待ち時間がある場合には、ＦＯＵＰを中継バッファに載置しておき、この間にＯＨＳ搬送台車及びＯＨＴ搬送台車を異なるＦＯＵＰの搬送に割り当てることにより、ＯＨＳ搬送台車及びＯＨＴ搬送台車を有効利用することができる。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−１３０７０９号公報
【特許文献２】特開平１０−１０９８８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、ＯＨＴ搬送台車においては、特許文献２に記載されているのと同様に、その下端のグリッパで把持したＦＯＵＰを降下させることにより、中継バッファにＦＯＵＰを載置し、中継バッファに載置されたＦＯＵＰをグリッパで把持してからグリッパを上昇させることにより中継バッファからＦＯＵＰを摘出することができるのに対して、ＯＨＳ搬送台車においては、特許文献１と同様にして、中継バッファへのＦＯＵＰの載置及び中継バッファからのＦＯＵＰの摘出を行うためには、中継バッファにＦＯＵＰの移載を行うための機構が必要となってしまう。これにより、中継バッファの構造が複雑になってしまう。
【０００５】
本発明の目的は、中継バッファに被搬送物を移載するための機構を設けることなく、その上面に被搬送物を載置して軌道上を走行する台車と、その下端において被搬送物を把持し、軌道に懸垂された状態で走行する台車との間で、被搬送物の受け渡しを行うことが可能な搬送システムを提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
天井に敷設された第１軌道と、第１軌道に懸垂された状態で移動することによって被搬送物を搬送する第１搬送台車と、第１軌道の下方に敷設された第２軌道と、第２軌道に沿って第２軌道上を移動することによって被搬送物を搬送する第２搬送台車と、上下方向に関して第１軌道と第２軌道とが重なる位置において、第１軌道と第２軌道との間に配置され、被搬送物が載置される中継バッファとを備え、中継バッファは、上下方向に関して同じ位置に、第２軌道の延在方向と直交する方向に関して第２軌道を挟んで互いに離隔して配置され、その上面に被搬送物が載置される２つの棚部材を有しており、第１搬送台車は、上下方向に移動し、２つの棚部材に跨るように被搬送物を載置し、中継バッファに載置された被搬送物を摘出する第１授受手段を有しており、第２搬送台車は、その上面に前記被搬送物を載置する載置面を有し、上下方向に移動する第２授受手段を有し、第２授受手段は、２つの棚部材の間を通過して上下方向に移動可能に構成されている。
【０００７】
これによると、第１搬送台車は、中継バッファに対向する位置において第１授受手段を上下方向に移動させることにより、中継バッファへの被搬送物の載置及び中継バッファからの被搬送物の摘出を行うことができ、第２搬送台車は、中継バッファに対向する位置において第２授受手段を棚部材よりも上方まで移動させることによって中継バッファに載置された被搬送物を摘出することができるとともに、中継バッファ近傍で第２授受手段をその上面が２つの棚部材よりも上方にくるように上方に移動させてから、中継バッファに対向する位置まで移動し、第２授受手段を下方に移動させることにより、第２授受手段の上面に載置された被搬送物を中継バッファに載置することができる。つまり、中継バッファを介して、第１搬送台車と第２搬送台車との間で被搬送物の授受を行うことができる。
【０００８】
さらに、中継バッファに、第１搬送台車及び第２搬送台車との間で被搬送物の授受を行うための装置を設ける必要ないので、中継バッファの構成が簡略化される。
【０００９】
また、本発明の搬送システムにおいては、中継バッファは、上下方向に関して、第１軌道と第２軌道とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されていてもよい。これによると、中継バッファに被搬送物を載置する際、及び、中継バッファから被搬送物を摘出する際に、被搬送物の向きを変更する必要がないので、第１搬送台車及び第２搬送台車と中継バッファとの間の被搬送物の授受を効率よく行うことができる。
【００１０】
また、本発明の搬送システムにおいては、２つの棚部材の少なくとも一方に、被搬送物の中継バッファに対する位置決めを行う位置決め手段を有していてもよい。これによると、中継バッファにおいて、被搬送物が一定の位置に載置されるので、第１搬送台車及び第２搬送台車は中継バッファから確実に被搬送物を摘出することができる。
【００１１】
また、本発明の搬送システムにおいては、棚部材が、その上面に複数の被搬送物を載置可能であってもよい。これによると、第１搬送台車と第２搬送台車との間の被搬送物の授受をさらに効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。
【００１３】
図１は本発明の実施の形態に係る搬送システムの概略平面図である。図２は図１を矢印Ａの方向から見たときの側面図である。図３は図２を矢印Ｂの方向から見たときの側面図である。図４は図２、図３の中継バッファ５の平面図である。図５は図１を矢印Ｃの方向から見たときの側面図である。図６は図５の中継バッファ７の平面図である。図７は図１を矢印Ｄの方向から見たときの側面図である。
【００１４】
搬送システム１は、半導体を製造するためのクリーンルーム内に設けられたものである。クリーンルームには、複数のセル２０が設けられており、各セル２０おいて半導体を製造するための各処理工程が行われる。各セル２０には複数の半導体処理装置１７が設けられており、各半導体処理装置１７において半導体基板に各処理工程に必要な処理が施される。ここで、半導体基板は、箱状のＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod、被搬送物）３５内に収納された状態で以下に説明するように、セル２０間及び半導体処理装置１７を搬送される。
【００１５】
搬送システム１は、図１〜図６に示すように、ＯＨＳ搬送台車走行軌道（第２軌道）９、ＯＨＴ搬送台車走行軌道（第１軌道）１０、ＯＨＳ搬送台車（第２搬送台車）８、ＯＨＴ搬送台車（第１搬送台車）１６、及び、中継バッファ５、６、７を有している。そして、搬送システム１においては、ＦＯＵＰ３５を載置したＯＨＳ搬送台車８及びＯＨＴ搬送台車１６が、それぞれ、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９及びＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に沿って移動することによってＦＯＵＰ３５が搬送される。また、中継バッファ５、６、７においてＯＨＳ搬送台車８とＯＨＴ搬送台車１６との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しが行われる。
【００１６】
ＯＨＳ搬送台車走行軌道９は、懸吊部材３０によって天井から懸垂されたレール支持部材３２に支持された平面視で環状の軌道であり、その上をＯＨＳ搬送台車８が走行する。
【００１７】
ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０は、懸吊部材２７によって天井から懸垂されたレール支持部材３２の下面に固定された、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の上方に配設された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０から懸吊された状態でＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に沿って移動する。ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０は、工程間軌道１１、複数の工程内軌道１２及び分岐軌道１３、１４、１９を有している。
【００１８】
工程間軌道１１は、複数のセル２０に沿って各セル２０に隣接して環状に配設された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６がＦＯＵＰ３５を把持しつつ工程間軌道１１に沿って移動することによって、ＦＯＵＰ３５が各セル２０に搬送される。工程内軌道１２は、各セル２０に含まれる複数の半導体処理装置１７に沿って各半導体処理装置１７に隣接して配設された環状の軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６がＦＯＵＰ３５を把持しつつ工程内軌道１２に沿って移動することにより、ＦＯＵＰ３５が各半導体処理装置１７に搬送される。
【００１９】
分岐軌道１３は工程間軌道１１から分岐し、工程間軌道１１と工程内軌道１２とを接続する軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、分岐軌道１３に沿って移動することによって工程間軌道１１と工程内軌道１２との間を移動する。分岐軌道１４は、各工程内軌道１２から分岐し、ＦＯＵＰ３５を一時的に保管しておくための簡易バッファ１５に接続された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、分岐軌道１４に沿って簡易バッファ１５まで移動して簡易バッファ１５へのＦＯＵＰ３５の載置及び簡易バッファ１５からのＦＯＵＰ３５の摘出を行う。分岐軌道１９は、工程間軌道１１から分岐し、ＦＯＵＰ３５を一時的に保管しておくストッカ１８に接続された軌道であり、ＯＨＴ搬送台車１６は、分岐軌道１９に沿ってストッカ１８まで移動し、ストッカ１８へのＦＯＵＰ３５の載置及びストッカ１８からのＦＯＵＰ３５の摘出を行う。
【００２０】
ＯＨＳ搬送台車８は、図３に示すように、２次側鉄心５６、１次側コイル鉄心５２、走行輪５３、昇降軸５９、荷台５８、昇降テーブル（第２授受手段）６４を有している。
【００２１】
２次側鉄心５６には、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９に設けられた１次側給電線５７から非接触で電力が供給される。１次側コイル鉄心５２は２次側鉄心５６に電力が供給されたときに磁力が発生する。そして、この磁力と、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９にその延在方向に沿って配設された永久磁石５１の磁力とによって、ＯＨＳ搬送台車８には、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の延在方向に推力が作用する。走行輪５３は、ＯＨＳ搬送台車８に推力が作用したときに回転し、これによりＯＨＳ搬送台車８はＯＨＳ搬送台車走行軌道９に沿ってスムーズに移動する。
【００２２】
昇降軸５９はＯＨＳ搬送台車８の略中央部において上下方向に延びており、昇降テーブル６４を上下方向に昇降させる。荷台５８はＦＯＵＰ３５を載置するための台であり、その上面に設けられたＦＯＵＰ載置台６０の上面にＦＯＵＰ３５が載置される。昇降テーブル６４は昇降軸５９によって上下方向に昇降される。昇降テーブル６４の上面（載置面）には、ＦＯＵＰ３５が載置可能になっている。また、昇降テーブル６４は最も下方まで降下したときに、ＦＯＵＰ載置台６０に形成された収納スペース６２内に収納され、このとき昇降テーブル６４の上面とＦＯＵＰ載置台６０の上面とが同じ高さとなる。
【００２３】
図８は、ＦＯＵＰ載置台６０及び昇降テーブル６４の平面図である。図８に示すように、ＦＯＵＰ載置台６０の上面には、上方に突出した３つのキネマティックピン６３が設けられている。３つのキネマティックピン６３は、平面視で略正三角形の３つの頂点に位置するように配置されている。
【００２４】
また、図８に示すように、昇降テーブル６４の上面には、上方に突出した３つのキネマテッィクピン６５が設けられている。３つのキネマティックピン６５は、平面視で３つのキネマテッィクピン６３を頂点とする正三角形よりも一回り小さい正三角形の頂点に位置するように配置されている。そして、３つのキネマティックピン６３及び３つのキネマティックピン６５をそれぞれ頂点とする上記２つの正三角形の重心は一致している。
【００２５】
図９は、ＦＯＵＰ３５の底面図である。図９に示すように、ＦＯＵＰ３５の底面には、３つのキネマティックピン６３及び３つのキネマティックピン６５にそれぞれ係合する、３つの窪み３７及び３つの窪み３８が設けられている。
【００２６】
そして、ＦＯＵＰ３５がＦＯＵＰ載置台６０の上面に載置されているときには、３つのキネマティックピン６３及び３つのキネマティックピン６５がそれぞれ３つの窪み３７及び３つの窪み３８に係合することにより、ＦＯＵＰ３５はＦＯＵＰ載置台６０に対して位置決めされて載置されるとともに、その位置がずれるのが防止されている。一方、ＦＯＵＰ載置台６０の上面にＦＯＵＰ３５が載置された状態で昇降テーブル６４が上昇したときには、３つのキネマティックピン６５が３つの窪み３８に係合することにより、ＦＯＵＰ３５は、昇降テーブル６４に対して位置決めされるとともに、その位置がずれるのが防止される。
【００２７】
図３に戻って、ＯＨＴ搬送台車１６は、２次側鉄心４２、１次側コイル鉄心４０、走行輪４１、分岐ローラ４３、昇降装置４５、グリッパ（第１授受手段）４７を有している。
【００２８】
２次側鉄心４２は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に設けられた１次側給電線３１から非接触で電力が供給される。１次側コイル鉄心４０は２次側鉄心４２に電力が供給されたときに磁力が発生し、この磁力と、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０にその延在方向に沿って配設された永久磁石３９の磁力とによって、ＯＨＴ搬送台車１６にはＯＨＴ搬送台車走行軌道１０の延在方向に推力が作用する。走行輪４１は、ＯＨＴ搬送台車１６に推力が作用したときに回転し、これによりＯＨＴ搬送台車８は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に沿ってスムーズに移動する。
【００２９】
分岐ローラ４３は、ＯＨＴ搬送台車１６が工程間軌道１１から分岐軌道１３、１９に移動する際、及び、工程内軌道１２から分岐軌道１３、１４に移動する際に、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０に形成された分岐ガイドレール２８に当接することによって回転し、これにより、ＯＨＴ搬送台車１６は、工程間軌道１１、工程内軌道１２から分岐軌道１３、１４、１９にスムーズに移動する。
【００３０】
昇降装置４５は、その下面に設けられた昇降ベルト４６を駆動させて、昇降ベルト４６の下端に取り付けられたグリッパ４７を昇降させる。グリッパ４７はその下面においてＦＯＵＰ３５を把持することができるように構成されており、ＦＯＵＰ３５を把持したグリッパ４７を降下させることにより、中継バッファ５、６、７、簡易バッファ１５、１８及び半導体製造装置１７にＦＯＵＰ３５を載置することができ、これらに載置されたＦＯＵＰ３５をグリッパ４７により把持してからグリッパ４７を上昇させることによりＦＯＵＰ３５を摘出することができる。
【００３１】
中継バッファ５、６は、図１、２、４、５、６に示すようにＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道とが平面視で平行に重なる位置において、上下方向に関して、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道１０との間に配置されている。中継バッファ７は、図１、図７に示すように、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道とが平面視で直交に重なる位置において、上下方向に関して、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道１０との間に配置されている。
【００３２】
中継バッファ５は、２枚の棚板２１ａ、２１ｂ及び２枚の位置決めプレート（位置決め手段）２２ａ、２２ｂを有している。なお、棚板２１ａと位置決めプレート２２ａ、及び、棚板２１ｂと位置決めプレート２２ｂとが、それぞれ、本発明に係る棚部材に相当する。２枚の棚板２１ａ、２１ｂは、懸吊部材２４によりＯＨＴ搬送台車走行軌道１０から懸垂された略長方形の平面形状を有する板状体であり、互いに同じ高さに、図４の上下方向（ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の延在方向と直交する方向）に関して、ＯＨＳ搬送台車走行軌道９を挟んで互いに離隔して配置されている。ここで、棚板２１ａと棚板２１ｂとの離隔距離は、図４の上下方向に関するＯＨＳ搬送台車８の昇降テーブル６４の長さよりも大きくなっている。これにより、前述した昇降テーブル６４は、棚板２１ａと棚板２１ｂとの間を通過して上下方向に移動可能となる。
【００３３】
位置決めプレート２２ａ、２２ｂは、棚板２１ａ、２１ｂよりも小さい略長方形の平面形状を有する板状体であり、それぞれ棚板２１ａ、２１ｂの上面に配置されている。位置決めプレート２２ａ、２２ｂの上面には、それぞれ１つ及び２つの、上方に突出したキネマティックピン２３が形成されており、これら３つのキネマティックピン２３は平面視で正三角形の頂点に位置するように配置されている。
【００３４】
そして、ＯＨＳ搬送台車８及びＯＨＴ搬送台車１６により、中継バッファ５の上面にＦＯＵＰ３５が載置されるときには、３つのキネマティックピン２３とＦＯＵＰ３５の底面に形成された３つ窪み３７とが係合することにより、ＦＯＵＰ３５が中継バッファ５に対して位置決めされる。このとき、ＦＯＵＰ３５は、２枚の棚板２１ａ、２１ｂに跨って載置されることになり、平面視で３つの窪み３８が２つの棚板２１ａ、２１ｂの間に位置する。これにより、昇降テーブル６４が棚板２１ａ、２１ｂの間を通過して上昇してきたときに、３つのキネマティックピン６５と３つの窪み３８とが係合する。
【００３５】
また、位置決めプレート２２ａ、２２ｂには、長手方向の両端部に、その長手方向及び短手方向に延びた貫通孔３３、３４が形成されている。これにより、位置決めプレート２２ａ、２２ｂをその長手方向が図４の左右方向と平行になるように図４の上下方向及び左右方向に移動させ、貫通孔３３及び貫通孔３４のいずれかの部分と棚板２１ａ、２１ｂに形成された図示しないネジ穴とが重なるように配置することにより、位置決めプレート２２ａ、２２ｂを棚板２１ａ、２１ｂに対して位置決めし、位置決めプレート２２ａ、２２ｂを棚板２１ａ、２１ｂに固定することができる。
【００３６】
中継バッファ６は、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０との位置関係以外は中継バッファ５と同じであるので、ここではその説明を省略する。
【００３７】
中継バッファ７は、図５、図６に示すように、２枚の棚板７１ａ、７１ｂ及び２枚の位置決めプレート（位置決め手段）７２ａ、７２ｂを有している。なお、棚板７１ａと位置決めプレート７２ａ、及び、棚板７１ｂと位置決めプレート７２ｂが、それぞれ、本発明に係る棚部材に相当する。２枚の棚板７１ａ、７１ｂは、懸吊部材２４によりＯＨＴ搬送台車走行軌道１０から懸垂された、長手方向に関して棚板２１ａ、２１ｂの約２倍の長さを有する板状体であり、互いに同じ高さに、図６の上下方向（ＯＨＳ搬送台車走行軌道９の延在方向と直交する方向）に関して、ＯＨＴ搬送台車走行軌道９を挟んで互いに離隔して配置されている。ここで、棚板７１ａと棚板７１ｂとの間の離隔距離は、図６の上下方向に関するＯＨＳ搬送台車８の昇降テーブル６４の長さよりも大きくなっている。これにより、前述した昇降テーブル６４は、棚板７１ａと棚板７１ｂとの間を通過して上下方向に移動可能となる。
【００３８】
位置決めプレート７２ａは、その長手方向に関して位置決めプレート２２ａの約２倍の長さを有するプレートであり、棚板７１ａの上面に配置されている。位置決めプレート７２ｂは、その長手方向に関して位置決めプレート２２ｂの約２倍の長さを有する板状体であり、棚板７１ｂの上面に配置されている。位置決めプレート７２ａ、７２ｂには、それぞれ、２つ及び４つのキネマティックピン２３が形成されており、これら６つのキネマティックピン２３のうちの３つずつが、位置決めプレート７２ａ、７２ｂの長手方向に関して対称となるように配置される２つの正三角形の頂点に位置するように配置されている。
【００３９】
そして、ＯＨＳ搬送台車８及びＯＨＴ搬送台車１６により、中継バッファ７の上面にＦＯＵＰ３５が載置されるときには、６つのキネマティックピン２３の３つとＦＯＵＰ３５の底面に形成された窪み３７とが係合することにより、ＦＯＵＰ３５が中継バッファ５に対して位置決めされる。そして、６つのキネマティックピン２３のうちの３つずつとＦＯＵＰ３５の窪み３７とにより位置決めされて、棚板７１ａ、７１ｂの上面にＦＯＵＰ３５が配置されることにより、中継バッファ７には２つのＦＯＵＰ３５を載置することが可能となっている。また、このとき、ＦＯＵＰ３５は、２枚の棚板７１ａ、７１ｂに跨って載置されることになり、平面視で３つの窪み３８が２つの棚板７１ａ、７１ｂの間に位置する。これにより、昇降テーブル６４が棚板７１ａ、７１ｂの間を通過して上昇してきたときに、３つのキネマティックピン６５と３つの窪み３８とが係合する。
【００４０】
次に、本実施形態において、中継バッファ５、６、７を介して、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う方法について説明する。図１０は中継バッファ５を介して、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う過程を示す模式図である。
【００４１】
ＯＨＴ搬送台車１６からＯＨＳ搬送台車８にＦＯＵＰ３５を移載するには、図１０（ａ）に示すように、ＦＯＵＰ３５を搬送しているＯＨＴ搬送台車１６を、中継バッファ５に対向する位置まで移動させ、図１０（ｂ）に示すように、昇降ベルト４６によりグリッパ４７を降下させ、ＦＯＵＰ３５を棚板２１の上面に載置する。
【００４２】
次に、図１０（ｃ）に示すように、ＯＨＳ搬送台車８が中継バッファ５に対向する位置まで移動させ、この位置で、図１０（ｄ）に示すように、昇降テーブル６４をその上面が棚板２１の上面よりも若干高い位置にくるまで上昇させる。これにより、ＦＯＵＰ３５は昇降テーブル６４の上面に載置される。この状態でＯＨＳ搬送台車８は中継バッファ５と対向しない位置まで移動してから、昇降テーブル６４を降下させる。これにより、図１０（ｅ）に示すように、ＦＯＵＰ３５がＦＯＵＰ載置台６０の上面に載置される。以上のようにして、ＯＨＴ搬送台車１６からＯＨＳ搬送台車８へのＦＯＵＰ３５の移載が行われる。
【００４３】
ＯＨＳ搬送台車８からＯＨＴ搬送台車１６にＦＯＵＰ３５を移載する際には、これとは逆の動作を行う。すなわち、図１０（ｅ）に示すように、ＦＯＵＰ移載台６０の上面にＦＯＵＰ３５を載置したＯＨＳ搬送台車８を中継バッファ５の近傍まで移動させ、その位置で昇降テーブル６４を上昇させてから、図１０（ｄ）に示すように、ＯＨＳ搬送台車８を中継バッファ５に対向する位置まで移動させる。そして、図１０（ｃ）に示すように、昇降テーブル６４を降下させることによって、ＦＯＵＰ３５を棚板２１の上面に載置する。
【００４４】
次に、ＯＨＴ搬送台車１６を中継バッファ５に対向する位置まで移動させてから、図１０（ｂ）に示すように、昇降ベルト４６によってグリッパ４７を降下させ、グリッパ４７にＦＯＵＰ３５を把持させる。そして、図１０（ａ）に示すように、昇降ベルト４６によりグリッパ４７を上昇させる。以上のようにして、ＯＨＳ搬送台車８からＯＨＴ搬送台車１６へのＦＯＵＰ３５の移載が行われる。
【００４５】
ここで、中継バッファ５は、２枚の棚板２１ａ、２１ｂがＯＨＳ搬送台車走行軌道１０を挟んで互いに離隔して配置されており、昇降テーブル６４がそれらの間を通過して昇降可能となっているので、上述したように、ＯＨＴ搬送台車１６は昇降ベルト４６及びグリッパ４７により、ＯＨＳ搬送台車８は昇降テーブル６４により、それぞれ、中継バッファ５へのＦＯＵＰ３５の移載及び中継バッファ５からのＦＯＵＰ３５の摘出を行うことができる。したがって、中継バッファ５にはＦＯＵＰ３５を移載するための機構を設ける必要がなく、棚板２１ａ、２１ｂの上面に位置決めプレート２２ａ、２２ｂが配置された簡単な構成とすることができる。
【００４６】
また、中継バッファ５に対向する位置においては、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが平行になっているため、棚板２１ａ、２１ｂの上面にＦＯＵＰ３５を載置する際にその向きを変更する必要がなく、ＦＯＵＰ３５の移載を効率よく行うことができる。
【００４７】
中継バッファ６、７を介してＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う方法も上述したのと同様である。ただし、中継バッファ６を介してＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う場合には、中継バッファ６に対向する位置においてＯＨＳ搬送台車走行軌道９とＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とが直交しているため、ＦＯＵＰ３５を平面に平行に９０°回転させてから棚板２１ａ、２１ｂの上面にＦＯＵＰ３５を載置する。
【００４８】
また、中継バッファ７を介してＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行う場合には、ＯＨＳ搬送台車８は、ＯＨＳ搬送台車８の進行方向に関して前方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされたＦＯＵＰ３５が棚板７１ａ、７１ｂの上面に載置されているときに、ＯＨＳ搬送台車の進行方向に関して後方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされて棚板７１ａ、７１ｂに載置されたＦＯＵＰ３５を摘出すること、及び、ＯＨＳ搬送台車８の進行方向に関して後方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされたＦＯＵＰ３５が棚板７１ａ、７１ｂの上面に載置されているときに、ＯＨＳ搬送台車８の進行方向に関して前方に配置された３つのキネマティックピン２３によって位置決めされるＦＯＵＰ３５を棚板７１ａ、７１ｂに載置することが禁止されている。これにより、ＦＯＵＰ３５同士が衝突してしまうのが防止される。
【００４９】
以上に説明した実施の形態によると、ＯＨＴ搬送台車１６は、中継バッファ５、６、７に対向する位置において昇降ベルト４６によりグリッパ４７を上下方向に移動させることにより、中継バッファ５、６、７へのＦＯＵＰ３５の載置、及び、中継バッファ５、６、７からのＦＯＵＯ３５の摘出を行うことができ、ＯＨＳ搬送台車８は、中継バッファ５、６、７に対向する位置において昇降テーブル６４を上昇させることによって中継バッファ５、６、７に載置されたＦＯＵＰ３５を摘出することができるとともに、中継バッファ５、６、７近傍で、昇降テーブル６４をその上面が２つの棚板２１ａ、２１ｂよりも上方に来るまで上昇させ、その状態で中継バッファ５、６、７に対向する位置まで移動してから昇降テーブル６４を下方に移動させることにより、昇降テーブル６４の上面に載置されたＦＯＵＰ６４を中継バッファ５、６、７に載置することができる。つまり、中継バッファ５、６、７を介して、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行うことができる。
【００５０】
さらに、中継バッファ５、６、７に、ＯＨＴ搬送台車１６及びＯＨＳ搬送台車８との間でＦＯＵＰ３５の受け渡しを行うための機構を設ける必要ないので、中継バッファ５、６、７の構成を棚板２１ａ、２１ｂ、７１ａ、７１ｂの上面に位置決めプレート２２ａ、２２ｂを配置した簡単な構成とすることができる。
【００５１】
また、中継バッファ５、７は、上下方向に関して、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されているので、中継バッファ５、７にＦＯＵＰ３５を載置する際、及び、中継バッファ５、７からＦＯＵＰ３５を摘出する際に、ＦＯＵＰ３５の向きを変更する必要がないので、ＯＨＴ搬送台車１６及びＯＨＳ搬送台車８と中継バッファ５、７との間のＦＯＵＰ３５の受け渡しを効率よく行うことができる。
【００５２】
また、ＦＯＵＰ３５の底面には窪み３８が形成されており、中継バッファ５、６、７においては、棚板２１ａ、２１ｂ、７１ａ、７１ｂの上面に、キネマティックピン２３が形成された位置決めプレート２２ａ、２２ｂが配置されているため、ＦＯＵＰ３５を中継バッファ５、６、７に載置する際に、窪み３８がキネマティックピン２３に係合することにより、ＦＯＵＰ３５が中継バッファ５、６、７に対して位置決めされて載置される。
【００５３】
また、中継バッファ７には、２つの被搬送物を載置することができるので、ＯＨＴ搬送台車１６とＯＨＳ搬送台車８との間のＦＯＵＰ３５の受け渡しをさらに効率よく行うことができる。
【００５４】
次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。
【００５５】
本実施の形態においては、中継バッファ５、７に対向する位置において、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが平行に配設されており、中継バッファ６に対向する位置において、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とが直交するように配設されていたが、中継バッファ５、６、７と対向する位置において、ＯＨＴ搬送台車走行軌道１０とＯＨＳ搬送台車走行軌道９とがこれらとは異なる角度で交差していてもよい。この場合には、両者の交差する角度に合わせて、ＦＯＵＰ３５を回転させてから、ＦＯＵＰ３５を中継バッファ５、６、７に載置する。
【００５６】
また、本実施の形態においては、位置決めプレート２２ａ、２２ｂ及び７２ａ、７２ｂの両方にキネマティックピン２３が設けられていたが、位置決めプレート２２ａ、２２ｂのいずれか一方、及び、位置決めプレート７２ａ、７２ｂのいずれか一方にのみ、それぞれキネマティックピン２３が設けられていてもよい。
【００５７】
また、本実施の形態においては、中継バッファ７は、２個のＦＯＵＰ３５を載置することができるものであったが、３個以上のＦＯＵＰ３５を載置することが可能なものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送システムの概略平面図である。
【図２】図１を矢印Ａの方向から見たときの側面図である。
【図３】図２を矢印Ｂの方向から見たときの側面図である。
【図４】図２、３の中継バッファの平面図である。
【図５】図１を矢印Ｃの方向から見たときの側面図である。
【図６】図５の中継バッファの平面図である。
【図７】図１を矢印Ｄの方向から見たときの側面図である。
【図８】ＯＨＳ搬送台車の上面図である。
【図９】ＦＯＵＰの底面図である。
【図１０】ＯＨＴ搬送台車とＯＨＳ搬送台車との間でＦＯＵＰの受け渡しを行う過程を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
５、６、７ 中継バッファ
８ ＯＨＳ搬送台車
９ ＯＨＳ搬送台車走行軌道
１０ ＯＨＴ搬送台車走行軌道
１６ ＯＨＴ搬送台車
２１ａ、２１ｂ 棚板
２２ａ，２２ｂ 位置決めプレート
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ キネマティックピン
３７、３８ 窪み
４７ グリッパ
６４ 昇降テーブル
７１ａ、７１ｂ 棚板
７２ａ、７２ｂ 位置決めプレート
【特許請求の範囲】
【請求項１】
天井に敷設された第１軌道と、
前記第１軌道に沿って懸垂された状態で移動することによって前記被搬送物を搬送する第１搬送台車と、
前記第１軌道の下方に敷設された第２軌道と、
前記第２軌道に沿って前記第２軌道上を移動することによって前記被搬送物を搬送する第２搬送台車と、
上下方向に関して前記第１軌道と前記第２軌道とが重なる位置において、前記第１軌道と前記第２軌道との間に配置され、前記被搬送物が載置される中継バッファとを備え、
前記中継バッファは、上下方向に関して同じ位置に、前記第２軌道の延在方向と直交する方向に関して前記第２軌道を挟んで互いに離隔して配置され、その上面に前記被搬送物が載置される２つの棚部材を有しており、
前記第１搬送台車は、上下方向に移動し、前記２つの棚部材に跨るように前記被搬送物を載置し、前記中継バッファに載置された前記被搬送物を摘出する第１授受手段を有しており、
前記第２搬送台車は、その上面に前記被搬送物を載置する載置面を有し、上下方向に移動する第２授受手段を有し、
前記第２授受手段は、前記２つの棚部材の間を通過して上下方向に移動可能となっていることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記中継バッファは、上下方向に関して、前記第１軌道と前記第２軌道とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記２つの棚部材の少なくとも一方に、前記被搬送物の前記中継バッファに対する位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記棚部材が、その上面に複数の前記被搬送物を載置可能であることを特徴とする請求項１１〜３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【請求項１】
天井に敷設された第１軌道と、
前記第１軌道に沿って懸垂された状態で移動することによって前記被搬送物を搬送する第１搬送台車と、
前記第１軌道の下方に敷設された第２軌道と、
前記第２軌道に沿って前記第２軌道上を移動することによって前記被搬送物を搬送する第２搬送台車と、
上下方向に関して前記第１軌道と前記第２軌道とが重なる位置において、前記第１軌道と前記第２軌道との間に配置され、前記被搬送物が載置される中継バッファとを備え、
前記中継バッファは、上下方向に関して同じ位置に、前記第２軌道の延在方向と直交する方向に関して前記第２軌道を挟んで互いに離隔して配置され、その上面に前記被搬送物が載置される２つの棚部材を有しており、
前記第１搬送台車は、上下方向に移動し、前記２つの棚部材に跨るように前記被搬送物を載置し、前記中継バッファに載置された前記被搬送物を摘出する第１授受手段を有しており、
前記第２搬送台車は、その上面に前記被搬送物を載置する載置面を有し、上下方向に移動する第２授受手段を有し、
前記第２授受手段は、前記２つの棚部材の間を通過して上下方向に移動可能となっていることを特徴とする搬送システム。
【請求項２】
前記中継バッファは、上下方向に関して、前記第１軌道と前記第２軌道とが平行に延びている部分に重なる領域に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の搬送システム。
【請求項３】
前記２つの棚部材の少なくとも一方に、前記被搬送物の前記中継バッファに対する位置決めを行う位置決め手段を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送システム。
【請求項４】
前記棚部材が、その上面に複数の前記被搬送物を載置可能であることを特徴とする請求項１１〜３のいずれか１項に記載の搬送システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００８−１００８３５（Ｐ２００８−１００８３５Ａ）
【公開日】平成２０年５月１日（２００８．５．１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２８６６０７（Ｐ２００６−２８６６０７）
【出願日】平成１８年１０月２０日（２００６．１０．２０）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年５月１日（２００８．５．１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１０月２０日（２００６．１０．２０）
【出願人】（３０２０５９２７４）アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 (146)
【Ｆターム（参考）】
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