【課題】従来のロードロックチャンバーはゲートバルブを介して各プロセスチャンバーに接続されていたので、費用が高く、スペースも大きくなってしまうという欠点があった。
【解決手段】本発明のロードロックチャンバーは、筒状シリンダーと、上記筒状シリンダー内に軸方向に気密に移動自在に設けた、軸方向に互いに分離した一方及び他方のピストンと、上記一方及び他方のピストンをそれぞれ個別に移動せしめる移動手段と、上記筒状シリンダーの側壁に設けた、上記一方のピストンにより開閉される基板挿入口と、上記一方及び他方のピストンにより開閉される排気口と、及び上記他方のピストンにより気密に開閉される基板搬出口とよりなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 搬送コンテナから半導体加工装置への装填をクリーン・ルーム条件下で保証すること。
【解決手段】 閉鎖可能な装填用開口を備えた半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーションであって、クロージャ１２の排除後に、搬送コンテナ６内のディスクを前記の開口を介して、ローディング、アンローディング及びリローディングでき、コンテナ６はコンテナ・カバー１５を備え、同カバー１５はローディング及びアンローディング用平面１０にほぼ直交する方向に延びており、コンテナ６はカバー１５を介した摩擦係合によりクロージャ１２に固定され、開口及びコンテナ６の同時開放はカバー１５及びクロージャ１２を一緒に半導体加工装置内へ下降させることにより行われ、ローディング及びアンローディングは加工装置内のマニピュレーティング装置２２を通じてコンテナ６内へ係合させて行われるステーション。 （もっと読む）

【課題】液晶パネル用ガラス基板を高速かつ高精度に移動させて位置決め状態に載置することを可能とし、タクトタイムの短縮を図る。
【解決手段】ガラス基板Ａを載置する載置面２ａを有するステージ本体２と、その載置面２ａから出没可能に設けられ、載置面２ａから上方に突出させられた状態で、搬送されてきたガラス基板Ａを上端に載置する複数のリフトピン３と、リフトピン３を昇降させるリフトピン昇降機構４と、リフトピン３を水平方向に移動させるリフトピン水平移動機構５と、リフトピン３上に載置されたガラス基板Ａに対する基準位置からのずれ量を検出する位置検出部６と、検出されたずれ量に基づいて、リフトピン昇降機構５によりリフトピン３の上端が載置面２ａまで下降させられる間に、ガラス基板Ａを基準位置まで移動させるようにリフトピン水平移動機構５を制御する制御部７とを備える基板用ステージ装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】貼り合わせられる上部基板Ｗｕに対して搭載する下部基板Ｗｄの高い平行度を出すことが可能なステージ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】ステージ装置３４は、下部基板Ｗｄを保持する基板保持テーブル３６と、一方の軸の周りに基板保持テーブル３６を傾動させる第１駆動機構４６と、他方の軸の周りに基板保持テーブル３６を傾動させる第２駆動機構４８と、第１及び第２駆動機構４６，４８の駆動を制御する制御装置９０を備える。そして、制御装置９０は、基板保持テーブル３６に保持された下部基板Ｗｄが上部基板Ｗｕに当接した際、下部基板Ｗｄから基板保持テーブル３６に作用する力の一方の軸周りの力成分と他方の軸周りの力成分とをそれぞれ算出し、各力成分に基づいて下部基板Ｗｄが上部基板Ｗｕに平行になるように第１及び第２駆動機構４６，４８を駆動して、両基板を平行にさせる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で対象物の三次元的な傾斜角度調整が可能となるチルトステージを提供する。
【解決手段】第１のリニアアクチュエータ４によって第１の作動片８が鉛直方向へ移動し、チルトテーブル２は、滑動面２ｂと支持面３ｂとの間の空気膜を介してＹ軸周りに傾動することとなる。また、第２のリニアアクチュエータ６によって第２の作動片９が鉛直方向へ移動し、チルトテーブル２は、滑動面２ｂと支持面３ｂとの間の空気膜を介してＸ軸周りに傾動することとなる。そして、第１の作動片８の上下動と第２の作動片９の上下動とを組み合わせることによって、水平面に対して様々な傾斜角度で傾動させることとなる。 （もっと読む）

【課題】 真空室に配備されたゲートバルブの作動用エアの供給が不足した場合でも、ゲートバルブが急激に開放されることを防止する。
【解決手段】 圧力制御機構２０１では、エアシリンダ１２３へ供給されるエアが停止すると、メカニカルバルブ１２１のポートが切り替わり、エアオペレートバルブ１１３が開放され、真空リーク用ポート１０９、気体導入配管１１１および連通孔１０７を介して真空状態の搬送室３内へ外部気体が少しずつ流入する。搬送室３の圧力制御は、逆止弁１０３およびバッファタンク１０５によってエアシリンダ４７の作動用エアを確保した状態で行われるため、ゲートバルブ７ｂの急激な開放が防止される。 （もっと読む）

【課題】吊り下げ搬送装置において、走行台車が走行レールの水平湾曲部を走行する際の搬送物支持部材の側方への揺れによって生じる搬送物の倒れや、搬送物支持部材からの落下を効果的に防止しうるようにする。
【解決手段】搬送物支持部材１１の下端に、水平ローラ２４を上下方向を向く軸２５をもって枢着し、かつ走行レール１ａ、１ｂの水平湾曲部における走行方向の終端部またはその延長部の下方の床面２６に、水平ローラ２４に当接することにより、走行台車４が走行レール１ａ、１ｂの水平湾曲部を走行する際の遠心力により生じる搬送物支持部材１１の側方への揺れを阻止するか、または減衰する案内板２７を設ける。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の搬送時、及び露光時におけるガラス基板の保持において、ガラス基板を安全に保持することが可能な露光装置用基板アダプタ及び露光装置を提供する。
【解決手段】マスクステージ１０は大マスクＭａの四辺を保持するマスク吸着部７０を有すると共に、マスク吸着部７０に取り付けられるマスクアダプタ８０を介して大マスクＭａより面積が小さい略矩形状の小マスクＭｂを保持可能である。 （もっと読む）

【課題】基板を垂直に立てた状態で搬送するキャリヤの軽量化を図ることができる基板搬送装置、基板搬送方法及び真空処理装置を提供すること。
【解決手段】基板搬送装置は、矩形状の枠体を有し、水平方向に沿って伸び枠体と平行な回動軸Ｌに回動可能に支持されたフレーム３７と、フレーム３７に配設され基板Ｗを吸着する複数の吸着パッド４６と、フレーム３７を水平状態と垂直状態との間で回動させる駆動部３５とを有する移載機構２２と、移載機構２２を制御する制御装置とを備えた。そして移載機構２２は、水平状態のフレーム３７にて基板Ｗを吸着させ、フレーム３７を回動させて垂直に立った状態のキャリヤ２３に基板Ｗを収容するようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送能力を向上させることができるオートハンドラを提供する。
【解決手段】本発明のオートハンドラは、ソークコーナーＣ１とテストポートＰとの間で往復移動可能なシャトル２４と、テストポートＰとコーナーＣ２の間で往復移動可能なシャトル２５とを有する搬送装置１４を備えており、シャトル２４に搬送される搬送ボートＢ上の全ての半導体デバイスのコンタクトヘッド１８による移送が完了する前に、シャトル２４，２５を共に移動させて、テストポートＰでシャトル２４に搬送される搬送ボートＢをシャトル２５に受け渡す処理を行う。 （もっと読む）

【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの作動力なしで，弁体を基板搬出入口に押しつけた状態で保持することを可能とする。
【解決手段】ゲートバルブ２００は，カム機構２６０により弁体２１０を進退させて基板搬出入口１１２を開閉するように構成する。カム機構は例えば弁体の進退方向に直交する方向に摺動自在な長尺部材２６１と，長尺部材を筐体の背板から支持する支持ローラ２９０とこれに対向するように弁体２１０に設けられた弁体駆動用ローラ２８０と，長尺部材の弁体駆動用ローラ側に設けられた板状カム２７０とを有し，長尺部材を一方向に摺動させて弁体駆動用ローラを介して弁体を閉じる方向に前進させて基板搬出入口を押圧しながら閉塞する位置で，基板搬出入口側から押し返される力を長尺部材で受けることによって弁体を閉塞位置で保持する。 （もっと読む）

【課題】ポッドオープナによるポッドの開放時の弊害の発生を防止する。
【解決手段】ポッド１０とボートとの間でウエハ９を授受するウエハ授受ポートにはポッド１０のドア１０ａを着脱してウエハ出し入れ口１０ｂを開閉するポッドオープナが設備されており、ポッドオープナのベース２１にはベース２１のウエハ出し入れ口２２を被覆するチャンバ６０が設置され、チャンバ６０にはクロージャ収容室６１に窒素ガス６２を流通させる給気管６３、排気管６４が接続されている。ポッドの開放時に窒素ガス６２をチャンバ６０のクロージャ収容室６１に充填し、クロージャ収容室６１、ポッド１０のウエハ収納室１０ｃの空気や水分を窒素ガス６２によってパージする。ポッド内の大気のウエハ移載空間への放出を防止できるため、移載空間の汚染や酸素濃度の上昇、ウエハの酸化やパーティクル付着を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 検査用ワーク収納部から半導体ウエーハ等のワークの突出を確実に防止可能なワーク収納搬送装置を提供することである。
【解決手段】 ワーク収納搬送装置であって、複数のワークを収納する第１のワーク収納部と、第１のワーク収納部の下部に配設された第２のワーク収納部を備えている。第２のワーク収納部は、ワーク搬送手段側に開口する第１の搬入口とオペレータ側に開口する第２の搬入口を有する枠体と、第２の搬入口からスライドして引き出し可能なワーク載置台とを含んでいる。ワーク載置台は引き出しスライドレールにより枠体に連結され、ワーク載置台の底部には上方向に付勢されたフレーム位置決めピンが設けられており、ワーク載置台が枠体内に所定位置まで引き込まれると、フレーム位置決めピンが枠体の底部に固定したガイドブロックに係合して、所定位置まで引き下げられる。 （もっと読む）

【課題】 プローブカードをプリヒートすることなく高温検査を行ってプローブの針先位置が変動してもプローブと半導体ウエハ（被検査体）との接触荷重を本来必要とされる接触荷重に保持することができ、信頼性の高い検査を行うことができるプローブ装置に用いられる載置装置を提供する。
【解決手段】 本発明の載置装置１０は、温度調整可能な載置体１１と、載置体１１を支持する支持体１２と、支持体１２内に設けられた昇降駆動機構と、を備え、載置体１１と支持体１２の間に載置体１１を支持体１２から離間させて弾力的に支持する複数のシリンダ機構１３を設けると共に、複数のシリンダ機構１の弾力を一定値に設定する電空レギュレータ１４を設けて構成されている。 （もっと読む）

【課題】リング状支持板を有する保持具に対して被処理体を狭いピッチで５枚ずつ移載可能とし、処理能力の向上を図る。
【解決手段】５枚の基板支持具２０を所定間隔で有する移載機構は、基板支持具下に被処理体を上掴みする上掴み機構２８を設け、上掴み機構２８は、基板支持具の先端部に設けられ被処理体の前縁部を係止する固定係止部３０と、基板支持具の後端側に設けられ被処理体の後縁部を着脱可能に係止する可動係止部３１と、これら固定係止部と可動係止部に設けられ被処理体の下面周縁部を支えるべく傾斜した下面用の傾斜面と、基板支持具の下面と被処理体の上面との間に基板支持具の下面で被処理体の上面を擦って傷付けるのを防止することができる最小限の隙間を存するように被処理体の上面前後周縁部を受けるべく傾斜した上面用の傾斜面を有する受け部とを具備する。 （もっと読む）

第１の平面（Ｆ）に沿って電子回路のプレート（１１）を供給する供給ベルト（１２）と、上記供給ベルト（１２）の少なくとも一方の側に沿って位置決めされ、上記供給ベルト（１２）によって供給された上記電子回路のプレート（１１）が品質等級にしたがって分類される収集ボックス（１６）と、上記電子回路のプレート（１１）をそれぞれの収集ボックス（１６）に位置決めするために、上記供給ベルト（１２）と協働して配置されている１つ以上の除去ステーション（１３）とを備える、上記電子回路のプレート（１１）を保管するための自動保管装置（１０）および方法。上記保管方法（１０）は、上記供給ベルト（１２）の少なくとも一方の側に沿って配置された少なくとも２列の収集ボックス（１６）と、充填された収集ボックス（１６）を排出し、充填される新たな収集ボックス（１６）を位置決めするための、上記収集ボックス（１６）と関連した移動ユニット（１７）とを備える。 （もっと読む）

【課題】リブ付きの大径薄肉のウエハであっても、破損することなしに密着性よく保持できる半導体ウエハ保持装置を提供する。
【解決手段】外周縁部にリブが形成された半導体ウエハが載置される基板載置部と、該基板載置部に静電チャックを設けると共にリブが存する半導体ウエハの外周縁部に押圧力を加え得るクランプ手段とを備える。基板載置部の中央領域を凸状に突出させた段付き形状とし、クランプ手段により押圧力を加えると、リブの下端面が基板載置部の一段下がった平坦面に接触し、静電チャック機構を作動させると、デバイス構造部が突出部上面に面接触して吸着保持されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】弾性体で可動ステージの重量を支持し、アクチュエータで可動ステージを駆動する精密微動位置決め装置において、装置を小型にし多自由度化する。
【解決手段】固定ベースと、固定ベースの上に取り付けられた電磁アクチュエータの固定子と、固定子と一定の空隙を介して対向し、固定子に対して上下に移動可能な電磁アクチュエータの可動子と、固定ベースと可動ベースとの相対的な変位を検知する変位センサが収納され、固定ベースの上に下端が取り付けられた弾性支持機構と、弾性支持機構の上端と電磁アクチュエータの可動子の上端とが固定された可動ベースと、を備えた精密微動位置決め装置とした。 （もっと読む）

【課題】各種設備に付属のロードロック室を簡素化して、小型化が可能な、蓋体の開閉機構を備えた基板収納用容器を提供する。
【解決手段】一面を開口部８とした箱状の筐体１０と、この筐体１０にその一端を回動可能に支持され、前記開口部８の周縁部を覆って減圧吸着させる蓋体１２と、筐体１０の一面に固定され、前記蓋体１２を回動させる回動機構およびその駆動源とからなる駆動機構１３を備え、前記駆動源は圧力シリンダー１６からなり、この圧力シリンダー１６の内部と外部との圧力差で蓋体１２を回動させて、筐体１０の開口部８を開閉させる。 （もっと読む）