【課題】ロードロック室等の基板を収容する容器内において、基板周りのスペースを極力小さくして基板の位置合わせを行うことができる基板位置合わせ装置を提供すること。
【解決手段】基板位置合わせ装置は、基板Ｓの搬送方向に直交する一対の端面Ｓ１を押圧する一対の第１のポジショナー７と、基板Ｓの搬送方向に沿った一対の端面Ｓ２を押圧する一対の第２のポジショナー８とを具備し、第１および第２のポジショナー７、８はそれぞれ、シリンダ機構７１、８１、およびシリンダ機構７１、８１のピストン７４、８４の進出により端面Ｓ１、Ｓ２を押圧する押圧子７０、８０を有し、第１のポジショナー７は、ピストン７４の進出により、押圧子７０を、基板Ｓの搬送経路外に退避させる退避位置と基板Ｓを押圧可能な押圧可能位置との間で移動させ、かつ、押圧可能位置で押圧方向に移動させる駆動力変換機構部７２をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】搬送室内の搬送装置を設置場所の高さの制限にかかわらず基板処理装置外へ搬出することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、真空中で基板に所定の処理を施す処理室と、処理室に連結され、真空中に保持されるとともに、基板を搬送する搬送装置を備えた搬送室２０と、搬送室２０と大気側の基板収納容器との間に設けられたロードロック室３０とを具備し、ロードロック室３０の下方には空間が存在し、搬送装置は、上部構造と下部構造５００Ｂとに分割可能であり、上部構造は、搬送室２０の上方から基板処理装置外へ搬出可能であり、下部構造５００Ｂは搬送室２０の下側からロードロック室３０の下方の空間を通って装置外へ搬出可能である。 （もっと読む）

【課題】ワーク間の塵移転を防止することができ、カセットの任意の棚にもアクセスが可能なように薄くて、コンパクトな枚葉式ワーク把持装置を提供する。
【解決手段】円形の薄板状のワーク３をその外周で把持して枚葉搬送する枚葉式ワーク把持装置１が、一対の薄板状のブレード２、２と、これらのブレード２、２の各々に備えられた第１の把持部と第２の把持部とを切り替える切替手段とを有している。これら第１、第２の把持部は、いずれも、ブレード２の根元部と先端部とにそれぞれ回転可能に取り付けられた、ブレード２より突出する部分の高さがブレード２の厚さよりも短い支持部材（受け座）４上にそれぞれ設けられており、ワーク３を把持もしくは少なくとも支持するように作用する。 （もっと読む）

【課題】薄型化を図ったＸＹステージを提供するものである。
【解決手段】ＸＹステージＳは、ベース１と、このベース１に対向して設けられ、移動する移動テーブル２と、この移動テーブル２のＸ軸方向に移動させる第１の移動手段と、移動テーブル２のＹ軸方向に移動させる第２の移動手段と、前記Ｙ軸方向は前記Ｘ軸方向に対して直交する方向であり、ベース１と移動テーブル２との間に設けられ、移動テーブル２をＸ軸方向又は前記Ｙ軸方向に移動するように構成されたリンク機構Ｒを備えているものである。 （もっと読む）

【課題】多段構造の基板収納カセットに対して基板を確実に搬出及び搬入することができる基板搬出搬入方法及び基板搬出搬入システムを提供する。
【解決手段】奥側から手前側に延びる長尺支持部１５ａ、１５ｂ、１５ｃを所定間隔で多段状に配列し、各段毎の長尺支持部１５ａ、１５ｂ、１５ｃの上に基板１ａ、１ｂ、１ｃを載置して多段収納するカセットに対して、基板１ａを載せるためのハンド２２を有するロボットを用いて基板１ａを搬出搬入する基板搬出搬入方法であって、対象基板１ａを載置する長尺支持部１５ａの手前側の端部１６ａ、又は対象基板１ａが載置された長尺支持部１５ａの手前側の端部１６ａを支承して、カセット内でのハンド２２の進出又は後退のための空間を拡大する支承工程Ａを含み、カセットからの対象基板１ａの搬出工程及びカセットへの対象基板１ａの搬入工程が、上記支承工程Ａと共に行われるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 前進時および後退時の停止位置精度を高めることができるリンク装置を提供する。
【解決手段】 リンク装置は、中間部材１２上の２つの第１支軸ｆ１において、各第１リンクアーム１０，１１と一体的に回転するように設けられた一対の第１歯車１００，１１０と、中間部材１２上の２つの第２支軸ｆ２において、各第２リンクアーム２０，２１と一体的に回転するように設けられた一対の第２歯車２００，２１０とを備えており、かつ、一方の第２歯車２１０は、第１リンクアーム１０，１１を所定の方向に揺動させて移動部材を前進させる場合にのみ、一方の第１歯車１１０と噛み合った状態で回転させられる一方、他方の第２歯車２００は、第１リンクアーム１０，１１を所定の方向とは逆方向に揺動させて移動部材を後退させる場合にのみ、他方の第１歯車１００と噛み合った状態で回転させられるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】接着シートが繰出方向と直交する方向に位置ずれが生じても、そのずれ量を補正して板状部材と接着シートの外形を略一致させて貼付することができる貼付装置を提供する。
【解決手段】半導体ウエハＷを支持する貼付用テーブル２１と、接着シートＳ１を剥離シートＰＳから剥離して半導体ウエハＷに貼付する貼付ユニット２４とを備える。貼付ユニット２４は検出手段６０を含み、当該検出手段６０は、原反Ｌの繰出経路上に配置されて接着シートＳ１の繰出方向と直交する横方向のずれ量Ｓを検出する。ずれ量Ｓが検出されたときは、ずれ量補正装置が作動して貼付用テーブル２１がそのずれ量Ｓに対応した分だけ移動し、これにより、半導体ウエハＷの外形に一致させて接着シートＳ１の貼付を行うことができる。接着シートＳ１は、貼付ロール６１が剥離シートＰＳに接して押圧力を付与することで貼付される。 （もっと読む）

【課題】進退動体の運動で塵埃が発生するのを抑制でき、蓋体のスペースや厚みを小さくし、収納される物品の汚染を防止できる収納容器を提供する。
【解決手段】精密基板収納用の容器本体１の正面を開閉する蓋体１０を施錠・解錠する施錠機構２０を備える。そして、施錠機構２０を、蓋体１０に支持される回転プレート２１と、回転プレート２１の回転に基づき、蓋体１０の施錠時には蓋体１０の周壁方向に突出し、蓋体１０の解錠時には蓋体１０の基準位置に復帰する第一の進退動プレート２６と、第一の進退動プレート２６の先端部に支持され、蓋体１０の施錠時には蓋体１０の周壁から突出して容器本体１の係止凹部３に挿入され、蓋体１０の解錠時には容器本体１の係止凹部３から蓋体方向に復帰する第二の進退動プレートと、突出する第二の進退動プレートを蓋体１０の厚さ方向に傾斜させる案内リブ３７とから構成する。 （もっと読む）

【課題】エージング装置に適用でき，パレットをラックの棚に簡単に的確に入出庫させ，エージングの処理を高速化して適正な時間管理を容易にする自動倉庫を提供する。
【解決手段】棚６を備えたラックにスタッカクレーン２でパレット８を入出庫させるプッシュ・プル装置１０を備えている。プッシュ・プル装置１０は，パレット８を棚６への押し込み作動と棚６から引き出す作動とを行うプッシュ・プル爪１２，プッシュ・プル爪１２の往復移動を直動案内装置を介して往復移動させる駆動装置，及びプッシュ・プル爪１２をパレットへの係脱位置と解除位置とにチルトさせるリンク機構を有する。 （もっと読む）

【課題】 回転時における基板の破損および処理不良を防止することができる基板保持装置、基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 基板Ｗを水平姿勢で保持しつつ回転させるスピンチャックは、中空構造のスピンベースと、そのスピンベース上に設けられた複数の保持部材とを備える。保持部材６００ａは、スピンベース７００に回動自在に取り付けられる軸部６０５を備える。軸部６０５の上部に平板部６０６が固定され、平板部６０６の略中央部に水平支持ピン６０３が上方へ突出するように形成されている。水平支持ピン６０３からずれた箇所に２つの保持ピン６０１，６０２が上方へ突出するように形成されている。２つの保持ピン６０１，６０２はともに基板Ｗの周縁部に当接し、基板Ｗの周縁部をスピンチャック５０１の中心に向かう方向に押圧して、基板Ｗを保持する。保持ピン６０１，６０２は互いに所定の距離離間している。これにより、保持ピン６０１，６０２間には隙間６０９が存在する。 （もっと読む）

【課題】テレスコピックアームにかかる荷重を少なくしてメインマストにかかる偏荷重を未然に防止し、かつカセット移載時の昇降動作をテレスコピックアーム先端部にて行うことでカセット移載をより円滑に、確実に行うことができるようにした移載機におけるテレスコピックアームの支持構造を提供すること。
【解決手段】所要長のアーム片４１、４２の複数本を、直動ベアリングを介して上下に重ねて配設し、互いにスライドして伸縮するように移載機のテレスコピックアームＡを構成し、かつテレスコピックアームＡの基端側に所定荷重にて撓むようにした撓み機構５を、テレスコピックアームＡの先端側にテレスコピックアームＡの突出時にストッカーの保管棚側に支持するようにしたアーム先端支持機構７とを備えて構成する。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造の移動機構を備えた産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 回転可能なロボットアーム３と、ロボットアーム３の先端に設けられ、ワークを保持可能なハンド部４と、ハンド部４とロボットアーム３とを駆動する駆動部９と、駆動部９を取り付ける取り付け部２Ａを備えた支持ベース２と、支持ベース２を移動させるパラレルリンク機構５とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】カセットアダプタを使用した場合に，半導体ウェハ処理装置の動作中にオペレータが装置の構成部品に触れることにより怪我をする危険性を回避することが可能なカセットアダプタを提供する。
【解決手段】１または２以上の半導体ウェハを収容するカセットＣが載置されるカセット載置台と，カセットＣに載置された半導体ウェハを搬入／搬出する搬送手段３０と，を備えた半導体ウェハ処理装置のカセット載置台上に着脱自在に設置されるカセットアダプタ１０であって，カセットＣが載置される基台１１０と，基台１１０上に設けられ，搬送手段３０による半導体ウェハの搬送経路側が開放されるようにカセットＣの周囲を覆う保護カバー１２０と，を備える。 （もっと読む）

【課題】 第１ビームおよび第２ビームの協働によって搬送される基板のずれや脱落が好適に防止されるウオーキングビーム式熱処理装置を提供する。
【解決手段】 ウオーキングビーム式熱処理装置１０によれば、共通の基板１６を協働して搬送するための固定ビーム（第１ビーム）２０および可動ビーム（第２ビーム）２２のうちの外側に位置する固定ビーム２０に、その固定ビーム２０により支持された基板１６の側縁に係合してその基板１６を案内する横方向案内突起７４が備えられているので、固定ビーム２０および可動ビーム２２の協働によって搬送される基板１６のずれや脱落が好適に防止される。 （もっと読む）

【課題】 走行する際の物品の姿勢の崩れを抑え、且つ、物品の移載を円滑に行うことができる搬送車を提供する。
【解決手段】 物品Ｙを載置支持する載置台７を車体５に備え、載置台７の載置面が水平又は略水平姿勢となる水平状態、及び、載置台７の載置面が傾斜姿勢となる傾斜状態に切り換え可能な姿勢変更手段６を備える。 （もっと読む）

【課題】アームの連動機構を工夫することにより、高清浄な作業空間への塵埃の落下を確実に防止することのできるロボットアームを提供する。
【解決手段】ハンドの姿勢を保持する姿勢保持機構220は、各一対の等長リンクからなる所定長さ比の第１及び第２リンクを各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、第１又は第２リンクの何れかを先端側アーム部分の一対の回動中心Ｋ，Ｌの間のハンド213で構成した一方の四節機構と、各一対の等長リンクからなる前記所定長さ比の第３及び第４リンクを各リンクの両端で他のリンクが逆回転するよう連結し、第３又は第４リンクの何れかを先端側アーム部分の一対の回動中心Ｋ，Ｌと同一直線上でハンドに一体に連結した他方の四節機構と、含み、該一方及び他方の四節機構の特定のリンク間挟角が互いに一致するよう両四節機構の特定のリンク同士を一体に連結している。 （もっと読む）

【課題】基板処理装置の稼働率を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、稼働時間カウント値Ｔが交換稼働時間Ｔｅに達している場合、第１搬送アームのピックを真空状態のＰ／Ｃ内の空のピック載置台上に載置する。次いで、第１コイル電源をＯＮ状態にして第１搬送アームのコイルに電圧を印加して、第１搬送アームのコイルに磁力を発生させ、第１搬送アームの第３腕部においてこの磁力により磁性体が引っ張られて移動し、ピックが第１搬送アームから取り外し可能な状態になる。次いで、第１搬送アームを動かして第３腕部からピックを取り外し、第３腕部に対してこの新しいピックの位置決めを行い、コイル電源をＯＦＦ状態にしてこの新しいピックを第１搬送アームに固定する。 （もっと読む）

【課題】平坦な物品を装置へまたは装置から搬送するための機器を提供する。
【解決手段】搬送ポッド１を、耐漏洩性の方式で処理装置９の物品通過開口部１１に結合することができ、シーリングが、間に配置されたインタフェース周辺ガスケット１６によって得られる。ポッドドア４を、インタフェースドア１２に選択的に固定することができ、これらドアを、１つのユニットとして、ドアアクチュエータ１４からの駆動の下で横断ストロークが後に続く軸方向ストロークに沿ってともに動かすことができる。搬送ポッド１は、保持手段１５によって保持される。２つのドアの周りの周辺容積２１を、ポンプ２２とダクト２３によってポンプ排気することができる。ポッドドア４を、ロック手段２０によって搬送ポッド１にロックすることができ、ロック手段２０は、搬送ポッド１が処理装置９から分離している間の良好なシーリングを保障する。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの先端に設けられ、簡単な機構により旋回時及び伸縮時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除できるようなコンパクトな把持構造を実現する。
【解決手段】 基板Ｗを保持させた状態で直進運動可能な搬送アームを、旋回軸回りに旋回して基板Ｗを搬送可能な基板搬送装置の把持機構１０において、旋回軸と一体的に回転して搬送アームの先端に取り付けられた搬送ベースプレート８の直進運動方向と一致する磁性体からなる規制プレート３５を設ける。搬送アームの縮退に伴って搬送ベースプレート８が規制プレート３５に近接した際に、搬送ベースプレート８上のクランク３０の一部に取着された永久磁石３２が規制プレート３５に磁力吸引され、クランク３０が支点回りの回動し、スライド部１３が直進運動方向に変換され永久磁石３２の磁力吸引力が及ぶ規制プレート３５の範囲において、スライド部１３先端の基板把持アーム１２の先端で基板Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】 クリーン環境内におけるクリーン度を確保しやすくしながら、物品を搬送することができるクリーン用の物品搬送車の提供。
【解決手段】 クリーン環境内で走行する車体５に物品を収納する物品収納部６が設けられ、その物品収納部６に対してその内部に清浄空気を通風する通風手段７が設けられているクリーン用の物品搬送車において、物品収納部６が、車体５の上面部よりも上方側に突出する移載用高さＴ１と車体５の内方側の収納用高さＴ２とに昇降自在に設けられ、通風手段７が、車体５の上面部よりも上方側に突出しない状態で、収納用高さＴ２に位置する物品収納部６に対して通風作用するように設けられている。 （もっと読む）