【課題】スループットの向上が可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１００は、互いに並列に設けられたインデクサブロック１０、第１の処理ブロック１１および第２の処理ブロック１２からなる。インデクサブロック１０には、インデクサロボットＩＲが設けられている。第１の処理ブロック１１には、複数の裏面洗浄ユニットＳＳＲおよび第１のメインロボットＭＲ１が設けられている。第２の処理ブロック１２には、複数の表面洗浄ユニットＳＳおよび第２のメインロボットＭＲ２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】スループットの低下が抑制されつつ露光処理前または露光処理後の基板の汚染による処理不良が防止された、小型化が可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置５００においては、インデクサブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、洗浄／乾燥処理ブロック１２、現像処理ブロック１３およびインターフェースブロック１４が、この順で並設される。インターフェースブロック１４に隣接するように露光装置１５が配置される。露光装置１５においては、液浸法により基板Ｗの露光処理が行われる。洗浄／乾燥処理ブロック１２と現像処理ブロック１３との間に、各ブロック１３，１２間で基板Ｗの受け渡しを行うための基板載置部ＰＡＳＳ５，ＰＡＳＳ６が上下に近接して設けられる。基板載置部ＰＡＳＳ５の上側および基板載置部ＰＡＳＳ６の下側に、基板Ｗの一面と他面とを反転させる反転ユニットＲＴが積層配置される。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハ等の保持対象物の往復運動方向の位置精度を高めることができる保持アームを提供する。
【解決手段】 第１の腕要素(20)が、第１の回転中心(10)を中心として、回転可能に支持され、先端に第２の回転中心(11)を画定する。第２の腕要素(60)が、第２の回転中心を中心として、第１の腕要素に対して回転可能に支持され、先端に第３の回転中心(12)を画定する。伸縮用駆動力発生機構(57)が、第１の腕要素に対して第２の腕要素を回転させる。伸縮用駆動力発生機構によって、第２の腕要素が第１の角度だけ回転したとき、第１の腕要素が、第２の腕要素の回転方向とは反対方向に、第１の角度の１／２の角度だけ回転する。保持部材(80)が、第３の回転中心を中心として、第２の腕要素に対して回転可能に支持される。第１及び第２の腕要素の姿勢を変化させたとき、保持部材が並進移動する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送ロボットのアーム部の基端側を同一点に取付けアーム類に負荷をかけずに基板ホルダーが取付けられるアーム部の先端側が直線運動するようにし、アーム部に装着されるベルト張力を一定にし基板ホルダーがアーム部先端側取付点を支点に回転するのを防止する。
【解決手段】駆動部に結合される二軸の同軸構造型シャフトの各軸にそれぞれ基端側が結合される左右一対の第一アーム及び第一アームと同一の長さで第一アームの先端側に関節部を介してそれぞれの基端側が結合される左右一対の第二アームからなるアーム部と、第二アーム先端側に取り付けられる基板ホルダーとを備え、第一、第二アームの回転運動により基板ホルダーが移動する基板搬送ロボット。基板ホルダーとアーム部との間に第二アーム先端部が取付けられている位置を中心とする回転を防止する回動防止手段を有する。 （もっと読む）

【課題】自動開閉装置の規格寸法内に収まり、蓋体の変形を良好な材料効率で抑制出来るウエハ搬送容器の蓋体構造を提供する。
【解決手段】肉厚部の厚さｄ２が、蓋体１４の他の平板部分の厚さｄ１よりも、１．２５倍、厚くなるように、構成されると共に、この肉厚部２０ｂの平面形状が、半導体ウエハ１…の並列方向で、この蓋体本体２０の略全幅で、しかも、被係合部１８，１８間に渡り、一定の幅Ｗを有する長方形面状を呈して、構成されている。 肉厚部の裏面側２０ａには、これらの中央リブ２０１及び縦リブ２０２…と、直交して交差する横リブ部２０３とが、一体に設けられていて、格子状の補強部が、面状を呈して構成されている。 （もっと読む）

【課題】リングフレームの半導体ウエハを接着保持する支持用粘着テープの切断精度を向上させることのできる粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】カッタ刃４２を装着したカッタホルダ４３の先端側の基準面６２を支持用粘着テープＤＴの基材ｂの表面に接触させた状態で、カッタホルダ４３の基準面を基材表面に追従させながら支持用粘着テープＤＴを切断してゆく。このとき、カッタ刃４２の先端が、粘着層ａを貫通させずにリングフレームｆとの接着界面の間際を通過させる。 （もっと読む）

【課題】リングフレームの半導体ウエハを接着保持する支持用粘着テープの切断精度を向上させることのできる粘着テープ切断方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置を提供する。
【解決手段】リングフレームに帯状の支持用粘着テープを貼り付け、この支持用粘着テープに先端を楔状に切り落とした扁平面５９を有するカッタ刃４２を突き刺して貫通させ、この扁平面５９をリングフレームのテープ貼付け面に接触させながらリングフレームの形状に沿って切断する。切断後に、切り抜いた帯状の支持用粘着テープを剥離する。支持用粘着テープの貼り付けられたリングフレームの中央にウエハを載置保持し、裏面から貼付ローラを転動させてマウントフレームを作製する。 （もっと読む）

【課題】小形化するとともに、容器支持部の下方空間を有効利用できる基板容器オープナを提供する。
【解決手段】前後方向Ｘに移動可能な可動体９５と、オープナ側ドア６５に固定される接続体９３とを、平行リンク機構を構成するリンク部材９２によって互いに相対角変位可能に連結し、リンク部材角変位手段９１によって可動体９５の前後方向位置に応じて予め定められる角度位置に、可動体９５に対する各リンク部材９２の角変位を規制する。可動体駆動手段によって、可動体９５を前後方向Ｘに往復移動することによって、オープナ側ドア６５を前後方向Ｘおよび上下方向Ｚに移動させて、オープナ側開口部６８を開閉することができる。可動体９５を前後方向Ｘに移動させることで、可動体９５を上下方向Ｚに駆動および案内する構成を不必要とすることができ、小形化するとともに、ＦＯＵＰ支持部３１の下方空間を有効利用できる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ等の基板を搬送する搬送機構において、構成を簡単にしながらも一度に搬送できる基板の枚数を増加させ、更に可動部のケーブルレスを実現する。
【解決手段】案内ガイド１８によって移動可能な移動ベース２１と、移動ベースに回転可能に載置されたロボットベース２０と、ロボットベース２０上に固定された第１アーム２７と、第１アーム２７の両端に支持された２つの第２アーム２８と、その各々の先端に支持されたピンセット３０とを備えるとともに、移動ベース２１を挟むように敷設された第１及び第２のリニアモータの可動子１２、１４を連結部材１６、１７を介してロボットベース２０に連結させた。 （もっと読む）

【課題】装置のイニシャルコスト、ランニングコストを低くでき、広い設置スペースを必要とせず、短い処理時間で銅又は銅合金による回路配線を形成でき、且つクロスコンタミネーションの原因となるエッジ・ベベル部に銅膜が残ることのない半導体基板処理装置を提供する。
【解決手段】回転軸線を中心に回転する回転部材と、回転部材の前記回転軸線を中心とした同一円周方向に沿って配置され該回転部材の回転に伴って公転する保持部材とを有し、保持部材は、該保持部材の軸心を中心に回動するように構成された回転保持装置で保持した半導体基板を洗浄する洗浄ユニットを有する。 （もっと読む）

【課題】めっき処理を品質良く確実に行えるばかりでなく、装置全体のコンパクト化や、装置コストの低廉化が図れるめっき処理ユニットを提供する。
【解決手段】処理槽内部に吸着ヘッド７８９で保持した基板Ｗを挿入した状態で基板Ｗの処理面にめっき液による接液処理を行うめっき処理ユニットであって、吸着ヘッド７８９は、基部７９１の下面外周に基板Ｗの裏面をリング状に真空吸着すると共に基板Ｗの裏面の真空吸着した部分の内側へのめっき液の浸入を防止してシールするリング状の基板吸着部７９５を取り付けて構成され、基部７９１には、基板吸着部７９５に吸着した基板Ｗと基部７９１の間の空間を開放する開口部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入することができるようにする。
【解決手段】Ｌ字型のＬ字アーム１２を回動させて一方側の回動アーム１３の先端でウエハ２を押し上げ、押し上げられたウエハ２を所望の溝部３へのウエハの挿入の基準とすることで、所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入する。 （もっと読む）

【課題】 搬送効率の低下や無駄を省いて多品種少量生産等の生産管理方式に対応できる処理治具用収納ケースを提供する。
【解決手段】 下部構造体１、上部構造体２、及び中部構造体３を取り付け取り外しが可能な分割自在に備え、これらのうち、少なくとも下部構造体１と上部構造体２とを着脱自在に連結してそれらの間に半導体ウェーハを粘着保持する処理治具を整列収納する。下部構造体１を、底板５と、この底板５の両側部にそれぞれ設けられる一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。また、上部構造体２を、天板１４と、この天板１４の両側部にそれぞれ設けられ、下部構造体１の側壁１０に着脱自在に連結される一対の側壁１０と、この一対の側壁１０に設けられて処理治具を支持する支持板１３とから構成する。 （もっと読む）

【課題】いわゆるオープンカセットを用いる場合の不具合を解消することができる研削装置を提供すること。
【解決手段】第一のカセットテーブル１２と第二のカセットテーブル１４に載置された第一のカセットと第二のカセットをそれぞれ閉塞する閉塞位置に位置づけ可能な第一のカセットカバー６６と第二のカセットカバー６７を設けるとともに、第一のカセットと搬出手段との間、および第二のカセットと搬入手段との間をそれぞれ開閉可能に仕切る第一の仕切り壁６４と第二の仕切り壁６５を設け、第一の仕切り壁６４や第二の仕切り壁６５の開状態で搬出手段または搬入手段が作用する時にはそれぞれ第一のカセットカバー６６や第二のカセットカバー６７により閉塞させることで、手が入り込まないようにした。 （もっと読む）

【課題】ＳＥＭＩ規格の規定を遵守した状態で、半導体ウエーハが複数枚積層された状態で収納されている１つの第１フープの他、１枚の半導体ウエーハを収納した第２フープが複数積層されている第２フープ群（積層型フープ群）も取り扱うことができるフープオープナを提供する。
【解決手段】第１フープＦ１が載置される水平面２２を有する載置台２０と、載置台２０に着脱可能に設けられ第２フープＦ２が載置される台座部３２と、上下方向に移動可能に設けられ水平面２２の一部を形成するとともに積層された第２フープＦ２同士のロックを解除するロック解除機構３４と、を備えた構成とした。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生が少ない試料位置決め装置を提供する。
【解決手段】駆動源１からの駆動により水平方向に往復運動する駆動部１０と、鉛直方向に昇降し、試料台６２上より試料を持ち上げるための昇降部３０と前記駆動部１０および前記昇降部３０と連動して水平方向に往復運動する伝達部２０と、試料を径方向に移動させて所定位置で抑止する抑止体４３、および前記駆動部１０と連動して水平方向に往復運動するととともに前記抑止体４３の運動を誘導する誘導体４４を有する位置決め部４０とからなる。 （もっと読む）

【課題】流体の持つエネルギーを有効に利用して、エネルギー効率向上、省エネルギー化を実現する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】板状体を非接触で保持、搬送する非接触搬送装置１であり、内周面７が円周状の凹部円筒室３が形成された略柱状の本体２と、本体２の、凹部円筒室３開口側に形成された平坦状端面４と、凹部円筒室３の内周面７に臨むように形成され、供給流体を凹部円筒室３内に吐出させるためのノズル５と、ノズル５と連通し、ノズル５を介して凹部円筒室３内に流体を供給する流体通路とを備え、ノズル５は、凹部円筒室内周面７よりも内側へ離れた位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】流体の持つエネルギーを有効に利用して、エネルギー効率向上、省エネルギー化を実現する非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】板状体を非接触で保持、搬送する非接触搬送装置１であり、内周面７が円周状の凹部円筒室３が形成された略柱状の本体２と、本体２の、凹部円筒室３開口側に形成された平坦状端面４と、凹部円筒室３の内周面７に臨むように形成され、供給流体を凹部円筒室３内に吐出させるためのノズル５と、ノズル５へ滑らかな曲面で連通し、ノズル５を介して凹部円筒室３内に流体を供給するベルマウス状流体通路を備える。 （もっと読む）

【課題】 作業効率を向上し得るダイシングシートフレームを提供する。
【解決手段】 フレーム２０では、枠材２１〜２４の長穴２５、リンク２６、ボルト２７、蝶ナット２８からなるリンク機構により、枠材２１〜２４を、ウェハ位置Ｗｘを囲み得る第１の環形状（図１(A))に連結し得るとともにこの第１の環形状で囲む第１範囲αよりも広い第２範囲βを囲み得る第２の環形状（図１(B))に移行可能に連結し得る。これにより、枠材２１〜２４により挟持されたテープＴは、枠材２１〜２４の第１の環形状において、加圧等により延伸されて弛んだ部分γができても、枠材２１〜２４が第２の環形状に移行することにより、テープＴ’全体を外側に引っ張るので弛んだ部分γを張らせることができる。したがって、テープＴ’の張替作業を要しないので作業効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】プッシャ部材が基板又は搬送ロボットのハンドが衝突したときに、部品、機構又は周辺部品にダメージが波及することを防止することが出来るステージ装置を提供する。
【解決手段】プッシャ部材２が基板ステージ１に対して昇降可能に設けられ、プッシャ部材２が基板ステージ１の通孔１ａから没入して基板４を基板ステージ１に載置すると共に、プッシャ部材２が基板ステージ１の通孔１ａから突出し、基板４をプッシャ部材２によつて支持して搬送ロボットのハンド３との間で基板４の授受を行う基板ステージ装置において、プッシャ部材２が、基板４又は搬送ロボットのハンド３との衝突によつて傾倒する傾倒可能部２０を備え、基板４又は搬送ロボットのハンド３との所定の衝撃力を超える衝突によつて傾倒する。 （もっと読む）