【課題】事前の煩雑な準備を必要とせずに、搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の搬送状態を、インラインにより検出すること。
【解決手段】浮上搬送装置１０により搬送される薄板Ｗと搬送面Ｓとの空間を、搬送方向Ｘの全体に亘って１又は複数のレーザレーダヘッド３からの走査光Ｌによって走査し、走査光Ｌの光路上に存在する物体からの走査光Ｌの反射光Ｒによって、走査光Ｌの出力元のレーザレーダヘッド３からの、その物体の方向及び距離を特定する。そして、特定した方向及び距離によって、薄板Ｗの搬送面Ｓに対する接触箇所や搬送ユニット１１の構成物の位置を特定する。そのうち、搬送中の薄板Ｗよりも手前か奥に配置されている搬送ユニット１１の構成物の位置を検出対象から除外し、残る、薄板Ｗの搬送面Ｓに対する接触箇所の位置だけを最終的に検出する。 （もっと読む）

【課題】事前の煩雑な準備を必要とせずに、搬送面から浮上させて搬送方向に搬送される薄板の搬送状態を、インラインにより検出する。
【解決手段】浮上搬送装置により搬送される薄板Ｗの搬送面Ｓを、搬送方向の全体に亘って複数のカメラ３により撮影する。薄板Ｗの載置位置に載置されたターゲットＴの搬送面Ｓに対する相対位置を、カメラ３で撮影した薄板Ｗの写った画像の画像データから検出し、検出した相対位置から、ターゲットＴの載置位置における薄板Ｗの搬送面Ｓに対する接触状態を検出する。 （もっと読む）

【課題】清浄な表面処理を実行可能な基板処理システムおよび基板処理方法を提供する。
【解決手段】搬送ロボット室１１、第１ロードロック室２１、予熱チャンバ３１、処理チャンバ４１、冷却チャンバ５１および第２ロードロック室６１のいずれにおいても、その内部圧力が大気圧以上に調整される。また、予熱チャンバ３１内の圧力が搬送ロボット室１１内の圧力よりも低くなるように圧力調整が実行される。したがって、プリベーク処理時に発生した酸素や水分などが予熱チャンバ３１から搬送ロボット室１１に流入するのを効果的に防止することができ、プリベーク処理後の基板Ｗに対する酸素や水分の再付着が抑制される。その結果、酸素や水分が処理チャンバ４１に入り込むのを抑制することができ、各電子ビームキュアユニット４Ａ、４Ｂにおいて清浄なキュア処理を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】整備空間を確保することのできる基板処理システムを提供する。
【解決手段】本発明の基板処理装置は、内部空間を有するチャンバと、前記チャンバの内部空間に設置され、前記チャンバの一面を通じて引き出すことができ、排気ラインを有する処理ユニットと、前記チャンバに設置される排気部材とを含む。前記排気部材は、前記排気ラインと連結され、前記処理ユニットの移動に伴って移動するように設ける。 （もっと読む）

【課題】ウエハの割れや、落下を回避してウエハを安定して支持することのできる支持装置を提供すること。
【解決手段】半導体ウエハＷ等の板状部材を支持する支持装置１０であって、当該支持装置１０は、板状部材Ｗに接触する接触面１１Ａと、この接触面１１Ａ側に貫通する貫通孔１１Ｂを備えた環状の接触体１１と、貫通孔１１Ｂを通じて板状部材Ｗに吸引力を付与する吸引手段１４と、接触体１１の受容部１２を備えた保持体１３と、接触面１１Ａを受容部１２に出没可能として接触体１１に支持された板状部材Ｗを切り離し可能とする切離手段１５とにより構成されている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成で基板移載装置による基板の移載が行い易い基板搬送設備を提供する。
【解決手段】収納容器２を、基板移載用の開口が形成され且つ内部に基板を複数枚収納する容器本体４１と、容器本体４１に対して着脱自在で容器本体４１に装着した状態において開口の全面を閉じる蓋部材４２とを備えて構成し、容器搬送手段１１１を、収納容器２を基板移載位置に下降移動させて搬送するように構成し、容器搬送手段１１１による収納容器２の基板移載位置への下降移動途中において蓋部材４２の被支持部１１９を受け止め支持して蓋部材４２を容器本体２から離脱させる受け止め支持体１２２を設ける。 （もっと読む）

【課題】安価な構成で、大型基板を安定的にかつ円滑に搬送しながら乾燥処理を施す。
【解決手段】基板乾燥装置は、基板Ｗを搬送する基板搬送機構と、この基板搬送機構による基板Ｗの搬送路を斜め横切るエアナイフ１６とを含む。基板搬送機構は、エアナイフ１６の上流側領域ＥＡに配置される上流側ローラ群と、下流側領域ＥＢに設けられる下流側ローラ群と、駆動系５０と、補助ローラ７６を有する補助支持装置７０とを含む。各ローラ群はそれぞれ、同じ長さを有する複数本の搬送ローラからなる単位ローラ群Ｇ１〜Ｇ３、Ｇ４〜Ｇ６からなり、各単位ローラ群Ｇ１〜Ｇ３、Ｇ４〜Ｇ６における搬送ローラの長さは、上流側ローラ群では上流側の単位ローラ群ほど長く、下流側ローラ群では上流側の単位ローラ群ほど短く設定される。そして、補助支持装置７０は、上流側及び下流側の各ローラ群とエアナイフ１６との間に形成されるスペースＳ１〜Ｓ４に配置される。 （もっと読む）

【課題】静止安定性を有する位置決め装置。
【解決手段】スライド装置１００は、ガイドレール１０６と、前記ガイドレール１０６に沿って移動するスライダ１０８と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により浮かせて支持する浮遊支持状態と、前記スライダ１０８を前記ガイドレール１０６に対して空圧により圧接させて支持する圧接支持状態とに切り替え可能なエアベアリング１１０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

アクセスドアによって閉じるケーシングを備えた、半導体基板の大気圧保管および運搬に使用する搬送エンクロージャの、粒子による汚染を測定するためのステーションが、前記ドアの代わりに搬送エンクロージャのケーシング３に結合させ、前記測定ステーションに結合された前記ケーシングの内側１０でガスジェットを壁面１３に直角方向に誘導し、壁面１３に対するガスジェットの衝突によりケーシング３から粒子１１を引き離すために、前記インターフェースから突き出たホースの一可動端に噴射ノズル９を備える、インターフェース５と、真空ポンプ１７、粒子計１９、およびケーシング３の内側１０の入口２３が開き、かつ真空ポンプ１７の出口２５が接続された測定管２１を備え、さらに、前記測定セクションに結合された搬送エンクロージャのケーシング３の内側１０を粒子計１９と連通状態にするために粒子計１９に接続される、測定装置７とを備える。
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【課題】自動倉庫内のクリーン環境を保ち、保管物品の汚染を効率的に防止し、搬送中に物品が受ける振動を所定のレベル以下に保ち、物品への悪影響を効率的に防止する。
【解決手段】棚と、入出庫装置と、クリーンエアの供給用ファンフィルタユニットと、開度調整自在な排気口と、入出庫装置によって搬送と棚との間の受け渡しが自在なクリーン環境の測定用ユニット、とを備えた自動倉庫であって、予め定められた所定のルールに従って、自動倉庫内のクリーン環境と振動とを測定すると共に、ＦＦＵの送風量及び排気バルブの開度を調整し、搬送中に搬送物品が受ける振動を所定レベル以下に保つためにスタッカークレーンの動作を規制する。 （もっと読む）

本発明は概括すると、大面積基板をプラズマ反応装置内で支持する装置を提供するものである。１つの実施形態では、プラズマ反応装置内で使用する基板支持体は、複数のロール成形凹部を有する上部表面を有する導電性本体を含む。
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【課題】搬送トレイに搭載された複数の基板の位置ずれを低減できるアンロードチャンバ及びその運転方法を提供する。
【解決手段】アンロードチャンバ３は、複数の基板Ｗ，・・・が二次元状に配列搭載された搬送トレイＴを減圧状態で搬入しチャンバ内を昇圧可能なアンロードチャンバ３であり、減圧状態から昇圧させるための気体吹出し装置１５を備えている。この気体吹出し装置１５は、複数の基板Ｗ，・・・それぞれに対向するように二次元状に配置された複数の気体吹出し口１８，・・・を有している。このため、気体吹出し口１８から吹き出される気体の気流と搬送トレイＴとで仮想的な保持機構を形成することができ、各基板Ｗ，・・・の位置ずれを低減できる。このような位置ずれの低減により、下流工程での基板Ｗの取り上げ等の設備における安定性も向上する。 （もっと読む）

【課題】リフターピンとピン挿通孔の間へのガスの回り込みによる堆積物の付着などの不具合を軽減することのできる新規の被処理体の昇降機構及びこれを備えた処理装置を提供する。
【解決手段】被処理体の昇降機構は、処理容器内にて処理される被処理体を載置する載置台３８に上下方向に貫設されたピン挿通孔５０′と、該ピン挿通孔５０′に対して昇降自在に挿通されるリフターピン７２と、該リフターピン７２を駆動して前記ピン挿通孔５０′から前記リフターピン７２を出没動作させる駆動手段とを有し、前記リフターピン７２の出没動作によって前記被処理体を昇降可能とした被処理体の昇降機構において、前記リフターピン７２の外周面若しくは前記ピン挿通孔５０′の内周面に軸線方向の所定範囲に亘って伸びる表面溝７２ｘが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部のガス導入装置などによる加圧手段に頼ることなく、簡便な構造で収納空間を外部環境よりも高い圧力に維持することが可能な収納容器を提供することを目的とする。
【解決手段】収納部を収納する収納空間に、容積が可変なポンプ空間を前記収納空間に対して気密に連結して形成した。前記ポンプ空間の内容積を変化させるために移動可能な作用部を有する。たとえば、作用部には伸縮自在のベローズや弾性体を用いる。さらに、ポンプ空間は収納空間と一体とすることも可能である。 （もっと読む）

【課題】支持基板に薄板材を貼り付けるにあたり、ワックス中の気泡や、支持基板と薄板材との間の空気を除去し、薄板材を均等に押圧して、支持基板に薄板材を破損することなく密着させて貼り付け得て、自動化を可能とし、多数の小口径の薄板材を一度に貼り付けたり、大口径の薄板材を正確かつ精密に支持基板に貼り付けて、生産性を向上せしめ得る薄板材貼付装置および薄板材貼付方法を提供する。
【解決手段】本発明の薄板材貼付装置１０は、底部材１１とともに密閉空間１８を形成する蓋部材１２、支持基板３０を加熱する加熱手段１４および支持基板３０を冷却する冷却手段１５、密閉空間１８内に気密に区画された気室１９を形成する膜材１３、気室１９内に空気を圧送する空気圧送手段、密閉空間１８内の空気を排気して真空にする真空排気手段、薄板材４０の周縁に配置されるリテーナ１６、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】搬送台車の走行位置及び／又は停止位置に追従して、必要な箇所のみのダウンフローによる排気流速を高めるようにすることにより、必要最小限度のファンフイルターユニットの設置数にて、局部的で効率的なダウンフローを形成し、かつ設備費及びランニングコストを低廉化できるようにしたクリーン搬送装置における空調システムを提供すること。
【解決手段】液晶基板を収納するカセットＫを保管する保管棚Ｌと、カセットＫを走行レールＲに沿って搬送する搬送台車Ｃと、保管棚Ｌに清浄空気を供給するファンフィルタユニットＦＦＵとを備えたクリーン搬送装置において、ダウンフロー内を走行可能とした搬送台車Ｃの走行位置及び／又は停止位置に追従して、搬送台車Ｃの走行位置及び／又は停止位置のダウンフローの流速を増すように調整可能に構成する。 （もっと読む）

【課題】物品保管部の清浄度を向上し得る物品保管庫を提供する。
【解決手段】車両走行方向及び車両上下方向に沿う姿勢の偏平状の整流体５９を、昇降台３６から車両走行方向外方側に離れかつ昇降台３６から車両横幅方向において物品収納棚Ｓ側に離れて位置する状態で、且つ、昇降台３６の昇降移動範囲の全範囲において昇降台３６に対応して位置する状態で設ける。 （もっと読む）

【課題】前後一対の支柱の車両走行方向及び車両横幅方向での強度が高く、重量物を物品として昇降台に支持させることができる物品搬送車を提供する。
【解決手段】 前後一対の支柱３５の夫々を、昇降台３６における車両横幅方向の中央部を案内支持する中央支柱体４１と、その中央支柱体４１に対して車両横幅方向において両横側に離れかつ車両走行方向において中央支柱体４１よりも車両外方側に位置する左右一対の補助支柱体４２とを、連結体４３にて接続して構成する。 （もっと読む）

【課題】 移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、速やかに且つ効率よく除去すること。
【解決手段】レール３０との間に吸引用の間隙４２を形成する吸引ガイド４０ａ、４０ｂを、レール３０の車輪６２との接触面を囲うようにレール３０に沿って配置し、レール３０と吸引ガイド４０ａ、４０ｂとの間の間隙４２から塵埃とともに空気を吸引する構成とした。レール３０が内部空間（図示を省略）を有する場合には、そのレールの内部空間を吸引経路として用い、レールの内部空間から塵埃とともに空気を吸引する構成としてもよい。 （もっと読む）

【課題】移動体装置のレール走行に起因する発塵物を室内で拡散させることなく、レール近傍に向けて局所的に清浄空気を供給するとともにレール近傍の塵埃を含む空気を局所的に且つ速やかに排気すること。
【解決手段】レール近傍の少なくとも移動体装置６０の車輪６２が通過する位置に向けて、清浄空気吹出装置４０から清浄空気を吹き出し、移動体装置６０の走行により発生した塵埃を含む空気を、清浄空気吹出装置４０から吹き出された清浄空気とともに、レール３０ａ、３０ｂを挟んで清浄空気吹出装置４０と向かい合う排気装置５０により吸い込んで排気すること。 （もっと読む）