【課題】電界効果型トランジスタ部のオン抵抗を下げ、かつショットキーバリアダイオード部のリーク電流を抑制する。
【解決手段】半導体装置は、第１の半導体層と、第２の半導体層と、第３の半導体層と、第３の半導体層の表面から、第２の半導体層を貫通し、第１の半導体層に至る第１のトレンチ内に、第１の絶縁膜を介して設けられた埋め込み電極と、埋め込み電極の上に、第２の絶縁膜を介して設けられた制御電極と、第３の半導体層の表面から、第２の半導体層を貫通し、第１の半導体層に至る第２のトレンチの下端に接続され、第１の半導体層内に選択的に設けられた第４の半導体層と、第１の半導体層に接続された第１の主電極と、第２のトレンチ内に設けられた第２の主電極と、を備える。第２のトレンチの側壁において、第２の主電極と、第１の半導体層と、によるショットキー接合が形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＩＧＢＴ素子領域からダイオード素子領域へのホールの注入を抑制することができ、さらに耐圧を確保できる構造を備えた半導体装置を提供する。
【解決手段】ダイオードセル２０において、ＩＧＢＴセル１０のトレンチ３８よりも深く、チャネル層３７よりも面密度が小さいアノードとしてのＰ型のリサーフ領域５２が形成され、このリサーフ領域５２の表層部にＰ＋型の第２コンタクト領域５５が形成されている。これにより、チャネル層３７によってドリフト層３３に形成される空乏層とリサーフ領域５２によってドリフト層３３に形成される空乏層とがＩＧＢＴセル１０とダイオードセル２０との境界付近で滑らかに接続されるので、当該境界付近における電界集中を緩和することができ、半導体装置の耐圧を確保することができる。 （もっと読む）

【課題】２つのトランジスタを混載した半導体装置において、ダミー配線を介して配線間で短絡が発生するのを防止し、信頼性の高い混載デバイスを実現可能にする。
【解決手段】本発明の半導体装置は、微細ＣＭＯＳ４Ａと、微細ＣＭＯＳ４Ａに接続される微細配線１５とを有する微細ＣＭＯＳ領域と、微細ＣＭＯＳ４Ａよりも耐圧が高い高耐圧デバイス４Ｂと、高耐圧デバイス４Ｂに接続され、平面視において微細配線１５よりも配線幅が広いドレイン配線１１５及びソース配線１１６と、を有する高耐圧デバイス領域と、を具備し、高耐圧デバイス領域には、電気的に孤立したダミー配線１４が少なくともドレイン配線１１５及びソース配線１１６に隣接して配置されない。 （もっと読む）

【課題】メモリセル間の短絡を防止した上で、活性領域上にシリコン膜が十分に形成された半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板２の表層に埋め込み形成された素子分離膜８によって、活性領域７が区画された半導体装置１であって、前記活性領域７の側面１７が露出するように、前記素子分離膜８の上面の一部が除去されて設けられた凹部と、前記凹部を埋め込みつつ、前記活性領域７の上面７ｄ及び前記側面１７と接するように設けられたシリコン膜１０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化できると共に安定的に高耐圧化できる半導体装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、Ｐ型の半導体基板１と、半導体基板１の表面のＰ−型の拡散領域２ａ，２ｂと、拡散領域２ｂに隣接した本体部、及び、拡散領域２ｂと拡散領域２ｂの下方の半導体基板１との間に挟まれた外縁部を有するＮ型の拡散領域３と、ｘ方向に並んで拡散領域２ａ，２ｂに形成されたＮ＋／Ｎ＋＋型のソース領域７及びドレイン領域８，９と、第１ゲート電極１１と、を有する第１のＭＯＳトランジスタ１００と、拡散領域３の外縁部の上方の拡散領域２ｂに形成され、一端がｘ方向に延びて拡散領域３の本体部と接続している、Ｎ＋型の拡散領域５を有する半導体素子Ｓと、を備える。第１のＭＯＳトランジスタ１００と半導体素子Ｓの拡散領域５とは、ｙ方向に並んで、拡散領域２ｂで電気的に分離されている。 （もっと読む）

【課題】主スイッチング素子の温度の急上昇に対応することができ、主スイッチング素子の保護を十分に行うことができる半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１００は、横型構造のパワーＩＧＢＴである主スイッチング素子６０と横型構造のサイリスタである感熱素子７０とを備える。主スイッチング素子６０と感熱素子７０とが同一のＰ⁻型半導体基板１上に形成されている。感熱素子７０のアノード電極２２が、主スイッチング素子６０のゲート電極８と電気的に接続されている。感熱素子７０のカソード電極２０が、主スイッチング素子６０のエミッタ／ソース電極９と電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】サージ耐量を大きくすることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】複数のフィールドプレート１７ｂ〜１７ｅをセル部の輪郭に沿う平行方向を長手方向としてセル部から外周耐圧部の外周側に向かって複数本並べられて配置された平行部３０と、該平行部３０それぞれから斜め方向に延設された連結部３３とを有した構成とし、平行部３０と連結部３３とが交互に接続されることにより、一方向に向かって階段状に形成された構造とする。そして、平行部３０には、ツェナーダイオードが逆方向に直列接続されたツェナーダイオード対を複数段形成したツェナーダイオード群１８ａ〜１８ｅを備え、複数本並べられて配置された平行部３０それぞれに備えられたツェナーダイオード対の段数がセル部に近い側からセル部の外周に向かって増やされるようにする。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの耐圧を向上し得る半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１０上にゲート絶縁膜１６を介して形成されたゲート電極１８ｃと、ゲート電極の一方の側の半導体基板に形成された第１導電型のドレイン領域５４ａと、ゲート電極の他方の側の半導体基板に形成された第１導電型のソース領域５４ｂと、ドレイン領域からゲート電極の直下に達する第１導電型の第１の不純物領域５６と、ソース領域と第１の不純物領域との間に形成された、第１導電型と反対の第２導電型の第２の不純物領域５８とを有し、ゲート電極は、第１導電型の第１の部分４８ａと、第１の部分の一方の側に位置する第２導電型の第２の部分４８ｂとを含み、ゲート電極の第２の部分内に、下端がゲート絶縁膜に接する絶縁層２４が埋め込まれている。 （もっと読む）

【課題】非対称構造のソースおよびドレイン領域を有するＭＯＳトランジスタを容易に形成する。これにより、高性能の半導体装置を容易に製造する。
【解決手段】第１のマスク層の互いに対向する両側面上に、２つの第２のマスク層を形成する。導電層上の、第１及び第２のマスク層が形成されていない部分の上に、第３のマスク層を形成する。第２及び第３のマスク層をマスクに用いて、導電層に対して異方性エッチングを行った後、不純物を注入することによって、１つの第１不純物拡散層を形成する。第２のマスク層をマスクに用いて異方性エッチングを行い第２のマスク層の下に、２つのゲート電極を形成する。第１不純物拡散層と共にゲート電極を挟む半導体基板の２つの領域に不純物を注入することによって、２つの第２不純物拡散層を形成する。 （もっと読む）

【課題】ダイオード内蔵スイッチング素子において、良好なダイオード損失特性を実現する。
【解決手段】半導体基板３２の一面３３側においてはダイオード領域２０およびＩＧＢＴ領域１０のうちＩＧＢＴ素子を除いた領域に半導体基板３２の一面３３を基準として所定の深さまで低ライフタイム領域４９を設け、半導体基板３２の他面４７側においてはＩＧＢＴ領域１０に半導体基板３２の他面４７を基準として所定の深さまで低ライフタイム領域４９を設ける。これにより、ダイオード素子の動作時にドリフト層３０に残されたホールが低ライフタイム領域４９によって再結合して消滅するため、ＩＧＢＴ領域１０からダイオード領域２０へのホールの注入を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】安定した静電気保護機能を有する半導体装置を提供すること。
【解決手段】半導体装置は、シリコン柱を有するシリコン基板、シリコン柱の側壁に沿って形成されたゲート電極、ゲート電極とシリコン柱との間に形成されたゲート絶縁膜シリコン柱の上部に形成された上部拡散層、及びシリコン基板において上部拡散層より下方に形成された下部拡散層、を有する縦型ＭＯＳトランジスタと、下部拡散層と電気的に接続されたパッドと、を備える。サージ電圧が印加された際に下部拡散層と基板との間においてブレイクダウンが発生する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、素子面積を縮小可能で高耐圧なＭＯＳ型電界効果トランジスタを備える半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
本実施形態の半導体装置１００は、半導体基板１０と、半導体基板１０に設けられた素子分離領域１４ａ，１４ｂと、隣接する素子分離領域で区画された素子領域上に半導体基板１０上に設けられたゲート絶縁膜１２と、ゲート絶縁膜１２上に設けられたゲート電極１３と、ゲート電極１３の直下近傍の素子領域表面に設けられたソース・ドレイン拡散領域１１ａ，１１ｂと、前記ソース・ドレイン拡散領域１１ａ，１１ｂ上に設けられたコンタクトプラグ１５ａ，１５ｂとを備え、ゲート絶縁膜１２のドレイン側の膜厚は、ゲート絶縁膜１２のソース側の膜厚より厚いことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】集積性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１と、半導体基板１上に設けられた埋め込み絶縁膜２と、埋め込み絶縁膜２上に設けられた第１の薄膜ＦＥＴ１００と、第１の薄膜ＦＥＴ１００と隣接して埋め込み絶縁膜２上に形成された第２の薄膜ＦＥＴ１０１と、第１の薄膜ＦＥＴ１００直下の半導体基板１内に設けられた第１ウェル領域４と、第２の薄膜ＦＥＴ１０１直下の半導体基板１内に設けられた第２ウェル領域５と、を備え、第１ウェル領域４から第２ウェル領域５までの距離が、第１の薄膜ＦＥＴ１００から第２の薄膜ＦＥＴ１０１までの距離よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】絶縁層上に形成された部分空乏型のトランジスターにおいて、ヒストリー効果を低減し、なおかつ高いＯＮ／ＯＦＦ比、及び急峻なサブスレッショルド特性を実現する。
【解決手段】絶縁層上の半導体層に形成された第１導電型のソース領域、第１導電型のドレイン領域、及び、第２導電型のボディ領域と、第１ゲート絶縁膜と、第１ゲート電極と、を含む部分空乏型の第１トランジスターと、絶縁層上の半導体層に形成された第１ダイオードと、を具備し、第１ダイオードは、第１導電型の第１不純物領域と、第１不純物領域上に形成された第２導電型の第２不純物領域と、を含み、第１トランジスターのボディ領域は、第１ダイオードの第１不純物領域及び第２不純物領域に接続されている。 （もっと読む）

【課題】これまでのＭＯＳＦＥＴと同等の集積性を維持しながら、ＭＯＳＦＥＴに比べて優れたスイッチング特性をもつ、すなわち、室温においてＳ値が６０ｍＶ／桁より小さな値をもつ半導体素子を提供する。
【解決手段】ＭＯＳＦＥＴと、トンネル接合を有するトンネルバイポーラトランジスタを組み合わせることにより、低電圧であっても、ゲート電位変化に対してドレイン電流が急峻な変化（Ｓ値が６０ｍＶ／桁よりも小さい）を示す半導体素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】トレンチゲート構造で共用ドレインを有する２つのＭＯＳ型トランジスタから構成される双方向スイッチのオン抵抗の低減を図る。
【解決手段】Ｎ型ウエル層２に複数のトレンチ３を形成する。次に前記複数のトレンチ３に挟まれたＮ型ウエル層２に１列おきにＰ型ボディ層６を形成する。複数のＰ型ボディ層６にはＮ＋型第１ソース層７とＮ＋型第２ソース層９を交互に形成する。Ｎ＋型第１ソース層７を挟む１対のトレンチ３のそれぞれに第１ゲート電極５ａ、Ｎ＋型第２ソース層９を挟む１対のトレンチ３のそれぞれに第２ゲート電極５ｂを形成する。第１ゲート電極５ａが形成されたトレンチ３のＰ型ボディ層６側と反対側の側壁と第２ゲート電極５ｂが形成された同様の側壁に挟まれたＮ型ウエル層２を電界緩和層としてのＮ型ドレイン層１１ａとする。該Ｎ型ドレイン層１１ａを双方向スイッチのオン電流の流れる電流経路とする。 （もっと読む）

【課題】電源制御装置システム（２５）の動作中に、システム（２５）の動作を抑止する方法を提供する。
【解決手段】例えば、負荷（６３）にシステム（２５）の動作を抑止する条件を検出した場合、抑止トランジスタ（３５）をオンにし、出力（４８）を低に引き下げ、キャパシタ（４９）を放電させる。キャパシタ（４９）が初期電圧値より低い値まで放電されると、検出器４０は、トランジスタ（４４）をオンにし、装置（１２）のトランジスタ（１５）をオフにする。その結果、システム（２５）は、出力（２１）から供給される第２出力電流の供給を抑止し、第２出力電流よりはるかに小さい第１出力電流のみを出力（１９）から供給する。制御装置（５１）が動作しないため、システム（２５）から負荷（６３）への電圧供給が停止される。 （もっと読む）

【課題】ドレインオフセット領域を有する高周波増幅用ＭＯＳＦＥＴにおいて、微細化およびオン抵抗低減を図る。
【解決手段】ソース領域１０、ドレイン領域９およびリーチスルー層３（４）上に電極引き出し用の導体プラグ１３（ｐ１）が設けられている。その導体プラグ１３（ｐ１）にそれぞれ第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）が接続され、さらにそれら第１層配線１１ｓ、１１ｄ（Ｍ１）に対して、導体プラグ１３（ｐ１）上で裏打ち用の第２層配線１２ｓ、１２ｄが接続されている。 （もっと読む）

【課題】低電位領域と高電位の配線が交差することの無い優れた耐圧性能を示す半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の半導体装置は、ロジック回路（５０１）と、ロジック回路からの制御信号に従い低電位側パワー素子を駆動する低電位側駆動回路（５０２）と、ロジック回路からの制御信号がレベルシフト回路を介して入力され、高電位側パワー素子（５０６）を駆動する高電位側駆動回路（５０５）と、複数に重なったトレンチ分離領域により、前記高電位側パワー素子を含む高電位島を分離する多重トレンチ分離領域（５０８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】高さのばらつきが低減された埋め込みビット線を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板内にビット線とワード線を有する半導体装置の製造方法において、半導体基板をエッチングして第１の方向に延在する第１の溝を形成することによって、複数の第１の半導体ピラーを形成する工程と、第１の半導体ピラーの側面の一部に拡散層を形成する工程と、隣接する前記第１の半導体ピラー間の前記第１の溝に、拡散層に接続するビット線を形成する工程と、第１の半導体ピラーと前記ビット線を覆う第１の絶縁膜を形成する工程と、第１の半導体ピラーの少なくとも一部が露出するように前記第１の絶縁膜に、第１の方向に直交する第２の方向に延在する第２の溝を形成する工程と、露出した第１の半導体ピラー上にエピタキシャル層を成長させて第２の半導体ピラーを形成する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）