【課題】銀とアルミニウムとの合金層によるシリコン基板の侵食を抑制し、薄いシリコン基板でも破損しにくく、信頼性の高い良好な接続を得ることができる太陽電池素子同士を接続するための太陽電池素子の接続構造と、これを用いた高い信頼性の太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】非受光面側に、アルミニウムを含有するペーストを塗布焼成して形成した裏側集電極６を設けた、シリコンを基板１とする太陽電池素子と、裏側集電極６と接触した状態で、固定手段であるリード線保持体７ａによって固定されたリード線１１と、を含むようにした。 （もっと読む）

【課題】 太陽電池セルの反りが抑制される半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 まず、ｎ型半導体層３および半導体基板２を含む太陽電池セル１が形成される。その太陽電池セル１の太陽光線を受光する側の表面に、たとえば印刷法、蒸着法またはスパッタ法等によって主面電極４が形成される。その主面電極４に対し、発電した電力を取り出すためのインタコネクタ６が接続される。次に、太陽電池セル１において太陽光線が入射する側とは反対側の面に、たとえば印刷法、蒸着法またはメッキ法等によって裏面電極５が形成される。このようにしてＣＩＣ型の太陽電池セルを備えた半導体装置が完成する。 （もっと読む）

【課題】光電変換効率のよい太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の太陽電池の製造方法は、ｐ型多結晶Ｓｉウエハ１表面にＳｉ層またはＳｉＧｅ層を形成し（工程５）、Ｓｉ層またはＳｉＧｅ層が形成されたｐ型多結晶Ｓｉウエハ１に対し、ｐ型多結晶Ｓｉウエハ１とは異なる導電型のｎ型層５３を形成するためのＰ（リン）をＳｉ層またはＳｉＧｅ層側から導入してｐ型多結晶Ｓｉウエハ１にｐｎ接合を形成する（工程６）ことで、入射光の波長変化に対する感度変化を示す分光感度を向上させ、光電変換効率を向上させた太陽電池を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】 受光面側および非受光面側に各々相異なる極性の電極を形成した光起電力素子基板において、工程の自動化を図れると共に高タクトに対応できる量産性に優れた光起電力素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 封止部材上に集電電極が配置された上部配線基板を用いて、上部配線基板をたわませて集電電極を光起電力素子基板の受光面側電極に接続することにより、工程の自動化を図れると共に高タクトに対応できる量産性に優れた光起電力素子およびその製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 化合物半導体層をエッチングするエッチング液への浸漬回数を低減するとともに、光電変換素子の移載や測定などの工程数を削減した光電変換素子の製造方法及び光電変換素子を提供する。
【解決手段】 化合物半導体層（バッファ層２、１２、ベース層３、１３、エミッタ層４、１４）を切断し、基板１、１１をハーフダイシングすることによりハーフダイシング領域６を形成し、ダイシングにより生じた結晶欠陥などを含むメサエッチング領域７を化学処理によりメサエッチングする。その後、基板１１の素子形成領域９相互間で光電変換素子を相互に分離する。 （もっと読む）

【課題】高効率な太陽電池を高い歩留まりで製造することができる半導体基板を提供すること。
【解決手段】本発明の半導体基板は、（１）結晶粒界を有する第１導電型半導体基板１１の表面に存在する低品質領域１１ａを検知して特定する工程と、（２）低品質領域１１ａを第１導電型に保持しつつ、第１導電型半導体基板の表面側に第２導電型層１２を形成する工程とを備える方法によって製造される。 （もっと読む）

【課題】裏面パッシベーション効果を有する高効率な光電変換素子の製造方法を低コストに提供すること。
【解決手段】本発明の光電変換素子の製造方法は，裏面に凹凸を有する半導体基板１の裏面にパッシベーション膜５を形成する工程と，凹部での厚さが選択的に厚くなるように裏面電極用材料７を塗布する工程と，この材料７を焼成することにより，凹部においてパッシベーション膜５に開口部４を形成し，かつ，この開口部４を介して基板に電気的に接続される裏面電極を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】
面積の大きな半導体層を高速にリフトオフすることができる半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板２上にエッチング層６を介して半導体層３を形成する工程と、半導体層３上にエッチングマスク１０を形成する工程と、エッチングマスク１０上に支持基板１１を接着する工程と、エッチング層６を除去することにより半導体層３をリフトオフする工程とを含み、エッチング層６を除去する際に、支持基板１１は、半導体基板２および半導体層３に対して引張応力を加えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 薄膜太陽電池の製造工程数の増加を最小限に抑えつつ、テクスチャを作成し、太陽電池の電流-電圧特性を改善する。
【解決手段】 本発明の薄膜太陽電池の製造方法は、第１の局面によれば、シリコン薄膜太陽電池の光電変換層形成時に、非晶質層と結晶層のエッチング速度の違いを利用して光電変換層の一部をエッチングし、テクスチャを作成する工程を備えることを特徴とする。また、本発明の薄膜太陽電池の製造方法は、第２の局面によれば、シリコン薄膜太陽電池の光電変換層形成時に、異方性エッチングにより光電変換層の一部をエッチングし、テクスチャを作成する工程を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】 本発明は、表面コンタクトと裏面コンタクトとの間に広がる光活性半導体層と組み込まれた保護ダイオード（バイパスダイオード）とを具備するソーラーセルに関する。保護ダイオードはソーラーセルの極性と逆の極性を有し、その表面においてｐ導電型半導体層が設けられている。保護ダイオードは、表面コンタクトに接続される。本発明の目的は、高安定の保護ダイオードを提供すること、および金属原子のマイグレーションを防ぐことである。この目的のために、トンネルダイオード（３８）が保護ダイオード（３２）のｐ導電型半導体層（３６）上に広がっている。トンネルダイオードは、ｎ⁺導電型層を介して表面コンタクト（１４）と接続されている。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも1つの透明導電酸化物層、活性ポリマー層、背後電極層および基板層を備え、透明導電酸化物(TCO)層は、10nm〜500nmの範囲のX値および15nm〜1000nmの範囲のY値を有することにより特徴づけられる制御された表面構造を有し、X値およびY値の間の比率(X/Y)は多くとも1であり、X値は表面上のピーク高さの平均値として規定され、Y値は表面上の平均ピーク間距離として規定され、XおよびYの値はどちらも、SEM(走査電子顕微鏡)または原子間力顕微鏡(AFM)により測定される、ポリマー光電子デバイスに関する。 （もっと読む）

エミッターラップスルー（ＥＷＴ）バックコンタクト型太陽電池の製造方法と、その方法で製造された電池が提供される。前面あるいは背面の平均ドーパント濃度と比較して高い濃度のドーパントが導電バイアに提供され、効率を高める。また、印刷されたドーパントペーストの利用により、導電バイアの形成のために孔の選択的ドーピングが提供される。ドーパントを含んだスピンオングラス基板の利用法も提供される。
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【課題】 改善された光学的および電気的膜特性を有する透明で導電性の酸化物膜（ＴＣＯ膜）であり、薄膜太陽電池において使用するのに適する表面構造を有する該膜の提供。
【解決手段】 この課題は、反応性スパッタリングによって基板上に導電性で透明な酸化亜鉛膜を生成し、プロセスにヒステリシス領域を有している方法において、ドーピング剤を含有する金属Ｚｎターゲットを使用し、該ターゲットのドーピング剤含有量が２．３原子％より少なく； 基板のための加熱器を、２００℃より高い該基板温度に調整される様に調整し；
１９０ｎｍ／分より早い静的溶着速度に相当する５０ｎｍ*ｍ／分より早い動的溶着速度に調整し；そして安定な金属プロセスと不安定なプロセスとの間の転換点と安定化されたプロセス曲線の屈曲点との間に位置する、不安定なプロセス領域内で安定化した作業点を選択する各段階を含むことを特徴とする、上記方法によって解決される。 （もっと読む）

例えばガラスまたは石英製の透明な機械的支持体（１０）と、単結晶半導体材料の膜または薄層（１４）と、当該薄層または半導体膜と当該支持体との間に位置する反射防止中間層（１２）とを有する複合基板。当該反射防止中間層の組成は、屈折率が変化するように、当該支持体（１０）と当該半導体膜（１４）との間において変化する。 （もっと読む）

シリコン（１２）が、有機樹脂材料（ノボラックなど）の層を備えるマスク１１を通してエッチングされ、マスクを通して開口部（３２）がエッチングされる部分に形成される。最初に、エッチングされるデバイスの自由表面上に有機樹脂の層が付着される。次に、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）又は水酸化カリウム（ＫＯＨ）などの苛性エッチング液の液滴を、インクジェットプリンタを用いて付着させることにより、開口部（３２）が形成される。エッチング剤が樹脂と反応してエッチングされる部分のシリコン表面を露出する。シリコン表面のエッチングは、マスクの開口部を通して、露出された表面に、フッ化水素酸（ＨＦ）及び過マンガン酸カリウム（ＫＭｎＯ_４）の希溶液を適用して、所望の深さ（８３）までシリコンをエッチングすることにより実施される。

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ノボラックなどの有機樹脂材料（１７）の薄膜がエッチングマスクとして用いられ、開口部（３２）がマスクに所定のパターンで形成されて、開口部により画定される選択された部分が処理される。開口部（３２）は、開口部が形成されるべき部分に、水酸化ナトリウム（ＮａＯＨ）又は水酸化カリウム（ＫＯＨ）などの苛性エッチング液の液滴（７６）のパターンを適用することにより形成される。液滴（７６）は、インクジェットプリンタ（９０）を用いて適用され、インクジェットプリンタは液滴が適用される際に有機樹脂の表面の上方でスキャンされる。液滴（７６）は、開口部（３２）の寸法を定め、液滴（７６）の下側の有機樹脂（１７）を完全に除去できる大きさのものである。エッチング液が有機樹脂をエッチングして貫いて下にある表面（１２）を露出させた後、エッチング液は有機樹脂及び開口部（３２）から洗い流される。

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【課題】 誘電体分離シリコン島の底面に衝突した光を乱反射させて発電効率を高め、製造工程を簡略化する太陽電池および該電池用の誘電体分離ウェーハの製造方法を提供する。
【解決手段】 表面から誘電体分離酸化膜１４までの深さが３０μｍの誘電体分離シリコン島３０内に入射した光は、微小凹凸が現出された島３０の底面に衝突して乱反射する。この底面はエッチング面である。これにより、光は従来の鏡面時の正反射でなく乱反射する。結果、活性層と、Ｎ型層３０ａまたはＰ型層３０ｂとからなる発電領域部を通過する光子の数が増え、太陽電池の発電効率が高まる。また、活性層用のシリコンウェーハ１０はエッチドウェーハである。よって誘電体分離ウェーハ、ひいては太陽電池の製造工程を大幅に簡素化できる。 （もっと読む）