【課題】機能膜を有する機能性素子の機能膜の特性を向上させながらも、機能性素子全体の特性劣化を低コストで防ぐことが可能な機能性素子の製造方法を提供する。
【解決手段】互いに対向する一対の電極７，９と、電極７，９間に挟まれた光電変換膜８とを有する光電変換素子の製造方法であって、電極７上方に光電変換膜８を形成し、光電変換膜８上に、光電変換膜８の特性を向上させるために行うアニール処理による光電変換膜８の変質を防ぐための変質防止膜１１を形成する工程（図２（ａ））と、変質防止膜１１形成後にアニール処理を施す工程と、アニール処理後に変質防止膜１１を除去する工程（図２（ｂ））と、変質防止膜１１の除去後、光電変換膜８上に電極９を形成する工程（図２（ｃ））とを備える。 （もっと読む）

【課題】低コスト、高発電効率、軽量であって一般家庭用途への適用が容易であり、しかもパネルの基材に樹脂材料を使用することもできる太陽電池パネルの製造方法及び薄膜シリコンの製造方法を提供すること。
【解決手段】この太陽電池パネル１の製造方法は、基材２上に直接又はバッファ３層を介して第１〜第３非晶質膜４，７，８を製膜する工程と、製膜工程を繰り返して第２非晶質膜７を積層する工程と、第１非晶質薄膜４に金属１１をドープする工程と、金属１１ドープ後の第１非晶質膜４をアニール処理して金属１１を核とする多結晶又は準単結晶部１１ａを生成する工程と、を有する。 （もっと読む）

裏面誘電体パッシベーションと、局所裏面電界を伴う裏面コンタクトと、を備える薄いシリコン太陽電池が説明される。詳細には、太陽電池は、５０から５００マイクロメートルの厚さを有する結晶シリコンウエハから作成されてよい。裏面コンタクトの形成時における変形からシリコンウエハを保護するために、シリコンウエハの少なくとも裏面にバリア層及び誘電体層が貼り付けられる。誘電体層に、少なくとも１つの開口が形成される。開口内に尚且つ誘電体層上に、裏面電界を提供するアルミニウムコンタクトが形成される。アルミニウムコンタクトは、原子百分率１から１２％のシリコンを有するアルミニウムペーストをスクリーン印刷し、次いで摂氏７５０で熱処理を行うことによって貼り付けられてよい。
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【課題】太陽電池用の反射防止及び／又はパッシベーションコーティングを製造する。
【解決手段】堆積チャンバに、シリコンウェハ５を提供する工程と、該シリコンウェハを４００℃を超える温度まで予備加熱する工程と、水素含有反射防止及び／又はパッシベーションコーティングをスパッタプロセスにより堆積する工程とを含む方法、並びに、反射防止及び／又はパッシベーションコーティングをＳｉウェハに製造するコーティング装置であって、第１の真空チャンバ１と、第２の真空チャンバ２と、基板５を該第１及び第２の真空チャンバに、この順番で搬送するための搬送手段４とを含み、該第１の真空チャンバは、少なくとも１つの赤外線ヒータ１６を含み、該第２の真空チャンバは、ターゲットを蒸発させるためのスパッタ手段１２及び水素を含む反応性ガスを導入するためのガス入口を含むコーティング装置に関する。 （もっと読む）

所望の電気特性の連続膜が、予め作製されたナノ粒子の２つ又は３つの分散液を連続して印刷及びアニールすることによって得られる。
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【課題】
半導体基板中に存在する結晶欠陥および結晶粒界を効率よく水素終端化し、光電変換効率などの特性を向上させることが可能な太陽電池セルの製造方法を提供する。
【解決手段】
ＰＮ接合が形成された後の半導体基板に水素化アモルファスシリコン膜１６を形成し、そのあと熱処理によって水素化アモルファスシリコン膜１６を結晶化させる工程を含んで構成される太陽電池セルの製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の裏面に、半導体不純物に対する障壁層を形成するためのＴＧ液等塗布液を塗布して、半導体基板の受光面の所望の箇所に不純物拡散層を形成する場合に、半導体基板の表面における良好なＰＮ接合分離が実現できていない場合がある。このため、光電変換素子の特性はリーク電流のために制限されてしまう。
【解決手段】半導体基板の裏面側の端部に、半導体基板の裏面の法線と非平行な傾斜面を形成する工程と、傾斜面上のダメージ層を除去する工程と、少なくとも傾斜面に不純物拡散の障壁層を形成するための塗布液を塗布する工程と、半導体基板の受光面に高濃度不純物拡散層を形成する工程とを備える光電変換素子の製造方法に関する。 （もっと読む）

【課題】産業上有益な高効率光変換可能な太陽電池及びその製造方法の提供。
【解決手段】異種基板上にＩＩＩ族窒化物半導体からなるバッファー層と、ｐｎ接合を有するＩＩＩ族窒化物半導体層（ｐ型層／ｎ型層）を具備する太陽電池であって、バッファー層とｐｎ接合を有するＩＩＩ族窒化物半導体層からなる群より選ばれた少なくとも一種がスパッタ法によって形成された化合物半導体層を有することを特徴とする太陽電池である。 （もっと読む）

【課題】再利用する際に資源の無駄を少なくし、シリコンウエハを溶解することなく再生インゴットにすることで、単結晶に近い状態で再利用できるスクラップウエハ再利用方法および太陽電池用シリコン基板の製造方法を提供することを課題とする。
【課題手段】スクラップウエハ再利用方法は、スクラップウエハＷに形成された膜を除去する膜除去工程Ｓ３と、スクラップウエハの膜を除去した表裏面を鏡面に研磨する鏡面研磨工程Ｓ５と、鏡面に研磨されたスクラップウエハの結晶方位を揃えて重ね合わせ、円柱状に整列させる整列工程Ｓ８と、円柱状に整列させた前記スクラップウエハを加熱炉に入れて４００℃〜１３５０℃の範囲で加熱することで前記スクラップウエハ同士を拡散接合させ再生インゴットＩＧを製造する加熱工程Ｓ９と、を含む手順とした。 （もっと読む）

本発明は、高効率かつ経済的な光電池の基本的構築要素としてリソグラフィでパターン化されたグラファイトスタックを使用する。グラファイトベースの光電池の基本設計は、複数の空間的に分離されたグラファイトスタックを含み、その各々は、導電性接点を架橋する複数の垂直に積み重ねた半導体グラフェンシート（カーボンナノリボン）を含む。 （もっと読む）

【課題】 薄膜の光変換層を結晶性の高い単結晶シリコンとした光閉じ込め型単結晶シリコン太陽電池を提供する。
【解決手段】 単結晶シリコン基板に水素イオンまたは希ガスイオンを注入する工程と、前記イオン注入面を貼り合わせ面として、前記単結晶シリコン基板を、透明接着剤を介して透明絶縁性基板と密着させる工程と、前記透明接着剤を硬化させる工程と、前記単結晶シリコン基板を機械的に剥離して、単結晶シリコン層とする工程と、前記単結晶シリコン層の前記剥離面側に、第二導電型の拡散領域を複数形成し、前記単結晶シリコン層の前記剥離面に複数の第一導電型領域と複数の第二導電型領域とが存在するようにする工程と、前記単結晶シリコン層の前記複数の第一、第二導電型領域上にそれぞれ複数の個別電極を形成する工程と、それぞれの集電電極を形成する工程と、光反射膜を形成する工程とを含む単結晶シリコン太陽電池の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、基板を精密加工するための方法に関し、特に、薄層の微細構造の形成、局所的なドーパント導入および金属核形成層の局所的な形成のための方法であって、液体補助レーザー法を実行する、すなわち、適切な反応性液体によって加工される領域が覆われた基板にレーザー照射を行う方法に関する。 （もっと読む）

【課題】
特にヘテロ接合型光電変換素子において、高変換効率を実現するための製造方法を提供する。
【解決手段】
一導電型を呈する結晶系半導体基板１０と、結晶系半導体基板１０の受光面に形成された第一の真性半導体層１１と、第一の真性半導体層１１上に形成され、結晶系半導体基板１０と逆の導電型を呈する逆導電型半導体層１４と、結晶系半導体基板１０の非受光面に形成された第二の真性半導体層１２と、第二の真性半導体層１２上に形成された一導電型半導体層１３と、を有して成る光電変換素子を製造する方法であって、
結晶系半導体基板１０の受光面に第一の真性半導体層１１を形成する工程と、結晶系半導体基板１０の非受光面に第二の真性半導体層１２を形成する工程とを続けて行うものとする。
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【課題】基板上に金属ナノロッドが整然と１方向に並んだ複合ナノロッド基板を提供する。
【解決手段】基板上に形成された金属層上あるいは金属基板上に、金属ナノロッドが形成されており、該金属ナノロッドの表面に金属酸化物層が形成されていることを特徴とする複合ナノロッド基板。 （もっと読む）

【課題】変換効率が高い裏面接合型太陽電池と、簡略化した工程からなる裏面接合型太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】第１導電型のシリコン基板の受光面とは反対側の裏面にｐｎ接合が形成された裏面接合型太陽電池の製造方法であって、前記裏面に、第２導電型の第１不純物拡散領域を形成する工程と、前記裏面に前記第１不純物拡散領域を含む領域に前記第１不純物拡散領域よりも不純物濃度が低い第２導電型の第２不純物拡散領域を形成する工程と、前記裏面に前記シリコン基板よりも不純物濃度が高い第１導電型の第３不純物拡散領域を形成する工程とを含むことを特徴とする裏面接合型太陽電池の製造方法と、製造される変換効率が高い裏面接合型太陽電池を提供する。 （もっと読む）

【課題】孔の部分に光電変換素子を装着した支持体、その裏面に電気絶縁層を介して接合した導電体層を具備する光電変換装置における第１半導体と導電体層との電気的な接続方法と関連して、その導電路となる電気絶縁層の孔を形成方法を改良し、同装置の信頼性を高め、かつ製造工程を合理化する。
【解決手段】支持体の裏面側の第１半導体の露出部もしくは該露出部上の導電層に、銀、銅、ニッケル、および金からなる群より選ばれた少なくとも一種の金属を含む導電性ペーストの塗布層を形成した後、前記塗布層を下地として、支持体の裏面に接合された電気絶縁層にレーザを照射することにより導電路を形成する。 （もっと読む）

【課題】フレキシブルで、各種基板と一体化できる結晶性にすぐれたシリコン等の薄膜半導体を安価に製造することができ、これにより太陽電池を安価に製造することができるようにする。
【解決手段】半導体基体の表面を陽極酸化することにより多孔質度が異なる２層以上の層から構成される多孔質層１２を形成し、多孔質層１２の表面に太陽電池などの半導体膜１３を成膜し、この半導体膜１３を、多孔質層１２を介して半導体基体から剥離する。陽極酸化する工程は、通電量の選定と、連続通電か間欠通電かの選定とにより、多孔質の異なる多孔質層のうち、比較的低多孔率の低多孔率層に対して、比較的高多孔率の高多孔率層の形成位置を制御する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】 １枚の導電性の第１の基板上に各層を一体的に積層することにより、従来２枚の基板間の隙間で決定されていた電解質層の厚みが、その隙間に依存せずに電解質の溶液を保持した浸透層の厚みで決まるので、電解質層を薄くかつ均一化して、変換効率及び信頼性を高め、さらに電解質の体積を大きくするによって、光電変換効率及び信頼性を高めること。
【解決手段】 光電変換装置１ａは、導電性の第１の基板２上に、色素４を吸着した多孔質の半導体層５、電解質６の溶液が浸透するとともに浸透した溶液が保持される浸透層７及び対極層８がこの順で一体的に積層されるとともに、多孔質の半導体層５及び浸透層７に含まれる電解質６の第１の領域６ａを有する積層体が形成されており、積層体上に電解質６の第２の領域６ｂを介して第２の基板９が積層されている。 （もっと読む）

【課題】耐熱温度の低い基材や耐薬品性の低い電極を用いた場合でも、これらの特性が低下するのを防止して、光電変換効率の高い光電変換素子を容易に製造可能な光電変換素子の製造方法、かかる製造方法により製造された信頼性の高い光電変換素子および電子機器を提供すること。
【解決手段】太陽電池１の製造方法は、基板２に支持された電極３上に、電子輸送層４を形成する工程と、電子輸送層４に接触するように色素層Ｄを形成する工程と、電子輸送層４の基板２と反対側に、電子輸送層４から離間するように、対向基板７に支持された電極６を形成する工程と、電子輸送層４と電極６との間に電解質層５を形成する工程とを有する。電子輸送層４は、複酸化物塩の単結晶材料の粒子を分散媒に分散してなる分散液を、電極３上に供給して液状被膜を形成した後、樹脂材料の耐熱温度未満の温度で熱処理を施し、液状被膜中から分散媒を除去することにより形成される。 （もっと読む）

連続的でフレキシブルなワークピース上で前駆体層を反応することにより太陽電池吸収体を形成するための多数の室を有するロール・ツー・ロールの迅速な温度処理（ＲＴＰ）ツールである。このＲＴＰツールは予め定められた温度プロフィールを有する加熱室と、供給室と、受取室とを有する細長いハウジングを含んでいる。加熱室は前駆体層が吸収体層を形成するためにＶＩＡ族材料と反応される小さいプロセスギャップを含んでいる。連続的でフレキシブルなワークピースはロールから広げられ、供給室から加熱室へ進められ、処理された連続的でフレキシブルなワークピースは巻き取られ、受取室で巻かれる。 （もっと読む）