【課題】近年のＣＭＯＳ型ＬＳＩの設計においてはリーク電力の削減が非常に大きな課題となっている。リーク電力を削減する手段としてはトランジスタの閾値電圧を複数使用し、速度の必要な場所には閾値電圧の低いトランジスタを、不要な場所には閾値電圧の高いトランジスタを使用する方法が広く用いられている。しかしながら先端プロセスほど閾値電圧制御だけではリーク電力が十分に抑制できず、様々なリーク電力削減手法が必要となってきている。
【解決手段】本願の一つの発明は、ＣＭＯＳまたはＣＭＩＳ型ＬＳＩにおいて、一部の論理ゲートを構成するＰチャネルＦＥＴおよびＮチャネルＦＥＴの両側のゲート電極形状を近接効果を利用して平面的に湾曲させることによって、実効的なゲート長を長くするものである。 （もっと読む）

【課題】配線として用いられる金属シリサイド層の断線の発生を抑えつつ、微細化を可能にする半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板と、半導体基板のタップ領域４０、トランジスタ領域３６、及びシリサイド配線領域３８に形成された活性領域と、シリサイド配線領域３８上からトランジスタ領域３６上に亘って形成されたゲート電極２１と、活性領域上に設けられた金属シリサイド層４４ａとを備えている。シリサイド配線領域３８の少なくとも一部上におけるゲート電極２１と金属シリサイド層４４ａとの距離は、トランジスタ領域３６上におけるゲート電極と金属シリサイド層４４ａとの距離よりも小さい。 （もっと読む）

【課題】信頼性および集積性に優れた半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置は、基板（シリコン基板１）と、シリコン基板１に設けられた第１のトレンチ３と、第１のトレンチ３に埋め込まれた受動素子層１０と、第１のトレンチ３と受動素子層１０との間に設けられた第１の絶縁膜（シリコン窒化膜４）と、を備え、上面視において、第１のトレンチ３形成の周縁部分と第１の絶縁膜（シリコン窒化膜４）の周縁部分とが略一致している。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの性能を良好にするとともに、トランジスタにより構成されたアンチヒューズのゲート絶縁膜の破壊後の特性を良好にする。
【解決手段】アンチヒューズ素子１９０として機能するＮＭＯＳトランジスタにおいて、Ｎ型チャネル領域１１２ａが設けられている。また、通常のＮＭＯＳトランジスタ１９４には、Ｎ型エクステンション領域１２０およびＰ型ポケット領域１２２が設けられているが、アンチヒューズ素子１９０には、エクステンション領域およびポケット領域が設けられない。 （もっと読む）

【課題】効率的にかつ確実にブロー状態に設定しかつ通常動作モード時に、確実に、プログラム情報を保持する所望の耐圧特性を有するキャパシタ型アンチヒューズを実現する。
【解決手段】プログラムモード時と通常動作モード時とで、キャパシタ型アンチヒューズに対する電圧印加極性を変更する。 （もっと読む）

【課題】スタンダードセルを利用して機能回路ブロックをレイアウトする際、供給電源の品質を動作レベルに保ちながら、製造品質を左右する各配線層の占有率のばらつきを少なくする。
【解決手段】スタンダードセル１を、これを構成するセル構成トランジスタを有し、全スタンダードセルに共通接続される電源供給配線及び接地供給配線、および個々のスタンダードセルの機能を実現するための信号配線を含まず、かつ各スタンダードセルの機能を該セル構成トランジスタにより決定する最小限の配置配線、および該セル構成トランジスタの直近に配置され、該スタンダードセルの信号端子を含むよう構成した。 （もっと読む）

【課題】従来のプリミティブセルでは、電源配線及び接地配線により構成される電流経路のループが大きく、当該電流経路のループに起因して発生するＥＭＩノイズを十分に低減することができない問題があった。
【解決手段】本発明にかかるプリミティブセルは、内部回路１０と、内部回路１０に電源電圧を印加する電源配線１２と、内部回路に接地電圧を印加する接地配線１１と、を有し、電源配線１２と接地配線１１とがセルの外周辺のうちの一辺に偏在して配置される。 （もっと読む）

【課題】一部のデータ入出力端子のみを用いて内蔵された複数の半導体チップを並列にテストすることのできる半導体装置を提供する。
【解決手段】複数の第１データ入出力端子と接続され、第１のテスト回路と、第１の記憶部とを有し、テスト動作時には、第１の記憶部から出力されるデータに応じて第１のテスト回路で第１のテスト結果を生成する第１の半導体チップと、複数の第２データ入出力端子と接続され、第２及び第３のテスト回路と、第２の記憶部とを有し、テスト動作時には、第２の記憶部から出力されるデータに応じて第２のテスト回路で第２のテスト結果を生成し、第２のテスト結果と第１の半導体チップの第１のテスト回路から供給される第１のテスト結果とに応じて第３のテスト回路で第３のテスト結果を生成し、第３のテスト結果を所定の第２データ入出力端子に出力する第２の半導体チップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】 セルサイズが小さく、かつ配線接続の自由度が向上できるスタンダードセルを用いた半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体装置はメモリ回路と周辺回路を備え、周辺回路を分割した回路ブロックのそれぞれを、同じ高さを有した矩形で、それぞれが基本論理回路として機能するように構成された複数のスタンダードセルを、同じ高さになるように配置したセルブロックとして構成し、スタンダードセルへの入力信号配線が、メモリセルトランジスタと容量下部電極を接続する容量コンタクトパッド配線を用いて配線される。 （もっと読む）

【課題】電源配線やグランド配線に流れる電流の周波数が上がってもインピーダンスが上がるのを抑えられる半導体装置を提供すること。
【解決手段】トランジスタ２０、２１の近傍に配線された電源配線１１ａ及びグランド配線１１ｃを備え、電源配線１１ａ及びグランド配線１１ｃは、それぞれ、分割した構造となっており、所定間隔をおいて一方向に配線された複数本の分割配線１１ａ、１１ｃよりなる。 （もっと読む）

【課題】製造工程の異なるセルを混在して配置する場合に、面積を大きくせずに配置する半導体集積回路のセル自動配置方法、自動配置装置、及びそれらのプログラムを提供する。
【解決手段】複数種類のセルの内、一種類のセルに同一種類のセルが隣接配置可能であり、異なる種類のセルの隣接配置が不可能な大きさの第１の外形を設定し、上記その他の種類のセルには、第１の外形が設定されるセルを含めセルの種類に係わらずセルを隣接配置することが可能なより大きい外形を設定するセル外形設定工程と、セル外形設定工程で設定した外形を有するセルを用いて複数種類のセルを自動配置するセル自動配置工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ヒューズの線幅の縮小化を図ることが可能な半導体装置を提供する。
【解決手段】この半導体装置１では、ヒューズＦＵに隣接してダミーヒューズＤＦＵを設け、ヒューズＦＵおよびダミーヒューズＤＦＵの各々の配線幅を最小線幅に設定し、ヒューズＦＵおよびダミーヒューズＤＦＵの間隔を最小間隔に設定した。したがって、ＯＰＣによってヒューズＦＵおよびダミーヒューズＤＦＵの露光条件が最適化されるので、最小線幅のヒューズＦＵを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】良好な電気的特性を有する半導体装置及びその設計方法並びに半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のトランジスタが形成される第１の活性領域のパターンと、第２のトランジスタが形成される第２の活性領域のパターンとを配置するステップＳ２と、第１の活性領域及び第２の活性領域と交差するゲート配線のパターンを配置するステップＳ３と、第１の活性領域とゲート配線とが重なり合う領域である第１の領域を抽出するステップＳ４と、第１の活性領域を含む領域上に、圧縮応力膜のパターンを配置するステップＳ５とを有し、第２の活性領域を含む領域上に、圧縮応力膜に隣接する引っ張り応力膜のパターンを配置するステップＳ６とをコンピュータに実行させることにより、半導体装置のレイアウトパターンを取得する工程を有し、圧縮応力膜のパターンを配置するステップでは、第１の領域の縁部の位置に基づいて、圧縮応力膜のパターンの縁部の位置が設定される。 （もっと読む）

【課題】トランジスタにより構成されたアンチヒューズのゲート絶縁膜の破壊後の特性を良好にする。
【解決手段】半導体装置１００は、基板（Ｐウェル１０２）の一面上に形成されたゲート絶縁膜１０７、ゲート電極１０８、およびゲート電極１０８の両側方にそれぞれ形成されたサイドウォール１１１、から構成されたゲート１１９と、Ｐウェル１０２の一面表面において、ゲート１１９の両側方にそれぞれ形成された第１のソース・ドレイン領域１０４ａおよび第２のソース・ドレイン領域１０４ｂと、を含むトランジスタにより構成されたアンチヒューズ素子と、サイドウォール１１１内に形成され、第１のソース・ドレイン領域１０４ａおよび第２のソース・ドレイン領域１０４ｂ、またはゲート電極１０８と電気的に接続されたサイドウォール接触コンタクト（１３４）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】電源サブ幹線に接続された内部素子に異常電圧が印加される恐れを小さく
する。
【解決手段】ＶＳＳＱ０パッド１４３と、静電耐圧非対応素子を含むセル配置領域１（３０１）と、静電耐圧非対応素子よりも高い耐圧性を有する静電耐圧対応素子を含むセル配置領域２（３０２）と、ＶＳＳＱ０パッド１４３を介して外部から供給される電位を静電耐圧非対応素子に供給するＶＳＳＱサブ幹線３５１〜３５３と、ＶＳＳＱ０パッド１４３とＶＳＳＱサブ幹線３５１〜３５３との最短距離よりも長い配線長を有し、ＶＳＳＱ０パッド１４３に入力された電位をＶＳＳＱサブ幹線３５１〜３５３に対して印加する引き込み配線部（第１ＶＳＳＱ引き込み配線３３１とＶＳＳＱメイン幹線３２１と第２ＶＳＳＱ引き込み配線３４１とからなる配線部）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】積層された複数の半導体チップ間で貫通電極切替情報を共有する。
【解決手段】複数の半導体チップ間でデータ転送を行うための複数の貫通電極を互いに共有した積層型半導体装置であって、複数の半導体チップに含まれる第１の半導体チップＩＦは、複数の貫通電極のうちデータ転送を行う貫通電極を指定する貫通電極切替情報ＳＷを保持し、複数の半導体チップに含まれる第２の半導体チップＣＣ０〜ＣＣ７に貫通電極切替情報ＳＷを転送する。本発明によれば、貫通電極切替情報ＳＷが第１の半導体チップＩＦから第２の半導体チップＣＣ０〜ＣＣ７に転送されることから、第２の半導体チップには貫通電極切替情報ＳＷを不揮発的に記憶する回路を設ける必要がない。これにより、第２の半導体チップのチップ面積を縮小することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ精度よくパルス幅エラーを解消することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の設計工程において、クロック信号の立ち上がり及び立ち下がりの遅延量を別々に調整することでクロック信号のパルス幅を調整するパルス幅調整回路を含む回路ブロックを配置し（ステップＳ２）、パルス幅を検査し（ステップＳ７，Ｓ８）、パルス幅に異常が検出された場合、パルス幅調整回路によりパルス幅を調整する（ステップＳ９）。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の面積を大きくすることなくデカップリング容量を確保する。
【解決手段】機能ブロック１２がＰＭＯＳ領域１４とＮＭＯＳ領域１６とに分割され、ＰＭＯＳ領域１４には複数のＰ型のＭＯＳ−ＦＥＴ１８、ＮＭＯＳ領域１６には複数のＮ型のＭＯＳ−ＦＥＴ２０が配置され、Ｐ型のＭＯＳ−ＦＥＴ１８とＮ型のＭＯＳ−ＦＥＴ２０とがそれぞれ対向して配置されており、Ｐ型のＭＯＳ−ＦＥＴ１８及びＮ型のＭＯＳ−ＦＥＴ２０が配置されていないＰＭＯＳ領域１４の空領域にデカップリング容量としてＰ型のＭＯＳ容量２２を、ＮＭＯＳ領域１６の空領域にＮ型のＭＯＳ容量２４を、空領域の形状に応じた形状で形成して配置する。 （もっと読む）

【課題】比較的小さな電源電圧による速度変動を高精度で抑制して比較的大きな電源電圧による速度変動を高速で抑制する。
【解決手段】半導体集積回路は、第１と第２の機能ブロックＭＯＤ００、０１、クロック生成回路ＰＬＬ、クロック供給回路ＣＳ０を具備する。第１と第２の機能ブロックＭＯＤ００、０１には、電圧値の相違する第１と第２の電源電圧ＶＤＤ００、１が供給される。ＭＯＤ００は一方の電源電圧ＶＤＤ０１が供給可能な第１の内部回路ＢＵＦ００と第１の論理回路ＭＦＦ００を含み、ＭＯＤ０１は他方の電源電圧ＶＤＤ００が供給可能な第２の内部回路ＢＵＦ０１と第２の論理回路ＭＦＦ０１を含む。クロック供給回路ＣＳ０は微調遅延段回路ＦＣ０と粗調遅延段回路ＣＣ０と位相差計測回路ＲＳＭ０を含み、ＲＳＭ０は第１と第２の動作クロック信号ＣOＵＴ００、０１の位相差に応答してＦＣ０の遅延時間ＴＦ０とＣＣ０の遅延時間ＴＣ０を制御する。 （もっと読む）

【課題】電源遮断時にそれ以前の情報を保持する低消費電力モードにおいてその復帰を高速にする。その一つに従来のデータ保持型フリップフロップを用いることが考えられるが、そのためにセルを大きくする等の面積オーバーヘッドが生じるのは望ましくない。
【解決手段】電源遮断時のデータ保持のための電源線は一般の電源幹線よりも細い配線にて形成する。望ましくは、データ保持回路の電源を信号線扱いとして、自動配置配線時に配線することである。そのために、セルにはあらかじめ上記データ保持回路用電源のための端子を通常の信号線と同様に設けて設計しておく。［効果］セルに余分な電源線のレイアウトが不要となり省面積化が図られるとともに、既存の自動配置配線ツールにより設計が可能となる。 （もっと読む）