【課題】薄膜積層型の機能性薄膜素子において、電極間の電流リークを防止する。
【解決手段】非導電性基板１１上に金属機能薄膜を成膜し、この金属機能薄膜から所定の機能パターン１２を形成した後に、その保護のために機能パターン１２の上に非導電性薄膜である保護膜１３を形成する。更に、電極膜を成膜してエッチングにより電極１４ａ、１４ｂを形成し、非導電性基板１１の切断に際し保護膜１３に設けた切断部１３ａ、１３ｂを共に切断し、保護膜１３の周囲に生じた電極膜の残渣Ｓによる電極１４ａ、１４ｂ間の電流リークを防止する。 （もっと読む）

【課題】電池の磁気計測装置において、磁気雑音の強い環境においても磁気センサの出力を飽和させることなく、充放電時における電池内部の電流によって発生する磁気信号を正確に計測でき、リチウムイオン電池内部の電流分布を可視化する。
【解決手段】充放電前に、個々の磁気センサで測定される磁気と逆相の磁気を、個々の磁気センサの周囲に配置したキャンセルコイルに発生させ、その後、充放電時の磁気データから充放電前に記録した磁気データ（補正用磁気データ）を差し引くことによって磁気雑音を低減し、充放電時におけるリチウムイオン電池から生じる磁気信号を正確に計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マルチ軸センサを製造する方法を提供する。
【解決手段】第１のアプリケーション・エレクトロニクスを備えた第１の活性化表面１１４を有する第１のダイ１０２を製作するステップと、第２のアプリケーション・エレクトロニクスを有する第２の活性化表面１１５、および、第２のアプリケーション・エレクトロニクスから第２の活性化表面と隣接している第２のダイ１０４の側面インタフェースまで伸びる少なくとも一つの電気的接続を有する第２のダイを製造するステップと、第１の活性化表面と同一平面上の側面インタフェースを整列配置するステップと、複数の電気的接続１１９と第１の活性化表面との間に少なくとも一つの電気的接続を形成するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】３軸センサ・チップパッケージためのシステムと方法を提供する。
【解決手段】センサパッケージは、ベース１０５と、第１のセンサダイ１１０が、第１のアクティブセンサ回路１１２および、第１のアクティブセンサ回路に電気的に結合された複数の金属パッド１１４とを備え、ベースに取り付けられた第２のセンサダイ１２０が、第１の表面１２８の上に配置された第２のアクティブセンサ回路１２２と、第２の表面の上に配置された第２のアクティブセンサ回路に電気的に結合された第２の複数の金属パッド１２２とを備え、第２のアクティブセンサ回路は、第１のアクティブセンサ回路に対して直交に方位付けされ、ベースに垂直であるように、第２のセンサダイが配置される。第２の表面は、第１の表面に隣接し、第１の表面の面に対して角度がつけられている。 （もっと読む）

【課題】外部磁界に対する電子スピンの変化量を大きくして、外部磁界の検出感度を高めることができる磁性体部材を提供する。
【解決手段】所定の形状に形成された磁性体５の表面に、その磁性体５に固有の最小磁区よりも小さい多数の領域７に分割する多数の溝６が形成されており、前記磁性体５は、ワイヤ状に形成され、前記領域７は、ハニカム状に形成され、前記溝６には、反磁性体材料が埋められている。磁性体部材５の表面は磁壁が存在しない単磁区構造になり、外部磁界にする検出感度を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】帰還回路を用いることなく直線性及び温度特性に優れたマグネトインピーダンス素子およびマグネトインピーダンスセンサを提供すること。
【解決手段】一様な磁界の計測に用いられるマグネトインピーダンス素子１０であって、線状に形成され、外部から作用する磁界により電磁気特性が変化するとともに、一端１ａ側から他端１ｂ側へパルス電流が流される感磁体１を備える。導電層３が、感磁体１の外面上に絶縁層２を介して設けられている。感磁体１の軸線方向における他端部１ｂに、感磁体１と導電層３とを電気的に接続する接続部４が設けられている。パルス電流が感磁体１に流れた際に、感磁体１に作用する外部磁界の強度に対応した誘起電圧を出力する検出コイル６が、導電層３の外周に巻き回されている。そして、感磁体１に流れるパルス電流の向きと、導電層３に流れるパルス電流の向きとが逆向きになる。 （もっと読む）

【課題】磁気センサとして感度が高く、測定レンジの大きなＭＩセンサを提供する。
【解決手段】本発明のマグネトインピーダンスセンサは、零磁歪となる軟磁性合金のアモルファスからなる感磁ワイヤと前記感磁ワイヤの周囲に絶縁物を介して検出コイルを有し、前記感磁ワイヤに高周波電流を印加することで、外部磁場に応じて検出コイルより発生する電圧を検出するマグネトインピーダンス素子と、前記マグネトインピーダンス素子に高周波電流を供給する電流供給装置と、検出コイルからの出力を信号処理する信号処理回路を有するマグネトインピーダンスセンサにおいて、前記感磁ワイヤは少なくともワイヤの円周方向にスピン配列した表面層を有し、前記高周波電流は０．３以上、１．０ＧＨｚ以下の周波数を有する。 （もっと読む）

【課題】小さく軽量で厚みの薄い形状の入力デバイスには用いることができる磁気センサモジュール用加飾成形品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】磁気センサモジュール用加飾成形品１００は、上面中央部に入力媒体１０の入力パネルとしての役割をする透明基材７と、透明基材７の側面付近に位置し入力媒体１０に組み込まれた磁石１２の磁界の強さを検知する磁気センサ１６を設置するためのスペース２００とが形成される。そして入力媒体１０が接触される上面中央部は透明な窓部になっており、その上面外枠部に加飾層１１０が形成され、加飾層１１０は磁気センサ１６を覆い隠す。 （もっと読む）

【課題】小型の磁電変換素子に対する磁束の収束効率を向上させることができる磁気検出装置、及びこれを用いた地磁気センサを提供する。
【解決手段】平板状の基板と、前記基板の一方面からその厚み方向に形成された凹部と、前記凹部内表面に形成された第１の磁性膜と、前記基板の一方面に対向する対向面に形成された第２の磁性膜と、前記第１及び第２の磁性膜の間に形成された磁電変換素子とを有する磁気検出装置であって、前記凹部は、その周壁が前記基板の一方面に対し垂直に形成され、前記凹部の底面部は、前記対向面と対向する平坦部と、前記平坦部から前記周壁部に向かうに従って大径となる傾斜部分とを有し、前記磁電変換素子の感度領域は、前記底面部と前記第２の磁性膜との間に形成した。 （もっと読む）

【課題】小型の磁気センサをウエハ状態で検査するときに磁気センサとコイルとの相対的な位置合わせを容易にし、かつ高精度な検査を実現可能にする。
【解決手段】１つの基板１１の主面１１ａ上に、少なくとも１つの磁気センサ素子１２と、該磁気センサ素子１２の周辺に少なくとも１つのコイル素子１３とが形成され、それぞれの磁気センサ素子１２およびコイル素子１３には電極パッド１２ｂ，１３ｂが設けられてなる磁気センサウエハ１０における磁気センサ素子の検査方法であって、検査対象の磁気センサ素子１２Ｔの電極パッド１２ｂに測定用の針３を立てるとともに、検査対象の磁気センサ素子１２Ｔの周辺のコイル素子１３Ａ，１３Ｂの電極パッド１３ｂに通電用の針４Ａ，４Ｂを立てた後、通電用の針４Ａ，４Ｂからコイル素子１３Ａ，１３Ｂへ通電することによって、検査対象の磁気センサ素子１２Ｔに検査用の磁界Ｍ_Ｔを印加する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で製造も容易であり、外部磁界に対して高感度で磁気を検出できる磁気検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気検出装置１は、磁気インピーダンス素子３と、磁気インピーダンス素子３のインピーダンス変化を電気信号として取り出すピックアップコイル５とを備え、磁気インピーダンス素子３の長さはピックアップコイル配置領域６よりも長くしてあり、ピックアップコイル５は磁気インピーダンス素子３の長手方向中間部４に配置してあると共に磁気インピーダンス素子３には長手方向中間部４に所定周波数の信号を印加する電極３ａ、３ｂを設けている。 （もっと読む）

【課題】高価な設備、装置を必要とせず、製造効率に優れた高品質の磁気検出素子、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】アモルファス磁性材料２２からなり、外部磁界Ｈによりインピーダンスが変化する感磁部２０と、該感磁部２０が取り付けられる基板１０とを備える磁気検出素子であって、前記感磁部２０の長手方向が、前記アモルファス磁性材料２２の圧延方向および前記外部磁界Ｈの方向と平行となるように磁気検出素子を構成した。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、小型化を図ることができるマグネトインピーダンスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】マグネトインピーダンスセンサ素子１は、基体２と、磁性アモルファスワイヤ３と、被覆絶縁体４と、検出コイル５と、端子搭載面６１を有する端子台６と、端子搭載面６１に形成したワイヤ用電極端子１１及びコイル用電極端子１２と、ワイヤ用電極端子１１と磁性アモルファスワイヤ３に設けた一対のワイヤ通電端３１とを電気的に接続するワイヤ用接続配線１１０と、コイル用電極端子１２と検出コイル５に設けた一対のコイル通電端５１とを電気的に接続するコイル用接続配線１２０とを有する。端子搭載面６１は、その法線が磁性アモルファスワイヤ３の長手方向成分を有し、磁性アモルファスワイヤ３の長手方向における、磁性アモルファスワイヤ３の両端の間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】互いに抵抗温度係数異なる材料によって形成された複数の機能素子の間で、磁界検出時の温度変動による出力信号の変化を抑制し、正確に印加磁界を検出できると共に、小型、薄型化、低コスト化が可能な磁気デバイスを提供する。
【解決手段】 機能素子ＡおよびＣの上には、機能素子ＡおよびＣ（磁気インピーダンス素子）を加熱するための加熱手段３３ａ，３３ｂが形成される。加熱手段３３ａ，３３ｂは、例えば帯状の磁性体３２Ａ，３２Ｃに重ねて形成されるヒータ線であればよい。こうした加熱手段３３ａ，３３ｂは、磁性体３２Ａ，３２Ｃの下側（基板側）に形成しても、また、磁性体３２Ａ，３２Ｃの上側に形成しても良い。 （もっと読む）

【課題】
３次元磁気センサの小型化、薄型化を図るために、高さの小さいＺ軸用マグネトインピーダンスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】
Ｚ軸用マグネトインピーダンスセンサ素子は、非磁性体からなる基板と磁性アモルファスワイヤと磁性アモルファスワイヤ被覆絶縁体と磁性アモルファスワイヤ被覆絶縁体の周囲に形成された検出コイルと、これらを被覆する矩形状の素子絶縁体とを有し、素子絶縁体の端面に電極端子を有するものである。 （もっと読む）

【課題】高価な設備、装置を必要とせず、製造効率に優れた高品質の磁気検出素子および磁気センサ用コアならびにこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】磁気検出素子１は、非磁性材料からなる素子基板１０上にアモルファス金属からなる薄板状の磁性材料箔２０が貼着され、該磁性材料箔２０がフォトリソグラフィにより所定のパターンに形成されてなる。磁気センサ用コア２は、非磁性材料で形成された対からなる素子基板６０ａ，６０ｂ間にアモルファス金属からなる薄板状の磁性材料箔７０が貼着され、前記対からなる素子基板６０ａ，６０ｂ間に前記磁性材料箔７０が貼着された部分には、検出コイル８１の巻回部およびバイアス磁界発生用コイル８２の巻回部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】単一チップの一方側面上に統合信号処理回路と、他方側面上に磁気センサ素子とを有する高密度統合処理及び感知チップを提供する。
【解決手段】統合処理及び感知ウェハー１００は、基板層１０６の第一の表面１０４に近接して配置された信号処理回路又は信号処理層１０２と、基板層１０６の反対の表面１１０上に配置された磁気感知素子１０８とを有する。信号処理回路１０２及び磁気感知素子１０８は、金属層１１２及びバイア１１６を通じて電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】小型化と高感度化を両立させることが可能な磁界検出素子を提供する。
【解決手段】感磁部となる軟磁性体膜１１と、電流の方向が逆向きとなるように巻き回され電気的に直列に接続された２つの平面スパイラルコイル１４ａ，１４ｂとを少なくとも備える磁界検出素子１０Ａであって、軟磁性体膜１１は、２つの平面スパイラルコイル１４ａ，１４ｂの渦巻き中心間を結ぶ直線に対し略平行となるように配置され、渦巻き中心間の同相磁界発生部にて電流を通電するよう電極１２ａ，１２ｂが形成されており、軟磁性体膜１１の通電部１１ｃはコイルの電流方向と略直交して横切るように配され、さらに軟磁性体膜１１は、渦巻き中心間より外側の逆相磁界発生部に、通電部１１ｃの外側に同一平面内で連続した集磁部１１ａ，１１ｂを有し、集磁部１１ａ，１１ｂは、通電部１１ｃの幅よりも幅が広くなったパターンを有する。 （もっと読む）

【課題】磁気感度特性に優れ且つ簡易な構成でＭＩ素子の比例特性領域を利用して磁気を検出できる磁気検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気検出装置１において、直列に接続され且つ互いに平行に配置された複数のマグネトーインピーダンス素子１３、１３と、複数のマグネトーインピーダンス素子１３、１３の周囲に巻回したコイル５と、コイル５の電気出力を検出する出力検知部７と、コイル５に通電する通電部９と、コイル５の接続を通電部９と出力検出部７とに切り替えるスイッチ手段１１とを備え、通電部９からコイル５に通電してマグネトーインピーダンス素子１３、１３に一時的に磁界を加えた後に、スイッチ手段１１によりコイル５の接続を出力検出部７に切り替えてコイル５の電気出力を測定することにより、磁気を測定する。 （もっと読む）

【課題】磁気検出素子が設けられている部分が小型の磁気検出プローブ、磁気検出プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】基板２に対して磁気検出素子３を表面実装する。また、基板２には、補強部５を接合して、剛性を高めている。さらに、磁気検出素子３の周囲には、素子保護部４を形成して、磁気検出素子３の脱落等を防止する。このような構成により、磁気検出素子３が設けられている先端側の幅、及び、厚さを従来より小型にできる。 （もっと読む）