【課題】消費電力が抑制された表示装置を提供することを課題の一とする。また、消費電力が抑制された自発光型の表示装置を提供することを課題の一とする。また、暗所でも長時間の利用が可能な、消費電力が抑制された自発光型の表示装置を提供することを課題の一とする。
【解決手段】高純度化された酸化物半導体を用いた薄膜トランジスタで回路を構成し、画素が一定の状態（映像信号が書き込まれた状態）を保持することを可能とする。その結果、静止画を表示する場合にも安定した動作が容易になる。また、駆動回路の動作間隔を長くできるため、表示装置の消費電力を低減できる。また、自発光型の表示装置の画素部に蓄光材料を適用し、発光素子の光を蓄えれば、暗所でも長時間の利用が可能になる。 （もっと読む）

【課題】チャネル長Ｌが短く微細化が可能な、酸化物半導体を用いたトップゲート型の半導体素子を提供することを課題とする。また、該半導体素子の作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】絶縁表面上に酸化物半導体層と、酸化物半導体層上にソース電極層及びドレイン電極層と、酸化物半導体層、前記ソース電極層、及び前記ドレイン電極層上にゲート絶縁層と、ゲート絶縁層上にゲート電極層とを有し、ソース電極層及びドレイン電極層は側壁を有し、側壁は前記酸化物半導体層の上面と接する半導体素子である。 （もっと読む）

【課題】高い信頼性を有する直流変換回路を提供する。
【解決手段】流れる電流の変化に応じて起電力が発生する誘導素子と、ゲート、ソース、及びドレインを有し、オン状態又はオフ状態になることにより、誘導素子における起電力の発生を制御するトランジスタと、トランジスタがオフ状態のときに導通状態になる整流素子と、トランジスタのオン状態又はオフ状態を制御する制御回路と、を具備し、トランジスタは、チャネル形成層として水素濃度が５×１０^１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下である酸化物半導体層を有する構成とする。 （もっと読む）

【課題】耐放射線性を有する絶縁ゲート型半導体素子、絶縁ゲート型半導体集積回路を提供する。
【解決手段】一部がチャネル領域をなすｐ型の半導体層１１と、半導体層１１の上部に活性領域２１Ｂを定義する素子分離絶縁膜２１と、チャネル領域にキャリア注入口を介してキャリアを注入するｎ型の第１主電極領域１２と、チャネル領域から、キャリアを排出するキャリア排出口を有するｎ型の第２主電極領域１３と、活性領域２１Ｂの上に設けられたゲート絶縁膜２２と、ゲート絶縁膜２２の上に設けられ、第１主電極領域１２と第２主電極領域１３との間を流れるキャリアの流路に直交する主制御部、主制御部に交わる２本のガード部２４１，２４２を有してπ字型をなすゲート電極２４と、第２主電極領域１３のゲート幅方向の両端側に設けられたｐ型のリーク阻止領域６１，６２とを備える。 （もっと読む）

【課題】電気特性及び信頼性の高い薄膜トランジスタを有する半導体装置、及び該半導体
装置を量産高く作製する方法を提案することを課題とする。
【解決手段】半導体層としてＩｎ、Ｇａ、及びＺｎを含む酸化物半導体膜を用い、半導体
層とソース電極層及びドレイン電極層との間に金属酸化物層でなるバッファ層が設けられ
た逆スタガ型（ボトムゲート構造）の薄膜トランジスタを含むことを要旨とする。ソース
電極層及びドレイン電極層と半導体層との間に、バッファ層として金属酸化物層を意図的
に設けることによってオーミック性のコンタクトを形成する。 （もっと読む）

【課題】製造しやすい構造で、ソース・ドレイン間電圧を高くすることなく、安定した電流特性で、ＦＥＴのＳ値を小さくする。
【解決手段】半導体層１００に形成されたチャネル層１０１と、チャネル層１０１の上に形成された第１ゲート電極１０３と、チャネル層１０１を挟んで半導体層１００に配置されたソース１０４およびドレイン１０５とを備えている。また、第１ゲート電極１０３およびソース１０４の間のチャネル層１０１の上に、第１ゲート電極１０３と絶縁分離されて形成された第２ゲート電極１０９と、第１ゲート電極１０３およびドレイン１０５の間のチャネル層１０１の上に第１ゲート電極１０３と絶縁分離されて形成された第３ゲート電極１１１とを備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、大画面化しても低消費電力を実現した半導体装置の構造を提供する。
【解決手段】 絶縁表面上に形成されたゲート電極と、前記絶縁表面上に形成された第１の配線と、前記ゲート電極上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された半導体膜と、第１の配線上に形成された第２の配線と、を有し、前記第１の配線は、前記ゲート電極と同じ材料からなり、表面に前記ゲート電極よりも低抵抗な材料を有し、前記第２の配線を介して前記半導体層と電気的に接続し、前記第１の配線の低抵抗化を図る。 （もっと読む）

【課題】電気光学装置において、新規の構成を有する画素回路を新規な作製方法で作製することにより、従来の構成の画素よりも、歩留まりの高くすることを目的とする。
【解決手段】基板上に第１乃至第６の配線と、第１及び第２のトランジスタと、画素電極を有する半導体装置の作製方法であって、基板上に第１の導電膜を形成し、第１の導電膜をパターニングすることで、第１のトランジスタのゲート電極、第２のトランジスタのゲート電極及び第３の配線を形成し、第１のトランジスタのゲート電極、第２のトランジスタのゲート電極及び第３の配線上に層間絶縁膜を形成し、層間絶縁膜にコンタクトホールを形成し、層間絶縁膜上に第２の導電膜を形成し、第２の導電膜をパターニングすることで、第１の配線、第２の配線、第４の配線、第５の配線及び第６の配線を形成する半導体装置の作製方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】赤色、青色、緑色の発光輝度のバランスが良い、色鮮やかな画像を表
示することができるＥＬ表示装置を提供する。
【解決手段】 複数のＥＬ素子をそれぞれ含む複数の画素を有するＥＬ表示装置
であって、前記ＥＬ表示装置は前記複数のＥＬ素子の発光する時間を制御するこ
とで階調表示を行い、前記複数のＥＬ素子に印加される電圧は、前記複数のＥＬ
素子をそれぞれ含む複数の画素が表示する色によって異なることを特徴とするＥ
Ｌ表示装置。 （もっと読む）

【課題】多層配線間で形成される寄生容量を低減することを目的の一とする。
【解決手段】絶縁表面上に第１配線と、前記第１配線を覆う第１層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜上の一部に接して第２層間絶縁膜と、前記第１層間絶縁膜及び前記第２層間絶縁膜上に第２配線とを有し、前記第１配線と前記第２配線とが重なっている領域には、前記第１層間絶縁膜と前記第２層間絶縁膜とが積層された半導体装置である。第１配線と第２配線間に層間絶縁膜が積層されていることで寄生容量の低減が可能となる。 （もっと読む）

【課題】酸化亜鉛に代表される酸化物半導体膜を用いて薄膜トランジスタを形成すること
で、作製プロセスを複雑化することなく、尚かつコストを抑えることができる半導体装置
及びその作製方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板上にゲート電極を形成し、ゲート電極を覆ってゲート絶縁膜を形成し、
ゲート絶縁膜上に酸化物半導体膜を形成し、酸化物半導体膜上に第１の導電膜及び第２の
導電膜を形成する半導体装置であって、酸化物半導体膜は、チャネル形成領域において少
なくとも結晶化した領域を有する。 （もっと読む）

【課題】不均一な半導体装置のアクティブ領域パターン形成方法を提供する。
【解決手段】具体例によると、少なくとも３つのアクティブ領域を含む半導体装置が提供される。少なくとも３つのアクティブ領域は隣接する。少なくとも３つのアクティブ領域の縦軸は平行で、少なくとも３つのアクティブ領域は、それぞれ、対応するアクティブ領域の縦軸と交差する辺縁を有する。少なくとも３つのアクティブ領域の辺縁は弧形を形成する。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体層を用いる薄膜トランジスタにおいて、信号検出感度が高く、ダイナミックレンジの広い半導体装置を得ることを課題の一つとする。
【解決手段】チャネル形成層としての機能を有し、水素濃度が５×１０^１９（ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３）以下であり、電界が発生していない状態においては、実質的に絶縁体として機能する酸化物半導体を有する薄膜トランジスタを用いてアナログ回路を構成することで、信号検出感度が高く、ダイナミックレンジの広い半導体装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】オフ電流が小さい薄膜トランジスタによって問題なく動作することが可能な記憶素子を含む記憶装置を提供することを課題とする。
【解決手段】酸化物半導体層を有する薄膜トランジスタが少なくとも一つ設けられた記憶素子を、マトリクス状に配置した記憶装置を提供する。酸化物半導体層を有する薄膜トランジスタは、電界効果移動度が高く、且つオフ電流を小さくできるため、問題なく良好に動作させることができる。また、消費電力を低くすることもできる。このような記憶装置は、例えば酸化物半導体層を有する薄膜トランジスタが表示装置の画素に設けられている場合に、記憶装置を同一基板上に形成することができるため、特に有効である。 （もっと読む）

【課題】電気特性が良好で信頼性の高いトランジスタをスイッチング素子として用い、信頼性の高い半導体装置を作製することを課題とする。
【解決手段】加熱処理により脱水化または脱水素化され、表面にナノ結晶からなる微結晶群が形成された酸化物半導体層を形成し、酸化物半導体層上に非晶質で透光性のある酸化物導電層を用いてソース電極層及びドレイン電極層を形成し、酸化物半導体層上の酸化物導電層を選択的にエッチングすることで透光性のあるボトムゲート型のトランジスタを形成し、同一基板上に駆動回路部と画素部を設けた信頼性及び表示品質の高い半導体装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】安定した電気的特性を有する酸化物半導体を用いた半導体装置を提供することを目的の一つとする。
【解決手段】未結合手に代表される欠陥を多く含む酸化シリコン層を、酸化物半導体層に接して形成し、酸化物半導体層に含まれる水素や水分（水素原子や、Ｈ_２Ｏなど水素原子を含む化合物）などの不純物を、上記酸化シリコン層に拡散させ、上記酸化物半導体層中の不純物濃度を低減する。また、酸化物半導体層と酸化シリコン層の界面に混合領域を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板処理の効率を高めることができ、また半導体膜の移動度を高めることができるレーザー結晶化法を用いた半導体製造装置を提供する。
【解決手段】半導体膜を成膜する成膜装置と、レーザー装置とを備えたマルチチャンバー方式の半導体製造装置であり、レーザー装置は、被処理物に対するレーザー光の照射位置を制御する第１の手段と、レーザー光を発振する第２の手段（レーザー発振装置１２１３）と、前記レーザー光を加工または集光する第３の手段（光学系１２１４）と、前記第２の手段の発振を制御し、なおかつ第３の手段によって加工されたレーザー光のビームスポットがマスクの形状のデータ（パターン情報）に従って定められる位置を覆うように前記第１の手段を制御する第４の手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の高いＴＦＴ構造を用いた半導体装置を実現する。
【解決手段】ＴＦＴに利用する絶縁膜、例えばゲート絶縁膜、保護膜、下地膜、層間絶縁膜等として、ボロンを含む窒化酸化珪素膜（ＳｉＮ_X Ｂ_Y Ｏ_Z ）をスパッタ法で形成する。その結果、この膜の内部応力は、代表的には−５ラ１０¹⁰ｄｙｎ／ｃｍ² 〜５ラ１０
¹⁰ｄｙｎ／ｃｍ² 、好ましくは−１０¹⁰ｄｙｎ／ｃｍ² 〜１０¹⁰ｄｙｎ／ｃｍ² となり、高い熱伝導性を有するため、ＴＦＴのオン動作時に発生する熱による劣化を防ぐことが可能となった。 （もっと読む）

【課題】ガラスや石英基板上に、アクティブ方式のイメージセンサを高密度に形成する。
【解決手段】マトリクス回路には、薄膜トランジスタでなる選択トランジスタＴｓ、増幅トランジスタＴａ及びリセットトランジスタＴｒが形成される。フォトダイオードＰＤはマトリクス回路上に絶縁層を介して積層される。電源線１０４は隣接する２列で共有され、１画素当たりの配線数を削減する。単位ユニット１００を内に形成される全てのトラ
ンジスタを１つの島状半導体薄膜に形成し、１画素当たりのコンタクトホール数を少なく
する。 （もっと読む）

【課題】明るい画像表示の可能な電子装置を提供する。また、信頼性の高い電子装置を提供することを課題とする。さらに、上記高輝度の画像表示が可能な電子装置の製造コストを低減するためのプロセスを提供することを課題とする。
【解決手段】スイッチング用ＴＦＴ及び電流制御用ＴＦＴを形成し、電流制御用ＴＦＴにＥＬ素子が電気的に接続された画素構造とする。電流制御用ＴＦＴにゲート絶縁膜を挟んでゲート電極と重なるようにＬＤＤ領域を形成し、ゲート電極とＬＤＤ領域との間のゲート容量によりゲート電極にかかる電圧が保持される有効発光面積の大きい画素が得られる。 （もっと読む）