【課題】活性層中への電極材の拡散の抑制、電極材の低電気抵抗化、さらには活性層へのダメージ低減を図ることができる、酸化物半導体からなる活性層を有する電界効果型トランジスタ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一実施形態に係るトランジスタは、酸化物半導体からなる活性層と、Ｔｉ系材料またはＭｏ系材料からなる第１の電極層と、第１の電極層の材料よりも比抵抗の小さい材料からなる第２の電極層とを具備する。
上記構成によれば、酸化物半導体からなる活性層に対する拡散が小さい第１の電極層と、比抵抗が小さい第２の電極層を積層することにより、活性層と電極層の層界面でのＦＥＴ特性が良好であり、電気抵抗の小さい電極を備えたＦＥＴを得ることが可能である。 （もっと読む）

【課題】低消費電力で動作し、記憶情報の信頼性が高く、小型で軽量、安価な記憶装置と
その駆動方法を提供することを課題とする。さらに低消費電力で動作し、記憶情報の信頼
性が高く、無線通信距離の長い、小型で軽量、安価な半導体装置とその駆動方法を提供す
ることを課題とする。
【解決手段】記憶装置は、少なくとも記憶素子がマトリックス状に配置されたメモリセル
アレイと、書き込み回路とを有し、記憶素子は第一の導電層と、第二の導電層と第一の導
電層と第二の導電層とに挟まれて設けられた有機化合物層とを有し、書き込み回路は、複
数回印加する電圧を発生させる電圧発生回路と、電圧の出力時間を制御するタイミング制
御回路とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機半導体材料として有用な、適度なホールおよび電子輸送特性を有する、可視光透過性の液晶性化合物を提供する。
【解決手段】式(１)で表される化合物による。


［式(１)において、Ｒは独立して、水素または炭素数１〜２４のアルキルであり、このアルキルにおける任意の−ＣＨ₂−は−Ｏ−、−Ｓ−、−ＣＯ−または−ＳｉＨ₂−で置き換えられてもよく、任意の−（ＣＨ₂）₂−は−ＣＨ＝ＣＨ−または−Ｃ≡Ｃ−で置き換えられてもよく、任意の水素はハロゲンで置き換えられていてもよく；Ａｒはナフチレン、アントリレン、フェナントリレンまたはすべての水素がハロゲンで置き換えられたフェニレンであり、ナフチレン、アントリレンおよびフェナントリレンにおける任意の水素はハロゲンで置き換えられてもよい。］ （もっと読む）

【課題】電気特性が良好な半導体装置を、生産性高く作製する。
【解決手段】第１の条件により、高い結晶性の混相粒を低い粒密度で有する種結晶を形成した後、第２の条件により混相粒を成長させて混相粒の隙間を埋めるように、種結晶上に微結晶半導体膜を積層形成する。第１の条件は、シリコンまたはゲルマニウムを含む堆積性気体の流量に対する水素の流量を５０倍以上１０００倍以下にして堆積性気体を希釈し、且つ処理室内の圧力を６７Ｐａ以上１３３３Ｐａ以下とする条件である。第２の条件は、シリコンまたはゲルマニウムを含む堆積性気体と、水素との流量比を周期的に増減させながら処理室に供給し、且つ処理室内の圧力を１３３３Ｐａ以上１３３３２Ｐａ以下とする条件である。 （もっと読む）

【課題】高い移動度、大きな電流オン／オフ比を有し、保存安定性に優れた有機トランジスタを提供する。
【解決手段】有機半導体層に下式等で表される化合物を含有してなる有機トランジスタ。


〔式中、Ｘ_１〜Ｘ_１４はそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、直鎖、分岐または環状のアルキル基、直鎖、分岐または環状のアルコキシ基、直鎖、分岐または環状のアルコキシアルキル基、直鎖、分岐または環状のアルコキシアルコキシ基、あるいは置換または未置換のアリール基を表し、Ｙ_１およびＹ_２はそれぞれ独立に、酸素原子または硫黄原子を表す〕 （もっと読む）

【課題】厚みが制御された有機半導体層を形成することが可能であり、トランジスタ特性に優れた有機トランジスタ素子を製造することができる有機トランジスタ素子用テンプレートを提供することを主目的とする。
【解決手段】基板と、上記基板上に形成され、親液化処理によって親液化される親液‐疎液可変性材料からなる下地層と、上記下地層上に形成されたソース電極およびドレイン電極と、上記ソース電極およびドレイン電極の有機半導体層形成領域内の表面上に形成され、親液性材料からなる親液膜と、上記ソース電極およびドレイン電極の有機半導体層形成領域外の表面上に形成され、疎液性材料からなる疎液膜とを有し、上記下地層の表面が上記ソース電極およびドレイン電極間のチャネル領域内において親液性を示しかつ上記チャネル領域外において上記チャネル領域内よりも疎液性を示すことを特徴とする有機トランジスタ素子用テンプレートを提供する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、高画質で信頼性の高い表示装置を低いコストで歩留まり良く製造することができる技術を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、画素領域における画素電極層上、及び画素電極層周辺を覆う隔壁として機能する絶縁層上に、スペーサを有する。このスペーサによって、発光材料を画素電極層上に形成する際、選択的に形成するためのマスクは支持され、マスクのよじれやたわみなどによって画素電極層に接することを防止する。よって、画素電極層にはマスクによる傷などの損傷が生じず、画素電極層は形状不良とならないので、高繊細な表示を行う、高信頼性な表示装置を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】高い結晶性を有することで移動度の高い有機半導体薄膜を提供する。
【解決手段】高分子と有機半導体の混合溶液を基板上にスピンコートなどで塗布することにより、下層に高分子、上層に有機半導体が層分離した薄膜が形成される（図のa)）。これに、有機半導体と高分子の両方を溶解できる溶媒を使用して溶媒蒸気アニールを行うことにより、有機半導体分子が高分子層の上を移動して有機半導体膜を再構成し、b)のように、粒界が少なく、また単結晶が大きく成長した有機半導体薄膜を得る。 （もっと読む）

【課題】シリコンデバイスの飽和移動度特性を向上する。
【解決手段】シリコン半導体膜上に、Ｐドープｎ^＋型アモルファスシリコン膜と、該Ｐドープｎ^＋型アモルファスシリコン膜上に形成された配線とを有するシリコンデバイス構造において、前記配線が、前記Ｐドープｎ^＋型アモルファスシリコン膜の表面に形成されたシリコン酸化膜と、銅合金膜とからなり、前記銅合金膜は、１原子％以上５原子％以下のＭｎ及び０．０５原子％以上１．０原子％以下のＰを含む銅合金をスパッタリングにより形成した膜である。 （もっと読む）

【課題】素子面積の増大を抑制しつつ、信頼性に優れた構造を有する半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置１００は、化合物半導体基板１２と、化合物半導体基板１２に埋め込まれた埋込電極と、を備え、化合物半導体基板１２の主面に溝２２、２４が設けられており、少なくとも溝２２、２４の側壁上に設けられた第一の金属膜１０ａ、１０ｂと、少なくとも溝２２、２４の底面上に設けられており、第一の金属膜１０ａ、１０ｂと異種材料で構成される第二の金属膜９ａ、９ｂと、を含む積層体により溝２２、２４を埋め込むことで、上記埋込電極が構成されており、第一の金属膜１０ａ、１０ｂのフェルミエネルギーは化合物半導体基板１２の真性フェルミエネルギーと異なり、第二の金属膜９ａ、９ｂのフェルミエネルギーは化合物半導体基板１２の真性フェルミエネルギーと異なる。 （もっと読む）

【課題】リフレッシュ動作を不要とする酸化物半導体を利用した光センサ、当該光センサを搭載した半導体装置、及び光センサを利用した光の測定方法を提供することを目的の一とする。
【解決手段】酸化物半導体を用いて形成されたチャネルを含むトランジスタに、ゲート電圧をパルス状に印加することにより、一定のゲート電流が得られることを見出し、これを光センサに応用した。当該光センサはリフレッシュ動作を要さないため、少ない消費電力で、高速かつ簡易な測定手順にて光の照度を測定できる。比較的高い移動度と低いＳ値、低いオフ電流を有する酸化物半導体を利用したトランジスタにより光センサを形成できるため、少ない工程で多機能を有する半導体装置を得ることが出来る。 （もっと読む）

【課題】高い移動度、大きな電流オン／オフ比を有し、保存安定性に優れた有機トランジスタを提供する。
【解決手段】有機半導体層として下式の化合物を含む有機トランジスタ。


〔Ｘ_１〜Ｘ_６は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルコキシアルコキシ基、アリール基を表し、Ｒ_０およびＲ_００は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アルコキシアルキル基、アルコキシアルコキシ基を表し、Ａ、Ｂ、ＣおよびＤはフェニレン基、チエニレン基、チエノチエニレン基、ナフチレン基、アントリレン基を表し、ａ、ｂ、ｃおよびｄは０、１または２を表す〕 （もっと読む）

【課題】デカップリング容量及びガードリング等のノイズを低減する構造物を設けるための専用配置領域を必要としない半導体集積回路装置を提供する。
【解決手段】Ｐ⁻型シリコンからなる支持基板２を設け、この支持基板２上にＰ^＋型シリコン層３を設け、その上にＮ^＋型シリコン層４及びＰ^＋型シリコン層１２を相互に同層に設ける。Ｐ^＋型シリコン層３及びＮ^＋型シリコン層４の不純物濃度は支持基板２の不純物濃度よりも高くする。また、Ｎ^＋型シリコン層４及びＰ^＋型シリコン層１２上の全面に、埋込酸化膜５及びＳＯＩ層６を設ける。そして、Ｐ^＋型シリコン層３を接地電位配線ＧＮＤに接続し、Ｎ^＋型シリコン層４を電源電位配線ＶＤＤに接続する。これにより、Ｐ^＋型シリコン層３とＮ^＋型シリコン層４との間に、電源に並列に接続されたデカップリング容量Ｃ１が形成される。 （もっと読む）

【課題】酸化物半導体を用いた半導体装置に安定した電気的特性を付与し、高信頼性化することを目的の一つとする。
【解決手段】酸化物半導体層を有するボトムゲート構造のトランジスタの作製工程において、酸化物半導体層の脱水化または脱水素化処理として、酸素を含む雰囲気での加熱処理と、真空中での加熱処理を段階的に行う。また、加熱処理と同時に短波長の光照射を行い、水素やＯＨ等の脱離を助長させる。この様な熱処理による脱水化または脱水素化処理を施した酸化物半導体層を有するトランジスタは、光照射やバイアス−熱ストレス試験（ＢＴ）試験前後における電気特性の不安定性を改善することができる。 （もっと読む）

【課題】オン電圧の低減と、破壊耐量確保、高速スイッチングを同時に実現できる横型ＩＧＢＴを提供する。
【解決手段】ｎ型バリア層１５を形成することでエミッタ側のキャリア濃度を高くしてオン電圧の低減を図りつつ、ｎ型バリア層１５を隣り合うエミッタ間に形成しないようにすることで、ターンオフ時間の改善を図る。また、このような構造により、スイッチング時の破壊耐量の向上も図ることも可能となる。したがって、オン電圧の低減と、破壊耐量確保、高速スイッチングを同時に実現できる横型ＩＧＢＴとすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】オフ電流の低い半導体装置などを提供することを課題とする。または、正確な表示を行う半導体装置などを提供することを課題とする。または、視野角の広い表示装置などを提供することを課題とする。または、画面の焼き付きを低減した表示装置などを提供することを課題とする。
【解決手段】上記課題を解決するために、酸化物半導体（ＯＳ：オキサイドセミコンダクター）を有するトランジスタ、特に、酸化物半導体を有する薄膜ＭＯＳトランジスタを用いて、回路を構成する。その酸化物半導体は、実質的に真性な半導体となっている。そのため、非常にオフ電流が低い。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極層がゲート絶縁層を介して、チャネル領域を形成する酸化物半導体層に重畳するトップゲート構造のトランジスタにおいて、ゲート絶縁層と対向し、かつ酸化物半導体層と接する絶縁層に水素が多く含まれている場合、酸化物半導体層に水素が拡散し、トランジスタの電気特性が不良となる。そこで、良好な電気特性を有する半導体装置を提供する。
【解決手段】酸化物半導体層と接する絶縁層に水素濃度が６×１０^２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満である絶縁層を用いる。さらに、水素濃度が６×１０^２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満であるゲート絶縁層を用いてもよい。このようにすることで、酸化物半導体層に水素が拡散することを抑制することができ、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】データを保持する期間を確保しつつ、単位面積あたりの記憶容量を高めることができる記憶装置の提案を目的の一とする。
【解決手段】記憶素子と、記憶素子における電荷の蓄積、保持、放出を制御するための、酸化物半導体を活性層に含むトランジスタと、記憶素子に接続された容量素子とを有する記憶装置。上記容量素子が有する一対の電極の少なくとも一方は、遮光性を有している。さらに、上記記憶装置は遮光性を有する導電膜或いは絶縁膜を有しており、上記活性層が、遮光性を有する電極と、遮光性を有する導電膜或いは絶縁膜との間に位置する。 （もっと読む）

【課題】 バーズビークの増大を抑制し、小型で信頼性の高い半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 そこで本発明の半導体装置の製造方法は、半導体基板と前記半導体基板上に絶縁膜を介して形成された第１導電型の半導体層とを有するＳＯＩ基板と、第１導電型の半導体層からなる活性領域内に、第２導電型の半導体層からなるウェルを形成するとともに、ウェル内および第１導電型の活性領域内に、第１導電型の半導体層からなるソース・ドレイン領域を形成した横型ＭＯＳＦＥＴの製造方法であって、活性領域のうち、素子領域を除く領域を不活性化し、不活性化領域（絶縁性領域１４）を形成する工程を含み、不活性化領域を形成する工程が、活性領域に対し、所定間隔を隔てて所定幅の小トレンチを形成する工程と、小トレンチを囲む領域の活性領域３を酸化し、小トレンチＴｓが酸化膜で覆われるとともに、隣接する小トレンチまで酸化膜が到達するように酸化する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】新規なチオフェン化合物、および該化合物を含有してなる高い移動度、大きな電流オン／オフ比を有する優れた有機トランジスタの提供。
【解決手段】下記一般式（１）〜一般式（２）で表される化合物。さらには、有機半導体層を有する有機トランジスタにおいて、該有機半導体層に一般式（１）〜一般式（２）で表される化合物を少なくとも１種含有してなる有機トランジスタ。


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