【課題】シリコン基板上にＨｆＯ₂膜を使って、ＥＯＴが小さくリーク電流特性の優れた誘電体膜を形成する。
【解決手段】成膜方法は、シリコン基板表面に酸化膜を形成する工程と、前記酸化膜をエッチングし、前記酸化膜により界面酸化膜を、ＸＰＳ法で測定した前記界面酸化膜の膜厚が６．７Å以下で６．０Å以上となるように形成する工程と、前記界面酸化膜上にＨｆＯ₂膜を、ＭＯＣＶＤ法により、酸化雰囲気中において形成する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】組成の安定したゲート電極を形成することが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体基板１１に、ゲート長に加工された、ゲート絶縁膜２１、シリコン材料膜２３ａ、ストッパ膜２５、及びシリコン材料膜２３ｂを順に有する第１の積層膜を備えたｐＭＯＳ領域１、離間して、ゲート長に加工された、ゲート絶縁膜２１、シリコン材料膜２３ａ、及びシリコン材料膜２３ｂを順に有する第２の積層膜を備えたｎＭＯＳ領域２を形成し、第１及び第２の積層膜の側壁にオフセット膜３３、サイドウォール３５の形成、及びソース・ドレイン領域１５の形成を行い、ｐＭＯＳ領域１のシリコン材料膜２３ｂ及びストッパ膜２５を除去し、シリコン材料膜２３ａ上、及びｎＭＯＳ領域２のシリコン材料膜２３ｂ上にＮｉを堆積し、ｐＭＯＳ領域１にＮｉ_３Ｓｉを形成し、ｎＭＯＳ領域２にＮｉＳｉ_２を形成する。 （もっと読む）

【課題】トランジスタの性能向上を図ってスペーサを形成できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法は、半導体基板上にゲート絶縁膜を形成する工程と、ゲート絶縁膜上にゲート電極を形成する工程と、ゲートを覆って、半導体基板上に、高誘電体材料を含むバリア絶縁膜を形成する工程と、バリア絶縁膜上に、スペーサ絶縁膜を形成する工程と、スペーサ絶縁膜を、異方性エッチングして、ゲートの側壁上にスペーサを残して除去する工程と、露出したバリア絶縁膜を除去する工程と、ゲート及びスペーサをマスクとして、半導体基板に不純物を注入し、エクステンションを形成する工程と、さらにサイドウォールを形成し、ゲート、スペーサ、及びサイドウォールをマスクとして、ソース／ドレイン領域を形成する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極をフルシリサイド化したＭＩＳＦＥＴを有する半導体装置及びその製造方法に関し、ＭＩＳＦＥＴの特性劣化を引き起こすことなくゲート電極をフルシリサイド化しうる半導体装置の製造方法、並びに、そのような製造方法を用いて形成された優れた特性のＭＩＳＦＥＴを有する半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１０上に形成されたゲート絶縁膜１８と、ゲート絶縁膜１８上に形成された金属シリサイド膜５６ｂと、金属シリサイド膜５６ｂ上に形成された金属シリサイド膜５６ａとを有し、金属シリサイド膜５６ｂにおける金属元素に対するシリコンの組成が、金属シリサイド膜５６ａにおける金属元素に対するシリコンの組成よりも大きいゲート電極２６ｎと、ゲート電極２６ｎの両側の半導体基板１０内に形成された不純物拡散領域対５４とを含むトランジスタを有する。 （もっと読む）

【課題】応力を調整した多層シリコン膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】シリコンソースガスを備える第１のプロセスガスを該プロセスチャンバ内に流入させることによって、非晶質シリコン膜４０６が該基板上に形成される。シリコンソースガスを備える第１のプロセスガス混合物と、Ｈ_２及び不活性ガスを備える第１の希釈ガス混合物とを第１の温度で堆積チャンバ内に流入させることによって、多結晶シリコン膜４０８が該非晶質シリコン膜上に形成される。 （もっと読む）

【課題】 大幅なプロセスコスト増を伴うことなく、チャネルに歪を発生させることが可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）半導体基板の一部の表面上に、半導体膜と、該半導体膜よりも密度の高いブロック膜とがこの順番に積層されたゲートパターンを形成する。（ｂ）ゲートパターンをマスクとして、半導体基板の表層部に、ソース及びドレイン用の不純物を注入する。（ｃ）ゲートパターンをマスクとして、半導体基板内に、ソース及びドレイン用の不純物とは異なる歪形成用の不純物を注入する。（ｄ）半導体基板を熱処理し、歪形成用の不純物が注入された領域を再結晶化させる。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極、ソース電極またはドレイン電極にタングステン膜を用いた半導体装置において、ｎＭＯＳとｐＭＯＳ間での抵抗差を低減可能な半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１０上に、ゲート電極１４ａ，１４ｂとソース／ドレイン拡散層１６ａ，１６ｂとを有するｎＭＯＳ及びｐＭＯＳを形成し、ゲート電極１４ａ，１４ｂ及びソース／ドレイン拡散層１６ａ，１６ｂ上に、タングステン膜１７を選択的に形成し、タングステン膜１７を覆うように、絶縁膜（エッチングストップシリコン酸化膜１８、シリコン窒化膜１９）を形成し、ｐＭＯＳ領域１２ｂの絶縁膜を除去し、ｐＭＯＳ領域１２ｂのタングステン膜１７上に、タングステン膜２０を選択的に形成する。 （もっと読む）

【課題】フィン内部のチャネル部に垂直応力を与える事が可能なフィン型トランジスタを提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上に形成される複数の半導体フィンと、前記半導体フィン内のチャネル領域を覆い金属または導電性を持つ化合物や、ポリシリコンで形成されるゲート電極と、前記ゲート電極の内部に含まれその両側に存在する前記半導体フィンに対し応力源となるよう格子定数の異なる材料や密度の異なるアモルファスシリコン、または線膨張係数の異なる材料で形成される埋め込み部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】シリサイド膜を有するＭＩＳトランジスタを備えた半導体装置において、接合リークを悪化させることなくゲート電極（Ｐｃｈ領域、Ｎｃｈ領域及びＰＮ接合部）上のシリサイド層の断線を抑制する。
【解決手段】半導体装置は、半導体基板１０１と、半導体基板１０１上に形成されたゲート絶縁膜１０３と、ゲート絶縁膜１０３上に形成され、上部に金属シリサイド層１０８ａ及び１０８ｂを有するゲート電極１０４と、半導体基板１０１のうちのゲート電極１０４の両側に形成され、ソース領域及びドレイン領域となる活性領域１０６ａ及び１０６ｂとを備え、ゲート電極１０４は、Ｐ型不純物が導入されたＰ型部分１０４ａを有し、Ｐ型不純物よりも重い所定の不純物元素が、Ｐ型部分１０４ａを含むゲート電極１０４に選択的に導入されている。 （もっと読む）

【課題】いかなる位置に形成されたトランジスタに対してもダミーパターンを形成することを可能にして、トランジスタ特性の変動を抑制することを可能にする。
【解決手段】半導体基板１１のアクティブ領域１２上にゲート絶縁膜１４を介して形成された複数のゲート電極１５と、前記アクティブ領域１２上の少なくとも前記ゲート電極１５間の一部に形成されたダミーパターン１６とを有し、前記ゲート電極１５同士が隣接するゲート電極１５−１、１５−２間の間隔、および前記ダミーパターン１６−１とそれと隣接する前記ゲート電極１５−２、１５−３との間隔が所定の範囲内となるように前記ダミーパターン１６−１が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ｎ型ＭＩＳトランジスタのゲート電極、及びｐ型ＭＩＳトランジスタのゲート電極の双方を精度良く実現する。
【解決手段】第１のＭＩＳトランジスタと第２のＭＩＳトランジスタとを備えた半導体装置において、第１のＭＩＳトランジスタは、半導体基板１０における第１の活性領域１０ａ上に形成された第１のゲート絶縁膜１３ａと、第１のゲート絶縁膜１３ａ上に形成され、シリコン膜１４ａとシリコン膜１４ａ上に形成された第１の金属シリサイド膜２０ａとからなる第１のゲート電極２６ａとを備え、第２のＭＩＳトランジスタは、半導体基板１０における第２の活性領域１０ｂ上に形成された第２のゲート絶縁膜１３ｂと、第２のゲート絶縁膜１３ｂ上に形成され、フルシリサイド化された第２の金属シリサイド膜２０Ｂからなる第２のゲート電極２６ｂとを備え、第１の金属シリサイド膜２０ａは、第２の金属シリサイド膜２０Ｂに比べて膜厚が薄い。 （もっと読む）

【課題】ゲート電極周辺の基板に生じるエッチングによる基板掘れを低減又は解消し、短チャネル効果を抑制しうる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【解決手段】シリコン基板１０上にゲート絶縁膜１２を介してゲート電極１４を形成する工程と、シリコン基板１０上及びゲート電極１４上に、シリコン基板１０及びゲート電極１４を覆うように、引張応力を有する引張応力膜２２を形成する工程と、引張応力膜２２を除去する工程と、引張応力膜２２が除去されたゲート電極１４をマスクとして不純物をシリコン基板１０内に導入し、ゲート電極１４の両側のシリコン基板１０内に不純物層２４を形成する工程とを有している。 （もっと読む）

【課題】 化学機械研磨を行うことなく、比較的低コストでフルシリサイドゲート電極を形成することができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板の表面上に第１の膜(27)及び第２の膜(28)を形成する。第２の膜をパターニングすることにより、内部に開口(41c)または凹部(41d)が配置された第１のパターン(41a)と、一方向に長い第２のパターン(31a)とを形成する。第１及び第２のパターンを覆い、それらのパターンの上面上の部分の膜厚が、半導体基板の表面上の部分の膜厚よりも薄くなるように、半導体基板の上に塗布法により、第３の膜(51)を形成する。第３の膜をエッチバックすることにより、第１及び第２のパターンの上面を露出させる。全面に第４の膜(55)を形成する。第１及び第２のパターンと、第４の膜とを反応させることにより、第１及び第２のパターンを、その底面まで、金属シリサイド化物にする。 （もっと読む）

【課題】縦型絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソースコンタクト抵抗を低減する。
【解決手段】半導体装置４０では、半導体基板１の上部に、第１のソース層２ａが設けられ、第１のソース層２ａ内に第１のソース層２ａより深く、凹部３を有する第２のソース層２ｂが設けられる。凹部３上には、積層された第１の層間絶縁膜４ａ、ゲート電極膜５、及び第２の層間絶縁膜４ｂを貫通するようにゲート開口部が設けられる。側面にゲート絶縁膜６が設けられたゲート開口部には、第３のソース層２ｃ、チャネル部７、及びドレイン層８が積層埋設される。第３のソース層２ｃは、下部が第２のソース層２ｂと接するように、凹部３上及びゲート開口部に埋設される。第１の層間絶縁膜４ａと凹部３の間に突起状のゲート絶縁膜凸部６ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】応力源となるＳｉＧｅ混晶層のエピタキシャル成長の際に生じる、ポリシリコンゲート電極パターン上のＳｉＧｅ混晶異常成長を抑制する半導体装置製造方法の提供。
【解決手段】ｐチャネルＭＯＳトランジスタの製造方法は、（Ａ）シリコン単結晶基板表面に、ゲート絶縁膜２２Ａ，２２Ｂを介してポリシリコンゲート電極２３Ａ，２３Ｂを、上面に絶縁膜が形成された状態で形成する工程と、（Ｂ）ゲート電極の合対向する側壁面に、側壁絶縁膜を形成する工程と、（Ｃ）基板表面を、各側壁面外側においてエッチングし、溝部を形成する工程と、（Ｄ）溝部にそれぞれＳｉＧｅ領域を、基板に対してエピタキシャルに成長させる工程と、を含み、さらに工程（Ｂ）の後で工程（Ｄ）の前に、ポリシリコンゲート電極に不純物元素をイオン注入法により導入し、ポリシリコンゲート電極の少なくとも上部をアモルファス状態に変化させる工程（Ｅ）を含む。 （もっと読む）

【課題】金属シリサイド層の異常成長を防止する。
【解決手段】半導体基板１にゲート絶縁膜５、ゲート電極６ａ，６ｂ、ソース・ドレイン用のｎ^＋型半導体領域７ｂおよびｐ^＋型半導体領域８ｂを形成する。それから、サリサイド技術によりゲート電極６ａ，６ｂおよびソース・ドレイン領域上に金属シリサイド層１３を形成する。そして、金属シリサイド層１３の表面を還元性ガスのプラズマで処理してから、半導体基板１を大気中にさらすことなく、金属シリサイド層１３上を含む半導体基板１上に窒化シリコンからなる絶縁膜２１をプラズマＣＶＤ法で堆積させる。 （もっと読む）

【課題】ホウ素（Ｂ）のゲート絶縁膜の突き抜けや金属シリサイド膜による不純物の吸収によって生じるポリシリコン膜中の不純物の空乏化を防止する。
【解決手段】半導体装置１００は、ゲート絶縁膜１３と、ゲート絶縁膜１３上に形成されたゲート電極１４とを備える。ゲート電極１４は、ドープドポリシリコン膜２１ａ、２１ｂ、２１ｃと、金属シリサイド膜２２ａとを備えている。ドープドポリシリコン膜２１ａ、２１ｃは、第１の不純物を含んでおり、ドープドポリシリコン膜２１ｂは、反対の導電型を有する第２の不純物を含んでいる。これにより、ポリシリコン中の不純物の拡散工程やその後の熱負荷工程において、第２のドープドポリシリコン膜中の不純物の過度な拡散が抑制され、金属シリサイド膜が不純物を吸収することによるポリシリコン膜中の不純物の空乏化が防止される。 （もっと読む）

【課題】半導体基板に形成された拡散層および拡散層間分離絶縁膜の一部がリセスされた溝ゲート構造を有する半導体装置において、拡散層間分離絶縁膜の埋設性とチャネル抵抗の低減を両立する。
【解決手段】溝ゲート構造となる溝内において、拡散層間分離絶縁膜を拡散層に対して選択的にウェットエッチングして拡散層が突出部した構造を形成し、さらに突出した拡散層を選択エピタキシャル成長させることで拡散層の突出部に庇状の構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】ピン電界効果トランジスタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ピン電界効果トランジスタは、基板１００上に具備されるアクティブピン１０２と、アクティブピン１０２の表面に具備されるゲート酸化膜パターン１０４と、ゲート酸化膜パターン１０４上に具備され、アクティブピン１０２と交差するように延長される第１電極パターン１０６ｂと、第１電極パターン１０６ｂ上に積層され、第１電極パターン１０６ｂに対して広い線幅を有する第２電極パターン１０８ａ及び第１電極パターン１０６ｂ両側のアクティブピン１０２表面下に具備されるソース／ドレイン拡張領域１１０を含む。このようなピン電界効果トランジスタは、優れた性能を有するのみならず、ＧＩＤＬ電流が減少される。 （もっと読む）

【課題】コストを低減した半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１００表面部にチャネル領域１０１を挟むように形成された拡散層１０２と、チャネル領域１０１上に形成されたゲート絶縁膜１０３を有し、Ｎ型ＭＯＳＦＥＴのゲート電極１０４は第１のニッケルシリサイド層１０４ａ及び第１のニッケルシリサイド層１０４ａ上に形成され第１のニッケルシリサイド層１０４ａよりニッケル含有率が高い第２のニッケルシリサイド層１０４ｂからなり、Ｐ型ＭＯＳＦＥＴのゲート電極１０４は第２のニッケルシリサイド層１０４ｂよりニッケル含有率が高い第３のニッケルシリサイド層からなる。 （もっと読む）