【課題】新規な方法で出射光の線幅を狭くする。
【解決手段】光源１０は、第１分極反転構造２２に第１入射光を出射する。第１分極反転構造２２は、第１入射光を波長変換して高調波を出射する。ファイバーカプラ３０は、第１分極反転構造２２から出力された高調波を、光源装置からの出射光と、フィードバック光とに分岐する。第２分極反転構造４２は、フィードバック光が入射される。第２分極反転構造４２は、フィードバック光を波長変換して、第２入射光を出射する。第２入射光は、第１入射光と同一波長を有する。第２入射光は、第１波長変換部に入射される。 （もっと読む）

【課題】フォトリソグラフィにおける集積回路製造のためのレーザ光源として線狭帯域化用途に使用されるＤＵＶガス放電レーザシステムにおける帯域幅の能動制御の技術を提供する。
【解決手段】光源により生成されたレーザ出力光パルスビームパルスの帯域幅を測定して帯域幅測定値を供給する帯域幅測定モジュールと、帯域幅測定値及び帯域幅設定値を受信して帯域幅誤差信号を供給する帯域幅誤差信号発生器と、帯域幅誤差に応答して細かい帯域幅補正アクチュエータ信号及び粗い帯域幅補正アクチュエータ信号を供給する能動帯域幅コントローラとを含むことができる、線狭帯域化高平均パワー高パルス繰返し数レーザマイクロフォトリソグラフィ光源帯域幅制御方法及び装置を開示する。 （もっと読む）

【課題】スペクトル線幅を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、出力するレーザ光のスペクトル線幅を調節可能なレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出力された前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器に入射する前記レーザ光の光強度を調節可能な減衰部と、を備えてもよい。前記減衰部は、レーザ光の入射位置に依存して透過率が変化する可変アッテネータと、前記レーザ光の入射位置が変化するように前記可変アッテネータを移動させる移動機構と、を含んでもよい。 （もっと読む）

【課題】ＡｒＦエキシマレーザに使用され、長期の使用にわたって回折効率を維持することが可能なエシェル型回折格子を提供すること
【解決手段】各格子は厚さ２μｍから１０μｍを有する樹脂層１１と当該樹脂層の上に形成され、厚さ１２０ｎｍから５００ｎｍを有し、アルミニウムから構成された反射膜層１２を有するエシェル型回折格子１はリトロー配置を有し、頂角が８５°以上９０°未満であり、ブレーズ角は、波長１９３．３ｎｍの入射光に対して設定されたブレーズ次数の回折効率を最大にする第１のブレーズ角よりも小さい第２のブレーズ角を初期値として有し、前記第１のブレーズ角をｂｄ、前記第２のブレーズ角をｂａとすると０．２５°≦ｂｄ−ｂａ≦１．２°を満足することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】発振スペクトル分布が狭いレーザ光を実現可能なモード同期レーザ光源装置を提供する。
【解決手段】
注入電流Iが注入されてキャリアが生成されかつキャリアの消費によりレーザ光Pのパルスを増幅すると共にキャリアの密度変化によりレーザ光Pのパルス強度に依存する自己位相変調と等価な位相変調を生じる半導体光増幅器１と、半導体光増幅器１から射出されるレーザ光Pのパルスの発振波長を可変とする掃引用変調部３と、掃引用変調部３により変調されたレーザ光Pのパルスを半導体光増幅器１に帰還させてレーザ発振現象を生じさせるリング共振器６と、異常分散領域で用いられかつリング共振器６を導波中のレーザ光Pのパルスの波長に依存してレーザ光Pのパルスの帰還時間を変化させる分散補償器５とを有する。 （もっと読む）

【課題】簡単に且つ高精度に適切な方向に設置できる波長変換素子、レーザ光出力装置、画像表示装置及び波長変換素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】波長変換素子１００は、入射面１００ａの一端部に、切り欠き部１０１を有する。波長変換素子の製造方法は、内部に分極反転部が形成された複数の波長変換素子１００を１列に並べたバー１２２を、複数整列配置する配置工程と、バー１２２より各波長変換素子１００を切り離す切断予定線に対して切り欠き部１０１を形成する切り欠き部形成工程と、切り欠き部１０１が形成された切断予定線に沿って、バー１２２より各波長変換素子を切り離す切り離し工程と、を有する。切り欠き部形成工程では、第１の切断予定線グループにおいて幅広の切り込みを形成し、切り離し工程では、バー１２２を第２の切断予定線グループにおいて切断する。波長変換素子１００は、レーザ光出力装置又は画像表示装置に用いられる。 （もっと読む）

【課題】光出力信号が安定化しているか否かを自動で判定でき、利便性の向上が図れる安定化判定方法を提供する。
【解決手段】安定化判定方法は、レーザ光を吸収セルに照射して得られる光出力信号に含まれる飽和吸収線に基づき共振器長を変化させてレーザ光の発振周波数を特定の飽和吸収線に安定化させるレーザ周波数安定化装置に用いられる光出力信号の安定化判定方法である。レーザ周波数安定化装置は、吸収セルを介したレーザ光を光出力信号に変換する変換装置と、共振器長を変化させるアクチュエータと、アクチュエータの動作を制御する制御装置とを備える。安定化判定方法は、制御装置が、光出力信号を解析する信号解析ステップＳＴ２と、信号解析ステップＳＴ２の解析結果に基づいて、光出力信号が安定化しているか否かを判定する安定化判定ステップＳＴ３とを備える。 （もっと読む）

【課題】光強度を向上したレーザ装置及びその制御方法を提供する。
【解決手段】第１のレーザと、第２のレーザと、外部共振器と、制御部と、を備えたレーザ装置が提供される。前記第１のレーザは、第１のレーザ光を出射する。前記第２のレーザは、第２のレーザ光を出射する。前記外部共振器は、前記第１のレーザ光と前記第２のレーザ光とが入射される。前記制御部は、前記外部共振器の共振波長を制御して前記第１のレーザ光に共振させ、前記第２のレーザを制御して前記第２のレーザ光を前記外部共振器に共振させる。 （もっと読む）

【課題】安定したレーザ光を出力する。
【解決手段】マスタオシレータシステムは、光共振器の一方の共振器ミラーとして機能するグレーティングと、前記共振器ミラー間の光路上に配置された光学素子と、前記光学素子の姿勢を調節することで前記光共振器内を進行するレーザ光の前記グレーティングへの入射角を調節する姿勢制御機構と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】レーザ光のスペクトル形状を高精度に制御する。
【解決手段】レーザ装置は、少なくとも３つの波長ピークを含むスペクトルを持つレーザ光を出力可能なマスタオシレータと、各波長ピークのエネルギーを制御可能な多波長発振制御機構と、前記レーザ光のスペクトルを検出するスペクトル検出器と、前記スペクトル検出器による検出結果に基づいて前記多波長発振制御機構を制御する制御部と、を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】紫外線のレーザ光の波長の検出精度を高めた波長検出器を提供すること。
【解決手段】レーザ光を拡散させる拡散素子と、拡散素子の下流に設けられる集光光学系と、集光光学系の下流に設けられ、アパーチャを備える部材と、部材の下流に設けられ、貫通孔がそれぞれ形成された筒状のアノードおよびカソードを含み、アノードに直流電圧を印加した状態で所定の第１の波長のレーザ光がカソードの貫通孔を通過するときに、オプトガルバニック効果によってアノードとカソードの間の電気的特性が変化するように構成された放電管と、前記アノードに直流電圧を印加するよう構成された高圧直流電源とを備える。アパーチャを通過するレーザ光が放電管のカソードに直接照射することなくカソードの貫通孔を通過するように放電管が配置されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化及び小型化を図りながら、レーザ光の波長及び光強度を安定化できるレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源装置１は、電流が供給されることで励起光Ｌ１を出射する励起用光源１０と、励起用光源１０からの励起光Ｌ１を受けてレーザ光Ｌ２を生成する共振器２０と、レーザ光源装置１から出射されるレーザ光の光強度を可変とする光学素子８１を有する光強度変更装置８０と、当該レーザ光源装置１から出射されるレーザ光の光強度を検出する光強度検出装置７０と、励起用光源１０及び光学素子８１を制御する制御装置６０とを備える。制御装置６０は、光強度検出装置７０の検出結果に基づいて、励起用光源１０に供給する電流値を制御する光源制御手段と、光強度検出装置７０の検出結果に基づいて、光学素子８１を制御する素子制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】２次微分信号にノイズが重畳しているか否かを判定し、飽和吸収線を良好に認定できる飽和吸収線判定方法を提供する。
【解決手段】飽和吸収線判定方法は、光出力信号Ｓ１の２次微分信号Ｓ２の出力値と第１閾値とを比較する第１比較工程ＳＴ２Ａと、光出力信号Ｓ１の出力値と第２閾値とを比較する第２比較工程ＳＴ２Ｂと、第１比較工程ＳＴ２Ａ及び第２比較工程ＳＴ２Ｂの比較結果に基づいて、飽和吸収線であるか否かを判定する吸収線判定工程ＳＴ２Ｃ，２Ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】発光素子を最も発光効率のよい温度に制御するとともに、省電力性に優れた発光素子の温度制御装置及びこれを用いたディスプレイ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】固体レーザ１の温度を計測する温度センサ８と、固体レーザ１が載置されるベースプレート２と、このベースプレート２の固体レーザ１が載置された面と同一面に取り付けられ、固体レーザ１を加熱するヒータ７と、放熱フィン４が取り付けられたＵ字状ヒートパイプ５と、放熱フィン４に冷却風を送る冷却ファン６と、温度センサ８により固体レーザ１の温度が所定の温度範囲に収まるように、冷却ファン６の回転数あるいはヒータ７の出力を制御する制御ユニット１０とから構成され、発光素子を最も発光効率のよい温度で制御することができる。 （もっと読む）

【課題】周波数安定化レーザ・システムを提供する。
【解決手段】レーザー安定化システム１００は、第１の端部及び第２の端部を備えたレーザー源１０４と、第１の端部及び第２の端部を備えた第１の導波管部であって、第１の導波管部の第１の端部がレーザー源１０４の第１の端部に結合される第１の導波管部と、第１の端部及び第２の端部を備えた第２の導波管部であって、第１の導波管部の第１の端部がレーザー源１０４の第２の端部に結合される第２の導波管部と、第１の導波管部の第２の端部と第２の導波管部の第２の端部との間に結合された共鳴振動数を備えたマイクロキャビティ１０２から成る。さらに、マイクロキャビティ１０２とレーザー源１０４との間に結合された電子ロッキングループ１０８が、レーザー源１０４をマイクロキャビティ１０２の共鳴振動数に電子的にロックする。 （もっと読む）

【課題】励起光波長の変動があっても、安定した状態で高効率な９７６ｎｍ近傍波長による励起が適用可能なＹｂ添加ガラスを用いたファイバレーザ発振器およびファイバレーザ増幅器を得ることを目的としている。
【解決手段】ファイバレーザ発振器は、波長９７３ｎｍ〜９７９ｎｍの第一励起光を出射する第一の半導体レーザと、波長８８０ｎｍ〜９７０ｎｍの第二励起光を出射する第二の半導体レーザと、励起光入射側に全反射型のファイバブラッググレーティングと励起光出射側に部分反射型のファイバブラッググレーティングを有するＹｂ添加ガラス製の利得ファイバと、光ファイバの励起光入射側に設けられたファイバコンバイナと、第一の半導体レーザとファイバコンバイナを接続する第一の光ファイバと、第二の半導体レーザとファイバコンバイナを接続する第二の光ファイバと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】光ノイズが小さく安定したＳＨＧ光を出力し、且つ、消費電力が抑制された半導体レーザ励起固体レーザ装置及びレーザ光の出力方法を提供する。
【解決手段】設定温度において、モードホップを生じることなく一定の波長の単一縦モードの励起光を、設定出力値で出射する半導体レーザと、半導体レーザを駆動する駆動装置と、設定温度において出力効率が最大であり、光ノイズが一定値以下の、且つ励起光の出力値が設定出力値である場合に所定の出力値である出力光を、励起光から生成する固体レーザモジュールと、半導体レーザの温度と固体レーザモジュールの温度を調整する単一の温度調整装置と、出力光が所定の出力値であるように駆動装置を制御し、且つ、半導体レーザ及び固体レーザモジュールの温度が設定温度であるように温度調整装置を制御する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】出力安定性が高い光ファイバレーザ光源を提供する。
【解決手段】励起光導波ファイバ（２）の出力側端面に設けられ且つ増幅光導波ファイバ（３）の入力側端面との間に入力側空隙（Ｎ）を形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過する入力側フィルタ膜（７）と、増幅光導波ファイバ（３）の出力側端面に設けられ且つ出力光導波ファイバ（４）の入力側端面との間に出力側空隙（Ｓ）を形成し、所定の波長帯域の光を反射し且つ所定の波長帯域の光を透過し、入力側フィルタ膜（７）との間で第１光共振器（Ｋ１）を構成する出力側ハーフミラー膜（８）と、出力光導波路ファイバ（４）の内部に設けられ、入力側フィルタ膜（７）との間で第２光共振器（Ｋ２）を構成するファイバブラッググレーティング（１４）とを具備し、入力側空隙（Ｎ）の距離（Ｌｎ）および出力側空隙（Ｓ）の距離（Ｌｓ）が２０μｍ以下である。
【効果】出力安定性が高くなる。 （もっと読む）

【課題】高安定出力の半導体レーザ励起共振器内波長変換レーザ光を得る。
【解決手段】基本波レーザ光（Ｌ２）を出射する固体レーザ媒質（４）として端面（４ａ，４ｂ）を非平行にした複屈折性レーザ結晶を用いて基本波レーザ光（Ｌ２）の異なる偏波（Ｌ２１，Ｌ２２）は異なる角度で出射させる。半導体レーザ（１）からの励起レーザ光（Ｌ１）を固体レーザ媒質（４）に入射させると共に角度選択性により基本波レーザ光の一つの偏波（Ｌ２１）のみに対して共振器（２０）を構成する体積型ホログラフィック・グレーティング（３）を備える。共振器（２０）内に波長変換素子（９）を置く。
【効果】励起波長と発振波長とが近接している場合でも誘電体多層膜ミラーのような問題を生じない。波長変換素子（９）における波長変換効率を向上できる。 （もっと読む）

【課題】レーザ光の光強度を向上させる。
【解決手段】一実施の形態によるレーザ装置は、少なくとも１つの半導体レーザを含み、所定波長のパルスレーザ光を出力するように構成されたマスタオシレータと、少なくとも１つの増幅波長領域を有し、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光を増幅するように構成された少なくとも１つの増幅器と、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光の波長のチャーピング範囲が前記少なくとも１つの増幅波長領域の少なくとも一部と重なるように、前記マスタオシレータから出力されるパルスレーザ光の出力波長に影響するパラメータを制御するための制御部と、を含んでもよい。 （もっと読む）