【課題】常に安定な出力及び波長を得ることが可能な、注入同期式又はＭＯＰＡ方式のレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、オシレータ放電によってレーザガスを励起するオシレータ放電回路を有するオシレータと、増幅放電によってシードレーザ光を増幅する増幅放電回路を有する増幅器と、シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始から増幅放電の開始までの遅れ時間を設定する遅延回路と、オシレータ及び増幅器にそれぞれ設けられ、オシレータ放電回路及び増幅放電回路にそれぞれ印加される充電電圧に基づいてトリガ信号からオシレータ放電及び増幅放電の開始までの総所要時間のジッタを補正する複数のジッタ補正回路と、オシレータ放電回路及び増幅放電回路の特性の変化に基づいて複数のジッタ補正回路をそれぞれ補正する複数のドリフト補正回路とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 レーザビーム発振手段の繰り返し周波数及び１パルス当たりの出力の安定性を少なくとも検出可能なレーザ診断装置を提供することである。
【解決手段】 レーザビーム発振手段が発振するパルスレーザビームの繰り返し周波数及び１パルス当たりの出力の安定性を少なくとも検出するレーザ診断装置であって、レーザビーム発振手段が発振するパルスレーザビームを反射する反射板と、該反射板が反射したパルスレーザビームを拡散させる拡散板と、該拡散板を透過した光を受光して電気信号に変換するフォトディテクターと、該フォトディテクターを該拡散板に接近又は離反する方向に移動する移動手段とを有するレーザ診断ユニットと、該レーザ診断ユニットの該フォトディテクターから出力される電気信号を表示するオシロスコープと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光ファイバからクラッド・モードを除去するクラッド・モード・ストリッパが提供される。
【解決手段】クラッド・モード・ストリッパは、反射ベースと、反射ベース上に配置された透明材料のブロックとを含む。透明材料のブロックは、その底部表面にファイバ用の溝を有する。ファイバは、たとえば屈折率整合ゲルを使用して、ベースに熱的に結合され、ブロックの溝に光学的に結合される。クラッド・モード光は、反射ベースから反射され、ブロックを囲むカバーに吸収される。透明な熱伝導性材料のさらなる薄いブロックは、ファイバと反射ベースとの間に配置されて、屈折率整合ゲルがベースの反射表面に接触することを防止しうる。 （もっと読む）

【課題】中心波長の制御に影響を与えることなくスペクトル純度幅（スペクトル指標値）の安定化制御を行えるようにして、見かけ上のスペクトル純度幅の制御を行うことで発生する上記諸問題点を解消する。
【解決手段】増幅用レーザ装置から出力されるレーザ光のスペクトル純度幅E95をスペクトル純度幅計測手段で計測し、計測されたスペクトル純度幅E95が、目標スペクトル純度幅E950の許容幅E950±ｄE95内に収まるように、発振用レーザ装置で放電を開始してから増幅用レーザ装置で放電を開始するまでの放電タイミングを制御することで、スペクトル純度幅E95を安定化制御する。 （もっと読む）

【課題】高い消光比、超小型、低駆動電圧を実現した光導波路型Ｑスイッチ素子およびＱスイッチレーザ装置を得る。
【解決手段】コア５およびクラッド４ａ、４ｂからなる平面導波路構造の光導波路３と、光損失手段７ａ、７ｂおよび電極２ａ、２ｂと、電極２ａ、２ｂに電圧を印加するＱスイッチ駆動装置６とを備える。クラッド４ａ、４ｂはコア５の上下面に設けられ、光損失手段７ａ、７ｂはクラッド４ａ、４ｂの上下面に設けられ、電極２ａ、２ｂは光損失手段７ａ、７ｂの上下面に設けられる。コア５は、電界が印加されると電気光学効果によって屈折率が変化し、電界未印加時はクラッド屈折率よりも高く、電界印加時は、高電位側の屈折率がクラッド屈折率よりも低くなる。 （もっと読む）

【課題】
１バースト期間のうちの不安定期間に出力されるレーザ光のスペクトル幅を目標とするスペクトル幅に近づけて、１バースト期間内でレーザ光のスペクトル幅を安定させることによって、集積回路パターンの品質悪化や生産効率の低下を防止する。
【解決手段】
狭帯域化したレーザ光を連続してパルス発振するバースト期間と発振休止する発振休止期間とを交互に繰り返して動作する狭帯域化レーザにおいて、発振休止期間の長さに応じて発振休止期間中にパルス発振した場合のスペクトル幅を予測してスペクトル幅を変化させるアクチュエータを予め制御する。または、前回以前のバースト初期のスペクトル幅の不安定期間に計測されたスペクトル幅の計測値とそのときのスペクトル幅調整機構の動作指令値といった実績に基づいて不安定期間中にスペクトル幅制御を行う。 （もっと読む）

【課題】共振器から出射される光を高精度かつ適切に調整することができるレーザ光源の調整システムの提供。
【解決手段】レーザ光源１の調整システム１０は、調整用制御手段１３を備え、調整用制御手段１３は、温度調整部１３１と、共振器調整部１３２とを備える。温度調整部１３１は、エタロン３５を共振器３から取り外した状態で光スペクトラムアナライザ１２１にて検出されるスペクトラムのピーク波長と、強度検出部５５から出力される信号に基づいて検出されるヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、ＫＴＰ結晶３４の温度のパラメータを調整する。共振器調整部１３２は、エタロン３５を共振器３に取り付けた状態で光波長計１２２にて検出される波長と、ヨウ素の飽和吸収線の波長とを一致させるように、エタロン３５の温度と、共振器３における共振器長との各パラメータを調整する。 （もっと読む）

【課題】 共振器を備えた高出力ガスレーザ発振器・増幅器において、共振器を構成するミラーで表面損傷及び歪みが発生しないように照射するピークエネルギ密度を減少させ、レーザの中心波長が変化したとしてもレーザ出力が減少しないようにする。
【解決手段】 リア側ミラー１と出力側ミラー２とからなる共振器と、その共振器中に配置されレーザガスが封入されたレーザチャンバー３と、レーザチャンバー３内のレーザガスを励起する励起手段４、５とを備えたガスレーザ装置において、レーザチャンバー３とリア側ミラー１の間、及び、レーザチャンバー３と出力側ミラー２の間の少なくとも一方に、ミラー側のレーザビームの径あるいは幅を広げるビーム拡大光学系６１、６１’を介在させた高出力ガスレーザ装置。 （もっと読む）

【課題】高出力レーザであっても微小なレーザを安定して出力する。
【解決手段】レーザ装置（１）は、互いに直列に配置された第一および第二のレーザ励起領域（２１、２２）と、第一のレーザ励起領域に第一のエネルギを注入する第一電源ユニット（ＰＳＵ１）と、第二のレーザ励起領域に第二のエネルギを注入する第二電源ユニット（ＰＳＵ２）と、を具備し、第一電源ユニットは、レーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギを第一のエネルギとして第一のレーザ励起領域に注入し、第二電源ユニットは、放電管が予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと臨界注入エネルギとの間で第二のレーザ励起領域に注入されるエネルギを第二のエネルギとして第二のレーザ励起領域に注入し、それにより、レーザ出力を制御する。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザ励起固体レーザ装置に関し、光共振器内にエタロンなどを挿入しない構成で、１０６４.４ｎｍ近傍のシングルモード発振を実現する。
【解決手段】Ｎｄ：ＹＡＧの端面であって光共振器の端部となる端面に波長１０６４.４ｎｍ近傍に対するＨＲコートを施すと共に、Ｎｄ：ＹＡＧの光透過方向の厚みを、１０６４.４ｎｍ近傍に反射ピークが存在し且つ１０６１.８ｎｍ近傍に反射ピークが存在しないような厚みとする。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶ光出力を安定化する。
【解決手段】ドライバレーザから出力されたレーザ光をもとに極端紫外光をバースト出力する極端紫外光生成装置であって、過去にバースト出力された極端紫外光のパラメータログをもとに、バースト出力される極端紫外光の少なくとも１パルス目を含む１パルス以上の先頭側パルスエネルギーのエネルギー制御を行うエネルギー制御部を備えてもよい。 （もっと読む）

【課題】簡素な光学構成で、高エネルギーのパルス光を高い繰り返し周波数で発振可能なファイバレーザ光源とそれを用いた波長変換レーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ活性物質を含むファイバの両端にファイバグレーティングを設けたレーザ共振器と、前記ファイバの一端に光学的に接続され前記レーザ共振器をレーザ発振しないように調節された第１のレーザ光を入射する第１の励起用レーザ光源と、前記第１の励起用レーザ光源により前記ファイバ与えられた励起エネルギーに加えることで前記レーザ共振器をレーザ発振できる強度変調された第２のレーザ光を前記ファイバの他端に入射する第２の励起用レーザ光源と、を設けたファイバレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】同じレーザ光源装置を用いて、加工精度を良好に保ちつつ、レーザ光のパルスエネルギーおよび繰返し周波数を変化させる。
【解決手段】シードLD１５１から射出されたレーザ光を、ファイバ増幅器１５３およびファイバ増幅器１５５により増幅した後、固体レーザ増幅器１５８により増幅する。制御部１６０は、固体レーザ増幅器１５８の固体レーザ媒質を励起する励起光をレーザ光に同期して固体レーザ媒質に照射するように制御するとともに、励起光の単位時間あたりのパワーが所定の値になるように、レーザ光の繰返し周波数に応じて励起光の強度を制御する。本発明は、例えば、レーザリペア装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】２台のレーザの出力する光パルスの位相差の検出結果によらないで、レーザの出力する光パルスの位相を制御する。
【解決手段】レーザ光パルスの位相制御装置１が、レーザ光パルスを出力するレーザ１２と、所定の周波数の基準電気信号源２１の出力の電圧と、接地電位とを比較し、その結果を出力する基準比較器２２と、レーザ光パルスの光強度に基づく電圧および所定の周波数を有する測定電気信号（アンプ１８の出力）の電圧と、第一位相制御信号源１３の出力する位相制御信号の電圧とを比較し、その結果を出力する測定比較器１５と、基準比較器２２の出力と測定比較器１５の出力との位相差を検出する位相比較器３２と、位相比較器３２の出力の高周波成分を除去するループフィルタ３４とを備える。位相制御信号の電圧は、接地電位とは異なる。レーザは、ループフィルタ３４の出力に応じて、レーザ光パルスの位相を変化させる。 （もっと読む）

【課題】校正の対象となるレーザ光を出射する対象レーザ光源の周波数を適切に校正することができるレーザ光源の校正装置の提供。
【解決手段】校正装置１は、基準レーザ光源２と、対象レーザ光源３と、基準レーザ光源２、及び対象レーザ光源３から出射されるレーザ光の光軸を一致させて出力する光学系４と、光学系４から出力されるレーザ光を電気信号に変換して周波数を測定する周波数カウンタ５と、周波数カウンタ５のゲート信号を生成するゲート信号生成手段６とを備える。ゲート信号生成手段６は、基準レーザ光源２における変調信号の変調周波数と、対象レーザ光源３における変調信号の変調周波数との差に相当する周期を検出する周期検出部６１と、周期検出部６１にて検出される周期に同期する周波数カウンタ５のゲート信号を生成する信号生成部６２とを備える。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工装置から出力されるパルス光のパワーを安定化させるための技術を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１００は、シード光を励起光によって増幅する光増幅ファイバ１，８と、シード光をパルス状に発生させるシードＬＤ２と、励起光を発生させる励起ＬＤ３，９Ａ，９Ｂとを備える。レーザ加工装置１００は、レーザ加工装置から出力されるレーザ光に関する条件に基づいて、シード光が発生しない非発光期間における励起光の条件が可変である。制御装置２０は、ドライバ２２，２３Ａ，２３Ｂを制御することによって非発光期間における励起光の条件を変化させる。これにより、レーザ加工装置から出力されるパルス光のエネルギーを非発光期間の長さによらず安定化させることができる。 （もっと読む）

【課題】最適な変換効率を維持しつつ、波長変換された出力光強度の変動を補償することができる波長 変換装置を提供すること。
【解決手段】レーザ光源部から出射した第１の波長の光を透過させ、一部を第２の波長の光に波長変換 して出射する非線形光学結晶と、第１の波長の光の特定の偏光成分を取り出して出射する偏光分岐部と 、偏光分岐部からの出射光強度を検知し、電気信号に変換する偏光強度検知部と、偏光強度検知部から の電気信号に基づいて非線形光学結晶に入射する特定の偏光成分の光強度を、偏光強度目標値と一致す るように第１の波長の光強度を制御する駆動制御部と、第２の波長の光出力の一部を分岐する出力分岐 部と、出力分岐部からの出射光強度を検知し、電気信号に変換する出力光強度検知部と、非線形光学結 晶の結晶温度を出力光強度検知部からの電気信号に基づいて制御する温度制御部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】光出力の変動を抑制して長期的に安定した運用を実現することが可能な構成のレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ光源１１からの複数の基本波レーザ光をそれぞれ増幅する複数の光増幅器と、増幅された複数の基本波レーザ光を波長変換光学素子を用いて所定の高調波レーザ光に波長変換する波長変換部２０と、高調波レーザ光の一部をモニタ光として分離して、このモニタ光の強度を検出するパワーコントロールユニット５０と、パワーコントロールユニット５０の検出結果に基づいて、基本波レーザ光の強度を操作して高調波レーザ光の出力制御を行う制御部６０とを備え、複数の光増幅器は、励起光源部７０からの励起光を光増幅用ファイバＥＤＦに供給して基本波レーザ光を増幅するようにそれぞれ構成され、制御部６０は、複数の光増幅器のうちで、波長変換部２０での波長変換回数が最も多く設定された基本波レーザ光を増幅するための該光増幅器に供給される励起光出力のみを制御して、基本波レーザ光の強度を操作するようになっている。 （もっと読む）

【課題】光出力を正確に制御して長期的に安定した運用が可能な構成のレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、レーザ光をモニタ光と出力光とに分離する部分反射ミラー５７と、部分反射ミラー５７からのモニタ光の強度を検出する光出力モニタ装置６０と、光出力モニタ装置６０の検出値に基づいてレーザ光源の出力を制御して部分反射ミラー５７からの出力光の強度を制御する制御部８０と、所定の校正時期において部分反射ミラー５７からの出力光の強度を検出するパワーメータ装置７２とを備え、制御部８０は、パワーメータ装置７２の検出値に基づいて光出力モニタ装置６０の出力を校正するようになっている。 （もっと読む）